DE1010185B - Geraet zur Lokalisierung eines Bereiches einer bestimmten Leitfaehigkeit auf der Oberflaeche eines Koerpers aus halbleitendem Material - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zur Lokalisierung eines Bereiches einer bestimmten Leitfähigkeit auf der Oberfläche eines Körpers aus halbleitendem Material, der an zwei Seiten je an einen Bereich von entgegengesetztem Leitfähigkeitstyp angrenzt.

Die vorliegende Halbleiteranordnung, deren Bereiche· bestimmter Leitfähigkeit lokalisiert werden sollen, besteht im wesentlichen aus einem halbleitenden Körper aus einem Material wie Germanium oder Silizium, welcher eine Zone eines bestimmten Leitfähigkeitstyps, entweder N oder P, aufweist, die zwischen zwei Zonen des entgegengesetzten. Leitfähigkeitstyps angebracht oder dazwischengeschichtet ist. Alle drei Zonen der Anordnung besitzen elektrische Zuführungen. Gemäß der bekannten Bezeichnungsweise wird die Zwischenzone als Basis und werden die äußeren Zonen als Emitter und Kollektor bezeichnet. Bei einer Arbeitsweise, bei der die Anordnung als Verstärker wirkt, werden Signale zwischen den Ermitter und die Basis angelegt und verstärkte .Signale in einem Arbeitskreis, der zwischen dem Kollektor und Basis eingeschaltet ist, abgenommen.

Die Leistungskennlinie solcher Halbleiteranordnungen hängt unter anderem von den physikalischen Parametern der Zwischenschicht oder Basiszone ab. Im Falle, daß solche Anordnungen z.B. als Verstärker betrieben werden, hängt die obere Grenzfrequenz für eine wiiksame Verstärkung von der Dicke dieser Zone ab, wobei die Grenze um so höher liegt, je kleiner die Schichtdicke dieser Zone ist. Daher ist es für diese und andere Anwendungen sehr erwünscht, daß die Zwischenzone äußerst dünn bemessen ist. Bei Anordnungen dieser Art beträgt die Schichtdicke dieser Zwischenzone gewöhnlich etwa 25 μ. Die Herstellung solcher Anordnungen mit einer dünnen Basiszone umfaßt das technische Problem, die Lage dieser Zone genau zu bestimmen, damit eine elektrische Verbindung zur Erzielung einer betriebsfähigen Anordnung hergestellt werden kann. Mit dem vorliegenden Gerät ist es möglich, die Lage solcher dünnen Zonen anzugeben.

Gemäß der Erfindung besteht dieses Gerät aus einer Sonde, die in gleitendem- Kontakt mit diesen Bereichen steht, aus Mitteln zum Anlegen einer Wechselspannung bestimmter Frequenz und Phase zwischen einen Punkt vorgegebenen Potentials und einen der beiden Bereiche von entgegengesetztem Leitfähigkeitstyp und aus Mitteln zum Anlegen einer Wechselspannung anderer Phase zwischen den erwähnten Punkt und den anderen der Bereiche entgegengesetzten Leitfähigkeitstyps, so daß bei einem Kontakt zwischen der Sonde und einem der Bereiche entgegengesetzter Leitfähigkeit eine Spannung der Gerät zur Lokalisierung eines Bereiches

einer bestimmten Leitfähigkeit

auf der Oberfläche eines Körpers

aus halbleitendem Material

Anmelder:

General Electric Company,

Schenectady, N. Y. (V. St. A.)

Vertreter: Dr.-Ing. W. Reichel, Patentanwalt,

Frankfurt/M.-Eschersheim, Lichtenbergstr. 7
15

Beanspruchte Priorität:
V. St. v. Amerika vom 9. November 1954

William Ernest Engeler jun., Syracuse, N. Y. (V. St. A)., ist als Erfinder genannt worden

genannten bei einem

erwähnten einen Phase zwischen dem
Punkt und der Sonde auftritt, dagegen
Kontakt zwischen dem anderen Bereich von entgegengesetztem Leitfähigkeitstyp und der Sonde eine Spannung der anderen Phase zwischen dem Punkt und der Sonde auftritt, ferner aus beweglichen Mitteln, die auf die erhaltene Spannung einer der beiden Phasen ansprechen und die Sonde in einer entsprechenden Richtung auf das Gebiet des einen bestimmten Leitfähigkeitstyps zu bewegen. Weiterhin wird bei Bestehen eines Kontaktes der Sonde und der einen Zone des ersteren Leitfähigkeitstyps eine Spannung von anderer Frequenz zwischen diesem Punkt und der Sonde abgeleitet. Außerdem sind die bewegliehen Mittel so vorgesehen, daß sie gegen Spannungen anderer Frequenzen unempfindlich sind.

Zum besseren Verständnis der Erfindung wird in der folgenden Beschreibung auf die Begleitzeichnung Bezug genommen, welche eine Schaltung des vorliegenden Gerätes in schematischer Darstellung zeigt. In der Figur wird eine Halbleiteranordnung 1 gezeigt, die aus einem Stab von halb-leitendem Material besteht, der eine dünne Basiszone 2 eines bestimmten Leitfähigkeitstyps aufweist, welche zwischen, zwei Zonen 3 und 4 von entgegengesetztem Leitfähigkeitstyp angeordnet oder geschichtet ist. Die Zonen stoßen bei zwei P-N-Übergängen 5 und 6 zusammen und erstrecken sich, nach innen senkrecht zu den Flächen der Anordnung 1. Wie aus der Figur zu ersehen, be-

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steht die Basis 2 aus Material vom P-Typ und die Zonen, 5 und 6 aus Material vom N-Typ. Es ist bekannt, daß die P-N-Übergänge eine Gleichrichterwirkung besitzen. Wenn nun ein Übergang in der Durchlaßrichtung vorgespannt wird, d. h. wenn das Material vom P-Typ auf der einen Seite der Übergangsstelle positiv gegenüber dem Material vom N-Typ auf der anderen Seite der Übergangsseite vorgespannt ist, so' fließt ein beträchtlicher Strom von

Schiebung befindlichen Wicklungen des Induktionsmotors angelegten Spannungen zueinander zeitlich um 90° phasenverschoben sind, entsteht ein Drehfeld. Daher wild durch die Induktionsmotorwirkung der 5 Rotor in Umdrehung versetzt und bewegt damit den Schlitten 11.

Die Phasenwicklungen des Motors 13 sind so· gepolt, daß die phasenverschobenen Spannungen an seinen Wicklungen den Schlitten 11 in Richtung auf

dem P-Material zu dem N-Material durch die Über- io das Gebiet 2 vom P-Typ bewegen. Wenn die Sonde gangsstelle hindurch. Wenn dagegen das P-Material 10 mit der Zone 4 vom N-Typ in Kontakt steht, so' in der entgegengesetzten Richtung, d. h. negativ gegen- wird eine Spannung der einen Phase zwischen dem über- dem N-Material vorgespannt ist, so findet prak- Punkt 10 und Erde erzeugt. Demgemäß wird der tisch kein Stromfluß durch die Übergangsstelle statt. Motor veranlaßt, eine Bewegung auszuführen, welche Die Anordnung 1 umfaßt zwei P-N-Übergänge 5 15 die Sende 10 zu dem Gebiet 2 vom P-Typ hinführt, und 6, die als gleichrichtende Dioden wirken, wobei Wenn die Sonde 10 mit dem Gebiet 5 vom N-Typ in das P-Gebiet 2 als gemeinsamer Pol für beide Über- Kontakt kommt, so wird eine Spannung entgegengangsstellen dient. gesetzter Phase zwischen der Sonde 10 und Erde er-

Eine Spannung einer bestimmten Phase wird zeugt und demgemäß der Motor 13 veranlaßt, sich in zwischen einen Punkt bestimmten Potentials 7, der 20 entgegengesetzter Richtung zu drehen und die Sonde hier als Erdpotential gezeigt ist, und eine der Zonen 10 wiederum in Richtung auf die Region 2 zu bevom Typ der N-Leitfähigksit angelegt. Ferner wird wegen. Wenn die Sonde das P-Gebiet 2 berührt, so eine Spannung derselben Frequenz, aber der entgegen- wird, wie oben erwähnt, eine Spannung von dem gesetzten Phase, zwischen den Punkt 7 bestimmten Doppelten der angelegten Frequenz zwischen der Potentials und die andere Zone vom N-Typ mit Hilfe 25 Sonde und Erde erzeugt. Da bei dem Induktionseines Transformators 8 angelegt, der mit einer motor unter diesen Umständen eine Spannung der Wechselspannungsquelle 9 verbunden ist. einen Frequenz an eine seiner Phasenwicklungen, des

Eine leitende Sonde 10 ist ferner vorgesehen, die Stators und eine Spannung einer anderen Frequenz sich in gleitendem Kontakt mit dieser Anordnung be- an die andere seiner Phasenwicklungen des Stators findet. Die Sonde 10 ist mechanisch mit einem 30 angelegt sind, so wird kein Drehfeld erzeugt, und der Schlitten 11 verbunden, der längs der Achse einer Rotor bleibt daher stehen.

Spindel 12 bewegt werden kann, wenn die letztere Um eine genaue Ortsbestimmung des Gebietes vom

durch Induktionsmotoren gedreht wird. Hierdurch P-Typ sicherzustellen, ist es wichtig, die Sonde 10 wird die Sonde veranlaßt, sich längs einer Seite der beim Erreichen des P-Gebietes unmittelbar anzu-Ano'rdnung 1 von der Zone des einen Typs zur 35 halten. Um diese Wirkung zu ermöglichen, wird eine anderen zu bewegen. Der Motor 13 enthält zwei ge- Spännung, welche gegenüber der von der Sonde 10 trennte Statorwicklungen, wobei jeder Stator ein dem Motor 13 zugeführten Spannung um 180° in der Paar von Windungen mit 90° räumlicher Phasenver- Phase verschoben ist, dem Motor 13 ständig durch Schiebung aufweist. Der Motor enthält ferner Rotoren den phasendrehenden Verstärkerkanal von der Rückvom Käfigtyp, die auf dem gleichen Schaft befestigt 40 koppelungswicklung des Induktionsmotors 13 zuge- und mechanisch mit der Schraube 12 verbunden sind. führt. Diese Spannung besitzt kleinere Amplitude als Wenn sich die Sonde mit dem Gebiet 3 vom N-Typ die dem Motor 13 zugeführte Antriebs spannung und in Kontakt befindet, so wird eine Spannung einer stört daher den normalen Betrieb des Motors 13 nicht, bestimmten. Phase zwischen der Sonde 10 und dem Wenn dagegen die Antriebsspannung verschwindet, Punkte 7 erhalten. Wenn sich die Sonde 10 mit dem 45 so sucht die Rückkoppelungsspannung den Induktionsanderen Gebiet vom N-Typ 4 in Kontakt befindet,, so motor 13 in der entgegengesetzten Richtung zu wird eine Spannung von entgegengesetzter Phase drehen. Da diese Spannung eine Funktion der Gezwischen der Sonde 10 und dem Punkt 7 erzeugt.-Da- schwindigkeit des Rotors des Motors 13 ist, vergegen wird bei einem Kontakt der Sonde mit der schiebt sie die Sonde 10 nicht in der rückwärtigen P-Region 2 eine gleichgerichtete Spannung vom Voll- 50 Richtung, bewirkt aber ein sehr plötzliches Anhalten wegtyp zwischen der Sonde 10 und dem Punkt 7 er- des Rotors.

halten. Diese durch Vollweggleichrichtung erhaltene Im folgenden wird nun eine genaue Beschreibung

Spannung umfaßt eine Gleichstromkomponente und der Schaltelemente in der Zeichnung gegeben. Die

Spannungsquelle 9 ist irgendeine Wechselspannungs-55 quelle, die beispielsweise eine 60-Hz-Quelle sein kann.
Der TransfcrmatOT 8 enthält eine Primärwicklung 19,
deren einer Pol an Erde und an eine Klemme der
Spannungsquelle 9 gelegt ist, während das andere
Ende derselben mit der anderen Klemme der Quelle 9

Isolationsstufe 15, den kombinierenden Verstärker 16, 60 verbunden ist. Die Sekundärwicklung 2 des Transfordie Umkehr- und Treiberstufe 17 und den Kraftver- mators 8 ist mit ihrem einen Ende durch einen, stromstärker 18. Die Ausgangsspannung des phasen- begrenzenden Widerstand 21 an das Gebiet 3 der Andrehenden Verstärkerkanals wird durch das phasen- Ordnung 1 gelegt, während das andere Ende desselben drehende Netzwerk 14 im wesentlichen um 90° gegen- durch einen strombegrenzenden- Widerstand 22 mit über der Spannung auf der Sekundärwicklung des 65 dem Gebiet 4 der Anordnung 1 verbunden ist. Der Transformators 8 verschoben. Diese Spannung wird Mittelabgriff 7 der Sekundärwicklung ist geerdet. Die an eine Wicklung 72 eines Paares von Statorwick- Widerstände 97 und 98 sind zwischen die Sonde 10 hingen des Motors 13 angelegt, während der anderen und Erde geschaltet. Das phasendrehende Netzwerk Wicklung 73 eine Spannung von der Quelle 9 züge- 14, welches eine Kapazität 23 in Reihe mit einem führt wird. Da die an die in räumlicher Phasenver- 7° Widerstand 24 umfaßt, ist in dieser Reihenfolge

eine Wechselstromkompcnente von der doppelten Frequenz der Spannungsquelle 9.

Die zwischen der Sonde 10 und dem Punkt 7 auftretende Spannung wird durch einen phasendrehenden Verstärkerkanal dem Motor 13 zugeführt. Dieser Kanal umfaßt das phasendrehende Netzwerk 14, die

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zwischen die Verbindungsstelle der Widerstände 97 mators 71 und dem positiven Pol 30 verbunden. Ein

und 98 und Erde über den Kathodenbelastungswider- Ende der Primärwicklung des Transformators 71

stand 25 eingeschaltet. Die Kapazität 23 ist so be- liegt an der Anode 60, das andere Ende an der Anode

messen, daß ihr Blindwiderstand bei der Frequenz 65. Die Sekundärwicklung des Transformators 71 ist der Spannungsquelle 9 beträchtlich größer als der 5 mit ihrem einen Ende mit Erde und mit dem anderen

Widerstand 24 ist, damit der in dem Widerstand 24 Ende mit der einen Klemme der Steuerwicklung 72

fließende Strom und dementsprechend die Phase der verbunden, deren anderes Ende an Erde liegt. Die

an ihm auftretenden. Spannung um 90° gegenüber der Wicklung 73 des Induktionsmotors 9 ist mit ihrem

Phase der an das phasendrehende: Netzwerk ange- einen Ende· geerdet und mit dem anderen Ende an

legten Spannung voreilt. Die Widerstände 97 und 98 io den ungeerdeten Pol der Spannungsquelle 9 gelegt,

erzeugen eine hohe Impedanz in dem Stromkreis der Der ungeerdete Pol der Spannungsquelle¹ 9 steht

Sonde und verhindern damit, daß ein nennenswerter außerdem über die phasendrehende Kombination aus

Strom durch die Anordnung 1 fließt. Die Ausgangs- dem Widerstand 74 und der Kapazität 75 mit dem

spannung über dem Widerstand 24 wird an den einen Ende der Erregerwicklung 76 des Generator-

Kathodenverstärker 15 angelegt, der aus einer Elek- 15 teils des Induktiotismotors 13 in Verbindung, deren

tronenröhre 26 mit einer Kathode 27, einem Gitter 28 anderes Ende geerdet ist.

und einer Anode 29 besteht. Die Kathode 27 ist über Die Induktionsmaschine 13 besteht aus einem

den Vorspannungswiderstand 27a und die Neben- Motorteil und einem Generatorteil. Wie oben darge-

schlußkapazität 32 mit dem einen Ende des Kathoden- legt, enthält der Motorteil ein Paar von Statorwick-

arbeitswiderstand.es 25 verbunden, dessen anderes 20 lungen 72 und 73, die in senkrecht zueinander-

Ende geerdet ist. Das Gitter 28 ist mit der Verbin- liegenden Ebenen gewickelt sind. Der Rotor ist ein

dungsstelle der Kapazität 23 und des Widerstandes 24 typischer Käfigrotor. Wenn also eine Wechsel -

verbunden. Die Anode 29 liegt an dem positiven Pol spannung an beide Wicklungen angelegt wird und

30 einer Gleichspannungsquelle 31, deren anderer Pol sich die an die Wicklung 72 angelegte Spannung in

an Erde liegt. Die an der Kathode 27 auftretende 25 90° Phasenverschiebung gegenüber der an die Wick-

Ausgangsspannung ist über die Kapazität 34 an das lung 73 angelegten Spannung befindet, so wird ein

Potentiometer 33 gelegt. Drehfeld erzeugt, welches den Käfigrotor zu einer

Der Kombinationsverstärker 16 enthält eine Elek- Drehung entsprechend der Bewegung des Drehfeldes tronenröhre 35 mit einer Kathode 36, einem Gitter 37 bringt. Der Generätorteil enthält ferner ein Paar von und einer Anode 38 und eine weitere Elektronenröhre 30 Wicklungen, die auf den Stator so aufgewickelt sind, 39 mit einer Kathode 40, einem Gitter 41 und einer daß die beiden Wicklungen 46 und 76 aufeinander Anode 42. Die Kathoden 36 und 40 sind an das eine senkrecht stehen. Der Rotor ist ebenfalls von dem Ende des Kathodenwiderstandes 43 gelegt, dessen üblichen Käfigtyp. Die Rotoren des Motorteiles und anderes Ende geerdet ist. Das Gitter 37 steht mit des Generatorteiles sind mechanisch miteinander gedem verschiebbaren Abgriff des Potentiometers 33 in 35 koppelt und mit der Spindel 12 verbunden, welche den Verbindung. Die Anode 38 liegt über den. Anoden- Schlitten 11 antreibt. Da die Wicklung 46 senkrecht arbeitswiderstand 44 an dem positiven Pol 30. Das zu der Wicklung 76 steht, tritt beim Anlegen einer Gitter 41 ist über die Gitterableitwiderstände 45 und Spannung an die Wicklung 76 keine Spannung in der 45 α an Erde gelegt. Die Verbindungsstelle der Wicklung 46 auf. Wenn der Rotor des Generator-Widerstände 45 und 45 ο liegt an dem einen Ende der 40 teiles dagegen in Umdrehung versetzt wird, so wird Rückkopplungswicklung 46 des Motors 13, deren eine Spannung in der Rotorwicklung erzeugt, welche anderes Ende geerdet ist. Die Anode 42 steht über einen magnetischen Fluß erzeugt, der die Wicklung den Arbeitswiderstand 47 mit dem positiven Span- 46 durchsetzt. Gemäß den wohlbekannten physinungspol 30 in Verbindung. Die Ausgangsspannung kaiischen Gesetzen läßt dieser Fluß eine Spannung von der Anode 38 ist an die phasenumkebrende 45 in der Wicklung 46 entstehen, die um etwa 180° Treiberstufe 17 gelegt. Diese besteht aus einer Elek- gegenüber der an die Wicklung 76 gelegten Spannung tronenröhre 48 mit einer Kathode 49, einem Gitter in der Phase verschoben ist. Zur Erläuterung der ge-50 und einer Anode 51. Die Kathode 49 ist über die wünschten oben beschriebenen Rückkopplungswirkung Kathodenwiderstände 52 und 53 an Erde gelegt. Das sei darauf hingewiesen, daß die über der Wicklung Gitter 50 ist über den Ableitwiderstand 54 mit der 50 46 entstehende und dem Kombinationsverstärker zuVerbindungsstelle der Widerstände 52 und 53, die geführte Spannung im wesentlichen um 180° in der Anode 51 über den Ancdenarbeitswiderstand 55 mit Phase gegenüber der von der Sonde 10 erhaltenen dem positiven Pol 30 und das Gitter 50 außerdem mit und an den Verstärker 16 gelegten Spannung verder Anode 38 verbunden. schoben sein soll. Das phaseiidrehende Netzwerk 14

Der Kraftverstärker 18 enthält eine Elektronen- 55 bewirkt eine Phasendrehung von wenigstens 90° der

röhre 56 mit einer Kathode 57, einem Gitter 58, einem von der Sonde 10 erhaltenen Spannung, ferner wird

Schirmgitter 59 und einer Anode 60 und eine weitere eine ähnliche Phasenverschiebung durch das R-C-

Elektronenröhre 61 mit einer Kathode 62, einem Glied 74-75 herbeigeführt, so daß man insgesamt die

Gitter 63, einem Schirmgitter 64 und einer Anode 65. gewünschte 180^o-Phasenverschiebung zwischen dem

Die Kathoden 62 und 57 sand miteinander verbunden 60 Signal von der Sonde 10 und dem der Rückkopp-

und durch den Vorspannungswiderstand 65 mit dem lungswicklung 46 erhält.

Nebenschlußkondensator 67 mit Erde verbunden. Das Der Indikatorkreis 77 wirkt in der Weise, daß er Gitter 58 steht über den Gitterableitwiderstand 67 α eine Anzeige gibt, wenn die Sonde 10 das P-Gebiet2 mit Erde und außerdem über den Koppelkondensator berührt. Der Indikatorkreis enthält eine Elektronen-68 mit der Anode 51 in Verbindung. Das Gitter 63 ist 65 röhre 78 mit einer Kathode 79, einem Gitter 80 und über den Gitterableitwiderstand 69 an Erde und einer Anode 81. Die Kathode 79 ist über den außerdem über den Koppelkondensator 70 an die Ver- Kathodenwiderstand 82 mit Erde verbunden. Das bindungssteile der Widerstände 52 und 53 gelegt. Die Gitter 80 liegt an der Verbindungsstelle der Wider-Schirmgitter 59 und 64 sind, miteinander und mit stände 97 und 98, und die Anode 81 ist über den dem Mittelabgriff der Primärwicklung des Transfor- 70 Anodenarbeitswiderstand 83 mit dem positiven Pol 30

verbunden. Der Indikatorkreis 77 enthält ferner eine Elektronenröhre 84 mit einer Kathode 85, einem Gitter 86 und einer Anode 87. Die Kathode ist über den Kathodenarbeitswiderstand 88 an Erde gelegt und steht über den Vorspannungswiderstand 89 mit dem positiven Pol 30 in Verbindung. Das Gitter ist durch den Filterwiderstand 90 mit der Anode 81 und außerdem durch die Filterkapazität 91 mit Erde verbunden. Die Anode 87 steht über die Spule des Relais 92 mit dem positiven Pol 30 in Verbindung. Die Spule 92 ist mit einem Anker 93 versehen, welcher ein. Paar gewöhnlich offener Kontakte 94 in dem Stromkreis einer Spannungsquelle 95 und einer Lampe 96 schaltet. Die Röhre 84 ist normalerweise auf Grund des hohen positiven Potentials an der Kathode 85 in, nichtleitendem Zustand. Das Auftreten eines Wechselspannungssignals an dem Gitter 80 von der Sonde 10 her hat keinen Einfluß auf die mittlere Vorspannung an dem Gitter 86 und bleibt daher ohne Wirkung auf den Betriebszustand der Spule. Wenn die Sonde dagegen die P-Region berührt, so tritt eine Gleichrichtung ein, und es wird an der Sonde eine Spannung negativer Polarität erhalten. Diese Spannung macht die Röhre 78 nichtleitend und läßt hierdurch das Potential der Anode 81 ansteigen, so daß das Gitter 86 die Röhre 84 leitend macht. Das Relais 92 wird betätigt, und als Folge hiervon gibt die Lampe 96 eine Anzeige.

Obwohl die Erfindung nur in Verbindung mit einem N-P-N-Transistor beschrieben worden ist, läßt sie sieb in gleicher Weise auch, auf P-N-P-Transistoren und auf andere Halbleiterano'rdnungen anwenden.

Claims (3)

1. Patentansprüche: 1. Gerät zur Lokalisierung

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   eines Bereiches einer bestimmten Leitfähigkeit auf der Oberfläche eines Körpers aus halbleitendlem Material, der an zwei Seiten je an einen Bereich von. entgegengesetztem Leitfähigkeitstyp angrenzt, gekennzeichnet durch eine Sonde, die in gleitendem Kontakt mit diesen Bereichen steht, durch Mittel zum Anlegen einer Wechselspannung bestimmter Frequenz und Phase zwischen einen Punkt vorgegebenen Potentials und einen der beiden Bereiche von entgegengesetztem Leitfähigkeitstyp und Mittel zum Anlegen einer Wechselspannung anderer Phase zwischen den erwähnten Punkt und den anderen der Bereiche entgegengesetzten Leitfähigkeitstyps, so daß bei einem Kontakt zwischen der Sonde und einem der Bereiche entgegengesetzter Leitfähigkeit eine Spannung der erwähnten einen Phase zwischen dem genannten Punkt und der Sonde auftritt, dagegen, bei einem Kontakt zwischen dem anderen Bereich von entgegengesetztem Leitfähigkeitstyp und der Sonde eine Spannung der anderen Phase zwischen, dem Punkt und der Sonde auftritt, ferner durch bewegliche Mittel, die auf die erhaltene Spannung einer der beiden Phasen ansprechen und die Sonde in einer entsprechenden Richtung auf das Gebiet des einen bestimmten Leitfähigkeitstyps zu bewegen.
2. 2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Kontakt zwischen der Sonde und dem Gebiet von dem ersteren Leitfähigkeitstyp eine Spannung von einer anderen Frequenz zwischen dem genannten Punkt und der Sonde auftritt und daß die vorgesehenen beweglichen Mittel nur auf Spannungen der angelegten Frequenz, aber nicht auf Spannungen anderer Frequenzen reagieren.
3. 3. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Kontakt der Sonde mit dem Bereich des ersteren Leitfähigkeitstyps eine Gleichspannung zwischen dem Punkt und der Sonde auftritt und daß die vorgesehenen beweglichen Mittel nur auf Spannungen der angelegten Phase, aber nicht auf die gleichgerichtete Spannung reagieren.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

   © 70S' 548/355 6.5T