DE10080316D2 - Vorrichtung zum Transport von Gegenständen - Google Patents

Vorrichtung zum Transport von Gegenständen

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Publication number: DE10080316D2
Authority: DE; Germany
Prior art keywords: transporting objects; transporting; objects
Prior art date: 1999-02-11
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Application number

DE10080316T

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English (en)

Inventor

Heinz Martin Esser

Ronald Hrga

Franc Sodec

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ORTNER CLS GMBH, 01109 DRESDEN, DE

Original Assignee

Krantz TKT GmbH

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1999-02-11

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2000-01-22

Publication date

2002-03-07

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- H10P72/3216—
- H10P72/3218—
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

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DE10080316T DE10080316D2 (de)	1999-02-11	2000-01-22	Vorrichtung zum Transport von Gegenständen
PCT/DE2000/000187 WO2000048233A1 (de)	1999-02-11	2000-01-22	Vorrichtung zum transport von gegenständen

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EP (1)	EP1155438A1 (de)
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DE (2)	DE19905882C1 (de)
WO (1)	WO2000048233A1 (de)

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1999
- 1999-02-11 DE DE19905882A patent/DE19905882C1/de not_active Expired - Fee Related
2000
- 2000-01-22 AU AU29028/00A patent/AU2902800A/en not_active Abandoned
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- 2000-01-22 EP EP00907437A patent/EP1155438A1/de not_active Withdrawn
- 2000-01-22 DE DE10080316T patent/DE10080316D2/de not_active Expired - Fee Related

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EP1155438A1 (de)	2001-11-21
WO2000048233A1 (de)	2000-08-17
DE19905882C1 (de)	2000-12-21
AU2902800A (en)	2000-08-29

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