DE10064329A1 - Fehleranalyseverfahren, Kompressionsschwellenwertableitungsverfahren und Aufzeichnungsmedium - Google Patents

Abstract

Es wird ein Fehleranalyseverfahren vorgesehen, mit dem eine unkorrekte Erkennung von Fehlerformen verhindert werden kann und Fehlerformen erkannt und klassifiziert werden können mit hoher Genauigkeit. Weiter ist ein Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen des zugehörigen Programms als auch ein Verfahren zum Ableiten von Kompressionsschwellenwerten, die bei dem Fehleranalyseverfahren benutzt werden und ein Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen seines zugehörigen Programms vorgesehen. Insbesondere wird eine Erkennungsregel gelesen (ST1), und eine Mehrzahl von komprimierten FBMs, d. h. Fehlerbitkarten, wird dargestellt (ST2). Nach dem Auswählen eines minderwertigen Erkennungsobjektes (ST3) wird ein vorbestimmter Bereich auf der Grundlage des Einstellens einer Fehlergröße (ST4) ausgewählt, und die Fehlerrate in dem vorbestimmten Bereich wird berechnet (ST5). Darauf folgend wird unter der Bedingung der Fehlerrate und der Bedingung, ob ein minderwertiges Erkennungsobjekt benachbart ist oder nicht, das minderwertige Erkennungsobjekt geschätzt (ST6), und die Fehlerraten der verbleibenden komprimierten FBMs werden berechnet und normalisiert (ST7). Die Fehlerform wird unterschieden durch Zusammentragen der Fehlerraten der entsprechenden komprimierten FBMs zu der Fehlerformbeurteilungsregel.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Fehleranalyse von Halbleitervorrichtungen und insbesondere auf ein Fehlera­ nalyseverfahren für ein Wafer einer Halbleitervorrichtung mit einer Mehrzahl von Speicherzellen, und sie bezieht sich auf ein Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen des zugehörigen Pro­ grammes als auch auf ein Verfahren zum Ableiten von Kompressi­ onsschwellenwerten und auf ein Aufzeichnungsmedium zum Auf­ zeichnen des zugehörigen Programmes.

Als ein Verfahren zum Ausführen einer Fehleranalyse einer Halbleitervorrichtung mit einer Mehrzahl von Speicherzellen (allgemein in einer Matrixform angeordnet) für einen Wafer ist einer, der einen Tester (hier im folgenden als LSI-Tester be­ zeichnet) verwendet worden. Bei diesem Verfahren wird eine Un­ tersuchung der elektrischen Eigenschaft einer jeden Speicher­ zelle auf dem Wafer ausgeführt, und die erfaßte Positionskoor­ dinate einer fehlerhaften Speicherzelle wird in der Form einer Bitkarte (allgemein als "Fehlerbitkarte (FBM)" bezeichnet) oder der Form eines Fehlerpixelmusters in einem Koordinatenbe­ reich angegeben, der durch eine x-Koordinate entlang der Zei­ lenrichtung und eine y-Koordinate entlang der Spaltenrichtung definiert ist. Die Ursache des Fehlers wird auf der Grundlage des minderwertigen Musters der FBM geschätzt.

Zum Schätzen der Ursache des Fehlers unter Benutzung einer FBM wird im allgemeinen zuerst die Fehlerform erkannt (spezifi­ ziert) und dann klassifiziert in Abhängigkeit der Form in "minderwertiger Block", "minderwertige Linie" und "minderwer­ tiges Bit".

Wie es hier benutzt wird, findet "minderwertiger Block" haupt­ sächlich in dem Fall einer Unnormalität auf einer Signallei­ tung, die einer Mehrzahl von Speicherzellen gemeinsam ist, wo­ bei die Signalleitung keine Wortleitung und keine Bitleitung ist, statt. Die gemeinsam mit der Signalleitung verbundenen Speicherzellen werden minderwertig, was in solch einer Form resultiert, daß die fehlerhaften Bit eng zusammen liegen.

Das "fehlerhafte Linie" findet hauptsächlich in dem Fall einer Unnormalität auf einer Wortleitung oder einer Bitleitung statt, und eine Reihe von Speicherzellen, die mit der Wortlei­ tung oder der Bitleitung verbunden sind, werden minderwertig, was in einer Form resultiert, daß die fehlerhaften Bit in ei­ ner Zeilen- oder Linienrichtung angeordnet sind.

Das "minderwertige Bit" findet in dem Fall einer Unnormalität in den einzelnen Speicherzellen statt, was in einer Form re­ sultiert, daß die Speicherzellen mit fehlerhaften Bit gepunk­ tet sind.

Die FBM-Formerkennung ist auf folgende Weise ausgeführt wor­ den. Insbesondere wird eine FBM zeitweilig gemäß einer vorbe­ stimmten Regel komprimiert, und eine rohe Formerkennung der komprimierten FBM wird durchgeführt zum Klassifizieren in "minderwertiger Block", "minderwertige Linie" oder "minderwer­ tiges Bit". Darauf folgend wird eine 1-Bit-Pegelerkennung der erkannten Fehlerfläche zum Erkennen der detaillierten Form durchgeführt (z. B. Fehlergröße).

Wie es hierin benutzt wird, bedeutet der Ausdruck "Komprimie­ ren" die folgende Tätigkeit. Eine FBM wird in eine vorbestimm­ te Fläche unterteilt, z. B. 64 Bit von 8 Bit auf der x- Koordinate × 8 Bit auf der y-Koordinate, und wenn ein Fehler­ bit von 1 Bit oder mehr in der Fläche von 64 Bit vorhanden ist, werden diese 64 Bit in ein Fehlerpixel/Fehlerbildpunkt umgewandelt. Wenn andererseits keine Fehlerbit in der Fläche von 64 Bit vorhanden sind, werden diese 64 Bit in ein Gutpixel umgewandelt. Dieses Beispiel wird im folgenden als der Fall bezeichnet, daß die FBM um 8 × 8 Bit komprimiert wird. Die oben erwähnte vorbestimmte Fläche wird im folgenden als "Kompressi­ onsfläche" bezeichnet.

Auf diese Weise ändert sich jedoch aufgrund der Variationen der Dichte der Fehler die Erkennungsform in Abhängigkeit von der Kompressionsrate, wodurch eine fehlerhafte Erkennung ver­ ursacht wird.

Es wird ein Fall angenommen daß bei einer FBM mit einer Größe von x × y = 32 Bit × 32 Bit nur die linke Seite mit fehlerhaften Bit FB bepunktet ist, wie in Fig. 56 zu sehen ist. Solch eine FBM vor der Kompression, wie sie in Fig. 56 gezeigt ist, wird im folgenden als "ursprüngliche FBM" bezeichnet.

Die ursprüngliche FBM in Fig. 56 wird durch eine 8 × 8 Bit Kom­ pressionsfläche unterteilt und dann komprimiert, so daß eine 4 × 4 Pixelmatrix erhalten wird. Dadurch wird die gesamte linke Spalte der Pixelmatrix ein Fehlerpixel FP, wie in Fig. 57 ge­ zeigt ist, was eine "minderwertige Linie" anzeigt.

Wenn jedoch die ursprüngliche FBM durch 2 × 2 Bit komprimiert wird, wird sie in eine 16 × 16 Pixelmatrix unterteilt. Dadurch wird, wie in Fig. 58 gezeigt ist, die Pixelmatrix mit Fehler­ pixeln FP gepunktet, was ein "minderwertiges Bit" anzeigt.

Daher ist die Aufgabe der Erfindung, die Fehleranalyse einer Halbleitervorrichtung zu verbessern.

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 1.

Daher ist ein erster Aspekt der vorliegenden Erfindung auf ein Fehleranalyseverfahren gerichtet, das eine ursprüngliche Feh­ lerbitkarte benutzt, die auf der Grundlage der Daten über die Position einer Fehlerspeicherzelle mit einer minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzel­ len, die in Matrixform angeordnet sind, vorbereitet wird, in dem die Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit in Biteinhei­ ten verknüpft wird und die Anordnung der Speicherzellen abge­ bildet wird. Das Fehleranalyseverfahren weist die Schritte auf: (a) Darstellen bzw. Vorbereiten verschiedener komprimier­ ter Fehlerbitkarten aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte und (b) Berechnen von Fehlerraten der entsprechenden komprimierten Fehlerbitkarten und Unterscheiden einer Fehlerform auf der Grundlage der Fehlerraten, wobei die komprimierten Fehlerbit­ karten durch die folgenden Schritte dargestellt werden: Unter­ teilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundlage je­ weils einer Mehrzahl von Kompressionsflächen, die verschiedene Größen aufweisen, zum Umwandeln in verschiedene Formen, in de­ nen jeweils eine Mehrzahl von Pixeln gleicher Größe zu ihren entsprechenden Kompressionsflächen angeordnet sind und Be­ trachten der Pixel, die das Fehlerbit enthalten, als ein Feh­ lerpixel, wobei die Fehlerraten durch das Verhältnis des Feh­ lerpixels in einem vorbestimmten Bereich definiert werden.

Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 2.

Daher ist ein zweiter Aspekt der vorliegenden Erfindung auf ein Fehleranalyseverfahren gerichtet, das eine ursprüngliche Fehlerbitkarte benutzt, die dargestellt wird auf der Grundlage der Daten über die Position einer Fehlerspeicherzelle mit ei­ ner minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzellen, die in einer Matrixform angeordnet sind, durch Verknüpfen der Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit in Biteinheiten und Abbilden der Anordnung der Speicherzellen.

Das Fehleranalyseverfahren weist die Schritte auf: (a) Dar­ stellen/Vorbereiten verschiedener komprimierter Fehlerbitkar­ ten aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte und (b) Berechnen von Fehlerraten der entsprechenden komprimierten Fehlerbitkar­ ten und Unterscheiden einer Fehlerform auf der Grundlage der Fehlerraten, wobei die komprimierten Fehlerbitkarten darge­ stellt werden durch die folgenden Schritte: Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundlage einer vorbe­ stimmten Kompressionsfläche zum Umwandeln in solch eine Form, daß eine Mehrzahl von Pixeln gleicher Größe zu der Kompressi­ onsfläche; Beurteilen auf der Grundlage eines jeden einer Mehrzahl von Kompressionsschwellenwerten, die die Zahl der Fehlerbit in den Pixeln definieren, ob die Pixel fehlerhaft sind, und Betrachten der Pixel, die eine Zahl der Fehlerbit entsprechend ihrer jeweiligen Kompressionsschwellenwerten ent­ halten, als Fehlerpixel, wobei die Fehlerraten durch das Ver­ hältnis des Fehlerpixels in einem vorbestimmten Bereich defi­ niert ist.

Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 3.

Daher ist ein dritter Aspekt der Erfindung auf ein Fehlerana­ lyseverfahren gerichtet, das eine ursprüngliche Fehlerbitkarte benutzt, die dargestellt wird auf der Grundlage der Daten über die Position einer Fehlerspeicherzelle mit einer minderwerti­ gen elektrischen Eigenschaft in einer Mehrzahl von Speicher­ zellen, die in Matrixform angeordnet sind, durch Verknüpfen der Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit in Biteinheiten und Abbilden der Anordnung der Speicherzellen. Das Fehlerana­ lyseverfahren weist die Schritte auf: (a) Darstel­ len/Vorbereiten verschiedener komprimierter Fehlerbitkarten aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte und (b) Berechnen von Fehlerbitraten der entsprechenden komprimierten Fehlerbitkar­ ten und Unterscheiden einer Fehlerform auf der Grundlage der Fehlerrate, wobei die komprimierten Fehlerbitkarten darge­ stellt werden durch die folgenden Schritte: Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundlage jeweils einer Mehrzahl von Kompressionsflächen mit verschiedenen Größen zum Umwandeln in verschiedene Formen, in denen jeweils eine Mehr­ zahl von Pixeln einer gleichen Größe zu ihren entsprechenden Kompressionsflächen angeordnet ist; auf der Grundlage jeweils einer Mehrzahl von Kompressionsschwellenwerten, die die Zahl der Fehlerbit in den Pixel definieren, ob die Pixel fehlerhaft sind, und Betrachten der Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der Fehlerbit enthalten, die ihren entsprechenden Kom­ pressionsschwellenwerten entsprachen, als ein Fehlerpixel, wo­ bei die Fehlerraten durch das Verhältnis des Fehlerpixel in einem vorbestimmten Bereich definiert wird.

Gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält der Schritt (b) des Verfahrens nach einem des ersten bis drit­ ten Aspektes die Schritte: (b-1) indem als eine Referenzfeh­ lerrate die Fehlerrate über eine der komprimierten Fehlerbit­ karten benutzt wird, Schätzen einer Fehlerform durch Zusammen­ tragen von mindestens einer Fehlerrate zum Unterscheiden einer Fehlerform mit der Referenzfehlerrate; (b-2) Erzielen von In­ dexwerten für eine Fehlerformbeurteilung durch Standardisie­ rung der Fehlerraten der Rest der komprimierten Fehlerbitkar­ ten, in dem die Referenzfehlerrate als Nenner benutzt wird; (b-3) Zusammentragen der Indexwerte mit einer vorbestimmten Fehlerformbeurteilungsregel zum Erzielen eines Resultates und Unterscheiden einer Fehlerform auf der Grundlage des Resulta­ tes und des Resultates der Fehlerformschätzung in Schritt (b- 1).

Gemäß einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält der Schritt (b) des Verfahrens des vierten Aspektes den Schritt des Beurteilens, ob das Fehlerpixel in dem vorbestimm­ ten Bereich benachbart zu dem Fehlerpixel in einem Bereich ist, der nicht der vorbestimmte Bereich ist, und der Schritt (b-1) führt eine Fehlerformschätzung auf der Grundlage des Re­ sultates des Zusammentragens zwischen der vorbestimmten Feh­ lerrate und der Referenzfehlerrate und dem Resultat des Beur­ teilungsschrittes durch.

Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Verfahren des Ableitens eines Kompressionsschwellenwertes nach Anspruch 7.

Daher ist ein sechster Aspekt der vorliegenden Erfindung auf ein Verfahren zum Ableiten eines Kompressionsschwellenwertes gerichtet, der bei einem Fehleranalyseverfahren benutzt wird, das eine ursprüngliche Fehlerbitkarte benutzt, die dargestellt wird auf der Grundlage von Daten über die Position einer Feh­ lerspeicherzelle mit einer minderwertigen elektrischen Charak­ teristik aus einer Mehrzahl von Speicherzellen, die in Matrix­ form angeordnet sind, in dem die Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit in Biteinheiten umgewandelt wird und auf die Anord­ nung der Speicherzellen abgebildet wird. Das Verfahren zum Ab­ leiten eines Kompressionsschwellenwertes weist die Schritte auf: (a) Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundlage einer vorbestimmten Kompressionsfläche und Umwandeln in solch eine Form, daß eine Mehrzahl von Pixeln gleicher Grö­ ße zu der Kompressionsfläche angeordnet werden; (b) Zählen pro Pixel der Fehlerbit in den Pixeln; und (c) Erzielen der Cha­ rakteristik der Existenz der Fehlerbit, die ausgedrückt wird durch die Zahl der Pixel zu der Zahl der Fehlerbit in den Pi­ xeln und dadurch Berechnen auf der Grundlage der Charakteri­ stik der Existenz der Kompressionsschwellenwerte.

Gemäß einem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält der Schritt (c) den Schritt des Nehmens einer Zählung der Pi­ xel, wobei gestartet wird, wenn die Zahl der Fehlerbit gleich 1 ist, und Annehmen als den Kompressionsschwellenwert der Zahl der Fehlerbit, wenn die Zahl der Pixel zuerst einen Minimal­ wert erreicht.

Ein achter Aspekt der vorliegenden Erfindung ist auf ein com­ puterlesbares Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen eines Pro­ grammes gerichtet, das einem Computer ermöglicht, ein Verfah­ ren des Ableitens von Kompressionsschwellenwerten des sechsten oder siebten Aspektes auszuführen.

Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 10.

Daher ist ein neunter Aspekt der vorliegenden Erfindung auf ein Fehleranalyseverfahren gerichtet, das eine ursprüngliche Fehlerbitkarte benutzt, die dargestellt wird auf der Grundlage von Daten über die Position einer Fehlerspeicherzelle mit ei­ ner minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzellen, die in einer Matrixform angeordnet sind, in dem die Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit in Bitein­ heiten verknüpft wird und auf die Anordnung der Speicherzellen abgebildet wird. Das Fehleranalyseverfahren weist die Schritte auf: (a) Darstellen/Vorbereiten von komprimierten Fehlerbit­ karten aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte und (b) Extrahie­ ren der Fehlerbit in einem vorbestimmten Bereich in der kom­ primierten Fehlerbitkarte als Fehlerbit der gleichen Gruppe, wobei die komprimierte Fehlerbitkarte dargestellt wird durch die folgenden Schritte: Unterteilen der ursprünglichen Fehler­ bitkarte auf der Grundlage jeweils einer Mehrzahl von Kompres­ sionsflächen, von denen jede eine vorbestimmte Größe aufweist, zum Umwandeln in eine Form, in der eine Mehrzahl von Pixeln gleicher Größe zu ihren Kompressionsflächen angeordnet sind; Beurteilen auf der Grundlage von jeweils einer Mehrzahl von Kompressionsschwellenwerten, die die Zahl der Fehlerbit in den Pixeln definieren, ob die Pixel fehlerhaft sind, und Betrach­ ten der Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der Fehlerbit entsprechend ihren jeweiligen Kompressionsschwellenwerten als Fehlerpixel, und wobei der Schritt (a) den Schritt des Kompri­ mierens der ursprünglichen Fehlerbitkarte aufweist, in dem der Kompressionsschwellenwert benutzt wird, wobei der vorbestimmte Bereich durch die vorbestimmte Zahl von Pixeln definiert wird, und der Schritt (b) den Schritt des Beurteilens der Fehlerpi­ xel in der vorbestimmten Zahl von Pixeln als Pixel in der gleichen Gruppe aufweist und Extrahieren der Fehlerbit, die in der Gruppe enthalten sind als der Bit der gleichen Gruppe.

Gemäß einem zehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist das Verfahren nach dem Schritt (b) den Schritt (c) auf des Darstellens einer bearbeiteten ursprünglichen Fehlerbitkarte durch Entfernen der Fehlerbit, die aus der gleichen Gruppe ex­ trahiert sind, aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte, wobei die Schritte (a) bis (c) eine vorbestimmte Anzahl von Vorgän­ gen wiederholt werden zum Extrahieren der Fehlerbit einer an­ deren Gruppe, und bei dem zweiten Mal und den folgenden Malen stellt der Schritt (a) die komprimierte Fehlerbitkarte dar auf der Grundlage der bearbeiteten ursprünglichen Fehlerbitkarte anstelle der ursprünglichen Fehlerbitkarte.

Gemäß einem elften Aspekt der vorliegenden Erfindung weist das Verfahren weiter den Schritt (c) auf des Prüfens einer Betei­ ligungsbeziehung zwischen dem Fehlerbit, der in der gleichen Gruppe enthalten ist, und dem Fehlerbit in der anderen Gruppe nach dem Wiederholen der Schritte (a) und (b) eine vorbestimm­ te Anzahl, worin der Schritt (c) den Schritt des Definierens einer beteiligenden Gruppe und einer beteiligten Gruppe auf­ weist durch Vergleichen der Koordinaten von Flächen des Bil­ dens der Fehlerbit, die die Gruppen in der komprimierten Feh­ lerbitkarte aufbauen.

Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 18.

Daher ist ein zwölfter Aspekt der vorliegenden Erfindung auf ein Fehleranalyseverfahren gerichtet, das eine ursprüngliche Fehlerbitkarte benutzt, die dargestellt wird auf der Grundlage der Daten über die Position einer Fehlerspeicherzelle mit ei­ ner minderwertigen elektrischen Charakteristik aus einer Mehr­ zahl von Speicherzellen, die in einer Matrixform angeordnet sind, durch Verknüpfen einer Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit in Biteinheiten und Abbilden auf die Anordnung von Speicherzellen. Das Fehleranalyseverfahren weist die Schritte auf: (a) Darstellen/Vorbereiten einer komprimierten Fehlerbit­ karte aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte; (b) Darstellen einer wiederholt komprimierten Fehlerbitkarte durch weiteres Komprimieren der komprimierten Fehlerbitkarte um eine vorbe­ stimmte Anzahl; und (c) Extrahieren der Fehlerbit innerhalb eines vorbestimmten Bereiches in der wiederholt komprimierten Fehlerbitkarte als Fehlerbit der gleichen Gruppe, wobei die komprimierten Fehlerbitkarten dargestellt werden durch die folgenden Schritte: Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbit­ karte auf der Grundlage einer ersten Kompressionsfläche, die jeweils eine vorbestimmte Größe aufweisen, zum Umwandeln in eine Form, in der das erste Pixel einer gleichen Größe zu der ersten Kompressionsfläche angeordnet sind; Beurteilen auf der Grundlage des ersten Kompressionsschwellenwertes, der die Zahl der Fehlerbit in dem ersten Pixel definiert, ob das erste Pi­ xel ein Fehler ist, und Betrachten des ersten Pixels, das nicht weniger als eine Zahl der Fehlerbit enthält, die den er­ sten Kompressionsschwellenwerten entsprechen, als erstes Feh­ lerpixel, und wobei die wiederholt komprimierten Fehlerbitkar­ ten dargestellt werden durch die folgenden Schritte: Untertei­ len der Kompressionsfehlerbitkarte auf der Grundlage einer zweiten Kompressionsfläche mit einer vorbestimmten Größe; zum Umwandeln in eine Form, in der das zweite Pixel einer gleichen Größe zu der zweiten Kompressionsfläche angeordnet sind; Beur­ teilen auf der Grundlage des zweiten Kompressionsschwellen­ wert, der die Zahl der ersten Pixel in dem zweiten Pixel defi­ niert, ob das zweite Pixel fehlerhaft ist, und Betrachten der zweiten Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der ersten Feh­ lerpixel entsprechend den zweiten Kompressionsschwellenwerten enthalten als ein zweites Fehlerpixel, und wobei der Schritt (a) den Schritt enthält des Komprimierens der ursprünglichen Fehlerbitkarte unter Benutzung der ersten Kompressionsfläche und des ersten Kompressionsschwellenwertes, der Schritt (b) den Schritt enthält des Komprimierens der komprimierten Feh­ lerbitkarte durch Benutzen der zweiten Kompressionsfläche und des zweiten Kompressionsschwellenwertes, wobei der vorbestimm­ te Bereich durch die vorbestimmte Zahl der zweiten Pixel defi­ niert wird, und der Schritt (c) den Schritt enthält des Beur­ teilens der zweiten Fehlerpixel, die innerhalb der vorbestimm­ ten Zahl von Pixeln vorhanden sind, als Pixel der gleichen Gruppe und Extrahieren der Fehlerbit, die in der Gruppe ent­ halten sind, als Bit in der gleichen Gruppe.

Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist das Verfahren weiter den Schritt (d) auf des Prüfens einer Be­ teiligungsbeziehung zwischen dem Fehlerbit, das in der glei­ chen Gruppe enthalten ist, und dem Fehlerbit in der anderen Gruppe, nachdem die Schritte (a) bis (c) eine voreingestellte Anzahl mal ausgeführt sind, worin der Schritt (d) den Schritt aufweist des Definierens einer beteiligenden Gruppe und einer beteiligten Gruppe durch Vergleichen von Koordinaten von Flä­ chen, die die zweiten Fehlerbit bilden, die die Gruppen in der wiederholt komprimierten Fehlerbitkarte aufbauen.

Gemäß einem vierzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist das Verfahren weiter den Schritt des Anzeigens nur der Fehlerbit in der gleichen Gruppe auf einer Fehlerbitkarte auf.

Gemäß einem fünfzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist das Verfahren weiter den Schritt des gleichzeitigen An­ zeigens der Fehlerbit in der gleichen Gruppe und der Fehlerbit in der anderen Gruppe in einer anderen Anzeigefarbe auf einer Fehlerbitkarte auf.

Gemäß einem sechzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das Fehleranalyseverfahren ausgeführt auf einer Mehrzahl von Wafern und weist weiter den Schritt auf des Unterteilens von jedem der Mehrzahl von Wafern in eine Mehrzahl von konzentri­ schen ringförmigen Flächen durch Benutzen eines Wafermittelab­ schnitt als eine Zentrumsfläche und Zählen der Zahl der Feh­ lerbit in der gleichen Gruppe und der der Fehlerbit in der an­ deren Gruppe, die in jeder der Mehrzahl von konzentrischen ringförmigen Flächen eines jeden der Mehrzahl von Wafern ent­ halten sind.

Gemäß einem siebzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das Fehleranalyseverfahren ausgeführt auf einer Mehrzahl von Wafern und weist weiter den Schritt auf des radialen Untertei­ lens eines jeden der Mehrzahl von Wafern in eine Mehrzahl von Flächen in jeweils vorbestimmtem Winkel unter Benutzung eines Wafermittelabschnittes als ein Zentrum und Zählen der Zahl der Fehlerbit in der gleichen Gruppe und der der Fehlerbit in der anderen Gruppe in jeder der Mehrzahl von radialen Flächen in jedem der Mehrzahl von Wafern.

Ein achtzehnter Aspekt der vorliegenden Erfindung ist auf ein computerlesbares Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen eines Programmes gerichtet, das einem Computer ermöglicht zum Aus­ führen eines Fehleranalyseverfahrens nach einem des ersten bis fünften und neunten bis dreizehnten Aspektes.

Weitere bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Gemäß dem Fehleranalyseverfahren des ersten Aspektes wird eine Mehrzahl von komprimierten Fehlerbitkarten mit verschiedenen Kompressionsflächen als Kompressionsbedingungen hergestellt, und Fehlerformen werden auf der Grundlage ihrer entsprechenden Fehlerraten beurteilt. Dieses ermöglicht es, mehr Arten von Fehlerformen zu unterscheiden und die Klassifizierungsgenauig­ keit von Fehlerformen zu vergrößern im Vergleich mit dem Fall, in dem die Fehlerformen nur durch die Fehlerrate der kompri­ mierten Fehlerbitkarte beurteilt wird, die unter einer einzel­ nen Kompressionsbedingung gebildet wurde.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des zweiten Aspektes wird eine Mehrzahl von komprimierten Fehlerbitkarten mit verschiedenen Kompressionsschwellenwerten als Kompressionsbedingungen herge­ stellt, und die Fehlerformen werden auf der Grundlage ihrer entsprechenden Fehlerraten beurteilt. Dieses ermöglicht eine Erkennung, die die Dichte der Fehler in Betracht zieht und ebenfalls ermöglicht, die inkorrekte Erkennung von Fehlerfor­ men zu verringern und die Klassifizierungsgenauigkeit von Feh­ lerform zu vergrößern im Vergleich mit dem Fall, in dem die Fehlerformen nur durch die Fehlerrate der komprimierten Feh­ lerbitkarte beurteilt wird, die unter einer einzelnen Kompres­ sionsbedingung dargestellt wurde.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des dritten Aspektes wird eine Mehrzahl von komprimierten Fehlerbitkarten mit verschiedenen Kompressionsflächen und verschiedenen Kompressionsschwellen­ werten als Kompressionsbedingungen hergestellt, und Fehlerfor­ men werden auf der Grundlage ihrer entsprechenden Fehlerraten beurteilt. Dieses ermöglicht es, mehr Arten von Fehlerformen zu unterscheiden und die Klassifizierungsgenauigkeit der Feh­ lerform zu vergrößern im Vergleich mit dem Fall, in dem nur eine Kompressionsfläche oder nur ein Kompressionsschwellenwert als Kompressionsbedingung verwendet wird.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des vierten Aspektes werden Fehlerformen unterschieden durch Zusammentragen der normali­ sierten Fehlerraten zu der Fehlerformbeurteilungsregel bzw. Vergleichen der normalisierten Fehlerraten mit der Fehlerbeur­ teilungsregel. Dadurch kann das Einstellen der Werte der Feh­ lerformbeurteilungsregel einfach gemacht werden, wodurch das Einstellen der Fehlerformbeurteilungsregel erleichtert wird.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des fünften Aspektes kann die Schätzgenauigkeit der Fehlerform vergrößert werden, da zum Beispiel "minderwertige Linie" geschätzt werden kann, wenn keine Fehlerpixel benachbart zu dem vorhanden sind, das außer­ halb eines vorbestimmten Bereiches existiert, und "minderwer­ tiger Block" oder "minderwertiges Bit" kann geschätzt werden, wenn ein Fehlerpixel benachbart zu dem vorhanden ist, das au­ ßerhalb des vorbestimmten Bereiches existiert.

Mit dem Verfahren des Ableitens von Kompressionsschwellenwer­ ten nach dem sechsten Aspekt kann ein Schwellenwert, der in der Lage ist, minderwertige Bit zu ignorieren, die zufällig auftreten, durch Berechnen eines Kompressionsschwellenwertes aus der Eigenschaft der Existenz der Fehlerbit erhalten wer­ den, die in einem Pixel enthalten sind.

Mit dem Verfahren des Ableitens von Kompressionsschwellenwer­ ten nach dem siebten Aspekt kann ein konkreter Kompressionsschwellenwert aus der Eigenschaft des Vorhandenseins der Feh­ lerbit berechnet werden.

Das Aufzeichnungsmedium des achten Aspektes realisiert ein Verfahren zum Ableiten eines Kompressionsschwellenwertes, der automatisch einen Schwellenwert erhalten kann, mit dem man minderwertige Bit ignorieren kann, die zufällig auftreten.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des neunten Aspektes wird beur­ teilt, ob die Pixel fehlerhaft sind, auf der Grundlage des Kompressionsschwellenwertes, komprimierte Fehlerbitkarten wer­ den dargestellt in Hinblick auf die Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der Fehlerbit enthalten, die ihren entsprechen­ den Kompressionsschwellenwerten entsprechen, als ein Fehlerpi­ xel, und die Fehlerpixel in der vorbestimmten Zahl von Pixeln werden als in der gleichen Gruppe beurteilt, und die Fehlerbit in der Gruppe werden in der gleichen Gruppe extrahiert. Dieses ermöglicht das Gruppieren von Flächen mit verschiedenen Dich­ ten von Fehlern als verschiedene Gruppen, und es ermöglicht das Identifizieren der Ursachen der Fehler durch Klassifizie­ ren der Fehlerformen durch die Gruppe nach dem Gruppieren.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des zehnten Aspektes wird wei­ ter ein Schritt (c) vorgesehen des Darstellens einer bearbei­ teten ursprünglichen Fehlerbitkarte durch Ausschließen der Fehlerbit, die aus der gleichen Gruppe von der ursprünglichen Fehlerbitkarte extrahiert sind. Nachdem die Schritte (a) bis (c) eine vorbestimmte Zahl mal wiederholt worden sind, stellt in dem zweiten und folgenden mal der Schritt (a) die kompri­ mierte Fehlerbitkarte auf der Grundlage der bearbeiteten ur­ sprünglichen Fehlerbitkarte anstelle der ursprünglichen Feh­ lerbitkarte dar. Dieses ermöglicht es, aufeinanderfolgend nur solche unbearbeiteten Gruppen zu gruppieren, wodurch das Grup­ pieren von jeweiligen Fehlerbit, die unabhängig voneinander existieren, wirksam ausgeführt werden kann.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des elften Aspektes wird eine Beteiligungsbeziehung oder eine Beziehung des Enthaltenseins zwischen dem Fehlerbit, das in der gleichen Gruppe enthalten ist, und dem Fehlerbit in der anderen Gruppe definiert, nach­ dem die Schritte (a) und (b) eine vorbestimmte Zahl mal wie­ derholt worden sind, in dem die Koordinaten von Flächen zum Bilden der Fehlerpixel verglichen werden. Dieses ermöglicht es zum Beispiel die Verteilung der Dichte der Fehlerbit zu erken­ ne, wodurch wirksam Beurteilungsmaterial zum Identifizieren der Ursachen des Fehlers erhalten werden kann.

Gemäß dem Fehleranalyseverfahren des zwölften Aspektes werden ursprüngliche Fehlerbitkarten auf der Grundlage einer ersten Kompressionsfläche mit einer vorbestimmten Größe unterteilt, es wird beurteilt, ob die Pixel fehlerhaft sind auf der Grund­ lage eines ersten Kompressionsschwellenwertes, und komprimier­ te Fehlerbitkarten werden in Hinblick auf das erste Pixel dar­ gestellt, das nicht weniger als eine Zahl von Fehlerbit ent­ hält, die dem ersten Kompressionsschwellenwert entspricht, als erstes Fehlerpixel, komprimierte Fehlerbitkarten werden auf der Grundlage einer zweiten Kompressionsfläche mit einer vor­ bestimmten Größe unterteilt; es wird beurteilt, ob die Pixel fehlerhaft sind auf der Grundlage eines zweiten Kompressions­ schwellenwertes, und wiederholt komprimierte Fehlerbitkarten werden in Hinblick auf das zweite Pixel dargestellt, das nicht weniger als eine Zahl der ersten Fehlerpixel entsprechend dem zweiten Kompressionsschwellenwert enthält, als ein zweites Fehlerpixel. Die zweiten Fehlerpixel in der vorbestimmten Zahl von Fehlerpixeln werden in der gleichen Gruppe beurteilt, und die Fehlerbit, die in der Gruppe enthalten sind, werden als Bit der gleichen Gruppe extrahiert. Dieses ermöglicht das Gruppieren von Flächen mit verschiedenen Fehlerformen als ver­ schiedene Gruppen, wodurch das Identifizieren der Ursache des Fehlers wirksam ermöglicht wird, indem Fehlerformen durch die Gruppe nach dem Gruppieren klassifiziert werden.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des dreizehnten Aspektes wird ein Beteiligungsverhältnis (Verhältnis des Enthaltenseins) zwischen dem Fehlerbit, das in der gleichen Gruppe enthalten ist, und dem Fehlerbit in der anderen Gruppe definiert, nachdem die Schritte (a) bis (c) eine vorbestimmte Zahl mal durch Vergleichen der Koordinaten der Flächen zum Bilden der zweiten Fehlerpixel wiederholt sind. Dieses ermöglicht zum Beispiel die Positionsbeziehung von Flächen mit verschiedenen Fehler­ formen zu erkennen, wodurch wirksam Beurteilungsmaterial er­ halten werden kann zum Identifizieren der Ursachen des Feh­ lers.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des vierzehnten Aspektes kann durch Anzeigen nur des Fehlerbit in der gleichen Gruppe auf einer Fehlerbitkarte eine Beurteilung durchgeführt werden auf der Grundlage von jeweils einer Mehrzahl von Kompressions­ schwellenwerten, die die Zahl der Fehlerbit in den Pixeln de­ finieren, ob die Pixel fehlerhaft sind, und in Hinblick auf die Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der Fehlerbit ent­ sprechen ihren entsprechenden Kompressionsschwellenwerten als Fehlerpixel.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des fünfzehnten Aspektes kann durch Anzeigen des Fehlerbit in der gleichen Gruppe und des Fehlerbit in der anderen Gruppe in verschiedenen Anzeigenfar­ ben auf einer Fehlerbitkarte eine Beurteilung durchgeführt werden auf der Grundlage von jeweils einer Mehrzahl von Kom­ pressionsschwellenwerten, die die Zahl der Fehlerbit in den Pixeln definieren, ob die Pixel fehlerhaft sind, und in Hin­ blick auf die Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der Feh­ lerbit entsprechend ihren entsprechenden Kompressionsschwel­ lenwerten als ein Fehlerpixel.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des sechzehnten Aspektes wird jeder der Mehrzahl von Wafern in eine Mehrzahl von konzentri­ schen ringförmigen Flächen unterteilt, in dem ein Abschnitt des Waferzentrums als eine Zentrumsfläche benutzt wird, und die Zahl der Fehlerbit in der gleichen Gruppe und die der Feh­ lerbit in der anderen Gruppe werden in jeder der Mehrzahl von konzentrischen ringförmigen Flächen in jedem der Mehrzahl von Wafer gezählt. Dieses ermöglicht es, visuell die statistische Verteilung von Fehlergruppen zu erkennen, in dem das obige Zählresultat in einem Diagramm dargestellt wird.

Mit dem Fehleranalyseverfahren des siebzehnten Aspektes wird jeder einer Mehrzahl von Wafern in eine Mehrzahl von radialen Flächen unterteilt, die jeweils in einem vorbestimmten Winkel angeordnet sind, indem das Waferzentrum als ein Zentrum be­ nutzt wird, und die Zahl der Fehlerbit in der gleichen Gruppe und die der Fehlerbit in der anderen Gruppe werden in jeder der Mehrzahl von radialen Flächen gezählt. Dieses ermöglicht es, visuell die statistische Verteilung der Fehlergruppen zu erkennen, indem das obige Zählresultat in einem Diagramm dar­ gestellt wird.

Mit dem Aufzeichnungsmedium des achtzehnten Aspektes können, wenn mit dem Fall verglichen wird, daß Fehlerformen nur durch die Fehlerrate der komprimierten Fehlerbitkarte unterschieden werden, die unter einer einzelnen Kompressionsbedingung darge­ stellt wird, mehr Arten von Fehlerformen unterschieden werden, wodurch ein Fehleranalyseverfahren mit verbesserter Klassifi­ zierungsgenauigkeit der Fehlerformen realisiert wird. Durch Darstellen einer Mehrzahl von komprimierten Fehlerbitkarten mit geänderter Kompressionsbedingung und Extrahieren der Feh­ lerbit in der vorbestimmten Zahl von Bit in der gleichen Grup­ pe ist das Gruppieren der Fehlerbit möglich, wodurch eine wirksame Identifizierung der Ursache der Fehler durch Klassi­ fizieren der Fehlerformen durch die Gruppe nach dem Gruppieren ermöglicht wird.

Es ist ein Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Feh­ leranalyseverfahren vorgesehen wird, mit dem eine unkorrekte Erkennung von Fehlerformen verhindert wird und Fehlerformen mit hoher Genauigkeit erkannt und klassifiziert werden.

Es können verschiedene Fehler zufällig auf einem Wafer oder in einem bestimmten Gebiet dicht auftreten.

Es ist wichtig, die dicht auftretenden Fehler zu gruppieren, die als Gruppe auftreten, damit die Ursache des Fehlers ange­ geben werden kann. Es ist ein Verfahren zum Angeben eines Ab­ standes von einem Fehlerbit durchgeführt worden, und das Grup­ pieren von Fehlern in dem Abstand wurde angenommen.

Dieses Verfahren weist jedoch ein Problem derart auf, daß, wenn die Fehlerauftrittsdichte variiert, der spezielle Abstand zu ändern ist, und es ist schwierig den speziellen Abstand einzustellen.

Es ist daher ein Vorteil des Fehleranalyseverfahrens, daß es leicht Fehler gruppieren kann, die dicht auftreten.

Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung der Ausführungsbeispiele der Erfin­ dung anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:

Fig. 1 ein Bild, das eine Systemkonfiguration zum Ausführen eines Fehleranalyseverfahrens gemäß einer Ausführungsform der vorliegen­ den Erfindung darstellt;

Fig. 2 ein Flußdiagramm, das ein Fehleranalyse­ verfahren gemäß einer ersten Ausführungs­ form der Erfindung darstellt;

Fig. 3 ein Bild, das ein Beispiel von Erkennungs­ regeln darstellt, die bei dem obigen Feh­ leranalyseverfahren benutzt werden;

Fig. 4A bis 4C Bilder von ursprünglichen FBMs, die das obige Fehleranalyseverfahren darstellen;

Fig. 5A bis 5C, 6A bis 6C und 7A bis 7C Bilder von komprimierten FBMs, die das obige Fehleranalyseverfahren darstellen;

Fig. 8 ein Flußdiagramm, das ein Fehleranalyse­ verfahren gemäß einer zweiten Ausführungs­ form darstellt;

Fig. 9 ein Bild, das ein Beispiel von Erkennungs­ regeln darstellt, die bei dem Fehleranaly­ severfahren der zweiten Ausführungsform benutzt werden;

Fig. 10A u. 10B Bilder von ursprünglichen FBMs, die das Fehleranalyseverfahren der zweiten Ausfüh­ rungsform darstellen;

Fig. 10A, 10B, 12A und 12B Bilder von komprimierten FBMs, die das Fehleranalyseverfahren der zweiten Ausfüh­ rungsform darstellen;

Fig. 13 ein Flußdiagramm, das ein Fehleranalyse­ verfahren gemäß einer dritten Ausführungs­ form darstellt;

Fig. 14 ein Bild, das ein Beispiel von Erkennungs­ regeln darstellt, die bei dem Fehleranaly­ severfahren der dritten Ausführungsform benutzt werden;

Fig. 15A u. 15B Bilder von ursprünglichen FBMs, die ein Verfahren des Ableitens von Kompressions­ schwellenwerten gemäß einer vierten Aus­ führungsform darstellen;

Fig. 16 ein Flußdiagramm, das das Verfahren der vierten Ausführungsform darstellt;

Fig. 17A, 17B u. 18 Bilder, die das Verfahren der vierten Aus­ führungsform darstellen;

Fig. 19 ein Bild eines Aussehens eines Computersy­ stemes, mit dem ein Fehleranalyseverfahren realisiert wird;

Fig. 20 ein Bild, das einen Aufbau des obigen Com­ putersystems darstellt;

Fig. 21 ein Bild, das eine ursprüngliche FBM zum Erläutern eines Fehleranalyseverfahrens einer fünften Ausführungsform zeigt;

Fig. 22 ein Bild, das speziell einen Teil der ur­ sprünglichen FBM zum Erläutern des Feh­ leranalyseverfahrens der fünften Ausfüh­ rungsform zeigt;

Fig. 23 ein Flußdiagramm, das das Fehleranalyse­ verfahren der fünften Ausführungsform dar­ stellt;

Fig. 24 ein Bild, das eine komprimierte FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfahrens der fünften Ausführungsform zeigt;

Fig. 25 ein Bild, das eine verarbeitete ursprüng­ liche FBM der fünften Ausführungsform zeigt;

Fig. 26 ein Bild, das speziell einen Teil der ur­ sprünglichen FBM zum Erläutern des Feh­ leranalyseverfahrens der fünften Ausfüh­ rungsform zeigt;

Fig. 27 ein Bild, das eine komprimierte FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfahrens der fünften Ausführungsform zeigt;

Fig. 28 ein Bild, das eine ursprüngliche FBM einer sechsten Ausführungsform zeigt;

Fig. 29 ein Bild, das speziell ein Teil der ur­ sprünglichen FBM zum Erläutern eines Feh­ leranalyseverfahrens der sechsten Ausfüh­ rungsform zeigt;

Fig. 30 ein Flußdiagramm zum Erläutern des Feh­ leranalyseverfahrens der sechsten Ausfüh­ rungsform;

Fig. 31 ein Bild, das eine komprimierte FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfahrens der sechsten Ausführungsform zeigt;

Fig. 32 ein Bild, das eine komprimierte FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfahrens der sechsten Ausführungsform zeigt;

Fig. 33 ein Bild, das das Beteiligungsverhältnis von Fehlergruppen und ein Klassifikations­ resultat von Fehlerbitformen zeigt;

Fig. 34 ein Bild, das eine ursprüngliche FBM einer siebten Ausführungsform zeigt;

Fig. 35 ein Bild, das speziell einen Teil der ur­ sprünglichen FBM zum Erläutern eines Feh­ leranalyseverfahrens der siebten Ausfüh­ rungsform zeigt;

Fig. 36 ein Diagramm, das speziell einen Teil der ursprünglichen FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfahrens der siebten Ausfüh­ rungsform zeigt;

Fig. 37 ein Schlußdiagramm zum Erläutern des Feh­ leranalyseverfahrens der siebten Ausfüh­ rungsform;

Fig. 38 ein Flußdiagramm zum Erläutern des Feh­ leranalyseverfahrens der siebten Ausfüh­ rungsform;

Fig. 39 ein Bild, das eine komprimierte FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfahrens der siebten Ausführungsform zeigt;

Fig. 40 ein Bild, das speziell einen Teil der kom­ primierten FBM zum Erläutern des Fehlera­ nalyseverfahrens der siebten Ausführungs­ form zeigt;

Fig. 41 ein Bild, das eine wiederholt komprimierte FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfah­ rens der siebten Ausführungsform zeigt;

Fig. 42 ein Bild, das eine komprimierte FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfahrens der siebten Ausführungsform zeigt;

Fig. 43 ein Bild, das speziell einen Teil der kom­ primierten FBM zum Erläutern des Fehlera­ nalyseverfahrens der siebten Ausführungs­ form zeigt;

Fig. 44 ein Bild, das eine wiederholt komprimierte FBM zum Erläutern des Fehleranalyseverfah­ rens der siebten Ausführungsform zeigt;

Fig. 45 ein Bild zum Erläutern eines Verfahrens zum Ableiten eines Kompressionsschwellen­ wert in einer achten Ausführungsform;

Fig. 46 ein Bild, das eine verarbeitete ursprüng­ liche FBM in einem Beispiel des Anzeigens eines Fehleranalyseresultates zeigt;

Fig. 47 ein Bild, das eine bearbeitete ursprüngli­ che FBM in einem Beispiel des Anzeigens eines Fehleranalyseresultates zeigt;

Fig. 48 ein Bild, das speziell einen Teil der be­ arbeiteten ursprünglichen FBM in einem Beispiel des Anzeigens eines Fehleranaly­ seresultates zeigt;

Fig. 49 ein Diagramm, das speziell einen Teil der bearbeiteten ursprünglichen FBM in einem Beispiel des Anzeigens eines Fehleranaly­ seresultates zeigt;

Fig. 50 ein Bild, das eine Flächenunterteilung ei­ nes Wafers zeigt, die zum Berechnen eines Fehleranalyseresultates benutzt wird;

Fig. 51 ein Diagramm, das ein Fehleranalyseresul­ tat zeigt;

Fig. 52 ein Diagramm, das ein Fehleranalyseresul­ tat zeigt;

Fig. 53 ein Bild, das eine Flächenunterteilung ei­ nes Wafers zeigt, die zum Berechnen eines Fehleranalyseresultates benutzt wird;

Fig. 54 ein Diagramm, das ein Fehleranalyseresul­ tat zeigt;

Fig. 55 ein Diagramm, das ein Fehleranalyseresul­ tat zeigt;

Fig. 56 ein Bild, das eine ursprüngliche FBM zum Erläutern eines Problemes eines Fehlerana­ lyseverfahrens zeigt;

Fig. 57 ein Bild, das eine komprimierte FBM zum Erläutern eines Problemes eines Fehlerana­ lyseverfahrens zeigt; und

Fig. 58 ein Bild, das eine komprimierte FBM zum Erläutern eines Problemes eines Fehlerana­ lyseverfahrens zeigt.

Fig. 1 zeigt eine Systemkonfiguration zum Ausführen eines Fehleranalyseverfahrens gemäß einer Ausführungsform der vor­ liegenden Erfindung. Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist ein LSI- Tester 1, der eine Untersuchung der elektrischen Eigenschaft aller Speicherzellen in einer Mehrzahl von Halbleitervorrich­ tungen ausführt, die auf einem Wafer vorgesehen sind, über ei­ ne Schnittstelle 3 mit einer EWS (Engineering Workstation Technische Arbeitsstation) zur Datenanalyse 2 verbunden.

Die Daten des Untersuchungsresultates, die von den LSI-Tester 1 erhalten werden, werden in der EWS für Datenanalyse 2 emp­ fangen und verarbeitet, wodurch das Fehleranalyseverfahren ausgeführt wird.

A. Erste Ausführungsform

Fig. 2 ist ein Flußdiagramm, das ein Fehleranalyseverfahren gemäß einer ersten Ausführungsform zeigt. Fig. 3 ist ein Bild, das ein Beispiel von Fehlerformerkennungsregeln dar­ stellt, die bei der Ausführung des Fehleranalyseverfahrens dieser Ausführungsform angewendet werden.

A-1. Erkennungsregel

Es wird nun Bezug genommen auf Fig. 3, eine Fehlerformerken­ nungsregel wird beschrieben. In Fig. 3 ist Punkt 13 ein Punkt zum Einstellen von Kompressionsbedingungen. Der Fall des Än­ derns von Kompressionsflächen ist als Kompressionsbedingungen dargestellt, und drei Kompressionsflächen von FBM-A (8 × 8 Bit), FBM-B (1 × 32 Bit) und FBM-C (32 × 1 Bit) werden hierin gesetzt.

Punkt 14 ist ein Punkt zum Einstellen des Namens des Fehlers eines Erkennungsobjektes wie "minderwertiger Block", "minder­ wertige Linie" oder "minderwertiges Bit". Hier wird "minder­ wertiger Block" eingestellt. Die folgenden Punkte 15 bis 21 werden ebenfalls bei der Erkennung von "minderwertige Linie" oder "minderwertiges Bit" eingestellt. In Fig. 3 ist "minder­ wertiger Block" als ein Beispiel dargestellt.

Punkt 15 ist ein Punkt zum Einstellen des Namens einer kompri­ mierten FBM, die als Objekt der Fehleranalysetätigkeit (ge­ nannt "Abtastung") dient, d. h. ein Abtastungsobjekt. Die "FBM- A" wird hierin ausgewählt.

Punkt 16 ist ein Punkt zum Einstellen der Erkennungsreihenfol­ ge für minderwertige Erkennungsobjekte. Er ist so eingestellt, daß "minderwertiger Block" zuerst erkannt wird.

Punkt 17 ist ein Punkt zum Einstellen des Maximalwertes der Fehlergröße eines minderwertigen Erkennungsobjektes. Dieses wird dargestellt durch die Zahl von Bit von Zeilen (x) × Spal­ ten (y), und "32 × 32 Bit" (d. h. eine Matrix mit 32 Zeilen und 32 Spalten) ist hierin eingestellt.

Punkt 18 ist ein Punkt zum Einstellen einer Fehlerrate, die zum Beurteilen der Erkennung des minderwertigen Erkennungsob­ jektes benutzt wird. Hier ist er so eingestellt, daß Minder­ wertigkeit beurteilt wird, wenn die Fehlerrate 100% beträgt.

Punkt 19 ist ein Punkt zum Einstellen, ob ein minderwertiges Erkennungsobjekt benachbart ist oder nicht. Hier ist er so eingestellt, daß ein minderwertiges Erkennungsobjekt benach­ bart ist.

Der Ausdruck "ein minderwertiges Erkennungsobjekt ist benach­ bart" bedeutet den Zustand, daß Fehlerpixel benachbart zuein­ ander außerhalb eines Bereiches sind, der durch eine Fehler­ größe definiert ist.

Punkt 20 ist ein Punkt zum Einstellen eines Abtastbereiches pro Schritt (d. h. Abtastgröße). Dieses wird durch die Zahl von Bit von Reihen (x) × Spalten (y) ausgedrückt, und "32 × 32 Bit" ist hierin eingestellt.

Punkt 21 ist ein Punkt zum Einstellen einer Fehlerformbeurtei­ lungsregel auf der Grundlage der normalisierten Fehlerraten um komprimierte FBMs, die nicht eine FBM als ein Abtastobjekt sind, nämlich um die, die durch andere als die Kompressions­ fläche von FBM-A komprimiert sind. Unter dieser Regel wird be­ urteilt, ob die Fehlerform "minderwertiger Block (normal)" ist oder "minderwertige Linie ausgerichtet in der x-Richtung (X- Linie)" ist oder "minderwertige Linie ausgerichtet in y- Richtung (Y-Linie)" ist in Abhängigkeit der normalisierten Fehlerraten, die erhalten werden mit der FBM-B- oder FBM-C- Kompressionsfläche.

Insbesondere wird es beurteilt "minderwertiger Block", wenn die normalisierten Fehlerraten, die durch die FBM-B- Kompressionsfläche erhalten werden und die durch die FBM-C- Kompressionsfläche erhalten werden, beide in dem Bereich von 0,25 bis 1,25 liegen. Es wird beurteilt "x-Richtung minderwer­ tige Linie", wenn die erstere und die letztere in dem Bereich von 0 bis 0,5 bzw. 0,75 bis 1,25 liegen. Es wird beurteilt "y- Richtung minderwertige Linie", wenn die erstere und die letz­ tere in dem Bereich 0,75 bis 1,25 bzw. 0 bis 0,5 liegen.

A-2. Analysetätigkeit

Die Fehleranalysetätigkeit wird unter Benutzung von Fig. 2 und Bezugnahme auf Fig. 3 und Fig. 4A, 4B, 4C, . . . 7A, 7B, 7C beschrieben. Fig. 4A bis 4C sind Bilder, die ursprüngli­ che FBMs darstellen, die vorbereitet werden und dargestellt werden durch Abbilden der Daten um die Positionen der Fehler­ speicherzellen, die von dem LSI-Tester 1 erkannt worden sind, der in Fig. 1 gezeigt ist, in einen Bereich, der durch x × y = 32 Bit × 32 Bit unterteilt ist. Insbesondere zeigen Fig. 4A, 4B und 4C minderwertige Muster an verschiedenen Orten in einem Speicherzellenbereich als FBMs 22A, FBMs 22B bzw. FBMs 22C.

Es gibt tatsächlich eine riesige Zahl von Speicherzellen auf einer Skala eines Megabit oder eines Gigabit. Der Bereich zum Bilden einer ursprünglichen FBM ist natürlich viel größer als 32 Bit × 32 Bit.

Die ursprüngliche FBM 22A, die in Fig. 4A gezeigt ist, ist hauptsächlich aus Fehlerbit zusammengesetzt. Wenn die Fehler­ bit in der Figur geschwärzt sind, ist die Figur mit normalen Bit NB gepunktet, die eine normale Speicherzelle bezeichnen, als Leerräume.

Die ursprüngliche FBM 22B, die in Fig. 4B gezeigt ist, ist solch ein Muster, das eine Mehrzahl von Fehlerbitlinien FBLs, von denen jede eine Reihe von Fehlerbit sind, die in der y- Richtung angeordnet sind, in 3-Bit-Intervallen in der x- Richtung angeordnet ist.

Die in Fig. 4C gezeigte ursprüngliche FBM 22C ist solch ein Muster, das eine Mehrzahl von Fehlerbitlinien FBLs, von denen jede eine Reihe von Fehlerbit ist, die in der x-Richtung aus­ gerichtet sind, an 3-Bit-Intervallen in der y-Richtung ange­ ordnet ist.

Die Analysetätigkeit der Daten über diese ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C wird hier im folgenden beschrieben.

Es wird nun Bezug genommen auf Fig. 2, wenn eine Fehlerfor­ merkennung gestattet wird, wird die in Fig. 3 gezeigte Erken­ nungsregel, die in Abhängigkeit des Types einer Halbleitervor­ richtung eingestellt wird, zuerst gelesen (Schritt S11).

Darauf folgend werden die ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C, die in den Fig. 4A, 4B und 4C gezeigt sind, auf der Grundlage von numerischen Werten von Kompressionsflächen kom­ primiert, die entsprechend in Punkt 13 (Kompressionsfläche) in der Erkennungsregel eingestellt sind, wodurch eine Mehrzahl von komprimierten FBMs hergestellt wird (Schritt ST2). Die obigen ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C sollten vorberei­ tet werden, bevor die Fehlerformerkennung gestartet wird.

Fig. 5A bis 5C zeigen komprimierte FBMs 23A, 23B bzw. 23C, die erhalten werden durch Unterteilen der ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C durch die Kompressionsfläche von FBM-A (8 × 8 Bit) worauf folgend eine Kompression auf der Grundlage eines Kompressionsschwellenwertes von 1 Bit ausgeführt wird (nicht in der Erkennungsregel gezeigt).

Wenn die in Fig. 4A bis 4C gezeigten ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C auf die Fläche 8 × 8 Bit (64 Bit) komprimiert werden, ist ein Fehlerbit immer in jeder Fläche von jedem FBM vorhanden, daher werden alle Flächen Fehlerpixel. Wenn daher die Fehlerpixel geschwärzt werden, sind alle Flächen ge­ schwärzt, wie in Fig. 5A bis 5C gezeigt ist.

Fig. 6A bis 6C zeigen komprimierte FBMs 24A, 24B bzw. 24C, die erhalten werden durch Unterteilen der ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C durch die Kompressionsfläche von FBM-B (1 × 32 Bit), was von der Kompression auf der Grundlage eines Kompres­ sionsschwellenwertes von 1 Bit gefolgt wird (nicht in der Er­ kennungsregel gezeigt).

Wenn die in den Fig. 4A bis 4C gezeigten ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C komprimiert werden auf die Fläche von 1 × 32 Bit, nämlich 1 Bit in der x-Richtung × 32 Bit in der y- Richtung, ist ein Fehlerbit immer in jeder Fläche der ur­ sprünglichen FBMs 22A und 22C vorhanden, und somit werden alle Flächen Fehlerpixel. Wenn daher die Fehlerpixel geschwärzt werden, werden alle Flächen geschwärzt, wie in Fig. 6A und 6C gezeigt ist. Dagegen werden in der ursprünglichen FBM 22B nur die Fläche entsprechend der Fehlerbitlinien FBLs ein streifenartiges Fehlerpixel FPL. Dieses resultiert in solch einem Muster, daß Fehlerpixel FPLs in 3-Bit-Intervallen in der x-Richtung angeordnet sind, wie in Fig. 6B gezeigt ist.

Fig. 7A bis 7C zeigen komprimierte FBMs 25A, 25B bzw. 25C, die dargestellt werden durch Unterteilen der ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C durch die Kompressionsfläche von FBM-C (32 × 1 Bit), was von der Kompression auf der Grundlage eines Kompressionsschwellenwertes von 1 Bit gefolgt wird (nicht ge­ zeigt in der Erkennungsregel).

Wenn die in den Fig. 4A bis 4C gezeigten ursprünglichen FBMs 22A, 22B und 22C auf die Fläche 32 × 1 Bit komprimiert wer­ den, nämlich 32 Bit in der x-Richtung × 1 Bit in der y- Richtung, ist ein Fehlerbit immer in jeder Fläche der FBMs 22A und 22B vorhanden, und alle die Flächen werden Fehlerpixel. Wenn daher die Fehlerpixel geschwärzt werden, werden alle Flä­ chen geschwärzt, wie in Fig. 7A und 7B gezeigt ist. Bei der ursprünglichen FBM 22C dagegen wird nur die Fläche entspre­ chend der Fehlerbitlinie FBL ein streifenartiges Fehlerpixel FPL. Das resultiert in solch einem Muster, daß die Fehlerpixel FPLs in 3-Bit-Intervallen in der y-Richtung angeordnet sind, wie die Fig. 7C gezeigt ist.

Auf der Grundlage der Einstellung bei Punkt 16 (Erkennungs­ reihenfolge der minderwertigen Erkennungsobjekte) in der Er­ kennungsregel wird ein minderwertiger Block (Ein-Blockfehler) zuerst als ein minderwertiges Erkennungsobjekt ausgewählt (Schritt ST3).

Darauf folgend werden auf der Grundlage der Einstellung bei Punkt 15 (der Name einer abzutastenden komprimierten FBM) in der Erkennungsregel die komprimierten FBMs 23A, 23B und 23C, die durch die Kompressionsfläche von FBM-A komprimiert worden sind, ausgewählt. Dann wird auf der Grundlage der Einstellung bei Punkt 17 (Fehlergröße) von den Bereichen der komprimierten FBMs 23A, 23B und 23C der Bereich von 32 × 32 Bit ausgewählt (Schritt ST4).

Es soll angemerkt werden, daß bei dieser Ausführungsform die Abtastgröße bei Punkt 20 auch auf 32 × 32 Bit gesetzt ist und somit zu der Fehlergröße paßt, die Fehlergröße paßt jedoch nicht immer zu der Abtastgröße.

Darauf folgend wird die Fehlerrate in dem in Schritt ST4 aus­ gewählten Bereich berechnet (Schritt ST5).

Die Fehlerrate wird als ein Prozentsatz des Wertes ausge­ drückt, der erhalten wird durch Dividieren der Zahl von Feh­ lerpixeln in der komprimierten FBM durch die Zahl von Pixeln, die der Fehlergröße entsprechen, die in Punkt 17 eingestellt wurde. In den komprimierten FBMs 23A, 23B und 23C, die in Fig. 5A bis 5C gezeigt sind, beträgt die Zahl der Fehlerpixel 16, und die Zahl der Pixel, die der Fehlergröße entspricht, ist ebenfalls 16, damit ist die Fehlerrate 100%.

Das Fehlerpixel in dem in Schritt ST4 ausgewählten Bereich wird beurteilt auf der Grundlage der Beurteilungsbedingungen der Fehlerrate (100%) die in Punkt 18 eingestellt wurde, und das Vorhandensein eines benachbarten minderwertigen Erken­ nungsobjekt, das in Punkt 19 eingestellt wurde (ob oder nicht ein minderwertiges Erkennungsobjekt benachbart ist). Wenn bei­ de Beurteilungsbedingungen erfüllt sind, wird das obige Feh­ lerpixel erkannt (geschätzt) als minderwertiges Erkennungsob­ jekt, d. h. "minderwertiger Block", und man geht zu dem näch­ sten Schritt ST7. Wenn diese Bedingungen nicht erfüllt sind, geht man zu Schritt ST9 (Schritt ST6).

Aus der Tatsache, daß die Fehlerraten der komprimierten FBMs 23A, 23B und 23C der Fig. 5A bis 5C alle 100% sind, daß die in dem Punkt 18 eingestellte Fehlerrate erfüllt ist und daß das Vorhandensein eines benachbarten minderwertigen Erken­ nungsobjektes in Punkt 19 gesetzt ist, wird beurteilt "minder­ wertiger Block", und man geht zu Schritt ST7.

In Schritt ST7 wird in Bezug auf die anderen komprimierten FBMs, die durch andere als die Kompressionsfläche FBM-A kom­ primiert sind, die Fehlerrate in dem in Schritt ST4 ausgewähl­ ten Bereich berechnet und dann durch die in Schritt ST5 erhal­ tene Fehlerrate normalisiert.

Bei den in Fig. 6A bzw. 6C gezeigten komprimierten FBMs 24A und 24C, beträgt die Zahl der Fehlerpixel 32, und die Zahl der Pixel in dem Bereich von 32 × 32 Bit ist ebenfalls 32, wodurch die Fehlerrate 100% wird. Normalisierung durch 100% (die Feh­ lerrate der komprimierten FBMs 23A und 23C, die in Schritt ST5 berechnet wurde) resultiert für beide zu 1.

In der in Fig. 6B gezeigten FBM 24B beträgt die Zahl der Feh­ lerpixel 8, die Gesamtpixelzahl ist 32, wodurch die Fehlerrate 25% wird. Normalisierung durch 100% (die Fehlerrate der kom­ primierten FBM 23B) resultiert in 0,25.

In den in Fig. 7A bzw. 7B gezeigten komprimierten FBMs 25A und 25B beträgt die Zahl der Fehlerpixel 32, und die Zahl der Pixel in dem Bereich von 32 × 32 Bit ist ebenfalls 32, wodurch die Fehlerrate 100% wird. Normalisierung durch 100% (die Feh­ lerrate der komprimierten FBMs 23A und 23B, die in Schritt ST5 berechnet ist) resultiert darin, daß beide eins sind. In der in Fig. 7C gezeigten FBM 25C beträgt die Zahl der Fehlerpixel 8, und die Zahl der Pixel in dem Bereich von 32 × 32 Bit beträgt 32, wodurch die Fehlerrate 25% wird. Normalisierung durch 100% (die Fehlerrate der komprimierten FBM 23C) resultiert in 0,25.

Darauf folgend wird auf der Grundlage des Punktes 21 (die Feh­ lerformbeurteilungsregel basierend auf den Fehlerraten um die komprimierten FBMs, die durch andere als die Kompressionsflä­ che FBM-A komprimiert sind) in der Erkennungsregel werden so die erkannten Fehler wiedererkannt (Schritt ST8).

Insbesondere bezüglich der in Fig. 4A gezeigten ursprüngli­ chen FBM 22A, wenn sie mit der Kompressionsfläche von FBM-B oder FBM-C komprimiert wird, betragen die normalisierten Feh­ lerraten beide 1. Daher wird auf der Grundlage der Beurtei­ lungsregel unter Benutzung der normalisierten Fehlerraten von FBM-B und FBM-C in Punkt 21 die ursprüngliche FBM 22A wieder­ erkannt (spezifiziert) als "minderwertiger Block (normal)".

Bezüglich der in Fig. 4B gezeigten ursprünglichen FBM 22B, wenn sie mit der Kompressionsfläche von FBM-B oder FBM-C kom­ primiert wird, betragen die normalisierten Fehlerraten 0,25 bzw. 1. Daher wird sie wiedererkannt oder unterschieden als "minderwertige Linie (X-Linie), die in x-Richtung ausgerichtet ist".

Bezüglich der in Fig. 4C gezeigten ursprünglichen FBM 22C, wenn sie mit der Kompressionsfläche von FBM-B oder FBM-C kom­ primiert wird, betragen die normalisierten Fehlerraten 1 bzw. 0,25. Daher wird sie wiedererkannt oder unterschieden als "minderwertige Linie (Y-Linie), die in y-Richtung ausgerichtet ist".

In Schritt ST9 wird beurteilt, ob irgendein nicht abgetasteter Bereich in einer Halbleitervorrichtung verbleibt. Wenn einer verbleibt, wird der nächste Abtastbereich (mit einer Fläche von 32 × 32 Bit, die in Punkt 20 eingestellt ist) ausgewählt, und die Tätigkeiten des Schrittes ST5 und der späteren Schrit­ te werden wiederholt (Schritt ST12). Wenn der gesamte Bereich der Halbleitervorrichtung abgetastet worden ist, geht man zu Schritt ST10.

In Schritt ST10 wird beurteilt, ob von den minderwertigen Er­ kennungsobjekten, die bei der in Fig. 3 gezeigten Erkennungs­ regel eingestellt sind, irgendein nichtgewähltes minderwertiges Erkennungsobjekt verbleibt oder nicht. Wenn eines ver­ bleibt, wird das nächste minderwertige Erkennungsobjekt ge­ wählt, und die Tätigkeiten des Schrittes ST4 und der folgenden Schritte werden wiederholt (Schritt ST13). Wenn der gesamte Bereich der Halbleitervorrichtung abgetastet worden ist, geht man zu Schritt ST11. Es sei angemerkt, daß gemäß der in Fig. 3 gezeigten Erkennungsregel der "minderwertige Block" (A- Blockfehler) von "minderwertige Linie" (B-Linienfehler) als minderwertiges Erkennungsobjekt gefolgt wird. Folglich werden selbst für "minderwertige Linien" die Tätigkeiten des Schritte ST4 und der folgenden Schritte auf der Grundlage der Punkte 15 bis 21 wiederholt.

In Schritt ST11 wird der durch die Tätigkeiten der Schritte ST3 bis ST5 (rohe Erkennungstätigkeit) erkannte Bereich bei dem 1-Bit-Pegel abgetastet zum Erhalten von detaillierter In­ formation wie die tatsächliche Fehlergröße und die Zahl der Fehlerbit. Dadurch ist die Fehlerformerkennung für eine Halb­ leitervorrichtung beendet.

Da eine Mehrzahl von Halbleitervorrichtungen normalerweise auf einem Wafer gebildet ist, sollten die Tätigkeiten der Schritte ST3 bis ST11 für jede Halbleitervorrichtung ausgeführt werden.

A-3. Resultierende Wirkungen

Gemäß dem Fehleranalyseverfahren der ersten Ausführungsform, wie es beschrieben wurde, wird eine Mehrzahl von komprimierten FBMs mit verschiedenen Kompressionsflächen dargestellt als Kompressionsbedingungen, und Fehlerformen werden auf der Grundlage der entsprechenden Fehlerraten beurteilt. Dieses er­ möglicht die Unterscheidung mehrerer Arten von Fehlerformen und die Zunahme der Klassifizierungsgenauigkeit der Fehlerfor­ men im Vergleich mit dem Fall, in dem die Fehlerformen nur durch die Fehlerrate der komprimierten FBM beurteilt wird, die unter einer einzelnen Kompressionsbedingung vorbereitet wurde.

B. Zweite Ausführungsform

Fig. 8 ist ein Flußdiagramm, das ein Fehleranalyseverfahren gemäß einer zweiten Ausführungsform darstellt. Fig. 9 ist ein Bild, das ein Beispiel von Fehlerformerkennungsregeln zum Aus­ führen des Fehleranalyseverfahrens dieser Ausführungsform dar­ stellt.

B-1. Erkennungsregel

Eine Regel der Erkennung der minderwertigen Form wird unter Bezugnahme auf Fig. 9 beschrieben.

In Fig. 9 sind Punkte 26 und 27 Punkte zum Einstellen von Kompressionsbedingungen. Diese Ausführungsform stellt den Fall des Ändern eines Kompressionsschwellenwert dar, der eine der Kompressionsbedingungen ist. Nur eine Kompressionsfläche von 8 × 8 Bit wird in dem Punkt 26 eingestellt, während zwei Kom­ pressionsschwellenwerte von FBM-A (1 Bit) und FBM-B (5 Bit) in Punkt 27 eingestellt werden.

Wie er hier benutzt wird, bedeutet der Ausdruck "Kompressions­ schwellenwert" einen Indexwert zum Bestimmen, ob eine vorbe­ stimmte Kompressionsfläche (Pixel) ein Gutpixel oder ein Feh­ lerpixel ist, und er wird eingestellt als die Zahl der Fehler­ bit, die in der vorbestimmten Kompressionsfläche vorhanden sind. Zum Beispiel in dem Fall, daß der Kompressionsschwellen­ wert 1 Bit beträgt, wenn ein oder mehrere Fehlerbit in der Kompressionsfläche vorhanden sind, wird es ein Fehlerpixel.

Ähnliche Bezugszeichen sind benutzt worden bei den gleichen Punkten wie bei der Fehlerformerkennungsregel zum Ausführen des Fehleranalyseverfahrens der ersten Ausführungsform, die unter Bezugnahme auf Fig. 3 beschrieben wurde. Die Inhalte ihrer entsprechenden Punkte sind wie folgt:

In Punkt 14 (der Name des minderwertigen Erkennungsobjektes) wird "minderwertige Linie" eingestellt. Es wird Bezug genommen auf Fig. 8, "minderwertige Linie" wird mittels eines Beispie­ les beschrieben.

In Punkt 15 (der Name einer komprimierten FMB, die abzutasten ist) wird "FBM-A" ausgewählt.

In Punkt 16 (die Erkennungsreihenfolge der minderwertigen Er­ kennungsobjekte) wird so eingestellt, daß "minderwertige Li­ nie" zuerst erkannt wird.

In Punkt 17 (die Fehlergröße eines minderwertigen Erkennungs­ objektes) wird "8 × 32 Bit" (was eine Matrix mit 8 Zeilen und 32 Spalten bedeutet) eingestellt.

In Punkt 18 (Fehlerrate) wird es so eingestellt, daß "Fehler" beurteilt wird, wenn die Fehlerrate 100% beträgt.

In Punkt 19 (ob oder nicht ein minderwertiges Erkennungsobjekt benachbart ist) ist es so eingestellt, daß keine benachbarten minderwertigen Erkennungsobjekte vorhanden sind.

In Punkt 20 (Abtastgröße) ist "8 × 32 Bit" eingestellt.

In Punkt 21 (Fehlerformbeurteilungsregel) wird beurteilt, ob oder nicht "minderwertige Linie (normal)" zu erkennen ist auf der Grundlage der Fehlerrate, die mit der Benutzung des Kom­ pressionsschwellenwertes FBM-B normalisiert ist.

Zum Beispiel wird geurteilt "minderwertige Linie" wenn sie er­ haltene Fehlerrate in dem Bereich von 0,75 bis 1,25 liegt, und es wird geurteilt "nicht erkannt", wenn sie in dem Bereich von 0 bis 0,5 liegt.

B-2. Analysetätigkeit

Die Fehleranalysetätigkeit wird durch Benutzen von Fig. 8 und Bezugnahme auf Fig. 9 und Fig. 10A, 10B, . . . 12A und 12B beschrieben. Fig. 10A und 10B sind Bilder, die ursprüngliche FBMs darstellen, die durch Abbilden der Daten über die Po­ sitionen der fehlerhaften Speicherzellen, die von dem in Fig. 1 gezeigten LSI-Tester 1 erkannt worden sind, in einen Be­ reich, der durch x × y = 32 Bit × 32 Bit unterteilt ist, darge­ stellt sind. Das heißt Fig. 10A und 10B zeigen verschiedene minderwertige Muster als ursprüngliche FBMs 28A bzw. FBM 28B.

Die ursprüngliche FBM 28a von Fig. 10A ist in solch einem Mu­ ster, daß eine einzelne Fehlerbitlinie FBL, die aus einer Rei­ he von Fehlerbit zusammengesetzt ist, die in der y-Richtung ausgerichtet sind, in der Nähe des linken Endes vorhanden ist, wie in Fig. 10A gesehen wird.

Die ursprüngliche FBM 28B von Fig. 10B ist in solch einem Mu­ ster, daß nur die linke Seite, wie sie in der Figur gesehen wird, mit Fehlerbit FB gepunktet ist.

Die Analysetätigkeit der Daten um die ursprünglichen FBMs 28A und 28B wird hier im folgenden beschrieben.

Es wird Bezug genommen auf Fig. 8, wenn eine Fehlerformerken­ nung gestartet wird, wird die in Fig. 9 gezeigte Erkennungs­ regel, die in der Abhängigkeit der Art der Halbleitervorrich­ tung eingestellt ist, zuerst gelesen (Schritt ST21).

Darauf folgend werden die ursprünglichen FBMs 28A und 28B, die in Fig. 10A und 10B gezeigt sind, auf der Grundlage der nu­ merischen Werte der Kompressionsflächen komprimiert, die in Punkt 26 (Kompressionsflächen) in der Erkennungsregel einge­ stellt sind. Hierbei wird unter Benutzung als Index einer Mehrzahl von Kompressionsschwellenwerten, die in Punkt 27 ein­ gestellt sind, eine Mehrzahl von komprimierten FBMs darge­ stellt (Schritt ST22).

Fig. 11A und 11B zeigen komprimierte FBMs 29A und 29B, die durch Komprimieren der ursprünglichen FBMs 28A und 28B durch die Kompressionsfläche (8 × 8 Bit), die in Punkt 26 eingestellt ist, auf der Grundlage der Kompressionsschwellenwerte von FBM- A, die in Punkt 27 eingestellt sind, erhalten.

Wenn die ursprünglichen FBMs 28A und 28B von Fig. 10A und 10B in die Fläche von 8 × 8 Bit (64 Bit) komprimiert werden, werden beide in eine 4 × 4 Pixelmatrix unterteilt. Wenn diese durch den Kompressionsschwellenwert von FBM-A (1 Bit) beur­ teilt werden, wird die gesamte linke Linie der Pixelmatrix ein Fehlerpixel FPL. Wenn die Fehlerpixel geschwärzt werden, wird die linke Linie geschwärzt, wie in Fig. 11A und 11B gezeigt ist.

Fig. 12A und 12B zeigen komprimierte FBMs 10A und 10B, die durch Komprimieren der ursprünglichen FBMs 28A und 28B mit der Kompressionsfläche (8 × 8 Bit), die in Punkt 26 eingestellt ist, auf der Grundlage des Kompressionsschwellenwertes von FBM-B, der in Punkt 27 eingestellt ist, komprimiert.

Wenn die ursprünglichen FBMs 28A und 28B von Fig. 10A und 10B in die Fläche von 8 × 8 Bit (64 Bit) komprimiert werden, werden beide in eine 4 × 4 Pixelmatrix unterteilt, und sie wer­ den durch den Kompressionsschwellenwert von FBM-B (5 Bit) kom­ primiert. Als Resultat werden bezüglich der ursprünglichen FBM 28B in Fig. 10B alle Pixelmatrizen ein Gutpixel PP, wie in Fig. 12B gezeigt ist, da es kein Pixel gibt mit mehr als 2 Fehlerbit.

Darauf folgend wird auf der Grundlage der Einstellung in Punkt 16 (Erkennungsreihenfolge der minderwertigen Erkennungsobjek­ te) in der Erkennungsregel die minderwertige Linie (A- Linienfehler) zuerst ausgewählt als ein minderwertiges Erken­ nungsobjekt (Schritt ST23).

Die komprimierten FBMs 29A und 29B, die durch den Kompressi­ onsschwellenwert von FBM-A beurteilt worden sind, werden auf der Grundlage der Einstellung in Punkt 15 (der Name einer ab­ zutastenden komprimierten FBM) in der Erkennungsregel ausge­ wählt. Dann wird auf der Grundlage der Einstellung in Punkt 17 (Fehlergröße) ein 8 × 8 Bitbereich aus den Bereichen der kompri­ mierten FBMs 29A und 29B ausgewählt (Schritt ST24).

Danach wird die Fehlerrate in dem in Schritt ST24 ausgewählten Bereich berechnet (Schritt ST25).

In den in Fig. 11A und 11B gezeigten komprimierten FBMs 29A und 29B beträgt die Zahl der Fehlerpixel 4, und die Zahl der Pixel, die der Fehlergröße entsprechen, die in dem Punkt 17 eingestellt ist (8 × 32 Bit) beträgt ebenfalls 4, wodurch die Fehlerrate 100% beträgt.

Das Fehlerpixel in dem in Schritt ST24 gewählten Bereich wird beurteilt auf der Grundlage der Bedingung der Fehlerrate (100%), die in dem Punkt 18 eingestellt ist, und der Bedin­ gung, daß keine benachbart minderwertigen Erkennungsobjekte vorhanden sind, was in Punkt 19 eingestellt ist (ob oder nicht ein minderwertiges Erkennungsobjekt benachbart ist). Wenn bei­ de Beurteilungsbedingungen erfüllt sind, wird das Fehlerpixel in dem obigen Bereich als ein minderwertiges Erkennungsobjekt erkannt (geschätzt), und man geht zu dem nächsten Schritt ST27. Wenn sie nicht erfüllt sind, geht man zu dem Schritt ST29 (Schritt ST26).

Hierbei sind die Fehlerraten der komprimierten FBMs 29A und 29B von Fig. 11A und 11B beide 100%, was die in Punkt 18 eingestellte Fehlerrate erfüllt, und die Bedingung daß kein benachbartes minderwertiges Erkennungsobjekt vorhanden ist, ist in Punkt 19 eingestellt. Da jedoch keine Fehlerpixel FPLs benachbart zueinander in dem Außengebiet eines Bereiches vor­ handen sind, der durch 8 × 32 Bit definiert ist, der dem Fehler­ pixelbereich entspricht, geht man zu ST27.

In Schritt ST27 wird selbst für andere komprimierte FBMs, die durch andere als den Kompressionsschwellenwert FBM-A kompri­ miert sind, die Fehlerrate in dem Bereich, der bei Schritt ST24 ausgewählt wurde, berechnet und durch die in Schritt ST25 erhaltene Fehlerrate normalisiert.

Bei der in Fig. 12A gezeigten komprimierten FBM 30A beträgt die Zahl der Fehlerpixel 4, und die Zahl der Pixel, die der Fehlergröße entspricht, die in Punkt 17 eingestellt ist (8 × 32 Bit) beträgt ebenfalls 4, daher beträgt die Fehlerrate 100%. Die Normalisierung der Fehlerrate (100%) der komprimierten FBM 29A, die in Schritt ST25 erhalten ist, resultiert in 1.

Bei der in Fig. 12B gezeigten komprimierten FBM 30B ist, da die Zahl der Fehlerpixel 0 beträgt, die Fehlerrate 0%. Die Normalisierung mit der Fehlerrate (100%) der komprimierten FBM 29B resultiert in 0.

Darauf folgend werden auf der Grundlage des Punktes 21 (Feh­ lerformbeurteilungsregel auf der Grundlage der Fehlerrate an­ derer komprimierter FBMs, die durch andere als den Kompressi­ onsschwellenwert von FBM-A komprimiert sind) in der Erken­ nungsregel die soweit erkannten Fehler wiedererkannt (spezifi­ ziert) oder unterschieden (Schritt ST28).

Genauer bezüglich der ursprünglichen FBM 28A, die in Fig. 10A gezeigt ist, wenn mit dem Kompressionsschwellenwert von FBM-B komprimiert wird, beträgt die normalisierte Fehlerrate 1. Da­ her wird auf der Grundlage der Beurteilungsregel unter Benut­ zung der normalisierten Fehlerrate von FBM-B in Punkt 21 die ursprüngliche FBM 28A wiedererkannt (spezifiziert) oder unter­ schieden als "minderwertige Linie (normal)".

Bezüglich der in Fig. 10B gezeigten ursprünglichen FBM 28B, wenn sie mit dem Kompressionsschwellenwert von FBM-B kompri­ miert wird, ist die normalisierte Fehlerrate 0. Daher wird sie als "nicht erkannt" beurteilt.

Die Tätigkeiten der folgenden Schritte ST29 bis ST33 sind die gleichen wie die Tätigkeiten der Schritte ST9 bis ST13 in der ersten Ausführungsform (siehe Fig. 2) und daher wird die Be­ schreibung nicht wiederholt.

B-3. Resultierende Wirkungen

Gemäß dem Fehleranalyseverfahren der zweiten Ausführungsform, wie es beschrieben wurde, werden eine Mehrzahl von komprimier­ ten FBMs mit verschiedenen Kompressionsschwellenwerten als die Kompressionsbedingungen dargestellt, und Fehlerformen werden auf der Grundlage der entsprechenden Fehlerraten beurteilt. Dieses ermöglicht die Erkennung, wobei die Dichte des Fehlers in Betracht gezogen wird, und es ermöglicht auch eine inkor­ rekte Erkennung von Fehlerformen zu verringern und die Klassi­ fizierungsgenauigkeit von Fehlerformen zu erhöhen im Vergleich mit dem Fall, in dem Fehlerformen nur durch die Fehlerrate der komprimierten FBM beurteilt wird, die unter einer einzelnen Kompressionsbedingung dargestellt wurde.

C. Dritte Ausführungsform

Die vorangehenden Fehleranalyseverfahren zum Unterscheiden von Fehlerformen werden ausgeführt unter Benutzung einer Mehrzahl von komprimierten FBMs. Diese FBMs werden dargestellt durch Ändern der Kompressionsflächengröße bei der ersten Ausfüh­ rungsform, während sie durch Ändern des Kompressionsschwellen­ wertes mit der gleichen Kompressionsfläche bei der zweiten Ausführungsform gebildet werden. Andererseits ist eine dritte Ausführungsform auf ein Fehleranalyseverfahren in dem Fall ge­ richtet, daß die Kompressionsflächengröße und der Kompressi­ onsschwellenwert beide geändert werden können.

Fig. 13 ist ein Flußdiagramm zum Darstellen des Fehleranaly­ severfahrens gemäß der dritten Ausführungsform. Fig. 14 ist ein Bild, das ein Beispiel von Fehlerformerkennungsregeln zum Ausführen des Fehleranalyseverfahrens dieser Ausführungsform darstellt.

C-1. Erkennungsregel

Eine Erkennungsregel der minderwertigen Form wird unter Bezug­ nahme auf Fig. 14 beschrieben.

Diese Regel weist die gleichen Einstellungen wie die Erken­ nungsregel in der ersten Ausführungsform auf, die unter Bezug­ nahme auf Fig. 3 beschrieben wurde, mit der Ausnahme daß Punkt 13 in Fig. 3 durch Punkt 31 ersetzt wurde, bei dem ver­ schiedene Kombinationen einer Kompressionsfläche und eines Kompressionsschwellenwertes eingestellt werden.

Insbesondere verwendet diese Ausführungsform verschiedene Kom­ binationen einer Kompressionsfläche und eines Kompressions­ schwellenwertes als Kompressionsbedingungen. Es werden die folgenden vier Kombinationen eingestellt: FBM-A (eine Kompres­ sionsfläche von 8 × 8 Bit und ein Kompressionsschwellenwert von 1 Bit), FBM-B (eine Kompressionsfläche von 1 × 32 Bit und ein Kompressionsschwellenwert von 1 Bit), FBM-C (eine Kompressi­ onsfläche von 32 × 1 Bit und ein Kompressionsschwellenwert von 1 Bit) und FBM-D (eine Kompressionsfläche von 8 × 8 Bit und ein Kompressionsschwellenwert von 8 Bit).

Punkt 21 ist ein Punkt zum Einstellen der Fehlerformbeurtei­ lungsregel auf der Grundlage der normalisierten Fehlerraten über andere komprimierte FBMs, die durch eine andere als die abzutastende FBM komprimiert werden, d. h. die Kompressionsflä­ che und der Kompressionsschwellenwert von FBM-A. "Minderwerti­ ger Block (normal)" ist durch die normalisierten Fehlerraten zu beurteilen, wenn es mit den entsprechenden Kompressionsflä­ chen und Kompressionsschwellenwerten von FBM-B bis FBM-D kom­ primiert ist.

Wenn irgendeine der so erhaltenen normalisierten Fehlerraten in dem Bereich von 0,75 bis 1,25 liegt, wird "minderwertiger Block" geurteilt.

Es wird so geurteilt, damit keine Fehlererkennung durchgeführt wird, in Abhängigkeit der normalisierten Fehlerrate durch Be­ nutzung des Kompressionsschwellenwertes von FBM-D.

Wenn diese normalisierte Fehlerrate in dem Bereich von 0 bis 0,5 liegt, wird geurteilt, daß keine Minderwertigkeit erkannt wird.

Die Erkennungsregel zum Bestimmen von entweder "minderwertige Linie (X-Linie), die in der x-Richtung ausgerichtet ist" oder "minderwertige Linie (Y-Linie), die in der y-Richtung ausge­ richtet ist" ist die gleiche wie bei der ersten Ausführungs­ form.

Das Einstellen der Inhalte mit der Ausnahme der Punkte 14 bis 20 ist das gleiche wie bei der ersten Ausführungsform.

C-2. Analysetätigkeit

Die Fehleranalysetätigkeiten der Schritte ST41 bis ST53 in dem Flußdiagramm von Fig. 13 sind die gleichen wie die Schritte ST1 bis ST13 in dem Flußdiagramm von Fig. 2 mit der Ausnahme, daß im Schritt ST42 die ursprünglichen FBMs komprimiert werden auf der Grundlage der numerischen Werte der verschiedenen Kom­ binationen einer Kompressionsfläche und eines Kompressions­ schwellenwertes, die in Punkt 31 (Kompressionsfläche) gesetzt werden, und daß die Fehlerformbeurteilungsregel, die für die Minderwertigkeitserkennung in Schritt ST48 benutzt wird, durch Hinzufügen des Kompressionsschwellenwertes von FBM-D komplexer wird.

Es wird auf die in Fig. 14 gezeigte Fehlerformerkennungsregel Bezug genommen, die Kompressionsfläche des FBM-D wird auf 8 × 8 Bit gesetzt, und ihr Kompressionsschwellenwert wird auf 8 Bit gesetzt. Dieses ist ein Beispiel verschiedener Kombinationen einer Kompressionsfläche und eines Kompressionsschwellenwer­ tes, und es dient zum Anzeigen, daß die Zahl der unterscheid­ baren Fehlerformtypen kann durch Verwenden verschiedener Kom­ pressionsbedingungen von denen von FBM-A bis FBM-C erhöht wer­ den kann. Zum Beispiel kann solch eine Fehlerform, die unun­ terscheidbar unter den Kompressionsbedingungen von FBM-A bis FBM-C ist, durch Verwenden einer unterschieden werden, die zu­ sätzlich zu den obigen Bedingungen verwendet werden.

C-3. Resultierende Wirkungen

Gemäß dem Fehleranalyseverfahren der dritten Ausführungsform, das oben beschrieben wurde, werden eine Mehrzahl von kompri­ mierten FBMs mit verschiedenen Kompressionsflächen und ver­ schiedenen Kompressionsschwellenwerten als Kompressionsbedin­ gungen vorbereitet, und Fehlerformen werden auf der Grundlage ihrer entsprechenden Fehlerraten beurteilt. Dieses ermöglicht es, mehr Arten von Fehlerformen zu unterscheiden und die Klas­ sifizierungsgenauigkeit von Fehlerformen zu vergrößern, als im Fall des Verwendens nur einer Kompressionsfläche oder nur ei­ nes Kompressionsschwellenwertes als eine Kompressionsbedin­ gung.

D. Vierte Ausführungsform D-1. Tätigkeit des Ableitens von Kompressionsschwellenwerten

Bei der zweiten und dritten Ausführungsform wurde die Be­ schreibung für den Fall gegeben, daß die ursprünglichen FBMs komprimiert werden, in dem ein Kompressionsschwellenwert be­ nutzt wird. Der Kompressionsschwellenwert sollte auf einen ge­ eigneten Wert in Abhängigkeit der minderwertigen Musterform gesetzt werden. Voreingestellte Kompressionswerte werden bei diesen Ausführungsformen benutzt. Bei einer vierten Ausfüh­ rungsform wird ein Verfahren zum automatischen Erhalten eines geeigneten Kompressionsschwellenwertes auf der Grundlage der minderwertigen Musterform unter Bezugnahme auf Fig. 15A, 15B, 16, 17A, 17B und 18 beschrieben.

Fig. 15A und 15B sind Bilder, die ursprüngliche FBMs dar­ stellen, die durch Abbilden der Daten über Positionen der Feh­ lerspeicherzellen, die durch den in Fig. 1 gezeigten LSI- Tester 1 erkannt worden sind, in einen Bereich, der durch x × y = 32 Bit × 32 Bit unterteilt ist, erhalten werden. Insbesondere zeigen Fig. 15A und 15B zwei verschiedene minder­ wertige Muster als FBMs 32A bzw. 32B.

Die ursprüngliche FBM 32A, die in Fig. 15A gezeigt ist, ist in solch einem Muster, daß eine Fehlerbitlinie FBL, die aus einer Reihe von Fehlerbit zusammengesetzt ist, die in der y- Richtung ausgerichtet sin 57333 00070 552 001000280000000200012000285915722200040 0002010064329 00004 57214d, in der Nähe des linken Endes vor­ handen ist, wie in Fig. 15 zu sehen ist.

Die ursprüngliche FBM 32B, die in Fig. 15B gezeigt ist, ist in solch einem Muster, daß nur die linke Seite, wie sie in der Figur gesehen wird, mit Fehlerbit FB gepunktet ist.

Eine Beschreibung wird nun bezüglich des Verfahrens des auto­ matischen Erhaltens von Kompressionsschwellenwerten auf der Grundlage der Daten dieser ursprünglichen FBMs 32A und 32B ge­ geben, wobei Bezug genommen wird auf das in Fig. 16 gezeigte Flußdiagramm.

In Schritt ST61 werden die ursprünglichen FBMs 32a und 32B auf der Grundlage einer vorbestimmten Kompressionsfläche kompri­ miert, und ihr Wert beträgt zum Beispiel 8 × 8 Bit, der in Punkt 26 (Kompressionsfläche) in der Erkennungsregel der zweiten Ausführungsform gesetzt ist, wie unter Bezugnahme auf Fig. 9 beschrieben wurde.

Wenn die ursprünglichen FBMs 32A und 32B, die in Fig. 15A und 15B gezeigt sind, in die Fläche von 8 × 8 Bit (64 Bit) kom­ primiert sind, sind beide in eine 4 × 4 Pixelmatrix unterteilt.

Darauf folgend wird die Zahl der Fehlerbit pro Pixel (Kompres­ sionsfläche) berechnet (Schritt ST62). Tabellen der Zahl von Fehlerbit pro Pixel sind in Fig. 17A bzw. 17B gegeben.

In Fig. 17A sind 8 Fehlerbit entsprechend in vier Pixeln der linken Spalte enthalten, wie in der Figur gesehen wird, aber keine Fehlerbit sind in den anderen Pixeln enthalten.

In Fig. 17B ist ein Fehlerbit in jeweils dem ersten bis drit­ ten Pixel von oben enthalten, und zwei Fehlerbit sind in dem untersten Pixel in der linken Spalte enthalten, wie in der Fi­ gur gesehen wird, und keine Fehlerbit sind in den anderen Pi­ xeln enthalten.

Darauf folgend wird auf der Grundlage der Zahl von Fehlerbit pro Pixel, die in dem Schritt ST62 berechnet sind, die Eigen­ schaft des Vorhandenseins der Fehlerbit pro Pixel erhalten (Schritt ST63).

Das Konzept dieser Tätigkeit kann graphisch erläutert werden, in dem die Zahl der Fehlerbit pro Pixel zum Eingeben ihrer ho­ rizontalen Achse und die Zahl der Pixel zum Eingeben ihrer vertikalen Achse benutzt werden, wie in Fig. 18 gezeigt ist.

Es wird Bezug genommen auf Fig. 18, die Zahl der Pixel, die 1 Fehlerbit enthalten, beträgt 3, die Zahl der Pixel, die 2 Feh­ lerbit enthalten, beträgt 1, und die Zahl der Pixel, die 8 Fehlerbit enthalten, beträgt 4. Dieses zeigt, daß am häufig­ sten Pixel mit 8 Fehlerbit vorhanden sind, und am zweithäufig­ sten sind Pixel mit einem Fehlerbit vorhanden.

Aus diesem Diagramm werden unter der Annahme, daß die Eigen­ schaft des Vorhandenseins von Fehlerbit durch eine quadrati­ sche Kurve (nach oben offene Parabel) angenähert wird, bei der die minimale Zahl von Pixeln auf 0 gesetzt ist, Kompressions­ schwellenwerte von dem minimalen Wert der Eigenschaft der Exi­ stenz der Fehlerbit berechnet (Schritt ST64).

Genauer, das Zählen der Pixel wird gestartet, wenn die Zahl von Fehlerbit 1 beträgt, und die Zahl der Fehlerbit (der Wert auf der horizontalen Achse), wenn die Zahl der Pixel zuerst 0 erreicht, d. h. den minimalen Wert, wird automatisch als Kom­ pressionsschwellenwert abgeleitet. Es sei angemerkt, daß der Kompressionsschwellenwert, der so erhalten wird, 3 Bit in die­ ser Ausführungsform beträgt.

Die Tätigkeit zum Ableiten der Kompressionsschwellenwerte, wie oben beschrieben wurde, kann zum Beispiel bei dem Aufstellen der in Fig. 9 gezeigten Erkennungsregel ausgeführt werden. Der berechnete Kompressionsschwellenwert kann als der Kompres­ sionsschwellenwert von FBM-B benutzt werden bei dem Einstellen der Kompressionsschwellenwerte in Punkt 27.

D-2. Resultierende Wirkungen

Somit kann ein Schwellenwert erhalten werden, der jegliche minderwertige Bit ignoriert, die zufällig auftreten, in dem Kompressionsschwellenwerte aus der Eigenschaft des Vorhanden­ seins der Fehlerbit berechnet werden, die in einem Pixel ent­ halten sind.

In dem Fall von "minderwertiger Block" oder "minderwertige Li­ nie" nimmt die Wahrscheinlichkeit zu, daß eine Mehrzahl von Fehlerbit in einem Pixel vorhanden ist. In dem Fall von "min­ derwertiges Bit", der zufällig auftritt, nimmt die oben er­ wähnte Wahrscheinlichkeit ab. Daher wird mit dem Verfahren dieser Ausführungsform mit einer hohen Wahrscheinlichkeit, daß Kompressionsschwellenwerte größer als 1 sind, keine Erkennung für ein minderwertiges Bit gemacht, das zufällig auftritt, und somit ist es möglich, automatisch Kompressionsschwellenwerte zu erhalten, die geeignet für das Fehleranalyseverfahren zum Erkennen von nur "minderwertiger Block" und "minderwertige Li­ nie" geeignet sind.

E. Ausführungsformen des Fehleranalyseverfahrens

Für die vorangehenden Fehleranalyseverfahren, die zu realisie­ ren sind, kann zum Beispiel ein Computer wie er in Fig. 19 gezeigt ist, benutzt werden.

Die EWS für Datenanalyse 2, die in Fig. 1 gezeigt ist, wird durch das in Fig. 19 gezeigte Computersystem aufgebaut.

In Fig. 19 ist gezeigt, daß in der EWS für Datenanalyse 2 ein Computerkörper 101, eine Anzeigeneinheit 102, eine Magnetband­ einheit 103, in die ein Magnetband 104 eingefügt sind, eine Tastatur 105, eine Maus 106, eine CD-ROM-Einheit 107, in die eine CD-ROM (nur Lesespeicher einer Compact-Disc) 108 einge­ fügt sind, und ein Kommunikationsmodem 109 enthalten ist. Un­ nötig zu sagen, daß sie so aufgebaut sein kann, daß sie andere Aufzeichnungsmedien als die Magnetbänder oder die CD-ROMs be­ nutzt.

Die Fehleranalyseverfahren, wie sie unter Bezugnahme auf Fig. 2, 8 oder 13 beschrieben wurden, können realisiert werden durch Ausführen eines Computerprogrammes auf dem Computer. In diesem Fall wird das Programm durch ein Aufzeichnungsmedium wie das Magnetband 104 oder die CD-ROM 108 geliefert. Eben­ falls kann das Programm in der Form von Signalen auf einem Kommunikationskanal ausgebreitet werden und dann auf ein Auf­ zeichnungsmedium herabgeladen werden.

Ein Programm, daß das Fehleranalyseverfahren (hier im folgen­ den als "Fehleranalyseprogramm" bezeichnet) realisiert, wird auf dem Computerkörper 101 ausgeführt, und der Bediener führt die Fehleranalyse durch Betätigen der Tastatur 105 oder der Maus 106 aus, während er die Anzeigeneinheit 102 betrachtet. Das Fehleranalyseprogramm kann über das Kommunikationsmodem 109 zu dem Computerkörper 101 von einem anderen Computer über eine Kommunikationsleitung geliefert werden.

Fig. 20 ist ein Blockschaltbild, das den Aufbau des in Fig. 19 gezeigten Computersystemes darstellt. Der in Fig. 19 ge­ zeigte Computerkörper 101 weist eine CPU (zentrale Verarbei­ tungseinheit) 200, einen ROM (nur Lesespeicher) 201, einen RAM (Direktzugriffsspeicher) 202 und eine Festplatte 203 auf.

Die CPU 200 führt die Verarbeitung durch Eingeben und Ausgeben von Daten unter der Anzeigeneinheit 102, der Magnetbandeinheit 103, der Tastatur 105, der Maus 106, der CD-ROM-Einheit 107, dem Kommunikationsmodem 109, dem ROM 201, dem RAM 202 und der Festplatte 203 aus.

Durch die CPU 200 wird das auf einem Aufzeichnungsmedium wie das Magnetband 104 oder die CD-ROM 108 aufgezeichnete Fehlera­ nalyseprogramm zeitweilig auf der Festplatte 203 gespeichert. Durch die CPU 200 wird das Fehleranalyseprogramm von der Fest­ platte 203 in den RAM 202 geladen und das Programm zum Ausfüh­ ren der Fehleranalyse ausgeführt.

Es ist zu verstehen, daß das vorangehende Computersystem nur als Beispiel beschrieben wird und jedes andere Mittel benutzt werden kann, daß das Fehleranalyseprogramm ausführen kann.

Zusätzlich ist es durch das oben erwähnte Computersystem mög­ lich, das Programm zum Ableiten der Kompressionsschwellenwerte zu realisieren, daß als die vierte Ausführungsform beschrieben wurde, in dem auf das Flußdiagramm von Fig. 16 Bezug genommen wird.

F. Fünfte Ausführungsform F-1. Beispiel der klassifizierten Fehlergruppen

Fig. 21 zeigt eine ursprüngliche FMB 50, die Fehlergruppen enthält, die durch Anwenden einer fünften Ausführungsform des Fehleranalyseverfahrens klassifiziert sind.

Die ursprüngliche FMB 50 ist eine ursprüngliche FBM eines Halbleiterwafers 512, bei dem 28 Halbleitervorrichtungen 511, von denen jedes die Zahl von Speicherzellen (x × y) von 32 Bit × 16 Bit (= gesamt 512 Bit) aufweist, gebildet sind. In der folgenden Beschreibung können die Halbleitervorrichtungen 511 beschrieben werden, in dem sie mit Bezugszeichen 5111 bis 5113 und 5115 bis 5118 bezeichnet sind, so daß sie zur Bequemlich­ keit voneinander unterschieden werden können.

In Fig. 21 sind fehlerhafte Speicherzellen, das heißt fehler­ hafte Bit FB, geschwärzt. Fehlerhafte Bit sind in dem oberen linken Gebiet 513 und einem Gebiet 514 auf der rechten Seite in der Zeichnung vorhanden.

Die Dichte der fehlerhaften Bit (hier im folgenden Fehlerdich­ te genannt) in dem Gebiet 513 ist hoch, und die in dem Gebiet 514 ist niedrig.

Fig. 22 zeigt die Einzelheiten des Gebietes 513. Wie in Fig. 22 gezeigt ist, treten die fehlerhaften Bit FB in der gesamten Fläche einer Halbleitervorrichtung 5111 an der linken Ecke und um die Grenzen in den Halbleitervorrichtungen 5112 und 5113 benachbart zu der Halbleitervorrichtung 5111 auf.

F-2. Analysetätigkeit

Unter Benutzung des in Fig. 23 gezeigten Flußdiagrammes wird unter Bezugnahme auf Fig. 21, 22 und 24 bis 27 eine Feh­ leranalysetätigkeit der fünften Ausführungsform beschrieben.

Zuerst wird in Schritt ST71 die anfängliche Einstellung gele­ sen. Als anfängliche Einstellung wird angenommen, daß die Grö­ ße einer komprimierten Fläche 8 × 8 Bit beträgt, daß der Ab­ stand, der ein benachbartes Pixel bestimmt, 1 Pixel beträgt, daß die Zahl der zu erzeugenden FBMs gleich 2 ist, daß ein Kompressionsschwellenwert einer Kompressionsbedingung FBM-1 zum Spezifizieren einer der FBMs gleich 4 Bit ist, und daß der Kompressionsschwellenwert einer Kompressionsbedingung FBM-2 zum Spezifizieren der anderen FBM gleich 1 Bit ist.

Der Abstand zum Bestimmen des benachbarten Pixels ist ein Pa­ rameter zum Definieren, daß ein Fehlerpixel, das innerhalb ei­ nes vorbestimmten Abstandes (der durch die Zahl von Pixelzel­ len spezifiziert ist) von einem spezifischen Fehlerpixel exi­ stiert, zu der gleichen Gruppe gehört. In diesem Fall wird an­ genommen, daß Fehlerpixel, die in einem Pixel (Abstand) exi­ stieren, zu der gleichen Gruppe gehören.

Jedes Fehlerpixel kann als das spezifische Fehlerpixel benutzt werden. Zuerst wird irgendein Fehlerpixel ausgewählt, und es wird bestimmt, ob oder nicht ein Fehlerpixel innerhalb des Ab­ standes zum Bestimmen des benachbarten Pixels um das ausge­ wählte Fehlerpixel als Mitte vorhanden ist, und der Bestim­ mungsvorgang des benachbarten Pixels wird wiederholt, indem irgendeines der untersuchten Fehlerpixel als Zentrum benutzt wird, wodurch die Fehlerpixel gruppiert werden.

In Schritt ST72 wird "1" als eine Variable n gesetzt. Die Va­ riable n ist ein numerischer Wert, der jedesmal um 1 erhöht wird, wenn eine Reihe von Prozessen der Schritte ST73 bis ST75 wiederholt wird. Die Variable n wird erhöht, bis sie die Zahl der zu erzeugenden FBMs erreicht, die in dem Schritt ST71 ge­ setzt worden ist.

In dem die Variable n auf "1" gesetzt ist, wird die Kompressi­ on auf der Grundlage der Kompressionsbedingung FBM-1 ausge­ führt. In Schritt ST73 wird die in Fig. 21 gezeigte FMB 50 in vier komprimierte Gebiete unterteilt (von denen jedes aus 8 × 8 Bit besteht), die in Schritt ST71 eingestellt sind, und die Kompression wird auf der Grundlage des eingestellten Kompres­ sionsschwellenwertes (4 Bit) in der Kompressionsbedingung FBM-1 ausgeführt, wodurch eine komprimierte FBM 51 erzeugt wird.

Fig. 24 zeigt die komprimierte FBM 51. Wenn die in Fig. 21 und 22 gezeigte ursprüngliche FBM 50 in Gebiete komprimiert wird, die aus 8 Bit in der x-Richtung und 8 Bit in der y- Richtung bestehen, und wenn eine Fehlererfassung für jeweils 4 Bit des Kompressionsschwellenwertes durchgeführt wird, sind keine Fehlerpixel in einem Gebiet 514A vorhanden, obwohl Feh­ lerpixel (die schraffiert sind) dicht in einem Gebiet 513A vorhanden sind. Die Gebiete 513A und 514A sind Gebiete auf der komprimierten FBM entsprechend den Gebieten 513 und 514 in Fig. 21.

Es zeigt, daß weniger als 4 Bit in jedem von all den Pixeln in dem Gebiet 514A vorhanden sind, und alle Pixel werden als Gut­ pixel bestimmt.

Es wird wieder Bezug genommen auf Fig. 23, in Schritt ST74 durch Gruppieren und Extrahieren benachbarter Fehlerpixel, die in dem Abstand des Bestimmens des benachbarten Fehlerpixels (1 Pixel) in der komprimierten FBM 51 vorhanden sind, wird eine Gruppe des Niveaus 1 bestimmt. In diesem Fall werden alle Feh­ lerpixel in dem Gebiet 513A als die Gruppe des Niveaus 1 ex­ trahiert.

Das Niveau 1 bezeichnet das Resultat des Ausführens des Pro­ zesses unter Benutzung der Variablen n von 1, die in 5T72 be­ stimmt wurde.

Die Fehlerbit in der in Schritt ST74 extrahierten Gruppe wer­ den aus der ursprünglichen FBM ausgeschlossen (Schritt ST75). In diesem Fall werden die Fehlerbit in dem Gebiet 513 aus der ursprünglichen FBM 50 ausgeschlossen, und die in Fig. 25 ge­ zeigte bearbeitete ursprüngliche FBM 50A wird erhalten.

In Fig. 25 sind die Fehlerbit aus dem Gebiet 513B ausge­ schlossen, und die Fehlerbit FB sind nur in dem Gebiet 514B vorhanden. Die Gebiete 513B und 514B sind die Gebiete in der bearbeiteten ursprünglichen FBM, die den Gebieten 513 und 514 in Fig. 21 entsprechen.

Nachdem die Reihe von Gruppierungsprozessen in den Schritten 5T73 bis 5T75 beendet ist, wird in Schritt ST76 bestimmt, ob die Variable n den Wert "2" als die Zahl der erzeugten FBMs erreicht hat oder nicht.

Da die Zahl der erzeugten FBMs nicht die "2" erreicht hat, wird "1" zu der Variablen n in Schritt ST78 addiert, und der Prozeß des Schrittes 5T73 und der folgenden Schritte wird wie­ derholt.

Fig. 26 zeigt Einzelheiten des Gebietes 514B in Fig. 25. Wie in Fig. 26 gezeigt ist, treten die Fehlerbit FB selten in der Halbleitervorrichtung 5115 und den Halbleitervorrichtungen 5116, 5117 und 5118 benachbart zu der Halbleitervorrichtung 5115 auf.

In dem die Variable n auf 2 gesetzt ist, wird die Kompression auf der Grundlage der Kompressionsbedingung FBM-2 ausgeführt. In Schritt ST73 wird die in Fig. 25 gezeigte bearbeitete ur­ sprüngliche FBM 50 in die Kompressionsflächen unterteilt (von denen jedes aus 8 × 8 Bit besteht), wie in Schritt ST71 einge­ stellt wurde, die Kompression wird auf der Grundlage des ein­ gestellten Kompressionsschwellenwertes (1 Bit) der Kompressi­ onsbedingung FBM-2 durchgeführt, wodurch eine komprimierte FBM 52 erzeugt wird.

Fig. 27 zeigt die komprimierte FBM 52. Wenn die in Fig. 25 gezeigte bearbeitete ursprüngliche FBM 50A auf die Flächen komprimiert wird, die jeweils aus 8 Bit in der x-Richtung und 8 Bit in der y-Richtung bestehen, und wenn die Fehlererfassung für jedes Bit des Kompressionsschwellenwertes ausgeführt wird, sind Fehlerpixel (die schraffiert sind) dicht in dem Gebiet 514C vorhanden. Da die Fehlerbit in dem Gebiet 513C in der be­ arbeiteten ursprünglichen FBM 50A entfernt worden sind, sind keine Fehlerpixel vorhanden. Die Gebiete 513C und 514C sind Gebiete in der komprimierten FBM, die den Gebieten 513 und 514 in Fig. 21 entsprechen.

Es wird wieder Bezug genommen auf Fig. 23, in Schritt ST74 werden benachbarte Fehlerpixel, die innerhalb des Abstandes zum Bestimmen des benachbarten Fehlerpixels (1 Pixel) in der komprimierten FBM 52 vorhanden sind, gruppiert und extrahiert als eine Gruppe des Niveaus 2. In diesem Fall werden alle Feh­ lerpixel in dem Gebiet 514C als die Gruppe vom Niveau 2 extra­ hiert.

Das Niveau 2 bezeichnet das Resultat des Ausführens des Pro­ zesses unter Benutzung der Variablen von 2, die in Schritt ST72 eingestellt wurde.

Die Fehlerbit in der Gruppe, die in dem Schritt ST74 extra­ hiert werden, werden von der ursprünglichen FBM entfernt (Schritt ST75). In diesem Fall werden die Fehlerbit in dem Ge­ biet 514C von der bearbeiteten ursprünglichen FBM 50A so ent­ fernt, daß kein Fehlerbit mehr in der FBM vorhanden ist.

Nachdem die Reihe von Gruppierungsprozessen in den Schritten ST73 bis ST75 beendet ist, wird in dem Schritt ST76 geprüft, ob die Variable n den Wert "2" als die Zahl der erzeugten FBMs erreicht hat oder nicht.

Da die Variable n gleich 2 ist und 2 als die Zahl der erzeug­ ten FBMs erreicht hat, geht das Programm zu Schritt ST77. In Schritt ST77 werden die Fehlerbitformen in jeder Gruppe, die extrahiert wurde, klassifiziert.

Für die Klassifizierung der Fehlerbitformen in jeder Gruppe kann das Fehleranalyseverfahren, das in der ersten bis vierten Ausführungsform beschrieben worden ist, benutzt werden. Alter­ nativ können andere allgemeine Fehleranalyseverfahren eben­ falls benutzt werden.

F-3. Tätigkeit und Wirkung

Bei dem Fehleranalyseverfahren der fünften Ausführungsform, wie es oben beschrieben wurde, wird eine Mehrzahl von kompri­ mierten FBMs erzeugt, während der Kompressionsschwellenwert und die Pixel, die in einem vorbestimmten Abstand der Bestim­ mung des benachbarten Fehlerpixels vorhanden sind, als Pixel behandelt, die zu der gleichen Gruppe gehören, wodurch Gebiete mit verschiedenen Fehlerpixeldichten in verschiedene Gruppen gruppiert werden können. Nachdem die Gebiete gruppiert sind, werden die Fehlerbitformen auf der Grundlage der Gruppeneinheit klassifiziert, so daß die Ursache des Fehlers wirksam an­ gegeben werden kann.

Das heißt, wenn Fehler dicht auftreten, wird lokal konzen­ triertes Auftreten von fremder Materie als Ursache angenommen. Da die Ursache gemäß der Fehlerdichte variiert, werden Gebiete von verschiedenen Fehlerdichten als verschiedene Gruppen grup­ piert, und die Fehlerbitformen werden klassifiziert, wodurch die Ursache der Fehler genauer angegeben werden kann.

6. Sechste Ausführungsform G-1. Beispiele von zu klassifizierenden Fehlergruppen

Fig. 28 zeigt eine ursprüngliche FBM 60 mit Fehlergruppen, die durch Anwenden einer sechsten Ausführungsform des Fehlera­ nalyseverfahrens klassifiziert sind.

Der grundlegende Aufbau und der ursprünglichen FBM 60 ist der gleiche wie der der in Fig. 21 gezeigten ursprünglichen FBM 50. Die gleichen Aufbauten werden durch die gleichen Bezugs­ zeichen bezeichnet, und die wiederholte Beschreibung wird hier nicht angegeben.

In der folgenden Beschreibung werden die Halbleitervorrichtun­ gen 511 beschrieben, indem ihnen Bezugszeichen 5111 bis 5116 zugeordnet werden, so daß sie voneinander bequemerweise unter­ schieden werden können.

In Fig. 28 sind fehlerhafte Speicherzellen, das heißt Fehler­ bit FB geschwärzt. Fehlerbit existieren in dem oberen linken Gebiet 517 in der Zeichnung. Das Gebiet 517 weist eine Vertei­ lung der Fehlerbitdichte auf.

Fig. 29 zeigt speziell das Gebiet 517. Wie in Fig. 29 ge­ zeigt ist, treten Fehlerbit FB in der Halbleitervorrichtung 5111 an der linken Ecke und in den Halbleitervorrichtungen 5112 bis 5116 benachbart zu der Halbleitervorrichtung 5111 auf. Die Fehlerbitdichte ist relativ hoch in der Halbleiter­ vorrichtung 5111 und um die Grenzen der Halbleitervorrichtun­ gen 5112 und 5113 benachbart zu der Halbleitervorrichtung 5111. Die Fehlerbitdichte nimmt mit dem Abstand von der Halb­ leitervorrichtung 5111 ab.

G-2. Analysetätigkeit

In dem das in Fig. 30 gezeigte Flußdiagramm benutzt wird, wird unter Bezugnahme auf Fig. 28, 29 und 31 bis 33 eine Fehleranalysetätigkeit der sechsten Ausführungsform beschrie­ ben.

Prozesse in den Schritten ST81 bis ST84 sind die gleichen wie jene in den Schritten ST71 bis ST74, die unter Benutzung der Fig. 23 beschrieben worden sind, und die wiederholte Be­ schreibung wird hier nicht gegeben.

Nach den Schritten ST81 und ST82 wird die in Fig. 29 gezeigte ursprüngliche FBM 60 in Schritt ST83 in komprimierte Flächen (von denen jede aus 8 × 8 Bit besteht) unterteilt, die in Schritt ST81 eingestellt sind, und die Kompression wird auf der Grundlage des eingestellten Kompressionsschwellenwertes (4 Bit) in dem Kompressionszustand FBM-1 ausgeführt, wodurch eine komprimierte FBM 61 erzeugt wird.

Fig. 31 zeigt die komprimierte FBM 61. Wenn die in Fig. 28 und 29 gezeigte ursprüngliche FBM 60 in Flächen komprimiert wird, die aus 8 Bit in der x-Richtung und 8 Bit in der y- Richtung bestehen, und die Fehlererfassung für jeweils 4 Bit des Kompressionsschwellenwertes durchgeführt wird, obwohl Feh­ lerpixel (die schraffiert sind) dicht in der Halbleitervor­ richtung 5111 und um die Grenzen in den Halbleitervorrichtun­ gen 5112 und 5113 benachbart zu der Halbleitervorrichtung 5111 vorhanden sind, ist kein Fehlerpixel in den anderen Halblei­ tervorrichtungen 5112 bis 5116 vorhanden. Das Gebiet 517A ist ein Gebiet in der komprimierten FBM entsprechend dem Gebiet 517 in Fig. 28.

Jeder der schraffierten Abschnitte in dem Gebiet 517A bezeich­ net ein Gebiet mit einer relativ hohen Fehlerdichte, bei der Fehlerbit von 4 oder mehr Bit pro Pixel vorhanden sind. In den anderen Gebieten sind Fehlerbit mit weniger als 4 Bit pro Pi­ xel vorhanden, und die Fehlerdichte ist niedrig.

Es wird wieder Bezug genommen auf Fig. 30, in Schritt ST84 werden benachbarte Fehlerpixel, die innerhalb des Abstandes zum Bestimmen des benachbarten Fehlerpixels (1 Pixel) in der komprimierten FBM 61 gruppiert und als eine Gruppe des Niveaus 1 extrahiert. In diesem Fall werden alle Fehlerpixel in dem Gebiet 517A als die Gruppe vom Niveau 1 extrahiert.

Nachdem die Reihe von Gruppierungsprozessen in den Schritten ST83 und ST84 beendet ist, wird in Schritt ST85 geprüft, ob die Variable n den Wert "2" als die Zahl der erzeugten FBMs erreicht oder nicht.

Da die Variable n gleich 2 ist und 2 als die Zahl der erzeug­ ten FBMs erreicht, geht das Programm zu Schritt ST86 vor, in dem das Beteiligungsverhältnis/das Verhältnis des Enthalten­ seins für jede extrahierte Gruppe des Niveaus geprüft wird, und eine beteiligte/enthaltene Gruppe wird mit einer beteili­ genden/enthaltenden Gruppe verknüpft. In diesem Fall ist die Gruppe von Fehlerpixeln des Niveaus 1 in dem Gebiet 517A in der Gruppe der Fehlerpixel des Niveaus 2 in dem Gebiet 517b beteiligt, und das Gebiet 517A wird als ein Teil des Gebietes 517B verknüpft.

Das Beteiligungsverhältnis unter Gruppen wird wie folgt ge­ prüft. Bildungsgebiete von Fehlerpixeln, die jede Gruppe in der komprimierten Fehlerbitkarte aufbauen, in diesem Fall x- und y-Koordinaten der Gruppe von Fehlerpixeln des Niveaus 1, die in Fig. 31 schraffiert sind, und jene der Gruppe von Feh­ lerpixeln des Niveaus 2, die in Fig. 32 schraffiert sind, werden miteinander verglichen, wodurch die Beziehung zwischen der beteiligenden Gruppe und der beteiligten Gruppe festgelegt wird.

Wenn zum Beispiel die Gruppe von Fehlerpixeln des Niveaus 1 von 0 bis 20 in der x-Koordinate und von 0 bis 20 in der y- Koordinate erstreckt, und wenn sich die Gruppe von Fehlerpi­ xeln des Niveaus 2 von 0 bis 30 in der x-Koordinate und von 0 bis 30 in der y-Koordinate erstreckt, wird bestimmt, daß die Gruppe der Fehlerpixel des Niveaus 1 in der Gruppe der Fehler­ pixel des Niveaus 2 beteiligt/enthalten ist.

Durch Klassifizieren der Formen der Fehlerbit in jeder der ex­ trahierten Gruppe in dem Schritt ST87 wird das Resultat der Klassifikation der Fehlerbitformen erhalten, wie in Fig. 33 gezeigt ist.

Fig. 33 zeigt das Resultat der Klassifizierung der Fehlerbit­ formen, daß als Systemdiagramm so ausgegeben wird, daß die Be­ teiligungsbeziehungen klargestellt werden. Die Gruppe des Ni­ veaus 1 ist in der Gruppe des Niveaus 2 enthalten, und bezüg­ lich anderer Fehler sind auch die minderwertigen Bit A bis D enthalten. Es ist gezeigt, daß die minderwertigen Bit E bis J in der Gruppe des Niveaus 1 enthalten sind.

Jedes der minderwertigen Bit A bis J ist nur ein Beispiel des Annehmens zur Bequemlichkeit eines Teiles von minderwertigen Bit, die durch Analysieren der Form der Fehlerbit in der in Fig. 28 und 29 gezeigten ursprünglichen FBM 60 erhalten sind. Offensichtlich kann ein minderwertiger Block und eine minderwertige Linie ebenfalls durch Analysieren der Form der Fehlerbit angenommen werden.

Zum Klassifizieren der Fehlerbitform in jeder Gruppe können die Fehleranalyseverfahren, die in der ersten bis vierten Aus­ führungsform beschrieben worden sind, ebenfalls benutzt wer­ den, oder ein allgemeines Fehleranalyseverfahren kann eben­ falls benutzt werden.

G-3. Tätigkeit und Wirkung

Bei dem Fehleranalyseverfahren der sechsten Ausführungsform, wie es oben beschrieben wurde, wird eine Mehrzahl von kompri­ mierten FBMs erzeugt, während der Kompressionsschwellenwert und die Pixel, die in einem vorbestimmten Abstand zum Bestim­ men des benachbarten Fehlerpixels enthalten sind, als Pixel behandelt, die zu der gleichen Gruppe gehören, wodurch Flä­ chen/Gebiete mit verschiedenen Fehlerdichten in verschiedene Gruppen gruppiert werden können. Nachdem die Flächen gruppiert sind, wird das Beteiligungsverhältnis zwischen den Gruppen ge­ prüft, und die Fehlerbitformen werden auf der Basis der Grup­ peneinheit klassifiziert, wodurch die Ursache des Fehlers wirksam angegeben werden kann.

Das heißt, dort wo Fehler dicht auftreten, wird das konzen­ trierte Auftreten von lokaler fremder Materie als eine Ursache angesehen. Da die Ursache gemäß der Fehlerdichte variiert, werden die Flächen verschiedener Fehlerdichten in verschiedene Gruppen gruppiert, und die Fehlerbitformen werden klassifi­ ziert, wodurch die Ursache des Fehlers genauer angegeben wer­ den kann. Durch Prüfen des Beteiligungsverhältnisses kann die Fehlerbitdichteverteilung erkannt werden, so daß eine wirksame Quelle zum Bestimmen der Ursache des Fehlers erhalten werden kann.

H. Siebte Ausführungsform H-1. Beispiel der klassifizierten Fehlergruppen

Fig. 34 zeigt eine ursprüngliche FBM 70, die Fehlergruppen enthält, die durch Anwenden einer siebten Ausführungsform des Fehleranalyseverfahrens klassifiziert sind.

Der grundlegende Aufbau der ursprünglichen FBM 70 ist der gleiche wie der der in Fig. 21 gezeigten ursprünglichen FBM 50. Die gleichen Teile wird durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und die wiederholte Beschreibung wird nicht gege­ ben.

In der folgenden Beschreibung können die Halbleitervorrichtun­ gen 511 beschrieben werden, in dem ihnen Bezugszeichen 5111 bis 5117 so zugeordnet werden, daß sie zur Erleichterung von­ einander unterschieden werden können.

In Fig. 34 sind minderwertige Linien (X-Linien), die sich in der x-Richtung erstrecken, in einem oberen linken Gebiet 521 in der Zeichnung vorhanden, und minderwertige Linien (Y- Linien), die sich in der y-Richtung erstrecken, sind in einem Gebiet 522 auf der rechten Seite enthalten. Die minderwertigen Linien sind geschwärzt.

Fig. 35 zeigt speziell das Gebiet 521. Wie in Fig. 35 ge­ zeigt ist, tritt eine Fehlerbitlinie FBL, in der Fehlerbit in der y-Richtung aufgereiht sind, in dem gesamten Gebiet der Halbleitervorrichtung 5111 an der linken Kante und um die Grenze in der Halbleitervorrichtung 5112 benachbart zu der Halbleitervorrichtung 5111 auf.

Fig. 36 zeigt speziell das Gebiet 522. Wie in Fig. 36 ge­ zeigt ist, tritt eine Fehlerbitlinie FBL, in der Fehlerbit in der x-Richtung aufgereiht sind, in dem gesamten Gebiet der Halbleitervorrichtung 5113 und in den Halbleitervorrichtungen 5114 bis 5117 um die Halbleitervorrichtung 5113 herum auf.

H-2. Analysetätigkeit

Durch Benutzen des in Fig. 37 und 38 gezeigten Flußdiagram­ mes wird die Fehleranalysetätigkeit unter Bezugnahme auf Fig. 34 bis 36 und Fig. 38 bis 44 beschrieben. Fig. 37 und 38 sind miteinander über die Bezugszeichen A und B verbun­ den.

Zuerst wird in Schritt ST91 die anfängliche Einstellung gele­ sen. Als anfängliche Einstellung wird angenommen daß der Abstand zu dem benachbarten Pixel 1 Pixel ist, daß die Zahl der zu erzeugenden FBMs gleich 2 ist, daß die Zahl der Kompressi­ onsvorgänge der Kompressionsbedingung FBM-1 zum Spezifizieren einer der FBMs gleich 2 ist und daß die Zahl der Kompressions­ vorgänge der Kompressionsbedingung FBM-2 gleich 2 ist.

Die Zahl der Kompressionsvorgänge bezeichnet die Zahl des Aus­ führens des Kompressionsprozesses einer einzelnen FBM. Wenn die Zahl der Kompressionsvorgänge 2 ist, wird der Kompressi­ onsprozeß zweimal ausgeführt. Da die Kompressionsbedingung für die erste Kompression und die für die zweite Kompression von­ einander unterschiedlich gemacht werden, sind insgesamt vier Arten von Kompressionsbedingungen eingestellt.

Die vier Arten von Kompressionsbedingungen sind wie folgt. In der Kompressionsbedingung FBM-1-1 beträgt der Kompressions­ schwellenwert 6 Bit, und die Größe der Kompressionsfläche ist 1 × 8 Bit. In der Kompressionsbedingung FBM-1-2 beträgt der Kom­ pressionsschwellenwert 1 Pixel und die Größe der Kompressions­ fläche beträgt 8 × 1 Pixel. In der Kompressionsbedingung FBM-2-1 beträgt der Kompressionsschwellenwert 12 Bit, und die Größe der Kompressionsfläche beträgt 16 × 1 Bit. In der Kompressions­ bedingung FBM-2-2 beträgt der Kompressionsschwellenwert 1 Pi­ xel, und die Größe der Kompressionsfläche beträgt 1 × 8 Pixel.

Die Kompressionsbedingungen FBM-1-1 und FBM-1-2 sind Kompres­ sionsbedingungen, in denen die Fehlerform des Gebietes 521 be­ trachtet wird. Die Kompressionsbedingungen FBM-2-1 und FBM-2-2 sind Kompressionsbedingungen, in denen die Fehlerform des Ge­ bietes 522 betrachtet wird.

"1" wird als die Variable n in Schritt ST92 eingestellt, und "1" wird als die Variable m in Schritt ST93 eingestellt.

Die Variable m bezeichnet einen numerischen Wert, der jedesmal um eins erhöht wird, wenn der Prozeß in Schritt ST94 ausge­ führt wird. Die Variable m wird bis zu der Zahl der Kompressi­ onsvorgänge erhöht, die in dem Schritt ST91 eingestellt wurde.

Die Variable n bezeichnet einen numerischen Wert, der um eins jedesmal erhöht wird, wenn die Prozesse in den Schritten ST94 bis ST96 ausgeführt werden. Die Variable n wird bis zu der Zahl der erzeugten FBMs erhöht, die in dem Schritt ST91 einge­ stellt wurde.

In dem "1" für jede der Variablen n und m eingestellt wird, wird die Kompression unter der Kompressionsbedingung FBM-1-1 ausgeführt. In Schritt ST94 wird die ursprüngliche FBM 70, die in Fig. 34 und 35 gezeigt ist, in Kompressionsflächen (jede besteht 1 × 8 Bit) unter der Kompressionsbedingung FBM-1-1, die in Schritt ST91 eingestellt wurde, unterteilt, und die Kom­ pression wird auf der Grundlage des eingestellten Kompressi­ onswertes (6 Bit) ausgeführt, wodurch eine komprimierte FBM 71 erzeugt wird.

Fig. 39 und 40 zeigen die komprimierte FBM 71. Wenn die in Fig. 34 bis 36 gezeigte ursprüngliche FBM 70 in Flächen un­ terteilt wird, von denen jede aus einem Bit in der x-Richtung und 8 Bit in der y-Richtung besteht und die Fehlererfassung für jeweils 6 Bit des Kompressionsschwellenwertes ausgeführt wird, gibt es kein Fehlerpixel in dem Gebiet 522A, obwohl Feh­ lerpixel (geschwärzt) in dem Gebiet 521A vorhanden sind. Die Gebiete 521A und 522A sind Gebiete in der komprimierten FBM, die den Gebieten 521 und 522 in Fig. 34 entsprechen.

Fig. 40 zeigt die Details des Gebietes 521B in Fig. 39. Eine Mehrzahl von Fehlerpixeln FPL in Streifen ist in dem gesamten Gebiet der Halbleitervorrichtung 5111 und um die Grenze in der Halbleitervorrichtung 5112 benachbart zu der Halbleitervor­ richtung 5111 vorhanden.

Es wird wieder Bezug genommen auf Fig. 37, in Schritt ST95 wird geprüft, ob die Variable m 2 als die Zahl der Kompressi­ onsvorgänge von FBM-1 erreicht hat oder nicht.

Da die Zahl der Kompressionsvorgänge von FBM-1 nicht 2 in die­ sem Fall erreicht hat, wird "1" zu der Variablen m in Schritt ST100 addiert, und der Prozeß in Schritt ST94 wird wiederholt.

Durch Setzen der Variablen m auf 2 wird die Kompression unter der Kompressionsbedingung FBM-1-2 ausgeführt. In Schritt ST94 wird die in Fig. 39 gezeigte komprimierte FMB 71 in kompri­ mierte Gebiete (jedes besteht aus 8 × 1 Pixel) unter der Kom­ pressionsbedingung FBM-1-2 unterteilt, die in Schritt ST91 ge­ setzt ist, und die Kompression wird weiter auf der Basis des Kompressionsschwellenwertes (1 Pixel) durchgeführt, wodurch eine wiederholt komprimierte FBM 72 erzeugt wird.

Fig. 41 zeigt die wiederholt komprimierte FBM 72. Die in Fig. 39 gezeigte komprimierte FBM 71 wird weiter in Gebiete komprimiert, die aus 8 Pixeln in der x-Richtung und 1 Pixel in der y-Richtung bestehen, und die Fehlererfassung wird für je­ des Pixel des Kompressionsschwellenwertes in einem Gebiet 521B ausgeführt, Fehlerpixel (die schraffiert sind) sind dicht in dem gesamten Gebiet der Halbleitervorrichtung 5111 und um die Grenze der Halbleitervorrichtung 5112 benachbart zu der Halb­ leitervorrichtung 5111 vorhanden. Offensichtlich gibt es kein Fehlerpixel in einem Gebiet 522B.

Die Gebiete 521B und 522B sind Gebiete in der komprimierten FBM, die den Gebieten 521 und 522 in Fig. 34 entsprechen.

Es wird wieder Bezug genommen auf Fig. 37, in Schritt ST95 wird bestimmt, ob die Variable m 2 als die Zahl der Kompressi­ onsvorgänge von FBM-1 erreicht oder nicht.

Da die Zahl der Kompressionsvorgänge von FBM-1 in diesem Fall 2 ist, geht das Programm zu Schritt ST96 vor, der in Fig. 38 gezeigt ist. In Schritt ST96 werden benachbarte Fehlerpixel, die innerhalb des Abstandes des Bestimmens des benachbarten Fehlerpixels (1 Pixel) in der wiederholt komprimierten FBM 72 vorhanden sind, gruppiert und als eine Gruppe des Niveaus 1 extrahiert (minderwertige Linien, die sich in der x-Richtung erstrecken).

In diesem Fall werden alle Fehlerpixel in dem Gebiet 521B als die Gruppe des Niveaus 1 extrahiert.

Das Niveau 1 bezeichnet das Resultat des Ausführens des Pro­ zesses unter Benutzung der Variablen n von 1, die in Schritt ST92 eingestellt wurde.

Nach dem Wiederholen der Schritte ST94 bis ST96, die in Fig. 37 und 38 gezeigt sind, und Beenden der Reihe der Gruppie­ rungsprozesse in Schritt ST97 wird geprüft, ob oder nicht die Variable n den Wert "2" als die Zahl der erzeugten FBMs er­ reicht hat.

Da die Zahl 2 der erzeugten FBMs noch nicht erreicht worden ist, wird "1" zu der Variablen n in dem Schritt ST101 addiert, und der Prozeß von Schritt ST93 und die folgenden Schritte werden wiederholt.

Zuerst wird durch Einstellen von 1 als die Variable m in Schritt ST93 die Variable n gleich 2 und die Variable m gleich 1 eingestellt, und die Kompression und der Kompressionsbedin­ gung FBM-2-1 wird ausgeführt.

In Schritt ST94 wird daher die in Fig. 34 gezeigte ursprüng­ liche FBM 70 in komprimierte Gebiete (jedes besteht aus 16 × 1 Bit) unter der Kompressionsbedingung FBM-2-1 unterteilt, die in Schritt ST91 eingestellt wurde, und die Kompression wird auf der Grundlage des eingestellten Kompressionsschwellenwer­ tes (12 Bit) ausgeführt, wodurch eine komprimierte FBM 73 er­ zeugt wird.

Fig. 42 und 43 zeigen die komprimierte FBM 73. Wenn die in Fig. 34 gezeigte ursprüngliche FBM 70 in Gebiete komprimiert wird, die aus 16 Bit in der x-Richtung und 1 Bit in der y- Richtung bestehen und die Fehlererfassung jeweils nach 12 Bit des Kompressionsschwellenwertes ausgeführt wird, gibt es kein Fehlerpixel in einem Gebiet 521C, obwohl Fehlerpixel (die ge­ schwärzt sind) in einem Gebiet 522C vorhanden sind. Die Gebie­ te 521c und 522C sind Gebiete in der komprimierten FBM, die den Gebieten 521 und 522 in Fig. 34 entsprechen.

Fig. 43 zeigt die Details des Gebietes 522 in Fig. 42. Eine Mehrzahl von Fehlerpixeln FPL in Streifen ist in dem gesamten Gebiet der Halbleitervorrichtung 5113 und in den Halbleiter­ vorrichtungen 5114 bis 5117 um die Halbleitervorrichtung 5113 vorhanden.

Es wird wieder Bezug genommen auf Fig. 37, in Schritt ST95 wird geprüft, ob die Variable m den Wert "2" als die Zahl der Kompressionsvorgänge von FBM-2 erreicht hat oder nicht.

Da die Zahl der Kompressionsvorgänge von FBM-2 nicht "2" er­ reicht hat, wird "1" zu der Variablen m in Schritt ST100 ad­ diert, und die Prozesse in Schritt ST94 und folgenden Schritte werden wiederholt.

Durch Einstellen "2" als die Variable m wird die Kompression auf der Grundlage der Kompressionsbedingung FBM-2-2 ausge­ führt. In Schritt ST94 wird die in Fig. 42 gezeigte FBM 73 in die komprimierten Gebiete (jedes besteht aus 1 × 8 Pixeln) unter der Kompressionsbedingung FBM-2-2 unterteilt, die in Schritt ST91 eingestellt wurde, und die Kompression wird weiter auf der Grundlage des eingestellten Schwellenwertes (1 Pixel) durchgeführt, wodurch eine wiederholt komprimierte FBM 74 er­ zeugt wird.

Fig. 44 zeigt die wiederholt komprimierte FBM 74. Wenn die in Fig. 42 gezeigte komprimierte FBM 73 weiter in Gebiete kom­ primiert wird, die jeweils aus einem Pixel in der x-Richtung und 8 Pixel in der y-Richtung bestehen, und wenn die Fehlerer­ fassung für jedes Pixel des Kompressionsschwellenwertes durch­ geführt wird, sind in einem Gebiet 522D Fehlerpixel (die schraffiert sind) dicht in dem gesamten Gebiet der Halbleitervorrichtung 5113 und den Halbleitervorrichtungen 5114 bis 5117 um die Halbleitervorrichtung 5113 vorhanden. Offensichtlich gibt es kein Fehlerpixel in einem Gebiet 521D.

Die Gebiete 521D und 522D sind Gebiete in der komprimierten FBM, die den Gebieten 521 und 522 in Fig. 34 entsprechen.

Es wird wieder Bezug genommen auf Fig. 37, in Schritt ST95 wird geprüft, ob die Variable m 2 als die Zahl der Kompressi­ onsvorgänge FBM-2 erreicht hat oder nicht.

Da die Zahl der Kompressionsvorgänge von FBM-2 den Wert 2 er­ reicht hat, geht das Programm zu dem in Fig. 38 gezeigten Schritt ST96. In Schritt ST96 werden benachbarte Fehlerpixel, die innerhalb des Abstandes, der das benachbarte Fehlerpixel bestimmt (1 Pixel) in der wiederholt komprimierten FBM 74 vor­ handen sind, gruppiert und extrahiert als eine Gruppe des Ni­ veaus 1 (minderwertige Linien, die sich in die y-Richtung er­ strecken).

In diesem Fall werden alle Fehlerpixel in dem Gebiet 522D als die Gruppe des Niveaus 2 extrahiert.

Das Niveau 2 bezeichnet das Resultat des Ausführens des Pro­ zesses mit der Variablen n von 2, die in Schritt ST101 einge­ stellt wurde.

Nachdem die in den Fig. 37 und 38 gezeigten Schritte ST94 bis ST96 wiederholt sind und die Reihe der Gruppierungsprozes­ se beendet ist, wird in Schritt ST97 bestimmt, ob die Variable n den Wert "2" als die Zahl der zeugten FBMs erreicht hat oder nicht.

Da die Variable n gleich 2 ist, was die Zahl der erzeugten FBMs ist, geht das Programm zu Schritt ST98, in dem die Betei­ ligungsbeziehung für jede Gruppe des extrahierten Niveaus ge­ prüft wird, und eine beteiligte Gruppe wird mit einer beteili­ genden Gruppe assoziiert.

In diesem Fall wird ein Assoziierungsprozeß nicht ausgeführt, da die Gruppe des Niveaus 1 und die Gruppe des Niveaus 2 keine Beteiligungsbeziehung aufweisen.

In Schritt ST99 wird die Form der Fehlerbit für jede extra­ hierte Gruppe klassifiziert.

Für die Klassifizierung der Fehlerbitformen auf der Basis der Gruppeneinheit kann das Fehleranalyseverfahren, das in der er­ sten bis vierten Ausführungsform beschrieben worden ist be­ nutzt werden. Andere allgemeine Fehleranalyseverfahren können ebenfalls benutzt werden.

H-3. Tätigkeit und Wirkung

Bei dem Fehleranalyseverfahren der siebten Ausführungsform, das oben beschrieben wurde, wird eine Mehrzahl von komprimier­ ten FBMs durch Wiederholung des Kompressionsvorganges unter Kompressionsbedingungen erzeugt, in denen der Kompressions­ schwellenwert und die Kompressionsfläche variiert werden, und Pixel, die in einen Bestimmungsabstand für benachbarte Fehler­ pixel fallen, werden als Pixel behandelt, die zu der gleichen Gruppe gehören, wodurch ermöglicht wird, daß Flächen mit ver­ schiedenen Fehlerpixelformen in verschiedene Gruppen gruppiert werden. Nachdem die Gebiete gruppiert sind, wird die Beteili­ gungsbeziehung unter den Gruppen geprüft, und die Fehlerbit­ formen werden auf der Basis der Gruppeneinheit klassifiziert, wodurch ermöglicht wird, daß die Ursache des Fehlers wirksam angegeben werden kann.

Das heißt, da die Ursache in dem Fall, in der eine Mehrzahl von minderwertigen Linien in der x-Richtung auftritt, und in dem Fall, in dem eine Mehrzahl von minderwertigen Linien in der y-Richtung auftritt, sich voneinander unterscheiden, kön­ nen die Gebiete von verschiedenen Fehlerbitformen in verschie­ denen Gruppen gruppiert werden, und die Fehlerbitformen werden klassifiziert, wodurch ermöglicht wird, daß die Ursache des Fehlers genauer angegeben werden kann. Durch Prüfen der Betei­ ligungsbeziehung kann die Positionsbeziehung von Gebieten mit verschiedenen Fehlerbitformen erkannt werden, so daß eine wirksame Quelle zum Bestimmen der Ursache des Fehlers erhalten werden kann.

1. Achte Ausführungsform

Das Verfahren des automatischen Erhaltens eines geeigneten Kompressionsschwellenwertes auf der Grundlage der Form eines Fehlerbitmusters ist bei der vierten Ausführungsform unter Be­ nutzung der Fig. 15 bis 18 beschrieben. Da es auch bei der fünften und sechsten Ausführungsform wirksam ist, den Kompres­ sionsschwellenwert durch dieses Verfahren zu erzielen, wird es hier unten als die achte Ausführungsform beschrieben.

Die in Fig. 21 gezeigte ursprüngliche FBM 50 wird als Bei­ spiel beschrieben. Zuerst wird die in Fig. 21 gezeigte ur­ sprüngliche FBM 50 in Kompressionsflächen vorbestimmter Werte unterteilt. Die numerischen Werte sind zum Beispiel 8 × 8 Bit für jede Kompressionsfläche, die bei der anfänglichen Einstel­ lung in der fünften Ausführungsform eingestellt sind, was un­ ter Benutzung von Fig. 30 beschrieben wurde.

Darauf folgend wird die Zahl der Fehlerbit pro Pixel (Kompres­ sionsfläche) gezählt. Fig. 45 zeigt eine Liste der Zahl von Fehlerbit in jedem Pixel.

Fig. 45 ist ein Diagramm mit einer Querlinie (Abszisse), die die Zahl der Fehlerbit anzeigt, die in jedem Pixel enthalten sind, und die vertikale Linie (Ordinate) zeigt die Zahl der Pixel an. Die Zahl der Pixel, die jeweils ein Fehlerbit ent­ halten, beträgt 20, die Zahl der Pixel, die jeweils 2 Fehler­ bit enthalten beträgt 5, und die Zahl der Pixel, die jeweils 3 Fehlerbit enthalten, beträgt 3. Auf solch eine Weise nimmt die Zahl der Pixel ab, und die Zahl von Pixeln, die jeweils 4 oder 5 Fehlerbit enthalten, ist 0.

Danach erhöht sich die Zahl der Pixel wie folgt. Die Zahl der Pixel, die jeweils 6 Fehlerbit enthalten, beträgt 1, und die Zahl der Pixel, die jeweils 7 Fehlerbit enthalten beträgt 3, aus dem Diagramm kann geschätzt werden, daß die Fehlerbitauf­ tretungscharakteristik durch eine quadratische Kurve (nach oben offene Parabel) aproximiert wird, bei der der Minimalwert der Zahl von Pixeln 0 ist.

Diese Charakteristik ist die gleiche wie die in Fig. 18. Auf eine Weise ähnlich zu der vierten Ausführungsform wird der Kompressionsschwellenwert aus dem Minimalwert der Fehlerpixe­ lauftretungswahrscheinlichkeit berechnet. Der auf diese Weise erhaltene Kompressionsschwellenwert beträgt 4 Bit in diesem Beispiel.

Da das Verfahren des automatischen Erhaltens des Kompressions­ schwellenwertes auf der Grundlage der Daten der ursprünglichen FBM 50 ähnlich zu dem des Flußdiagrammes von Fig. 16 ist, wird eine weitere Erläuterung nicht gegeben. Die Tätigkeit und Wirkung ist ähnlich wie die der vierten Ausführungsform.

J. Beispiel 1 des Anzeigens des Analyseresultates

Als die Fehleranalyseverfahren, die oben in der fünften bis siebten Ausführungsform beschrieben worden sind, wurden die Verfahren des Gruppierens von Gebieten verschiedener Fehler­ bitdichten oder verschiedener Fehlerbitformen als verschiedene Gruppen beschrieben. Das erhaltene Resultat kann angezeigt werden, wie in Fig. 46 und 47 gezeigt ist.

Fig. 46 und 47 zeigen bearbeitete ursprüngliche FBMs 50B und 50C, die die Fehlerbitgruppen als Gruppen der Niveaus 1 und 2 in der fünften Ausführungsform bezeichnen. Gebiete 513D und 514D, die in Fig. 46 und 47 gezeigt sind, sind Gebiete in der bearbeiteten ursprünglichen FBM entsprechend den Gebie­ ten 513 bzw. 514 in Fig. 21.

Durch Extrahieren und Anzeigen der Verteilung der Fehlerbit­ gruppe von der ursprünglichen FBM kann die Verteilung einer jeden Fehlerbitgruppe leicht visuell erkannt werden.

K. Beispiel 2 des Anzeigens des Analyseresultates

Als ein Beispiel des Anzeigens des Resultates der Gruppierung kann das Resultat auch angezeigt werden, wie in Fig. 48 und 49 gezeigt ist.

Fig. 48 und 49 sind Teilansichten, die die bearbeitete ur­ sprüngliche FBM 50D zeigen, bei der Fehlergruppen, die als Gruppen des Niveaus 1 und 2 in der fünften Ausführungsform ex­ trahiert sind, durch Gruppen gefärbt sind (verschieden schraf­ fiert in dem Bild). Gebiete 513E und 514E, die in Fig. 48 und 49 gezeigt sind, sind Gebiete in der bearbeiteten ur­ sprünglichen FBM, die den Gebieten 513 und 514 in Fig. 21 entsprechen.

Durch Extrahieren der Verteilungen der Fehlergruppen aus der ursprünglichen FBM und Färben der Fehlergruppen um Gruppe und gleichzeitiges Anzeigen der Gruppen kann die Verteilung der Fehlergruppen leichter visuell erkannt werden. Solch ein An­ zeigeverfahren ist geeignet zum Anzeigen von Fehlergruppen, die beteiligende/enthaltende und beteiligte/enthaltene Bezie­ hungen aufweisen, wie sie in der fünften Ausführungsform be­ schrieben wurden.

L. Beispiel 3 des Anzeigens des Analyseresultates

Bei dem Fehleranalyseverfahren, das in der fünften bis siebten Ausführungsform beschrieben worden ist, werden die Gebiete verschiedener Fehlerbitdichten oder verschiedener Fehlerbit­ formen in verschiedenen Gruppen gruppiert, und das Resultat wird als bearbeitete FBM oder komprimierte FBM angezeigt. Wie hierunter unter Benutzung der Fig. 50 bis 52 beschrieben wird, können die Gebiete durch Diagramme angezeigt werden.

Fig. 50 zeigt eine Gebietsunterteilung 531 auf einem Wafer, die zum Berechnen der Fehlergruppen benutzt wird. Gebiete R2 bis R6 sind in konzentrischen ringförmigen Flächen um ein Ge­ biet R1 in der Mitte des Wafers als Zentrum vorgesehen. Es ist ausreichend, die Länge in der Radiusrichtung eines jeden der Gebiete R1 bis R6 geeignet einzustellen.

Fig. 51 ist ein Diagramm, das das Resultat des Ausführens der in der fünften bis siebten Ausführungsform beschriebenen Feh­ leranalyse auf einer Mehrzahl von Wafer zeigt. Die Position eines jeden Fehlerbits in der Fehlergruppe, die als eine Grup­ pe des Niveaus 1 extrahiert ist, ist in Beziehung der Gebiets­ unterteilung 531 gezeigt, die in Fig. 50 gezeigt ist.

Das heißt, Fig. 51 ist ein Diagramm, das die Zahl der vorhan­ denen Fehlerbit zeigt, die eine Fehlergruppe aufbauen, die als Gruppe des Niveaus 1 extrahiert ist, in jedem der Gebiete R1 bis R6, und es zeigt die Verteilung der Fehlerbit in jedem der Gebiete R1 bis R6.

In Fig. 51 weist das Gebiet R4 eine Spitze der Fehlerbit auf. Es ist zu verstehen, daß die Mittelposition der Fehlergruppe des Niveaus 1 in dem Gebiet R4 vorhanden ist.

Fig. 52 ist ein Diagramm, das die Position einer Fehlergruppe zeigt, die als eine Gruppe des Niveaus 2 extrahiert ist in Be­ ziehung auf die in Fig. 50 gezeigte Gebietsunterteilung 531, das heißt ein Diagramm, das die Zahl der Fehlerbit zeigt, die in den Gebieten R1 bis R6 vorhanden sind, die die Fehlergruppe aufbauen, die als Gruppe des Niveaus 2 extrahiert ist.

In Fig. 52 ist zu verstehen, daß das Gebiet R1 eine Spitze der Fehlerbit aufweist, und die Mittelposition der Fehlergrup­ pe des Niveaus 2 ist in dem Gebiet R1 vorhanden.

Durch Extrahieren der Verteilung der Fehlergruppe aus der ur­ sprünglichen FBM und Zeigen des Verteilungszustandes der Fehlerbit in jeder Gruppe in einem Diagramm kann die statistische Verteilung der Fehlergruppe visuell erkannt werden.

M. Beispiel 4 des Anzeigens des Analyseresultates

Als ein anderes Beispiel des Anzeigens des Resultates der Gruppierung kann ein Verfahren, das unter Benutzung von Fig. 53 bis 55 beschrieben wird, verwendet werden.

Fig. 53 zeigt die Unterteilung 532 von Gebieten auf einem Wa­ fer, die zur Berechnung einer Fehlergruppe benutzt wird. Der Wafer ist radial in eine Mehrzahl von Gebieten R11 bis R18 un­ ter Benutzung der Wafermitte als Zentrum unterteilt.

Fig. 54 ist ein Diagramm der Resultate der in der fünften bis siebten Ausführungsform beschriebenen Fehleranalyse, die auf einer Mehrzahl von Wafern ausgeführt wurde, und es zeigt die Positionen der Fehlerbit in der Fehlergruppe, die als die Gruppe des Niveaus 1 entsprechend der Gebietsunterteilung 532 extrahiert wurde, die in Fig. 53 gezeigt ist.

Das heißt, Fig. 54 ist ein Diagramm, das die Zahl der Fehler­ bit zeigt, die in jedem der Gebiete R1 bis R18 vorhanden sind, die die Fehlergruppe aufbauen, die als eine Gruppe des Niveaus 1 extrahiert ist, so daß eine Verteilung der Fehlerbit in den Gebieten R11 bis R18 gezeigt wird.

In Fig. 54 ist zu verstehen, daß das Gebiet R15 eine Spitze der Fehlerbit aufweist, und die Mittelposition der Fehlergrup­ pe des Niveaus 1 ist in dem Gebiet R15 vorhanden.

Fig. 55 ist ein Diagramm, das Positionen einer Fehlergruppe zeigt, die als die Gruppe des Niveaus 2 in Entsprechung zu der Gebietsunterteilung 532 extrahiert ist, die in Fig. 53 ge­ zeigt ist, das heißt ein Diagramm, das die Zahl der Fehlerbit zeigt, die in jedem der Gebiete R11 bis R18 vorhanden sind, die die Fehlergruppe aufbauen, die als eine Gruppe des Niveaus 2 extrahiert ist.

In Fig. 55 ist zu verstehen, daß das Gebiet R11 eine Spitze der Fehlerbit aufweist, und die die Mittelposition der Fehler­ gruppe des Niveaus 2 ist in dem Gebiet R11 vorhanden.

Durch Extrahieren der Verteilung der Fehlergruppe aus der ur­ sprünglichen FBM und Anzeigen des Verteilungszustandes der Fehlergruppe in jeder Gruppe in einem Diagramm kann die stati­ stische Verteilung der Fehlergruppe visuell erkannt werden.

Die Gebietsunterteilung auf einem Wafer ist nicht auf die Ge­ bietsunterteilung 531 und 532 begrenzt, die in Fig. 50 und 53 gezeigt ist. Zum Beispiel kann ein Wafer in ein Gitter und insbesondere ein quadratisches Gitter unterteilt werden.

N. Beispiel des Implantierens des Fehleranalyseverfahrens

Auf eine Weise ähnlich zu der ersten bis vierten Ausführungs­ form ist es ausreichend, ein unter Bezugnahme auf Fig. 19 be­ schriebenes Computersystem zum Implementieren der fünften bis achten Ausführungsform des Fehleranalyseverfahrens zu benut­ zen.

Das Fehleranalyseverfahren, das unter Benutzung der in Fig. 23, 30, 37 und 38 gezeigten Flußdiagramme beschrieben wurde, kann als ein Computerprogramm, das auf einem Computer läuft, implementiert werden. In diesem Fall wird das Programm (Feh­ leranalyseprogramm) auf einem Aufzeichnungsmedium wie das Ma­ gnetband 104 oder die CD-ROM 108 geliefert. Das Programm kann in der Form von Signalen über einen Kommunikationspfad über­ tragen werden und weiter auf ein Aufzeichnungsmedium herabge­ laden werden.

Ein Computersystem, auf dem das Fehleranalyseprogramm geladen ist und auf dem das Programm läuft, kann ein Fehleranalysator genannt werden.

Claims (19)

1. Fehleranalyseverfahren, das eine ursprüngliche Fehler­ bitkarte benutzt, die auf der Grundlage der Daten über die Po­ sition einer Fehlerspeicherzelle mit einer minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzel­ len, die in Matrixform angeordnet sind, dargestellt wird, in­ dem die Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit (FB) in Biteinheiten verknüpft wird und auf die Anordnung der Spei­ cherzellen abgebildet wird;
wobei das Fehleranalyseverfahren die Schritte aufweist:

• a) Darstellen verschiedener komprimierter Fehlerbitkarten (23A, 23B, 23C, 24A, 24B, 24C, 25A, 25B, 25C) aus der ur­ sprünglichen Fehlerbitkarte (22A, 22B, 22C); und
• b) Berechnen von Fehlerraten aus den entsprechenden kompri­ mierten Fehlerbitkarten und Unterscheiden einer Fehlerform auf der Grundlage der Fehlerraten;

wobei die komprimierten Fehlerbitkarten durch die folgenden Schritte dargestellt werden:
Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundla­ ge von jeweils einer Mehrzahl von Kompressionsflächen mit ver­ schiedener Größe zum Umwandeln in verschiedene Formen, in de­ nen jeweils eine Mehrzahl von Pixel gleicher Größe zu den ent­ sprechenden Kompressionsflächen angeordnet sind; und
Betrachten der Pixel, die das Fehlerbit enthalten, als Fehler­ pixel; und
wobei die Fehlerraten definiert werden durch das Verhältnis des Fehlerpixels in einem vorbestimmten Bereich.

2. Fehleranalyseverfahren, das eine ursprüngliche Fehler­ bitkarte benutzt, die auf der Grundlage der Daten über die Po­ sition einer Fehlerspeicherzelle mit einer minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzel­ len, die in Matrixform angeordnet sind, dargestellt wird indem die Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit (FB) in Biteinhei­ ten verknüpft wird und auf die Anordnung der Speicherzellen abgebildet wird;
wobei das Fehleranalyseverfahren die Schritte aufweist:

• a) Darstellen verschiedener komprimierter Fehlerbitkarten (29A, 29B, 30A, 30B) aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte (28A, 28B); und
• b) Berechnen von Fehlerraten der entsprechenden komprimierten Fehlerbitkarten und Unterscheiden einer Fehlerform auf der Grundlage der Fehlerraten;

wobei die komprimierten Fehlerbitkarten durch die folgenden Schritte dargestellt werden:
Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundla­ ge einer vorbestimmten Kompressionsfläche zum Umwandeln in solch eine Form, daß eine Mehrzahl von Pixeln gleicher Größe zu der Kompressionsfläche gebildet wird; Beurteilen auf der Grundlage eines jeden einer Mehrzahl von Kompressionsschwel­ lenwerten, die die Zahl der Fehlerbit in den Pixeln definie­ ren, ob die Pixel fehlerhaft sind, und Betrachten der Pixel, die eine Zahl der Fehlerbit entsprechend ihrem jeweiligen Kom­ pressionsschwellenwert enthalten, als Fehlerpixel; und
wobei die Fehlerraten durch das Verhältnis des Fehlerpixel in einem vorbestimmten Bereich definiert werden.

3. Fehleranalyseverfahren, das eine ursprüngliche Fehler­ bitkarte benutzt, die auf der Grundlage der Daten über die Po­ sition einer Fehlerspeicherzelle mit einer minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzel­ len, die in einer Matrixform angeordnet sind, dargestellt wird indem die Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit (FB) in Biteinheiten verknüpft wird und auf die Anordnung der Spei­ cherzellen abgebildet wird;
wobei das Fehleranalyseverfahren die Schritte aufweist:

• a) Darstellen verschiedener komprimierter Fehlerbitkarten (23A, 23B, 23C, 24A, 24B, 24C, 25A, 25B, 25C) aus der ur­ sprünglichen Fehlerbitkarte (22A, 22B, 22C); und
• b) Berechnen der Fehlerraten der entsprechenden komprimierten Fehlerbitkarten und Unterscheiden einer Fehlerform auf der Grundlage der Fehlerraten;

wobei die komprimierten Fehlerbitkarten durch die folgenden Schritte dargestellt werden:
Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundla­ ge jeweils einer Mehrzahl von Kompressionsflächen mit ver­ schiedenen Größe zum Umwandeln in verschiedene Formen in denen jeweils eine Mehrzahl von Pixeln von gleicher Größe zu den entsprechenden Kompressionsflächen angeordnet werden;
auf der Grundlage einer Mehrzahl von Kompressionsschwellenwer­ ten, die die Zahl der Fehlerbit in dem Pixel definieren, Beur­ teilen ob die Pixel fehlerhaft sind und Betrachten der Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der Fehlerpixel entsprechend ihrem jeweiligen Kompressionsschwellenwerten enthalten, als Fehlerpixel; und
wobei die Fehlerraten durch das Verhältnis des Fehlerpixel in einem vorbestimmten Bereich definiert ist.

4. Fehleranalyseverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der Schritt (b) die Schritte aufweist:

• 1. (b-1) Schätzen einer Fehlerform unter Benutzung als eine Refe­ renzfehlerrate die Fehlerrate über eine der komprimierten Feh­ lerbitkarten durch Vergleichen von mindestens einer voreinge­ stellten vorbestimmten Fehlerrate zum Unterscheiden einer Feh­ lerform mit der Referenzfehlerrate;
• 2. (b-2) Erzielen von Indexwerten für Fehlerformbeurteilung durch Standardisierung der Fehlerraten des Restes der komprimierten Fehlerbitkarten unter Benutzung der Referenzfehlerraten als einen Nenner; und
• 3. (b-3) Vergleichen der Indexwerte mit einer vorbestimmten Feh­ lerformbeurteilungsregel zum Erzielen eines Resultates und Un­ terscheiden einer Fehlerform auf der Grundlage des Resultates und des Resultates der Fehlerformschätzung in dem Schritt (b- 1).

5. Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 4,
bei dem der Schritt (b) den Schritt des Beurteilens, ob das Fehlerpixel in dem vorbestimmten Bereich benachbart zu dem Fehlerpixel in einem Bereich, der nicht der vorbestimmte Be­ reich ist, benachbart ist; und
der Schritt (b-1) eine Fehlerformschätzung auf der Grundlage des Resultates des Vergleichens zwischen der vorbestimmten Fehlerrate und der Referenzfehlerrate und dem Resultat des Be­ urteilungsschrittes ausführt.

6. Computerlesbares Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen ei­ nes Programmes, das einen Computer ermöglicht, ein Fehlerana­ lyseverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 auszuführen.

7. Verfahren zum Ableiten eines Kompressionsschwellenwer­ tes, der in einem Fehleranalyseverfahren benutzt wird, das ei­ ne ursprüngliche Fehlerbitkarte benutzt, die auf der Grundlage der Daten über die Position einer Fehlerspeicherzelle mit ei­ ner minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzellen, die in Matrixform angeordnet sind, darge­ stellt wird durch Umwandeln der Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit (FB) in Biteinheiten und Abbilden auf die Anordnung der Speicherzellen;
wobei das Verfahren des Ableitens eines Kompressionsschwellen­ wertes die Schritte aufweist:

• A) Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte (32A, 32B) auf der Grundlage einer vorbestimmten Kompressionsfläche und Umwandeln in solch eine Form, daß eine Mehrzahl von Pixeln gleicher Größe wie die Kompressionsfläche angeordnet werden;
• B) Zählen für jedes der Pixel die Fehlerbit in dem Pixel; und
• C) Erzielen der Eigenschaft der Existenzverteilung der Feh­ lerbit, die durch die Zahl der Pixel zu der Zahl der Fehlerbit in den Pixeln ausgedrückt wird und auf der Grundlage der Ei­ genschaft des Vorhandenseins berechnen der Kompressionsschwel­ lenwerte.

8. Verfahren zum Ableiten von Kompressionsschwellenwerten nach Anspruch 7, bei dem der Schritt (C) den Schritt enthält des in Betracht­ ziehens des Zählens von Pixeln, wobei gestartet wird, wenn die Zahl der Fehlerbit 1 beträgt, und als Kompressionsschwellen­ wert annehmen der Zahl der Fehlerbit, wenn die Zahl der Pixel zuerst einen Minimalwert erreicht.

9. Computerlesbares Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen ei­ nes Programmes, das einen Computer ermöglicht, ein Verfahren des Ableitens von Kompressionsschwellenwerten nach Anspruch 7 oder 8 auszuführen.

10. Fehleranalyseverfahren, das eine ursprüngliche Fehler­ bitkarte benutzt, die auf der Grundlage der Daten über die Po­ sition einer Fehlerspeicherzelle mit einer minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzel­ len, die in Matrixform angeordnet sind, dargestellt wird durch Verknüpfen der Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit (FB) in Biteinheiten und Abbilden auf die Anordnung der Speicherzel­ len;
wobei das Fehleranalyseverfahren die Schritte aufweist:

• a) Darstellen von komprimierten Fehlerbitkarten (51, 52, 61, 62) aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte; und
• b) Extrahieren der Fehlerbit in einem vorbestimmten Bereich in der komprimierten Fehlerbitkarte als Fehlerbit der gleichen Gruppe;

wobei die komprimierte Fehlerbitkarte dargestellt wird durch die folgenden Schritte:
Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundla­ ge jeweils einer Mehrzahl von Kompressionsflächen mit einer vorbestimmten Größe zum Umwandeln in eine Form, in der eine Mehrzahl von Pixeln gleicher Größe zu den Kompressionsflächen angeordnet werden;
Beurteilen auf der Grundlage von jeweils einer Mehrzahl von Kompressionsschwellenwerten, die die Zahl der Fehlerbit in den Pixeln definieren, ob die Pixel fehlerhaft sind; und
Betrachten der Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der Feh­ lerbit entsprechen ihren jeweiligen Schwellenwerten enthalten, als Fehlerpixel; und
wobei der Schritt (a) den Schritt des Komprimierens der ur­ sprünglichen Fehlerbitkarte unter Benutzung des Kompressions­ schwellenwertes aufweist,
der vorbestimmte Bereich als vorbestimmte Zahl der Pixel defi­ niert ist; und
der Schritt (b) den Schritt des Beurteilens der Fehlerpixel in der vorbestimmten Zahl von Pixeln als Pixel in der gleichen Gruppe und Extrahieren der Fehlerbit, die in der Gruppe ent­ halten sind, als Bit der gleichen Gruppe aufweist.

11. Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 10, weiter nach dem Schritt (b) mit dem Schritt:

• a) Darstellen einer bearbeiteten ursprünglichen Fehlerbitkar­ te (50A) durch Entfernen der Fehlerbit, die als die gleiche Gruppe extrahiert sind, von der ursprünglichen Fehlerbitkarte (50),

worin die Schritte (a) bis (c) eine vorbestimmte Anzahl mal zum Extrahieren der Fehlerbit der anderen Gruppe ausgeführt wird, und
bei dem zweiten und folgenden mal der Schritt (a) die kompri­ mierte Fehlerbitkarte auf der Grundlage der bearbeiteten ur­ sprünglichen Fehlerbitkarte anstelle der ursprünglichen Feh­ lerbitkarte darstellt.

12. Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 10 oder 11, weiter mit dem Schritt

• a) Prüfen einer Beteilungsbeziehung zwischen den Fehlerbit, das in der gleichen Gruppe enthalten ist, und dem Fehlerbit in der anderen Gruppe nach dem Wiederholen der Schritte (a) und
• b) eine vorbestimmte Zahl von Malen,

worin der Schritt (d) den Schritt des Definierens einer betei­ ligenden Gruppe und einer beteiligten Gruppe durch Vergleichen der Koordinaten von Flächen zum Bilden der Fehlerpixel, die die Gruppen in der komprimierten Fehlerbitkarte (61, 62) auf­ weist.

13. Fehleranalyseverfahren, das eine ursprüngliche Fehler­ bitkarte benutzt, die auf der Grundlage der Daten über die Po­ sition einer Fehlerspeicherzelle mit einer minderwertigen elektrischen Eigenschaft aus einer Mehrzahl von Speicherzel­ len, die in Matrixform angeordnet sind, dargestellt wird durch Verknüpfen einer Fehlerspeicherzelle mit einem Fehlerbit (FB) in Biteinheiten und Abbilden auf die Anordnung der Speicher­ zellen;
wobei das Fehleranalyseverfahren die Schritte aufweist:

• a) Darstellen einer komprimierten Fehlerbitkarte (71, 73) aus der ursprünglichen Fehlerbitkarte;
• b) Darstellen einer wiederholt komprimierten Fehlerbitkarte (72, 74) durch weiteres Komprimieren der komprimierten Fehler­ bitkarte um eine vorbestimmte Zahl von Vorgängen; und
• c) Extrahieren der Fehlerbit innerhalb eines vorbestimmten Bereiches in der wiederholt komprimierten Fehlerbitkarte als Fehlerbit der gleichen Gruppe;

wobei die komprimierten Fehlerbitkarten durch die folgenden Schritte dargestellt werden:
Unterteilen der ursprünglichen Fehlerbitkarte auf der Grundla­ ge einer ersten Kompressionsfläche, von denen jede eine vorbe­ stimmte Größe aufweist, zum Umwandeln in eine Form, in der er­ ste Pixel einer gleichen Größe zu der ersten Kompressionsflä­ che angeordnet sind;
Beurteilen auf der Grundlage eines ersten Kompressionsschwel­ lenwertes, der die Zahl der Fehlerbit in dem ersten Pixel de­ finiert, ob das erste Pixel ein fehlerhaftes ist, und Betrach­ ten des ersten Pixels, daß nicht weniger als eine Zahl der Fehlerbit entsprechend den ersten Kompressionsschwellenwerten enthält, als ein erstes Fehlerpixel; und
wobei die wiederholt komprimierten Fehlerbitkarten dargestellt werden durch die folgenden Schritte:
Unterteilen der komprimierten Fehlerbitkarte auf der Grundlage einer zweiten Kompressionsfläche mit einer vorbestimmten Grö­ ße; zum Umwandeln in eine Form, in der das zweite Pixel glei­ cher Größe zu der zweiten Kompressionsfläche angeordnet wer­ den; Beurteilen auf der Grundlage eines zweiten Kompressions­ schwellenwertes, der die Zahl der ersten Fehlerpixel in dem zweiten Pixel definiert, ob das zweite Pixel fehlerhaft ist; und
Betrachten der zweiten Pixel, die nicht weniger als eine Zahl der ersten Fehlerpixel entsprechend den zweiten Kompressions­ schwellenwerten enthalten, als zweites Fehlerpixel; und
wobei der Schritt (a) den Schritt des Komprimierens der ur­ sprünglichen Fehlerbitkarte unter Benutzung der ersten Kom­ pressionsfläche und des ersten Kompressionsschwellenwertes aufweist;
der Schritt (b) den Schritt des Komprimierens der komprimier­ ten Fehlerbitkarte unter Benutzung der zweiten Kompressions­ fläche und des zweiten Kompressionsschwellenwertes aufweist;
wobei der vorbestimmte Bereich durch die vorbestimmte Zahl von zweiten Pixeln definiert ist; und
der Schritt (c) den Schritt des Beurteilens der zweiten Feh­ lerpixel, die in der vorbestimmten Zahl von Pixeln existieren, als Pixel in der gleichen Gruppe und Extrahieren der Fehler­ bit, die in der Gruppe enthalten sind, als Bit in der gleichen Gruppe aufweist.

14. Fehleranalyseverfahren nach Anspruch 13, weiter mit dem Schritt:

• a) Prüfen einer Beteiligungsbeziehung zwischen dem Fehlerbit, das in der gleichen Gruppe enthalten ist, und dem Fehlerbit in der anderen Gruppe nach dem Wiederholen der Schritte (a) bis
• b) eine voreingestellte Zahl von Malen,

worin der Schritt (d) den Schritt des Definierens einer betei­ ligenden Gruppe und einer beteiligten Gruppe durch Vergleichen der Koordinaten von Flächen des Bildens der zweiten Fehlerpi­ xel, die jede Gruppe in der wiederholt komprimierten Fehler­ bitkarte aufbauen, aufweist.

15. Fehleranalyseverfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, weiter mit dem Schritt des Anzeigens nur der Fehlerbit in der gleichen Gruppe auf einer Fehlerbitkarte (50B, 50C).

16. Fehleranalyseverfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, weiter mit dem Schritt des gleichzeitigen Anzeigens der Feh­ lerbit in der gleichen Gruppe und der Fehlerbit in der anderen Gruppe in verschiedenen Anzeigenfarben auf einer Fehlerbitkar­ te (50D).

17. Fehleranalyseverfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16,
bei dem das Fehleranalyseverfahren auf einer Mehrzahl von Wa­ fern ausgeführt wird und
weiter mit dem Schritt des Unterteilens von jedem der Mehrzahl von Wafern in eine Mehrzahl von konzentrischen ringförmigen Gebieten (R2-R6) durch Benutzen des Abschnittes (R1) der Wa­ fermitte als Mittelgebiet und Zählen der Zahl der Fehlerbit in der gleichen Gruppe und der Fehlerbit in der anderen Gruppe, die in jeder der Mehrzahl von konzentrischen ringförmigen Ge­ bieten (R2-R6) von jedem der Mehrzahl von Wafer enthalten sind.

18. Fehleranalyseverfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16,
bei dem das Fehleranalyseverfahren auf einer Mehrzahl von Wa­ fern durchgeführt wird, und
weiter mit dem Schritt des radialen Unterteilens von jedem der Mehrzahl von Wafern in eine Mehrzahl von Gebieten (R11-R18) jeweils in einem vorbestimmten Winkel unter Benutzung des Ab­ schnittes in der Wafermitte als Mitte und Zählen der Zahl der Fehlerbit in der gleichen Gruppe und der Fehlerbit in der an­ deren Gruppe, die in jedem der Mehrzahl von radialen Gebieten (R11-R18) in jedem der Mehrzahl von Wafern enthalten sind.

19. Computerlesbares Aufzeichnungsmedium zum Aufzeichnen ei­ nes Programmes, das einem Computer ermöglicht, ein Fehlerana­ lyseverfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 18 auszuführen.