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DE10046768A1 - Schraubenvakuumpumpe mit Bypass-Ventil - Google Patents

Schraubenvakuumpumpe mit Bypass-Ventil

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DE10046768A1
DE10046768A1 DE2000146768 DE10046768A DE10046768A1 DE 10046768 A1 DE10046768 A1 DE 10046768A1 DE 2000146768 DE2000146768 DE 2000146768 DE 10046768 A DE10046768 A DE 10046768A DE 10046768 A1 DE10046768 A1 DE 10046768A1
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Thomas Dreifert
Hartmut Kriehn
Klaus Rofall
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Leybold GmbH
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Leybold Vakuum GmbH
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Schraubenvakuumpumpe mit einem Schöpfraumgehäuse (1), in dem sich zwei Rotoren mit äußeren Schraubengängen befinden, und mit einem unerwünschte Überdrucke im Schöpfraum verhindernden Bypass-Ventil, das eine Durchtrittsöffnung (2) in der Gehäusewandung (1) und ein der Durchtrittsöffnung außerhalb des Schöpfraumes zugeordnetes Verschlussstück (3) umfasst; zur Verlängerung der Lebensdauer des Bypass-Ventils wird vorgeschlagen, dass die Durchtrittsöffnung (2) so bemessen ist, dass das Verschlussstück (3) des Ventils den Ventilsitz während des Beginns einer Evakuierungsphase nicht berührt.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Schraubenvakuum­ pumpe mit einem Schöpfraumgehäuse, in dem sich zwei Ro­ toren mit äußeren Schraubengängen befinden, und mit ei­ nem unerwünschte Überdrucke im Schöpfraum verhindernden Bypass-Ventil, das eine Durchtrittsöffnung in der Ge­ häusewandung und ein der Durchtrittsöffnung außerhalb des Schöpfraumes angeordnetes Verschlußstück umfasst.
Bypass- oder Überstömventile werden in Schraubenvakuum­ pumpen eingesetzt, deren Schraubengänge die geförderten Gase verdichten. Diese Wirkung tritt ein, wenn bei­ spielsweise der Außendurchmesser des Rotors in Förder­ richtung (sei es kontinuierlich oder stufenförmig) ab­ nimmt. Eine innere Verdichtung der geförderten Gase tritt auch dann ein, wenn die Steigung und/oder die Tiefe der Gewindegänge in Förderrichtung kleiner wer­ den. Bei Schraubenvakuumpumpen mit einer derartigen in­ neren Verdichtung kommt es zu Beginn einer Evakuie­ rungsphase, d. h. wenn der Ansaugdruck etwa dem Atmo­ sphärendruck entspricht, zu Kompressionen, die ein vielfaches des Atmosphärendruckes betragen können.
Es ist bekannt, mit Hilfe eines Bypass- oder Überström­ ventils Überkompressionen der beschriebenen Art zu ver­ hindern. Bekannte Überstömventile weisen federbelastete Verschlußstücke auf. Sie öffnen, wenn sich in Höhe der Durchströmöffnung eine Gewindenut befindet, und schlie­ ßen, wenn sich in Höhe der Durchströmöffnung der Kopf eines Gewindesteges befindet. Da Schraubenvakuumpumpen mit immer höheren Drehzahlen betrieben werden, ergibt sich infolge des ständigen Öffnens und Schließens ein hoher Verschleiß. Bei ungünstiger Auslegung des Feder- Masse-Systems treten häufig Schwingungen auf, die zum Ausfall des Ventils durch Federbruch führen. Nachteilig sind auch die mit dem Ventilverhalten verbundenen Ge­ räuschentwicklungen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Schraubenvakuumpumpe der eingangs erwähnten Art zu schaffen, deren Überströmventil die geschilderten Nach­ teile nicht mehr hat.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeich­ nenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.
Ist die Durchströmöffnung größer als die Breite des Zahnkopfes, wird erreicht, dass sie vom Kopf eines Ge­ windesteges nie vollständig verschlossen werden kann. In jeder der Drehwinkelphasen der Rotoren wirkt bei ei­ nem im Schöpfraum vorhandenen Überdruck eine Druckkraft auf das Verschlußstück des Ventils, so dass es seine Schließstellung nicht einnehmen kann. Wesentlich ist, dass es die Erfindung bei geeigneter Auslegung des dy­ namischen Kräftesystems erlaubt, das Verschlußstück in einem schwebenden Zustand zu halten. Diese Wirkung wird auch erreicht, wenn die Abmessung der Durchströmöffnung gleich oder gar etwas kleiner ist als die Breite des Zahnkopfes. Wesentlich ist, dass das Ventil infolge seiner Trägheit und wegen des Gaspolsters unter dem Ventil daran gehindert wird, vollständig zu schließen.
Der Verschleiß des Ventils ist im Vergleich zum Stand der Technik maßgeblich reduziert. Bei federbelasteten Ventilen ist die Wahrscheinlichkeit eines Federbruchs wesentlich kleiner. Besonders vorteilhaft ist es im Rahmen der Erfindung, dass auch gewichtsbelastete Ven­ tile eingesetzt werden können.
Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass es bei einem Ventil mit der beschriebenen Zweckbestimmung nach dem Stand der Technik (b < d) nicht möglich ist, allein durch eine geeignete Auslegung des Feder-Masse-Systems einen "schwebenden" Zustand des Verschlussstückes (q < 0) zu verwirklichen.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Fig. 1 bis 4 schematisch darge­ stellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen
Fig. 1a bis 1c eine Ausführung nach dem Stand der Technik,
Fig. 2 eine lageunabhängige Ausführung mit einer Schließkräfte erzeugenden Feder,
Fig. 3 und 4 gewichtsbelastete Ausführungen und
Fig. 5 ein Diagramm, das den schwebenden Zustand des Verschlussstückes eines erfindungsgemäßen Ventils erkennen lässt.
In den Figuren sind die Wandung des Schöpfraumgehäuses mit 1, eine Durchtrittsöffnung (zylindrisch) mit 2, ihr Durchmesser mit d und das außerhalb des Schöpfraumge­ häuses 1 befindliche Verschlussstück des Ventiles mit 3 bezeichnet. Ein Ventilsitz ist nur in Fig. 4 darge­ stellt. Bei den nur schematisch dargestellten Ausfüh­ rungen nach den Fig. 1 bis 3 soll die Außenseite der Schöpfraumwandung diese Funktion haben.
Auf das z. B. tellerförmige Verschlussstück 3 wird eine in Schließrichtung wirkende Kraft ausgeübt. Bei den la­ geunabhängigen Ausführungen nach den Fig. 1 und 2 geschieht das mit Hilfe einer Feder 4. Bei den Ausfüh­ rungen nach den Fig. 3 und 4 führt das Verschluss­ stück 3 eine im wesentlichen vertikal gerichtete Bewe­ gung aus. Das Gewicht des Verschlussstückes 3 erzeugt eine in Schließrichtung wirkende Kraft. Im Schöpfraum­ gehäuse rotieren zwei Rotoren, von denen jeweils der Zahnkopf 5 eines Gewindesteges mit der Breite b darge­ stellt ist. Die Lage der Rotationsachse ist jeweils durch die strichpunktierte Linie 6 angedeutet.
Fig. 1a der Ausführung nach dem Stand der Technik zeigt den Zahnkopf 5 des Gewindesteges des Rotors in einer die Öffnung 2 vollständig freigebenden Stellung. Ein - nicht erwünschter - Überdruck im Schöpfraumgehäuse bewirkt, dass das Verschlussstück 3 von seinem Sitz abhebt und entgegen der von der Feder 4 ausgeübten Schließkraft um den Betrag q öffnet. Den Überdruck im Schöpfraum bewirkende Gase strömen aus, so dass eine Druckentlastung stattfindet.
Die Drehbewegung des Rotors bewirkt, dass der Zahnkopf 5 die Öffnung 2 überstreicht. In Fig. 1b ist sie etwa zur Hälfte geöffnet. Das Verschlussstück 3 hat bereits seine Schließbewegung begonnen. In Fig. 1c hat der Zahnkopf 5 die Öffnung 2 vollständig verschlossen. Das Verschlussstück 3 hat seine Schließstellung eingenom­ men. Bei modernen Schraubenvakuumpumpen mit Rotor-Dreh­ zahlen von 3000 bis 12000 l/min wechselt das Ent­ lastungsventil entsprechend oft zwischen Offen- und Schließstellung. Bei eingängigen Profilen öffnet das Ventil 1 mal pro Umdrehung, bei zweigängigen Profilen 2 mal pro Umdrehung der Rotoren.
Bei den erfindungsgemäßen Ausführungen nach den Fig. 2, 3 und 4 ist die Größe der Öffnung 2 so gewählt, dass sie vom Zahnkopf 5 nie vollständig verschlossen werden kann. Ist die Öffnung 2 zylindrisch, dann muss ihr Durchmesser d größer sein als die Breite b des Zahnkop­ fes 5. Wesentlich ist, dass die axiale Abmessung der Öffnung 2 größer ist als die Zahnkopfbreite b.
In den Fig. 2 bis 4 befindet sich der Zahnkopf 5 je­ weils unmittelbar vor der Durchtrittsöffnung 2. Wegen der erfindungsgemäßen Abmessungen können auch in dieser Stellung des Zahnkopfes 5 unter Überdruck stehende Schöpfraumgase das Verschlussstück in einer Offenstellung halten und ausströmen. Der Abstand des Verschluss­ stückes 3 von seinem Sitz unterschreitet einen minima­ len Abstand q/min nicht. In allen weiteren Drehwinkel- Phasen des Rotors gibt der Zahnkopf 5 größere Bereiche der Öffnung 2 frei, so dass das Verschlussstück 3 stän­ dig in einem schwebenden Zustand gehalten werden kann, und zwar so lange, bis ein im Schöpfraum abzubauender Überdruck nicht mehr vorhanden ist. Das Diagramm nach Fig. 5 zeigt die Abhängigkeit des Abstandes q (Ordi­ nate) vom Rotor-Drehwinkel α (Abzisse). Der Wert qmin wird nicht unterschritten, solange ein Überdruck im Schöpfraum herrscht.
Ein besonderer Vorteil liegt darin, dass die Erfindung bei federbelasteten (Fig. 2) und gewichtsbelasteten Ventilen (Fig. 3, 4) verwirklicht werden kann. Beim Ventil nach Fig. 3 steht das tellerförmige Verschluss­ stück 3 mit einem in einer vertikalen Bohrung 7 geführ­ ten Schaft 8 in Verbindung. Das Verschlussstück 3 der Ausführung nach Fig. 4 ist eine Kugel, die im Gehäuse 9 geführt ist. Der Sitz der Kugel ist der die Öffnung 2 umgebende Rand einer Dichtung 10.
Auf die Eigenschaften der erfindungsgemäßen Überström­ ventile kann u. a. durch die Wahl geeigneter Werkstoffe Einfluss genommen werden. Durch verschiedene Werkstoff- Kombinationen können die Öffnungs- und Schließeigen­ schaften mittels Gewicht, Strömungswiderstand des Tel­ lers und Reibung in der Schaftführung so ausgelegt wer­ den, dass das Ventil erfindungsgemäß nicht ganz schließt.
Beispiele
  • - Stahl-Ventilteller, Elastomer-Ventilsitz
  • - Elastomer-Teller bzw. elastomerbeschichteter Tel­ ler, Metall-Ventilsitz
Für die Ausführung nach Fig. 3 gilt zusätzlich:
  • - Metall-Ventilschaft und kunststoffbeschichtete Stahl-/Aluminium-Führungsbohrung oder Gleitme­ tall-Führungsbohrung
  • - kunststoffbeschichteter Ventilschaft und Stahl-/ Aluminium-Führungsbohrung
Zweckmäßige Werkstoff-Kombinationen bei der Ausführung nach Fig. 4 sind:
  • - Kugel aus Stahl oder Keramik, Elastomer-Ventilsitz, Kunststoff-Führung alternativ kunststoffbeschich­ tete Stahl-Führung oder Gleitmetall-Führung.
  • - Kunststoff-Kugel (z. B. aus PFPE-Compound), Elasto­ mer-Ventilsitz, Metall-Führung
  • - Elastomer-Kugel, Metall-Ventilsitz, Metall-Führung.

Claims (6)

1. Schraubenvakuumpumpe mit einem Schöpfraumgehäuse (1), in dem sich zwei Rotoren mit äußeren Schrau­ bengängen befinden, und mit einem unerwünschte Überdrucke im Schöpfraum verhindernden Bypass-Ven­ til, das eine Durchtrittsöffnung (2) in der Gehäu­ sewandung (1) und ein der Druchtrittsöffnung au­ ßerhalb des Schöpfraumes zugeordnetes Verschluß­ stück (3) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchtrittsöffnung (2) so bemessen ist, dass das Verschlussstück (3) des Ventils den Ventilsitz während des Beginns einer Evakuierungsphase nicht berührt.
2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abmessung der Durchtrittsöffnung (2) zu­ mindest auf ihrer schöpfraumnahen Seite in axialer Richtung etwa gleich, vorzugsweise größer ist als die Breite (b) des Zahnkopfes (5) des/der die Durchtrittsöffnung (2) überstreichenden Schrauben­ ganges/-gänge.
3. Pumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, dass die Durchtrittsöffnung (2) zylindrisch ausgebildet ist und dass ihr Durchmesser (d) grö­ ßer als die Breite (b) der sie überstreichenden Zahnköpfe (5) ist.
4. Pumpe nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das Bypass-Ventil als Feder-Ventil ausgebildet ist.
5. Pumpe nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das Bypass-Ventil als gewichtsbe­ lastetes Ventil ausgebildet ist.
6. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da­ durch gekennzeichnet, dass eine der Oberflächen der beiden Partner Verschlussstück (3)/Ventilsitz aus hartem Werkstoff (Stahl, Keramik) und die Oberfläche des anderen Partners aus einem Kunst­ stoff oder Elastomer bestehen.
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