DE10042229A1 - Elektrisches Bauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung - Google Patents
Elektrisches Bauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen VerwendungInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein elektrisches Bauelement mit einem Grundkörper (1), der eine Oberseite und eine Unterseite aufweist und wenigstens teilweise aus einem Dielektrikum besteht, auf dessen Oberseite eine erhabene oder vertiefte Begrenzungsstruktur (2) eine obere Kontaktfläche (3) begrenzt, die von einer oberen Kontaktschicht (4) bedeckt ist, dessen Unterseite zwei voneinander isolierte, mit jeweils einer unteren Kontaktschicht (7, 8) bedeckte untere Kontaktflächen (5, 6) aufweist und bei dem eine der unteren Kontaktschichten (5, 6) mit der oberen Kontaktschicht (4) durch ein im Innern des Grundkörpers (1) verlaufendes Verbindungselement (9) elektrisch leitend verbunden ist. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des Bauelementes sowie dessen Verwendung. Das erfindungsgemäße Bauelement hat den Vorteil, daß die obere Kontaktfläche (3) leicht durch Siebdruck oder Aufdampfen mit einer definierten Größe aufgebracht werden kann. Dadurch können leicht Antennen mit definierten Eigenschaften wie Frequenzlage und Eingangsimpedanz hergestellt werden.
Description
Die Erfindung betrifft ein elektrisches Bauelement mit einem
Grundkörper, der eine Oberseite und eine Unterseite aufweist
und wenigstens teilweise aus einem Dielektrikum besteht, auf
dessen Oberseite eine obere Kontaktschicht angeordnet ist und
auf dessen Unterseite eine untere Kontaktschicht angeordnet
ist. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstel
lung des elektrischen Bauelementes. Darüber hinaus betrifft
die Erfindung die Verwendung des elektrischen Bauelementes.
Es sind elektrische Bauelemente der eingangs genannten Art
bekannt, deren Grundkörper teilweise aus Bariumtitanat be
steht und die als Patch-Antennen für Funksignale verwendet
werden. Die obere Kontaktschicht ist an einem Einspeisepunkt
kontaktiert, an dem das Funksignal in den Grundkörper einge
koppelt wird. Für die elektrischen Eigenschaften der Antennen
wie Frequenzlage, Eingangsimpedanz sowie die Abstrahleigen
schaften ist die Abmessung der oberen Kontaktschicht sowie
deren Lage relativ zum Einspeisepunkt bestimmend.
Bei den bekannten Antennen wird die obere Kontaktfläche auf
der ebenen Oberseite des Grundkörpers abgeschieden und in ei
nem nachfolgenden Ätzprozeß so strukturiert, daß die obere
Kontaktschicht die gewünschten Abmessungen aufweist. Ebenso
wird die untere Kontaktfläche, die als Massefläche dient,
durch Abscheiden einer Metallisierung auf der ebenen Unter
seite des Grundkörpers erzeugt. Die Bauelemente werden mit
der Unterseite auf einer Leiterplatte montiert. Die Kontak
tierung der oberen Kontaktschicht mit der Leiterplatte er
folgt mittels eines außerhalb des Grundkörpers verlaufenden
Kontaktpins, dessen Kontaktpunkt an der oberen Kontaktschicht
gleichzeitig den Einspeisepunkt festlegt.
Die Abscheidung der oberen Kontaktfläche kann auch durch das
Aufbringen einer Silber-Siebdruck-Metallisierung erfolgen,
wodurch ein zusätzlicher Strukturierprozeß entfallen kann.
Die bekannten Patch-Antennen haben den Nachteil, daß für das
Einstellen der genauen Abmessungen der oberen Kontaktschicht
ein hoher Aufwand erforderlich ist, da neben dem Abscheiden
einer Metallschicht zusätzlich noch Strukturierungsprozesse
angewendet werden müssen. Die Strukturierungsprozesse werden
üblicherweise mittels Photolithographie und der dabei verwen
deten Masken durchgeführt. Da neben der Abmessung der oberen
Kontaktschicht auch deren relative Lage zum Grundkörper bzw.
zum Einspeisepunkt von Bedeutung ist, müssen die Antennen
sehr genau relativ zu einer solchen Maske positioniert wer
den.
Die bekannten Antennen haben ferner den Nachteil, daß zur
Kontaktierung der oberen Kontaktfläche mit der Leiterplatte
ein zusätzlicher Kontaktpin benötigt wird, der in einem wei
teren Prozeß kontaktiert werden muß. Zudem hat das Anlöten
eines Kontaktpins den Nachteil, daß auf die genaue Einhaltung
der Position des Einspeisepunktes relativ zur oberen Kontakt
schicht geachtet werden muß.
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein elektri
sches Bauelement bereitzustellen, das als Antenne verwendet
werden kann und bei dem die Herstellung einer oberen Kontakt
schicht mit genau definierten Abmessungen bzw. die Herstel
lung eines genau definierten Einspeisepunktes ohne großen
Aufwand möglich ist.
Dieses Ziel wird erfindungsgemäß durch ein elektrisches Bau
element nach Patentanspruch 1 erreicht. Weitere Ausgestaltun
gen der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung des Bauele
mentes sowie die Verwendung des Bauelementes sind den weite
ren Ansprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung gibt ein elektrisches Bauelement an, das einen
Grundkörper mit einer Oberseite und einer Unterseite auf
weist, der wenigstens teilweise aus einem Dielektrikum be
steht. Auf der Oberseite des Grundkörpers ist eine erhabene
oder vertiefte Begrenzungsstruktur vorgesehen, die eine obere
Kontaktfläche begrenzt. Die obere Kontaktfläche ist von einer
oberen Kontaktschicht bedeckt. Auf der Unterseite weist der
Grundkörper zwei voneinander isolierte, mit jeweils einer un
teren Kontaktschicht bedeckte untere Kontaktflächen auf.
Das erfindungsgemäße Bauelement hat den Vorteil, daß die Ab
messungen der oberen Kontaktschicht durch eine in den Grund
körper des Bauelementes eingearbeitete Begrenzungsstruktur
definiert ist. Dadurch kann mit sehr einfachen Mitteln die
obere Kontaktschicht mit definierten Abmessungen hergestellt
werden.
Das erfindungsgemäße elektrische Bauelement weist ferner ein
im Innern des Grundkörpers verlaufendes Verbindungselement
auf, das eine der unteren Kontaktschichten mit der oberen
Kontaktschicht elektrisch leitend verbindet.
Das Verbindungselement hat den Vorteil, daß durch seine Lage
im Innern des Grundkörpers der Einspeisepunkt des Signals in
die obere Kontaktschicht genau festgelegt ist, so daß nicht
erst bei der Montage des Bauelementes auf der Leiterplatte
durch Festlöten eines Kontaktpins die elektrischen Eigen
schaften des Bauelementes bestimmt werden.
Der Vorteil des Verbindungselementes besteht ferner darin,
daß das Bauelement ohne einen zusätzlichen Kontaktpin durch
SMD-Montage sehr leicht auf eine Leiterplatte montiert werden
kann. Eine solche Montage kann beispielsweise mittels Reflow-
Löten erfolgen.
Es ist besonders vorteilhaft, als Dielektrikum eine für Mi
krowellenresonatoren geeignete Keramik zu wählen. Eine solche
Keramik kann beispielsweise CaTiO3-NdAlO3 sein. Eine solche
Keramik ist als Mikrowellenresonator bei 1575,4 MHz geeignet.
Ein Bauelement mit dieser Keramik kann als Antenne für
Funksignale verwendet werden.
Das im Innern des Grundkörpers verlaufende Verbindungselement
kann besonders vorteilhaft als leitfähige Schicht ausgebildet
sein, die auf einer durch ein Loch gebildeten Innenfläche des
Grundkörpers aufgebracht ist. Das Loch kann beispielsweise
durch Setzen einer Bohrung in den Grundkörper gebildet wer
den. Diese Bohrung bildet Innenflächen im Grundkörper, die
durch Aufdampfen eines Metalls mit einer leitfähigen Schicht
versehen werden können.
Der Vorteil dieser Ausführung des Verbindungselementes be
steht darin, daß schon bei der Ausformung des Grundkörpers
vor dem Anbringen der Kontaktschichten bzw. vor der Montage
des Bauelementes auf einer Leiterplatte der Einspeisepunkt
des Signals in die obere Kontaktschicht durch die Lage des
Lochs definiert ist. Der Einspeisepunkt liegt damit fest und
braucht nicht erst bei der Montage des Bauelements auf einer
Leiterplatte mit relativ umständlichen Mitteln festgelegt
werden.
Es ist ferner ein Bauelement besonders vorteilhaft, bei dem
die Unterseite des Grundkörpers eine erhabene oder vertiefte
Trennstruktur aufweist. Diese Trennstruktur trennt die unte
ren Kontaktflächen voneinander. Mit Hilfe einer solchen
Trennstruktur kann analog zur Oberseite des Grundkörpers auch
die auf der Unterseite des Grundkörpers aufgebrachten Kon
taktschichten geeignet dimensioniert und voneinander isoliert
werden. Insbesondere die Dimensionierung der Massefläche als
zweiter Anschluß des Bauelementes kann dadurch realisiert
werden. Die unteren Kontaktschichten können dadurch ohne wei
tere Strukturierungsprozesse in einem Schritt auf die Unter
seite des Bauelementes aufgebracht werden.
Des weiteren ist ein Bauelement besonders vorteilhaft, bei
dem die obere Kontaktfläche zur Vergrößerung ihrer Oberfläche
mit einer oder mehreren weiteren erhabenen oder vertieften
Strukturen versehen ist. Durch die Vergrößerung der Oberflä
che der oberen Kontaktfläche wird gleichzeitig eine Vergröße
rung der elektrisch wirksamen Fläche erzielt, wodurch die
geometrischen Abmessungen des elektrischen Bauelementes ver
kleinert werden können. Dies ist im Zuge einer weiteren Mi
niaturisierung der vor allem im Mobilfunkbereich eingesetzten
Bauelemente wünschenswert.
Die weiteren Strukturen können dabei verschiedene Formen auf
weisen. Sie können beispielsweise entlang von konzentrischen
Kreisen oder entlang von ineinander verschachtelten Quadraten
oder Rechtecken verlaufen. Die weiteren Strukturen können
symmetrisch zu einem Loch im Grundkörper sein, müssen es aber
nicht.
Die Begrenzungsstruktur auf der Oberseite des Grundkörpers
kann besonders vorteilhaft als vertiefte Struktur ausgebildet
sein, d. h., daß die obere Kontaktfläche gegenüber der Begren
zungsstruktur erhöht ist. Ist nun ferner die obere Kontakt
schicht durch Siebdruck einer Metallpaste gebildet, kann ohne
weitere Strukturierung die durch die vertiefte Begrenzungs
struktur vorgegebene Form der Kontaktschicht mit Hilfe des
Siebdrucks gebildet werden. Die vertiefte Begrenzungsstruktur
wird nämlich beim Siebdrucken von der Metallpaste nicht er
faßt, d. h., daß nur die gegenüber der Begrenzungsstruktur er
höhte Kontaktfläche bedruckt wird. Die Form der Begrenzungs
struktur wird somit identisch auf die Form der Kontaktschicht
abgebildet.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform ist die Be
grenzungsstruktur als erhabene Struktur ausgebildet. Dies be
deutet, daß die Kontaktfläche gegenüber der Begrenzungsstruk
tur vertieft ist. Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die obe
re Kontaktschicht eine durch ein Abscheideverfahren aufgebrachte
Metallschicht ist, weil dann die Metallschicht auf
der ganzen Oberseite des Grundkörpers abgeschieden werden
kann und hinterher von der erhabenen Begrenzungsstruktur,
beispielsweise durch Abschleifen, leicht wieder entfernt wer
den kann. Auch in dieser Ausführungsform wird die Form der
Begrenzungsstruktur identisch auf die Form der oberen Kon
taktschicht abgebildet.
Des weiteren gibt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung
eines Bauelementes an, das folgende Schritte umfaßt:
- a) Herstellen eines Grundkörpers, der eine Oberseite mit einer erhabenen Begrenzungsstruktur aufweist.
- b) Abscheiden einer Kontaktschicht auf der Oberseite des Grundkörpers.
- c) Entfernen der Kontaktschicht von der erhabenen Begren zungsstruktur.
Das Abscheiden der Kontaktschicht kann beispielsweise mittels
Aufdampfen oder Sputtern erfolgen. Das Entfernen der Kontakt
schicht kann beispielsweise durch Abschleifen durchgeführt
werden.
Das Verfahren zur Herstellung des Bauelementes hat den Vor
teil, daß es eine besonders einfache und billige Methode zur
Herstellung einer oberen Kontaktschicht mit definierten Ab
messungen auf dem Grundkörper ermöglicht.
Des weiteren gibt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung
eines Bauelementes an, das folgende Schritte umfaßt:
- a) Herstellen eines Grundkörpers, der eine Oberseite mit einer vertieften Begrenzungsstruktur aufweist.
- b) Aufbringen einer Kontaktschicht auf dem gegenüber der Begrenzungsstruktur erhöhten Teil der Oberseite des Grundkör pers mittels Siebdruck.
Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, daß die Kon
taktschicht ohne nachträgliche Strukturierung mit einfachen
Mitteln lediglich auf dem durch die Begrenzungsstruktur fest
gelegten Teil der Oberseite des Grundkörpers aufgebracht wer
den kann. Dies gelingt, weil die beim Siebdruck verwendete
Siebdruckpaste mit der vertieften Begrenzungsstruktur nicht
in Kontakt gerät und lediglich auf dem erhöhten Teil der
Oberseite des Grundkörpers haften bleibt.
Die genannten Verfahren können besonders vorteilhaft ausge
staltet sein, indem die Begrenzungsstruktur durch Einpressen
während der Herstellung des Grundkörpers erzeugt wird. Die
zur Herstellung des Grundkörpers vorzugsweise verwendeten Ke
ramikmaterialien haben im Verlauf der Herstellung des Grund
körpers einen verformbaren Zustand, bei dem das Herstellen
von Vertiefungen bzw. Erhöhungen durch Einpressen entweder
der Vertiefung selbst oder zu der Erhöhung der komplementären
Struktur leicht möglich ist. Insbesondere können durch Ein
pressen Begrenzungsstrukturen mit einer lateralen Genauigkeit
von 10 µm erzeugt werden. Eine solche Genauigkeit ist für die
geforderten Genauigkeiten der Kontaktflächen bei weitem aus
reichend.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei
spielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt beispielhaft ein erfindungsgemäßes elektri
sches Bauelement im schematischen Querschnitt.
Fig. 2 zeigt beispielhaft ein weiteres erfindungsgemäßes
elektrisches Bauelement im schematischen Querschnitt.
Fig. 3 zeigt beispielhaft ein weiteres erfindungsgemäßes
elektrisches Bauelement im schematischen Querschnitt.
Fig. 4 zeigt das elektrische Bauelement aus Fig. 3 in
Draufsicht.
Fig. 1 zeigt ein elektrisches Bauelement mit einem scheiben
förmigen Grundkörper 1. Der Grundkörper 1 besteht aus CaTiO3-
NdAlO3. Dieses Material hat eine Dielektrizitätskonstante ε
von 45. Der Temperaturkoeffizient der Resonanzfrequenz be
trägt 0 ± 10 ppm pro Kelvin. Die Resonanzfrequenz selbst be
trägt 1575 MHz. Der Grundkörper hat eine Länge und Breite von
etwa 18 mm. Seine Höhe beträgt ca. 4 mm. Das in Fig. 1 dar
gestellte elektrische Bauelement wird als Patch-Antenne für
den Empfang von GPS- (global positioning system) Signalen
verwendet.
Auf seiner Oberseite ist der Grundkörper 1 mit einer vertief
ten Begrenzungsstruktur 2 versehen. Diese Begrenzungsstruktur
2 ist als Mulde ausgeführt. Sie begrenzt eine Kontaktfläche
3, die gegenüber der Begrenzungsstruktur 2 erhöht ist. Auf
der Kontaktfläche 3 ist durch Siebdruck eine Silber-
Einbrennpaste mit einer Dicke < 5 µm aufgebracht. Diese Ein
brennpaste bildet auf der Kontaktfläche 3 eine obere Kontakt
schicht 4. Über diese obere Kontaktschicht 4 werden Funksi
gnale in die Antenne eingespeist.
Auf der Unterseite des Grundkörpers 1 ist eine Trennstruktur
11 vorgesehen. Die Trennstruktur ist als vertiefte Struktur
in Form einer kreisförmigen Nut ausgebildet. Die Trennstruk
tur 11 trennt eine erste untere Kontaktfläche 5 im Außenbe
reich von einer zweiten unteren Kontaktfläche 6 in ihrem In
nenbereich. Die Isolierung der ersten unteren Kontaktfläche 5
von der zweiten unteren Kontaktfläche 6 mittels einer ver
tieften Trennstruktur 11 hat den Vorteil, daß beide Kontakt
flächen 5, 6 mittels eines Siebdruckprozesses mit einer er
sten unteren Kontaktschicht 7 bzw. einer zweiten unteren Kon
taktschicht 8 beschichtet werden können. Ohne weitere Maßnah
men sind die beiden Kontaktschichten 7, 8 elektrisch vonein
ander isoliert. Darüber hinaus ist durch die Form des Grund
körpers 1 und durch die Form der Trennstruktur 11 ihre geome
trische Form fest vorgegeben.
Darüber hinaus ist in dem Grundkörper 1 ein Loch 10 angeord
net, das im Grundkörper 1 eine Innenfläche bildet, die mit
einer Metallisierung beschichtet ist. Diese Metallisierung
bildet ein Verbindungselement 9, das die zweite untere Kon
taktschicht 8 mit der oberen Kontaktschicht 4 elektrisch lei
tend verbindet. Das Verbindungselement 9 kann beispielsweise
durch Sputtern oder Aufdampfen auf der Innenfläche des Grund
körpers 1 aufgebracht sein.
Das Verbindungselement 9 hat den Vorteil, daß das in Fig. 1
dargestellte Bauelement in SMD-Montage auf einer Leiterplatte
montiert werden kann, wobei neben der ersten unteren Kontakt
schicht 7 (Massekontakt) auch das obere Kontaktpad (obere
Kontaktschicht 4) mittels des Verbindungselementes 9 und der
zweiten unteren Kontaktschicht 8 elektrisch kontaktiert sind.
Dadurch kann auf die nachträgliche Verbindung der oberen Kon
taktschicht 4 mit der Leiterplatte mittels eines Pins o. ä.
verzichtet werden.
Fig. 2 zeigt ein Bauelement, das dem in Fig. 1 gezeigten
Bauelement weitgehend ähnlich ist. Im Unterschied zu Fig. 1
ist die Begrenzungsstruktur 2 als erhabene Struktur ausgebil
det. Die Begrenzungsstruktur 2 bildet einen Kragen, der auf
der Oberseite des Grundkörpers 1 entlang dessen äußeren Ran
des verläuft. Ebenso ist auf der Unterseite des Grundkörpers
1 die Trennstruktur 11 als erhabene Struktur ausgebildet. So
wohl die obere Kontaktschicht 4 als auch die unteren Kontakt
schichten 7, 8 können jeweils durch Abscheiden einer Metall
schicht, beispielsweise durch Aufdampfen oder Sputtern, auf
gebracht und durch Entfernen der Metallschicht von den erha
benen Strukturen 2, 11 in die gewünschte Form gebracht bzw.
voneinander isoliert werden.
Fig. 3 zeigt ein elektrisches Bauelement, das dem in Fig. 2
gezeigten Bauelement im wesentlichen ähnelt. Im Gegensatz zu
dem in Fig. 2 dargestellten Bauelement weist das Bauelement
in Fig. 3 eine weitere Struktur 12 auf, die durch ineinander
angeordnete, entlang von quadratischen Linien verlaufenden
Gräben ausgebildet ist. Durch die weitere Struktur 12 wird
die Oberfläche der oberen Kontaktschicht 4 und damit die
wirksame elektrische Kontaktfläche vergrößert. Zu beachten
ist, daß die Strukturhöhe der weiteren Struktur 12 kleiner
sein muß, als die Strukturhöhe der Begrenzungsstruktur 2, da
ansonsten ein selektives Entfernen einer auf die Begrenzungs
struktur 2 aufgedampften oder aufgesputterten Metallschicht,
beispielsweise durch Schleifen, nicht mehr möglich wäre.
Fig. 4 zeigt das Bauelement aus Fig. 3 in Draufsicht. Es
ist zu erkennen, daß die weitere Struktur 12 in Form von qua
dratischen Gräben, die konzentrisch ineinander angeordnet
sind, auf der Oberseite des Grundkörpers 1 ausgebildet ist.
Die Erfindung beschränkt sich nicht auf die dargestellten
Ausführungsbeispiele, sondern wird in ihrer allgemeinsten
Form durch Patentanspruch 1, Patentanspruch 8 und Patentan
spruch 9 definiert.
1
Grundkörper
2
Begrenzungsstruktur
3
Kontaktfläche
4
obere Kontaktschicht
5
erste untere Kontaktfläche
6
zweite untere Kontaktfläche
7
erste untere Kontaktschicht
8
zweite untere Kontaktschicht
9
Verbindungselement
10
Loch
11
Trennstruktur
12
weitere Struktur
Claims (11)
1. Elektrisches Bauelement mit einem Grundkörper (1), der
eine Oberseite und eine Unterseite aufweist und wenig
stens teilweise aus einem Dielektrikum besteht,
auf dessen Oberseite eine erhabene oder vertiefte Be grenzungsstruktur (2) eine obere Kontaktfläche (3) be grenzt, die von einer oberen Kontaktschicht (4) bedeckt ist,
dessen Unterseite zwei voneinander isolierte, mit je weils einer unteren Kontaktschicht (7, 8) bedeckte untere Kontaktflächen (5, 6) aufweist und
bei dem eine der unteren Kontaktschichten (5, 6) mit der oberen Kontaktschicht (4) durch ein im Innern des Grundkörpers (1) verlaufendes Verbindungselement (9) elektrisch leitend verbunden ist.
auf dessen Oberseite eine erhabene oder vertiefte Be grenzungsstruktur (2) eine obere Kontaktfläche (3) be grenzt, die von einer oberen Kontaktschicht (4) bedeckt ist,
dessen Unterseite zwei voneinander isolierte, mit je weils einer unteren Kontaktschicht (7, 8) bedeckte untere Kontaktflächen (5, 6) aufweist und
bei dem eine der unteren Kontaktschichten (5, 6) mit der oberen Kontaktschicht (4) durch ein im Innern des Grundkörpers (1) verlaufendes Verbindungselement (9) elektrisch leitend verbunden ist.
2. Bauelement nach Anspruch 1,
bei dem das Dielektrikum eine für Mikrowellenresonatoren
geeignete Keramik ist.
3. Bauelement nach Anspruch 1 bis 2,
bei dem das Verbindungselement (9) eine leitfähige
Schicht ist, die auf einer durch ein Loch (10) gebildeten
Innenfläche des Grundkörpers (1) aufgebracht ist.
4. Bauelement nach Anspruch 1 bis 3,
bei dem die Unterseite des Grundkörpers (1) eine erhabene
oder vertiefte Trennstruktur (11) aufweist, die die unte
ren Kontaktflächen (5, 6) voneinander trennt.
5. Bauelement nach Anspruch 1 bis 4,
bei dem die obere Kontaktfläche (3) zur Vergrößerung ih
rer Oberfläche mit einer oder mehreren weiteren erhabenen
oder vertieften Strukturen (12) versehen ist.
6. Bauelement nach Anspruch 1 bis 5,
bei dem die Begrenzungsstruktur (2) vertieft und die obe
re Kontaktschicht (4) durch eine durch Siebdruck aufge
brachte Metallpaste gebildet ist.
7. Bauelement nach Anspruch 1 bis 5,
bei dem die Begrenzungsstruktur (2) erhaben und die obere
Kontaktschicht (4) eine durch ein Abscheideverfahren auf
gebrachte Metallschicht ist.
8. Verfahren zur Herstellung eines Bauelements nach Anspruch
1 bis 7 mit folgenden Schritten:
- a) Herstellen eines Grundkörpers (1), der eine Oberseite mit einer erhabenen Begrenzungsstruktur (2) aufweist
- b) Abscheiden einer Kontaktschicht (4) auf der Oberseite des Grundkörpers (1)
- c) Entfernen der Kontaktschicht (4) von der erhabenen Be grenzungsstruktur.
9. Verfahren zur Herstellung eines Bauelements nach Anspruch
1 bis 7 mit folgenden Schritten:
- a) Herstellen eines Grundkörpers (1), der eine Oberseite mit einer vertieften Begrenzungsstruktur (2) aufweist
- b) Aufbringen einer Kontaktschicht (4) auf dem gegenüber der Begrenzungsstruktur (2) erhöhten Teil der Oberseite des Grundkörpers (1) mittels Siebdruck.
10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9,
wobei die Begrenzungsstruktur (2) durch Einpressen wäh
rend der Herstellung des Grundkörpers (1) erzeugt wird.
11. Verwendung des Bauelements nach Anspruch 1 bis 7 als An
tenne für Funksignale.
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| EP01953840A EP1314222A1 (de) | 2000-08-28 | 2001-07-03 | Elektrisches bauelement, verfahren zu dessen herstellung und dessen verwendung |
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