DE10036433A1 - Capacitive pressure sensor has membrane connected to base body via joint and groove to measurement capacitor connects to end of joint in base body - Google Patents
Capacitive pressure sensor has membrane connected to base body via joint and groove to measurement capacitor connects to end of joint in base bodyInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Drucksensor.The invention relates to a capacitive pressure sensor.
Derartige Drucksensoren werden vielfach in der Prozeßautomation eingesetzt, um den Druck von unterschiedlichen Prozeßmedien zu messen, die als Flüssigkeiten, Gase oder Dämpfe vorliegen können.Such pressure sensors are widely used in process automation in order to Measure pressure from different process media as liquids, gases or vapors may be present.
Im wesentlichen bestehen derartige Drucksensoren aus einem Grundkörper und einer Membran, welche beide vorzugsweise aus einem keramischen oder einkristallinen Material bestehen. Am Grundkörper ist eine flache Ausnehmung vorgesehen, die auch als Membranbett bezeichnet wird und die von der Membran vollständig überdeckt wird.Such pressure sensors essentially consist of a base body and a Membrane, both preferably made of a ceramic or single crystal Material. A flat recess is provided on the base body, which also is referred to as a membrane bed and is completely covered by the membrane.
Das Membranbett und die Membran begrenzen eine Messkammer, die vom eigentlichen Prozeßmedium getrennt ist und die in der Regel mit Luft oder mit einem Silikonöl als Druckübertragungsmedium gefüllt ist. Die Druckkammer ist gas- bzw. flüssigkeitsdicht. Dies erfordert einen erheblichen Aufwand bei der Herstellung der Verbindung Membran Grundkörper.The membrane bed and the membrane delimit a measuring chamber, which is separated from the actual process medium is separated and usually with air or with a Silicone oil is filled as a pressure transmission medium. The pressure chamber is gas or liquid-tight. This requires considerable effort in the manufacture of the Connection membrane base body.
Am Membranbett und der dem Membranbett zugewandten Unterseite der Membran sind jeweils Elektroden vorgesehen, die meist in Sputtertechnik, Aufdampfverfahren oder z. B. im Siebdruckverfahren, wie z. B. in der US-A 50 50 035 beschrieben, aufgebracht werden. Diese beiden Elektroden bilden zusammen den eigentlichen Meßkondensator, dessen Meßsignal ausgewertet wird.On the membrane bed and on the underside of the membrane facing the membrane bed electrodes are provided, mostly in sputter technology, vapor deposition or z. B. in the screen printing process, such as. B. described in US-A 50 50 035, be applied. These two electrodes together form the actual one Measuring capacitor, the measuring signal is evaluated.
Wirkt auf die Membran ein Referenzdruck PR und ist dieser Druck unterschiedlich zu dem in der Druckkammer herrschenden Druck, so verformt sich die Membran elastisch. Dies führt zur Änderung des Abstandes der beiden Elektroden und damit zu einer Kapazitätsänderung des Meßkondensators. Die Kapazität des Meßkondensators ist ein Maß für die Druckdifferenz. Sie wird als Meßsignal mit Hilfe einer Auswerteelektronik, an die beide Elektroden angeschlossen sind, erfaßt und ausgewertet. If a reference pressure PR acts on the membrane and this pressure is different too the pressure in the pressure chamber, the membrane deforms elastic. This leads to a change in the distance between the two electrodes and thus to a change in capacitance of the measuring capacitor. The capacitance of the measuring capacitor is a measure of the pressure difference. It is used as a measurement signal with the help of a Evaluation electronics, to which both electrodes are connected, detected and evaluated.
Man unterscheidet zwischen Drucksensoren für Relativdruck, Absolutdruck und Differenzdruck, je nachdem welcher Referenzdruck in der Druckkammer bzw. an der Membranaußenseite vorliegt.A distinction is made between pressure sensors for relative pressure, absolute pressure and Differential pressure, depending on which reference pressure in the pressure chamber or at the The outside of the membrane is present.
Meist spricht man einfach nur vom Druck, der gemessen wird und nicht von der Druckdifferenz, wie es eigentlich zutreffend wäre.Most of the time you just speak of the pressure that is measured and not the pressure Pressure difference, as it actually would be.
Neben einfachen Drucksensoren sind auch sogenannte Differenzdrucksensoren bekannt, die die Differenz zweier Prozeßdrücke erfassen. Derartige Differenzdrucksensoren bestehen z. B. aus zwei solchen beschriebenen Drucksensoren mit dem Unterschied, daß sie einen gemeinsamen Grundkörper aufweisen. Die Meßkammern befinden sich an den gegenüberliegenden Seiten des Grundkörpers. Sie sind durch einen Verbindungskanal, der dem Druckausgleich dient, miteinander verbunden.In addition to simple pressure sensors, there are also so-called differential pressure sensors known that detect the difference between two process pressures. such Differential pressure sensors exist e.g. B. from two such described Pressure sensors with the difference that they have a common body exhibit. The measuring chambers are located on the opposite sides of the Body. They are through a connection channel, which serves to equalize the pressure, connected with each other.
Bei einem weiteren Differenzdrucksensor sind in einem Grundkörper zwei Messkammern durch eine gemeinsame Membran voneinander getrennt.In a further differential pressure sensor, there are two in a base body Measuring chambers separated from each other by a common membrane.
In beiden Fällen ist jeweils die Druckdifferenz der an den beiden Seiten des Grundkörpers herrschenden Prozeßdrücke die interessierende Meßgröße.In both cases, the pressure difference is that on the two sides of the Process pressure prevailing in the base body determines the measured variable of interest.
Membran und Grundkörper sind über eine Fügung miteinander verbunden. Bei einem keramischen Sensor kann die Fügung z. B. mittels Aktivlot oder einer Glasfritte erfolgen. Bei einem Sensor aus monokristallinem Material kann z. Bsp. eutektisches Bonden, anodisches Bonden oder Fusion Bonden als Fügetechnik verwendet werden.The membrane and base body are connected to one another by a joint. At a ceramic sensor can the z. B. using active solder or a glass frit respectively. With a sensor made of monocrystalline material, e.g. E.g. eutectic Bonding, anodic bonding or fusion bonding can be used as the joining technique.
An der Fügestelle werden Membran, Grundkörper sowie die Fügestelle selbst durch eine Spannungskonzentration infolge von Kerbspannungen sehr stark belastet, wenn in einer der Meßkammern oder auch in beiden Meßkammern ein hoher Druck herrscht. Im Extremfall kann es zur Rißbildung in der Membran oder in dem Grundkörper oder zu einem Auseinanderreißen der Verbindung Membran-Grundkörper kommen, was zu einem Ausfall des Drucksensors führt. At the joint, the membrane, base body and the joint itself are cut through a stress concentration due to notch stresses is very heavily loaded if a high pressure prevails in one of the measuring chambers or in both measuring chambers. In extreme cases, it can lead to cracking in the membrane or in the base body or what lead to a tearing apart of the connection membrane-body failure of the pressure sensor.
Aus der US 5520054 ist ein Drucksensor bekannt, bei dem zur Verringerung der Belastung der Fügestelle, die Wandung im Bereich der Fügestelle verbreitert wird. Diese Maßnahme ist herstellungstechnisch sehr aufwendig. Außerdem verringert sich die Steifigkeit der an die Fügestelle angrenzenden Bereiche der Keramik. Dadurch wird nur die Spannung unmittelbar an der Fügestelle verringert. Das Spannungsmaximum befindet sich trotzdem weiterhin im Bereich der Fügestelle.From US 5520054 a pressure sensor is known in which to reduce the Load on the joint, the wall in the area of the joint is widened. This measure is very expensive to manufacture. It also decreases the stiffness of the areas of the ceramic adjacent to the joint. This will only reduces the tension immediately at the joint. The voltage maximum is still in the area of the joint.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Drucksensor zu schaffen, der die infolge von Kerbspannungen an der Fügestellenwurzel entstehenden Spannungskonzentrationen in den Grundkörper verlagert, da die Verbindung Membran-Grundkörper meistens schwächer ist als das Bulk-Material des Grundkörpers. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, nicht nur den Ort der Spannungskonzentration zu verlagern, sondern die maximalen Spannungen zu reduzieren. Außerdem soll der Drucksensor einfach und kostengünstig herstellbar sein.The object of the invention is to provide a pressure sensor which as a result of Notch stresses at the root of the stress shifted to the main body, since the connection membrane-main body mostly is weaker than the bulk material of the base body. Another job of The invention is not only to shift the location of the stress concentration, but also to reduce the maximum tensions. In addition, the pressure sensor should be simple and be inexpensive to manufacture.
Gelöst wird diese Aufgabe durch einen Drucksensor mit einem Grundkörper, einer mit dem Grundkörper über eine Fügung verbundenen Membran, einem Meßkondensator zur Erzeugung eines Meßsignals mit einer ersten und zweiten Elektrode, die jeweils einander gegenüberliegend an der Membran bzw. am Grundkörper aufgebracht sind, wobei sich am Ende der Fugestellenwurzel im Grundkörper eine Nut anschließt.This task is solved by a pressure sensor with a base body, one with the base body via a joint connected membrane, a measuring capacitor for generating a measurement signal with a first and second electrode, each are applied opposite one another on the membrane or on the base body, with a groove at the end of the joint root in the base body.
Durch die Nut werden Spannungskonzentrationen im Bereich der Fügung verringert.The groove reduces stress concentrations in the joint area.
Vorteilhafte Weiterentwicklungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous further developments of the invention are in the subclaims specified.
Die nachfolgenden Ausführungen gelten für kapazitive Drucksensoren und kapazitive Differenzdrucksensoren entsprechend, so daß der Einfachheit halber nur noch kapazitive Drucksensoren behandelt werden.The following explanations apply to capacitive pressure sensors and capacitive Differential pressure sensors accordingly, so that for the sake of simplicity only capacitive pressure sensors are treated.
Nachfolgend ist die Erfindung anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher beschrieben. Es zeigen: The invention is based on one shown in the drawing Embodiment described in more detail. Show it:
Fig. 1 schematische Aufsicht dreier kapazitiver Drucksensoren, Fig. 1 shows a schematic plan view of three capacitive pressure sensors,
Fig. 2 Ausschnittvergrößerung A gemäß Fig. 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel Fig. 2 enlargement section A of FIG. 1 according to a first embodiment
Fig. 3 Ausschnittvergrößerung A gemäß Fig. 1 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel Fig. 3 enlargement section A of FIG. 1 according to a second embodiment
Fig. 4 Ausschnittvergrößerung A gemäß Fig. 1 gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel Fig. 4 detail enlargement A of FIG. 1 according to a third embodiment
Fig. 5 Ausschnittvergrößerung A gemäß Fig. 1 gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel Fig. 5 enlarged detail A of FIG. 1 according to a fourth embodiment,
In Fig. 1a ist ein erster kapazitiver Drucksensor 10 in Aufsicht dargestellt, der im wesentlichen aus einem zylinderförmigen Grundkörper 20 und einer kreisförmigen Membran 30 besteht. Die Membran 30, die eine Druckkammer 40 überdeckt, ist mit dem Grundkörper 20 verbunden. Die Verbindung zwischen der Unterseite 32 der Membran 30 und dem Grundkörper 20 erfolgt entlang einer Fügung F.In Fig. 1a, a first capacitive pressure sensor 10 is shown in supervision, which essentially consists of a cylindrical base body 20 and a circular membrane 30 . The membrane 30 , which covers a pressure chamber 40 , is connected to the base body 20 . The connection between the underside 32 of the membrane 30 and the base body 20 takes place along a joint F.
In Fig. 1b ist ein zweiter kapazitiver Drucksensor 10 in Aufsicht dargestellt, der im wesentlichen aus einem zylinderförmigen Grundkörper 20 und einer kreisförmigen Membran 30 besteht. Die Membran 30, die eine Druckkammer 40 überdeckt, ist mit dem Grundkörper 20 verbunden. Die Unterseite 32 der Membran 30 und der Grundkörper 20 sind durch Bonden fest miteinander verbunden.In Fig. 1b, a second capacitive pressure sensor is shown in a plan 10 consisting essentially of a cylindrical base body 20 and a circular diaphragm 30. The membrane 30 , which covers a pressure chamber 40 , is connected to the base body 20 . The underside 32 of the membrane 30 and the base body 20 are firmly connected to one another by bonding.
In Fig. 1c ist ein dritter kapazitiver Drucksensor 10 in Aufsicht dargestellt, der im wesentlichen aus einem zylinderförmigen Grundkörper 20 und einer kreisförmigen Membran 30 besteht. Die Membran 30, die ein am Grundkörper vorgesehenes Membranbett 22 überdeckt, ist mit dem Grundkörper 20 verbunden. Die Verbindung zwischen der Unterseite 32 der Membran 30 und dem Grundkörper 20 erfolgt entlang einer Fügung F.In Fig. 1c, a third capacitive pressure sensor 10 is shown in top view, consisting essentially of a cylindrical base body 20 and a circular diaphragm 30. The membrane 30 , which covers a membrane bed 22 provided on the base body, is connected to the base body 20 . The connection between the underside 32 of the membrane 30 and the base body 20 takes place along a joint F.
Grundkörper 20 und Membran 30 bestehen aus einem spröden keramischen oder einkristallinen Material, z. Bsp. Aluminiumoxid-Keramik (Fig. 1a, Fig. 1c) bzw. Silizium- Material (Fig. 1b). Base body 20 and membrane 30 consist of a brittle ceramic or single-crystal material, for. For example, alumina ceramic ( Fig. 1a, Fig. 1c) or silicon material ( Fig. 1b).
Als gas- und flüssigkeitsdichte Fügung ist bei Keramik z. B. eine Aktivhartlotverbindung denkbar, die unter Vakuum bei ca. 900 C hergestellt wird. Bei Silizium kann z. Bsp. Fusion Bonden als Verbindungstechnik gewählt werden. Im verbundenen Zustand begrenzen die Membran 30 und der Grundkörper 20 eine Druckkammer 40, die entweder mit Luft oder mit einer nahezu inkompressiblen Flüssigkeit z. B. einem Silikonöl gefüllt ist. In der Druckkammer 40 herrscht im unbelasteten Zustand der Referenzdruck PR. Die Druckkammer 40 wird über einen Kanal 42 mit Druck beaufschlagt.As a gas- and liquid-tight joint is z. B. an active braze joint is conceivable, which is produced under vacuum at about 900 C. With silicon z. For example, fusion bonding can be selected as the connection technique. In the connected state, the membrane 30 and the base body 20 delimit a pressure chamber 40 , which either with air or with an almost incompressible liquid such. B. is filled with a silicone oil. The reference pressure PR prevails in the pressure chamber 40 in the unloaded state. The pressure chamber 40 is pressurized via a channel 42 .
Auf der Unterseite 32 der Membran 30 ist eine erste Elektrode 40a aufgebracht. Eine zweite Elektrode 40b ist auf das Membranbett 22 aufgebracht. Das Aufbringen kann z. B. durch Sputtern, Aufdampfen oder in Siebdrucktechnik erfolgen. Bestehen Membran und Grundkörper aus einem Halbleitermaterial, so kann das Halbleitermaterial direkt, ohne Aufbringen einer Metallschicht, als Elektrode verwendet werden. Die zweite Elektrode 40b überdeckt im wesentlichen die konkave Zentralfläche 60. Sie muß diese aber nicht notwendigerweise vollständig überdecken.On the underside 32 of the membrane 30 , a first electrode 40 a is applied. A second electrode 40 b is applied to the membrane bed 22 . The application can e.g. B. by sputtering, vapor deposition or screen printing. If the membrane and base body consist of a semiconductor material, the semiconductor material can be used directly as an electrode without applying a metal layer. The second electrode 40 b essentially covers the concave central surface 60 . However, it does not necessarily have to cover them completely.
Die beiden sich gegenüberliegenden Elektroden 40a, 40b bilden einen Meßkondensator, dessen Kapazität vom herrschenden Prozeßdruck P abhängt. Die Schichtdicken der Elektroden 40a bzw. 40b sind zur Verdeutlichung übertrieben stark dargestellt. Die Elektroden 40a, 40b sind über nicht näher dargestellte Anschlußleitungen mit einer ebenfalls nicht dargestellten Auswerteelektronik verbunden.The two opposite electrodes 40 a, 40 b form a measuring capacitor, the capacitance of which depends on the prevailing process pressure P. The layer thicknesses of the electrodes 40 a and 40 b are exaggerated for clarity. The electrodes 40 a, 40 b are connected to evaluation electronics, also not shown, via connecting lines (not shown in more detail).
Die Auswerteelektronik für das Meßsignals des Meßkondensators ist Stand der Technik. Die Auswerteelektronik, die nicht Gegenstand dieser Erfindung ist, ist deshalb nicht beschrieben.The evaluation electronics for the measuring signal of the measuring capacitor is state of the art Technology. The evaluation electronics, which is not the subject of this invention, is therefore not described.
Fig. 2 zeigt eine Ausschnittvergrößerung im Bereich der Fügung F gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel. Unmittelbar an das Ende der Fügestelle (Fügestellenwurzel) schließt sich eine Nut 26 an. Fig. 2 shows an enlarged detail in the area of the joint F according to a first embodiment. A groove 26 adjoins the end of the joint (joint of the joint).
Die Nut 26 ist im dargestellten Ausführungsbeispiel etwa 1 mm breit und 1 mm tief. The groove 26 is about 1 mm wide and 1 mm deep in the illustrated embodiment.
Die Fügung des keramischen Sensors besteht aus einer Aktivhartlotverbindung 50. Im Bereich des Steges 24 ist der Abstand Membran 30 und Grundkörper 20 am geringsten.The joining of the ceramic sensor consists of an active braze joint 50 . The distance between the membrane 30 and the base body 20 is the smallest in the region of the web 24 .
Dies bedeutet auch, daß hier die Aktivhartlotverbindung extrem dünn ist.This also means that the active braze joint is extremely thin.
Das Membranbett 22 wird geschliffen und ist nur wenig Mikrometer tief. Mit U ist die äußere Umfangslinie des Membranbetts 22 bezeichnet. Sie verläuft parallel zur Membran 30. Im dargestellten Fall steht die Mittellinie M der Nut 26 senkrecht auf die Umfangslinie U. Die in Fig. 2 dargestellte Nut läßt sich leicht in Keramik einpressen und kann daher praktisch kostenlos beim Pressen der Keramik-Grundkörper hergestellt werden. Mittels eines Ätzprozesses kann diese Form der Nut auch leicht in monokristallines Material, wie z. Bsp. Silizium, eingearbeitet werden.The membrane bed 22 is ground and is only a few micrometers deep. U is the outer circumferential line of the membrane bed 22 . It runs parallel to the membrane 30 . In the case shown, the center line M of the groove 26 is perpendicular to the circumferential line U. The groove shown in FIG. 2 can easily be pressed into ceramic and can therefore be produced practically free of charge when pressing the ceramic base body. By means of an etching process, this shape of the groove can also be easily converted into monocrystalline material, such as For example, silicon can be incorporated.
In den Fig. 3 bis 5 sind weitere bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt, die sich nur in der jeweiligen Form der Nut 26 unterscheiden.In FIGS. 3 to 5 show further preferred embodiments of the invention are illustrated, which differ only in the respective shape of the groove 26.
Fig. 3 und Fig. 4 zeigen Nuten mit bauchigen bzw. länglichen Querschnitt, die nachträglich in einen gepreßten Keramik-Grünling eingearbeitet werden kann. Dies Nuten sind daher kostenintensiver als die in Fig. 1 gezeigte Nut, lösen aber die gestellte Aufgabe besser als die Nut aus Fig. 2 wie Simulationen nach der Finite- Elemente Methode zeigen. Fig. 3 and Fig. 4 show grooves with a bulbous or elongated cross-section, which can be subsequently worked into a pressed ceramic green body. These grooves are therefore more expensive than the groove shown in FIG. 1, but they solve the problem better than the groove from FIG. 2, as simulations using the finite element method show.
Fig. 5 zeigt eine Nut mit kreisförmigem Querschnitt, die durch isotropes Ätzen leicht in Silizium-Grundkörper eingebracht werden kann. Laut Simulationen nach der Finite- Elemente Methode löst die in Fig. 5 gezeigte Nut die gestellte Aufgabe besser als die Nut aus Abb. 2. Fig. 5 shows a groove with a circular cross section, which can be easily introduced into the silicon base body by isotropic etching. According to simulations using the finite element method, the groove shown in FIG. 5 does the job better than the groove from FIG. 2.
Nachfolgend ist die Funktion der Erfindung anhand eines Drucksensors mit Membranbett näher erläutert.The function of the invention is described below with the aid of a pressure sensor Membrane bed explained in more detail.
Das sich in der Druckkammer 40 befindliche Fluid wird über den Kanal 42 mit Druck beaufschlagt. Dadurch steigt der Druck in der Druckkammer 40 an. Bei wachsendem Druck P wird sich die Membran 30 nach außen ausbeulen. Dadurch entstehen erhebliche Spannungen im Grundkörper, in der Membran sowie im Bereich der Fügung F vorzugsweise an der Fugestellenwurzel. Diese Spannungen werden jedoch durch die Nut 26 von der Fügestelle weg in Richtung des Inneren des Grundkörpers 20 abgeleitet. Die Fügung, welche oft einer geringeren Belastung standhält als der Grundkörper, wird dadurch entlastet. Außerdem werden durch die in den Fig. 2, 3, 4, 5 dargestellten Nuten Spannungsspitzen abgebaut. Das heißt die Spannungen werden über einen größeren Bereich verteilt.The fluid in the pressure chamber 40 is pressurized via the channel 42 . This increases the pressure in the pressure chamber 40 . As the pressure P increases, the membrane 30 will bulge outwards. This creates considerable tension in the base body, in the membrane and in the area of joint F, preferably at the root of the joint. However, these tensions are derived through the groove 26 away from the joint in the direction of the interior of the base body 20 . The joint, which often withstands a lower load than the base body, is relieved. In addition, voltage peaks are reduced by the grooves shown in FIGS. 2, 3, 4, 5. This means that the tensions are distributed over a larger area.
Weiterhin wird durch den in der Druckkammer herrschenden Druck P der äußere Rand der Nut in Richtung Rand 21 gedrückt, dadurch wird die Membran 30 etwas gespannt.Furthermore, the outer edge of the groove in the direction of edge 21 is pressed by the pressure prevailing in the pressure chamber P, thus the membrane 30 is tensioned slightly.
Dieser Effekt läßt sich insbesondere bei Differenzdrucksensoren wirkungsvoll einsetzen. Da bei zwei Kammern Differenzdrucksensoren durch den in den Druckkammern herrschenden Druck die Membran im Bereich der Umfangslinie U gestaucht wird, was gerade zu einer Verringerung der Spannung in der Membran 30 führt. Diese beiden gegenläufigen Effekte können in ihrer Stärke so gewählt werden, daß sie sich gerade kompensieren. In diesem Fall ist die Membran 30 bei jedem Nenndruck P spannungsfrei. Der Nenndruck hat dann keinen Einfluß mehr auf die Sensorempfindlichkeit.This effect can be used effectively, particularly in the case of differential pressure sensors. Since, in two chambers, differential pressure sensors are compressed by the pressure prevailing in the pressure chambers, the membrane in the region of the circumferential line U, which leads to a reduction in the tension in the membrane 30 . The strength of these two opposing effects can be chosen in such a way that they compensate each other. In this case, the membrane 30 is free of tension at every nominal pressure P. The nominal pressure then has no influence on the sensor sensitivity.
Claims (6)
einem Grundkörper (20)
einer mit dem Grundkörper (20) über eine Fügung verbundenen Membran (30),
einem Meßkondensator zur Erzeugung eines Meßsignals mit einer ersten und zweiten Elektrode (40a, 40b), die jeweils einander gegenüberliegend am Grundkörper (20) bzw. an der Unterseite (32) der Membran (30) aufgebracht sind,
wobei sich an das Ende der Fügung im Grundkörper (20) eine Nut (26) zum Meßkondensator hin anschließt.1. Pressure sensor with
a base body ( 20 )
a membrane ( 30 ) connected to the base body ( 20 ) via a joint,
a measuring capacitor for generating a measuring signal with a first and second electrode ( 40 a, 40 b), which are applied opposite each other on the base body ( 20 ) or on the underside ( 32 ) of the membrane ( 30 ),
a groove ( 26 ) connecting to the measuring capacitor at the end of the joint in the base body ( 20 ).
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
| 8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG, 79689 MAULBURG, DE |
|
| 8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |