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DE10018618B4 - Hochdrucksensor mit Piezoeffekt - Google Patents

Hochdrucksensor mit Piezoeffekt Download PDF

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DE10018618B4 DE2000118618 DE10018618A DE10018618B4 DE 10018618 B4 DE10018618 B4 DE 10018618B4 DE 2000118618 DE2000118618 DE 2000118618 DE 10018618 A DE10018618 A DE 10018618A DE 10018618 B4 DE10018618 B4 DE 10018618B4
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Abstract

Hochdrucksensor zum Messen des Drucks eines Fluids in einem rohrförmigen Bauteil (1) mit
einem scheibenförmigen piezoelektrischen Element (2), das an einem Stirnende des rohrförmigen Bauteils (1) angeordnet und an seinem Umfang fest eingespannt ist und durch den im rohrförmigen Bauteil (1) herrschenden Fluiddruck auf Wölbung beansprucht wird und
einer elektronischen Auswerteschaltung (17), die in Abhängigkeit von einer Änderung der Wölbung und einer hierdurch bedingten Änderung einer elektrischen Eigenschaft des piezoelektrischen Elementes (2) ein Drucksignal erzeugt,
wobei das piezoelektrische Element (2) dem Fluiddruck in dem rohrförmigen Bauteil (1) unmittelbar ausgesetzt ist und zwischen dem Stirnende des rohrförmigen Bauteils (1) und einer mutterartigen Klammer (10) unter Kompression einer Dichtung (14) eingespannt ist, die das Innere des rohrförmigen Bauteils (1) gegenüber der Umgebung abdichtet.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Hochdrucksensor zum Messen des Drucks eines Fluids in einem rohrförmigen Bauteil mit einem scheibenförmigen piezoelektrischen Element, das an einem Stirnende des rohrförmigen Bauteils angeordnet ist.
  • Zum Messen sehr hoher Drücke bis etwa 3000 bar Berstdruck, wie sie z.B. in der Verteilerschiene (common rail) der Kraftstoffeinspritzanlage einer Diesel-Brennkraftmaschine auftreten, sind Hochdrucksensoren bekannt geworden, bei denen die Wölbung einer dem Fluiddruck ausgesetzten metallischen Membran mittels Dehnungsstreifen erfasst und hieraus z.B. in einer Brückenschaltung ein Drucksignal gebildet wird. Der Durchmesser derartiger metallischer Membranen ist sehr klein, und ihre maximale Wölbung liegt in der Größenordnung 10 μm bis 50 μm. Ferner müssen sie bis zu 1010 Lastschaltspiele aushalten. Damit sich die Kennlinie des Hochdrucksensors nicht ändert, muss er so ausgelegt werden, dass die beteiligten Materialien im Betrieb nicht über den Hookschen Bereich hinaus belastet werden. Das Verhältnis von Membrandicke zum Membrandurchmesser ist somit an die Eigenschaften der beteiligten Materialien gebunden und kann daher ein vorgegebenes materialbedingtes Verhältnis nicht überschreiten. Dies begrenzt die Messempfindlichkeit. Ein weiteres Problem ist die Haftung zwischen der metallischen Membran und den Dehnungsmessstreifen.
  • Es sind ferner piezoelektrische Drucksensoren bekannt, bei denen ein piezoelektrischer Aufnehmer dem Druck (z.B. Öl oder Zylinderdruck) unmittelbar ausgesetzt ist.
  • Aus DE 714 992 C ist ein piezoelektrischer Drucksensor bekannt, bei dem ein scheibenförmiges piezoelektrisches Element an einer Stirnseite eines rohrförmigen Bauteils angeordnet und an seinem Umfang fest eingespannt ist, wobei das piezoelektrische Element dem Fluiddruck in dem rohrförmigen Bauteil direkt ausgesetzt ist. Aus DE 2 324 399 A ist ein piezoelektrischer Druckwandler bekannt, bei dem der Druckraum von einer metallischen Membran verschlossen ist. Das piezoelektrische Element ist dem Druck so nicht unmittelbar ausgesetzt. Einzelheiten zur Auswerteschaltung und zur Verbindungstechnik mit der Auswerteschaltung sind den DE 2 052 356 A und DE 33 11 128 A1 zu entnehmen. Derartige piezoelektrische Drucksensoren werden bisher jedoch im Allgemeinen nur für niedrigere Drücke eingesetzt. Auch dürfte die maximal mögliche Lastspielanzahl derartiger Drucksensoren relativ beschränkt sein.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Hochdrucksensor hoher Messempfindlichkeit zu schaffen, der einfach herstellbar ist und eine sehr große Anzahl von Lastschaltspielen aushält.
  • Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 definierte Erfindung gelöst.
  • Bei dem erfindungsgemäß ausgebildeten Hochdrucksensor ist das scheibenförmige piezoelektrische Element am Stirnende des rohrförmigen Bauteils so angeordnet und eingespannt, dass es durch den Fluiddruck auf Wölbung beansprucht wird. Die elektronische Auswerteschaltung erzeugt in Abhängigkeit von einer Änderung der Wölbung und der hierdurch bedingten Änderung einer elektrischen Eigenschaft des piezoelektrischen Elementes ein Drucksignal. Das piezoelektrische Element ist dem Fluiddruck unmittelbar ausgesetzt, indem es zwischen dem Stirnende des rohrförmigen Bauteils und einer mutterartigen Klammer unter Kompression einer Dichtung eingespannt wird.
  • Als piezoelektrisches Element kann ein Quarzkristall oder eine Piezokeramik verwendet werden. Die elektronische Auswerteschaltung kann z.B. eine herkömmliche Oszillatorschaltung sein. Der erfindungsgemäß ausgebildete Hochdrucksensor zeichnet sich daher durch große Einfachheit, eine geringe Anzahl von Einzelteilen und entsprechend niedrige Herstellungskosten aus. Das in Verbindung mit Dehnungsmessstreifen auftretende Problem der Haftung ist nicht gegeben. Darüber hinaus besteht eine große Gestaltungsvielfalt. Dennoch hat der erfindungsgemäß ausgebildete Hochdrucksensor eine hohe Messempfindlichkeit, da er aufgrund der hohen Fluiddrücke (z.B. bis zu 3000 bar) einer starken Biegebeanspruchung ausgesetzt wird, die sich in einer entsprechend starken Änderung seiner elektrischen Eigenschaften auswirkt. Schließlich kann ein erfindungsgemäß ausgebildeter Hochdrucksensor eine extrem große Anzahl von Lastschaltspielen (z.B. bis zu 1010) aushalten.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen definiert.
  • Anhand der Zeichnungen werden Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigt:
  • 1 einen Längsschnitt durch einen Hochdrucksensor;
  • 2 ein Ersatzschaltbild eines piezoelektrischen Elementes;
  • 3 bis 6 schematische Schaltbilder verschiedener Ausführungsformen der Auswerteschaltung;
  • 7 einen Längsschnitt durch eine abgewandelte Ausführungsform des in 1 gezeigten Hochdrucksensors;
  • 8 ein schematisches Schaltbild einer Auswerteschaltung für den Hochdrucksensor in 7.
  • Nach 1 ist ein rohrförmiges Bauteil 1 vorgesehen, das ein Hochdruckfluid enthält, dessen Druck gemessen werden soll. Das piezoelektrische Element 2 ist dem Fluiddruck unmittelbar aussetzt. Tatsächlich wird das Stirnende des rohrförmigen Bauteils 1 von dem piezoelektrischen Element 2 verschlossen. Es muss daher für eine Abdichtung zwischen dem piezoelektrischen Element 2 und dem Bauteil 1 gesorgt werden.
  • Zu diesem Zweck ist das piezoelektrische Element 2 als kreisrunde, doppelkonusförmige Scheibe ausgebildet, die zwischen dem Stirnende des Bauteils 1 und einer mutterartigen Klammer 10 unter Kompression einer Dichtung 14 eingespannt wird. Die mutterartige Klammer 10 ist auf ein Außengewinde 15 des Bauteils 1 aufgeschraubt. Durch die Schraubverbindung kann das piezoelektrische Element 2 mit einer gewünschten Vorspannung gegen das Stirnende des Bauteils 1 festgespannt werden. Statt einer Schraubverbindung könnte jedoch auch eine Schweißverbindung gewählt werden.
  • Genauer gesagt, liegen an den konischen Umfangsflächen 11 des piezoelektrischen Elementes 2 entsprechend abgeschrägte Anlageflächen 12, 13 der Klammer 10 bzw. des Bauteils 1 an. In dem Bereich, in dem sich die abgeschrägten Anlageflächen 12, 13 schneiden, ist in der Klammer 10 ein Ringraum gebildet, der die ringförmige Dichtung 14 aufnimmt. Die Dichtung besteht aus einem den im Betrieb auftretenden und der hohen Lastspielanzahl standhaltenden Werkstoff, z. B. einem bis zu 150 °C dauerelastischem Kunststoff, einem plastischen Glas (wie bei Glasdurchführungen) oder Weicheisen. Es ist nicht notwendig, dass das Dichtmaterial immer im linear elastischen Bereich bleibt, wenn dafür gesorgt wird, dass während der gesamten Lebensdauer des Hochdrucksensors der durch die Vorspannung auf das Dichtmaterial ausgeübte Druck größer ist als der vom Fluiddruck auf das Dichtmaterial ausgeübte maximale Druck.
  • Die Dichtung 14 und der sie aufnehmende Ringraum haben einen im Wesentlichen runden Querschnitt und sind so angeordnet, dass die Dichtung durch Anlage an angrenzenden Flächen der Klammer 10, des Bauteils 1 und des piezoelektrischen Elementes 2 mit einer vorgegebenen Spannung komprimiert, wenn die Klammer 10 mit einer vorgegebenen Axialkraft in Richtung auf das Bauteil 1 gezogen wird. Dies wird dadurch erreicht, dass die Klammer 10 mit dem Bauteil 1 verschraubt wird (angedeutet durch ein Gewinde 15 auf der rechten Seite in 1) oder in einem entsprechenden Spannungszustand mit dem Bauteil 1 verschweißt wird (angedeutet durch eine Schweißnaht 16 auf der linken Seite in 1). Zum Erzielen des Spannungszustandes kann beispielsweise das Bauteil 1 während des Schweißvorganges mit einem entsprechend hohen Druck von z.B. 2000 bar beaufschlagt werden. Eine andere Möglichkeit ist, den Schweißvorgang bei Umgebungsdruck durchzuführen und danach für eine lokale Erwärmung bis Rotglut und anschließende Abkühlung in einem Bereich benachbart zu der Schweißnaht 16 zu sorgen.
  • Das piezoelektrische Element 2 hat zwei Elektroden 8, 9. Die Elektrode 9 ist als Masseelektrode gebildet, wobei die Masse von dem Bauteil 1 und der Klammer 10 gebildet wird. Die Elektrode 8 besteht beispielsweise aus einer auf die Außenseite des piezoelektrischen Elementes 2 aufgedampften Metallschicht, die kapazitiv (also kontaktlos) mit der Platte eines Kondensators C der Auswerteschaltung verbunden ist. Die Kondensatorplatte hat von dem piezoelektrischen Element 2 einen so großen Abstand, dass es auch bei der maximalen Wölbung des piezoelektrischen Elementes 2 zu keinem mechanischen Kontakt mit der Kondensatorplatte kommt. An der Außenseite der Klammer 10 kann ein Deckel (nicht gezeigt) aufgesetzt werden, an dem die Auswerteschaltung angebracht werden kann.
  • Das piezoelektrische Element 2 besteht beispielsweise aus einem Quarz. Die elektrischen Eigenschaften des Quarzes lassen sich bekanntlich durch ein Ersatzschaltbild (2) veranschaulichen. Der Quarz stellt gewissermaßen einen Schwingkreis mit Kondensator C, Widerstand R und Spule L sowie mit einer Streukapazität CO dar, für den üblicherweise das auf der rechten Seite in 2 gezeigte Schaltzeichen verwendet wird. Im Folgenden wird daher das piezoelektrische Element 2 der 1 als piezoelektrisches Glied Q bezeichnet und mit dem Schaltzeichen rechts in 2 dargestellt.
  • Die Auswerteschaltung 17 des Hochdrucksensors weist zweckmäßigerweise eine Oszillatorschaltung auf, deren frequenzbestimmendes Element das piezoelektrische Glied Q ist.
  • Da derartige Oszillatorschaltungen dem Fachmann in großer Vielfalt bekannt sind, werden im Folgenden lediglich einige Ausführungsbeispiele kurz angerissen. Unter frequenzbestimmend wird dabei verstanden, dass das piezoelektrische Glied Q die Eigenschaften eines Oszillators maßgeblich beeinflusst. Dabei kann es sich beispielsweise um die Resonanzfrequenz handeln.
  • So zeigt beispielsweise 3 eine Auswerteschaltung 17 in Form einer einfachen Oszillatorschaltung mit dem piezoelektrischen Glied Q (piezoelektrischen Element 2) als frequenzbestimmendem Element, zwei invertierenden Operationsverstärkern OP und einem Widerstand R. Eine andere Ausführungsform einer Oszillatorschaltung zeigt 4, bei der das piezoelektrische Glied Q über seine eine Elektrode einseitig geerdet ist, während die andere Elektrode über zwei Kondensatoren C1 und C2 zur Phasendrehung mit einem Verstärker V verbunden ist. Ein weiterer Kondensator C3 ist zu dem das piezoelektrische Element Q, die Kondensatoren C1, C2 und den Verstärker V enthaltenden Zweig parallel geschaltet.
  • In einer derartigen Auswerteschaltung 17 wird das piezoelektrische Glied Q zu Schwingungen angeregt, bei denen es sich um Longitudinal-, Transversal- oder Scherschwingungen handeln kann. Hierbei können die gebräuchlichen Schnitte des Quarzkristalls zur Anwendung kommen, wobei der AT-Schnitt wegen seiner bekannt guten Temperatureigenschaften bevorzugt wird.
  • Die Auswerteschaltung 17 kann die Frequenz, Periodendauer, eine Schwebungsfrequenz oder Pulsweitenmodulation eines das piezoelektrische Glied Q durchlaufenden elektri schen Signals zur Erzeugung eines Drucksignals verwenden. In den 5 und 6 ist nochmals in stark schematisierter Weise eine Auswerteschaltung in Form einer Oszillatorschaltung dargestellt, deren frequenzbestimmendes Element von dem piezoelektrischen Glied Q gebildet wird. Die 8 zeigt eine „Dreidraht-Ausführung" der Auswerteschaltung, bei der zwei Leitungen zur Stromversorgung und eine eigene Signalleitung für das abgegriffene Drucksignal vorgesehen ist. Bei der Ausführungsform der 6 handelt es sich um eine „Zweidraht-Ausführung", bei der die Signalübertragung und die Stromversorgung auf denselben Leitungen erfolgen, jedoch durch unterschiedliche Frequenzen oder durch Gleich- und Wechselstrom voneinander getrennt werden.
  • Das Drucksignal kann als Augenblickswert- oder Mittelwertsignal ausgegeben werden. Das Mittelwertsignal hat eine hohe Genauigkeit und erlaubt ein integrierendes Auswerteverfahren, ist jedoch langsam. Es wird vorzugsweise als digitaler Wert und als serielle Information ausgegeben. Das Augenblickswertsignal hat zwar eine geringere Genauigkeit, ist jedoch schneller. Es muss deshalb meist mit einem Filter einer Grenzfrequenz oberhalb des gewünschten Übertragungsfrequenzbereiches gegen Störimpulse nachbearbeitet werden. Es wird vorzugsweise als pulsweitenmoduliertes Signal für einen Mikrocontroller verwendet.
  • Wie bereits erwähnt, kann es sich bei dem Bauteil 2 um die Verteilerschiene (common rail) einer Kraftstoffeinspritzanlage handeln. Der Hochdrucksensor ist dann zu einer Diagnose der Verteilerschiene verwendbar, nachdem der Hochdrucksensor im eingebauten Zustand kalibriert wurde. Ferner können derartige Hochdrucksensoren zur Diagnose der Einspritzventile verwendet werden. Beim Einspritzvorgang der einzelnen Einspritzventile treten Druckspitzenschwankungen auf, deren Ausmaß von der Qualität der einzelnen Einspritzventile abhängt und auch einen Rückschluss auf die eingespritzte Kraftstoffmenge erlaubt. Diese kurzfristig auftretenden Druckschwankungen können durch die beschriebenen Hochdrucksensoren gemessen werden, und die Abweichungen der Druckschwankungen an den einzelnen Einspritzventilen lassen sich dann als Maß für die Qualität des betreffenden Einspritzventils im Verhältnis zum Durchschnittswert der Einspritzventile oder auch im Verhältnis zum zeitlichen Mittelwert der Eigenschaften eines einzelnen Einspritzventils (Alterung) auswerten.
  • Statt eines Quarzkristalls mit piezoelektrischen Eigenschaften kann auch eine Piezokeramik verwendet werden. Piezokeramik ist kostengünstiger und auch hinsichtlich seiner mechanischen Gestaltungsfähigkeit flexibler als Quarz, jedoch temperaturempfindlicher. Wird daher Piezokeramik als piezoelektrisches Element 2 verwendet, sollte für eine Kompensation von Temperatureinflüssen (und gegebenenfalls auch anderen Umwelteinflüssen) gesorgt werden. Eine hierzu geeignete Ausführungsform eines Hochdrucksensors ist in 7 dargestellt.
  • Der in 7 gezeigte Hochdrucksensor entspricht in seinem grundsätzlichen Aufbau dem in 1 gezeigten Hochdrucksensor. Das piezoelektrische Element 2 ist wiederum kapazitiv mit einem Kondensator C gekoppelt, der beispielsweise über eine Kontaktfeder 19 mit einer auf der Klammer 10 angebrachten Platine 18 elektrisch verbunden ist. An der Platine 18 ist die Auswerteschaltung 17, wie schematisch angedeutet, angebracht.
  • Ferner ist zusätzlich zu dem piezoelektrischen Element 2 ein zweites piezoelektrisches Element 2 vorgesehen, das auf der Außenseite der Platine 18 angeordnet und mit dieser elektrisch verbunden ist. Das zweite piezoelektrische Element 20 ist somit den gleichen Umwelteinflüssen (Temperatur, Luft) wie das erste piezoelektrische Element ausgesetzt, nicht jedoch dem Fluiddruck. Ein mit Hilfe des zweiten piezoelektrischen Elementes gewonnenes Signal kann daher zum Eliminieren von Umwelteinflüssen auf das mit Hilfe des ersten piezoelektrischen Elementes 2 gewonnenen Signals verwendet werden.
  • Wie in 7 angedeutet, hat das zweite piezoelektrische Element 20 wesentlich kleinere geometrische Abmessungen und daher eine wesentlich höhere Resonanzfrequenz als das erste piezoelektrische Element 2. Die Auswerteschaltung 17 kann daher, wie in 8 schematisch dargestellt, einen Oszillator O1 niedriger Frequenz, dessen frequenzbestimmendes Element das piezoelektrische Element 2 ist, und einen Oszillator O2 höherer Frequenz, dessen frequenzbestimmendes Element das zweite piezoelektrische Element 20 ist, aufweisen, die mit einem aus einer Torschaltung und einem Zähler bestehenden Glied G verbunden sind. Das vom Oszillator O2 abgegebene Signal hoher Frequenz dient hierbei gewissermaßen als Vergleichsnormal, das durch einen Vergleich mit dem von dem Oszillator 1 abgegebenen Signal niedriger Frequenz für eine Temperaturkompensation des zu erzeugenden Drucksignals verwendbar ist. Das Glied G kann das Drucksignal in Form von Zählimpulsen ausgeben, die über eine Ausgangsleistung A an übergeordnete Steuereinheiten weitergeleitet werden. Die Datenübergabe kann seriell oder parallel, analog oder digital erfolgen.

Claims (15)

  1. Hochdrucksensor zum Messen des Drucks eines Fluids in einem rohrförmigen Bauteil (1) mit einem scheibenförmigen piezoelektrischen Element (2), das an einem Stirnende des rohrförmigen Bauteils (1) angeordnet und an seinem Umfang fest eingespannt ist und durch den im rohrförmigen Bauteil (1) herrschenden Fluiddruck auf Wölbung beansprucht wird und einer elektronischen Auswerteschaltung (17), die in Abhängigkeit von einer Änderung der Wölbung und einer hierdurch bedingten Änderung einer elektrischen Eigenschaft des piezoelektrischen Elementes (2) ein Drucksignal erzeugt, wobei das piezoelektrische Element (2) dem Fluiddruck in dem rohrförmigen Bauteil (1) unmittelbar ausgesetzt ist und zwischen dem Stirnende des rohrförmigen Bauteils (1) und einer mutterartigen Klammer (10) unter Kompression einer Dichtung (14) eingespannt ist, die das Innere des rohrförmigen Bauteils (1) gegenüber der Umgebung abdichtet.
  2. Hochdrucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das piezoelektrische Element (2) als doppelkonusförmige Scheibe ausgebildet ist, an deren konischen Umfangsflächen (11) entsprechend abgeschrägte Anlageflächen (12, 13) des rohrförmigen Bauteils (1) und der Klammer (3) anliegen.
  3. Hochdrucksensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (14) in einem Bereich angeordnet ist, in dem sich die abgeschrägten Anlageflächen (12, 13) des rohrförmigen Bauteils (1) und der Klammer (3) schneiden.
  4. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (14) durch die Klammer (10) so stark vorgespannt wird, daß der hierdurch auf die Dichtung (14) ausgeübte Druck größer als der durch das Fluid auf die Dichtung (14) ausgeübte Druck ist.
  5. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, daß die Klammer (10) mit dem Bauteil (1) verschraubt oder verschweißt ist.
  6. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (14) in einem Ringraum angeordnet ist, der von dem piezoelektrischen Element (2), dem Stirnende des rohrförmigen Bauteils (1) und der Klammer (10) begrenzt wird.
  7. Hochdrucksensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (14) und der Ringraum einen im wesentlichen runden Querschnitt haben.
  8. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Material der Dichtung (14) ein dauerelastischer Kunststoff, plastisches Glas oder Weicheisen ist.
  9. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das piezoelektrische Element (2) zwei Elektroden (8, 9) hat, von denen die eine (8) mit der übrigen Auswerteschaltung (17) kontaktfrei verbunden ist und die andere (9) an Masse liegt.
  10. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (17) eine Oszillatorschaltung (O) aufweist, deren frequenzbestimmendes Element das piezoelektrische Element (2) ist.
  11. Hochdrucksensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das piezoelektrische Element (2) als Longitudinal-, Transversal- oder Scherschwinger ausgebildet ist.
  12. Hochdrucksensor nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (17) eine Frequenz, Periodendauer, Phasenverschiebung, Schwebungsfrequenz oder Pulsweitenmodulation eines das piezoelektrische Element (2) durchlaufenden elektrischen Signals zur Erzeugung des Drucksignals verwendet.
  13. Hochdrucksensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßsignal ein Mittelwert- oder Augenblickswertsignal ist.
  14. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweites piezoelektrisches Element (20) vorgesehen ist, das denselben Umweltbedingungen wie das erste piezoelektrische Element (2), jedoch keiner Beanspruchung durch den Fluiddruck ausgesetzt ist, und daß die Auswerteschaltung (17) ein mit Hilfe des zweiten piezoelektrischen Elementes (20) gewonnenes Vergleichssignal zum Eliminieren von Umwelteinflüssen auf das Drucksignal verwendet.
  15. Hochdrucksensor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (17) zwei Oszillatoren (O1, O2) aufweist, deren frequenzbestimmenden Elemente die beiden piezoelektrischen Elemente (2, 20) sind, wobei die beiden Oszillatoren (O1, O2) mit stark unterschiedlichen Frequenzen betrieben werden, und daß die beiden Oszillatoren (O1, O2) an einem aus einer Torschaltung und einem Zähler bestehenden Glied (G) zur Bildung des Drucksignals angeschlossen sind.
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