DE10007831C1 - Arbeitskammer mit einer automatisch abdichtbaren Durchführung für einen in die Arbeitskammer eingreifenden Manipulatorarm - Google Patents
Arbeitskammer mit einer automatisch abdichtbaren Durchführung für einen in die Arbeitskammer eingreifenden ManipulatorarmInfo
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Abstract
Description
- - wenigstens einer mit einer Ausnehmung versehenen Ar beitskammerwandung;
- - einem Durchführungsrohr, das in die Ausnehmung in der Ar beitskammerwandung eingesetzt ist und mit dieser verbunden ist;
- - einem hohlen, über ein Ventil mit Druckgas beaufschlagba ren flexiblen Dichtungselement, das mittels seiner wenigs tens einen innenliegenden Ausnehmung dichtend auf einen Manipulatorarm aufzuziehen ist und das eine den Manipula torarm vollumfänglich umhüllende Wandung aufweist, welche bei Beaufschlagung des Dichtungselements mit Druckgas an die Innenwandung des Durchführungsröhrenelements anlegbar ist.
- - eine translatorische Bewegung parallel zur Achse des Durchführungsrohrs,
- - eine Rotation um die Längsachse des Manipulatorarms,
- - eine zweidimensionale Verschiebung der Längsachse des Ma nipulatorarms gegenüber der Achse des Durchführungsrohrs, in der Querschnittsebene des Durchführungsrohrs, sowie
- - eine Neigung des Manipulatorarms gegenüber der Mittelachse des Durchführungsrohrs.
- - Verschiebung parallel zur Mittelachse des Dichtungsele ments 20 entlang einer mit 41 bezeichneten Roboterhand- Verschiebungsrichtung;
- - zweidimensionale Verschiebung der Roboterhand 36.2 in der Querschnittsebene des Durchführungsrohrs 12, entweder in einer mit 42 bezeichneten, vertikalen Handgelenk-Ver schiebungsrichtung oder in einer mit 45 (vgl. Fig. 3c) be zeichneten horizontalen Handgelenk-Verschiebungsrichtung;
- - Rotation der Roboterhand 36.2 um die Roboterhandachse 36.3 (vgl. Fig. 2c) in der mit 43 bezeichneten Roboterhandach sen-Rotationsrichtung; und
- - Neigung der Roboterhand 36.2 gegenüber der Rohrmittelachse des Durchführungsrohrs 12 durch Schwenken des Handgelenks 35.1 in der mit 44 bezeichneten Handgelenk-Schwenk richtung.
Claims (11)
- - wenigstens einer mit einer Ausnehmung versehenen Ar beitskammerwandung (11);
- - einem Durchführungsrohr (12), das in die Ausnehmung in der Arbeitskammerwandung (11) eingesetzt ist und mit dieser verbunden ist;
- - einem hohlen, über ein Ventil mit Druckgas beaufschlagbaren flexiblen Dichtungselement (20), das mittels seiner wenigstens einen innenliegenden Aus nehmung dichtend auf einen Manipulatorarm aufzuziehen ist und das eine den Manipulatorarm vollumfänglich umhüllende Wandung aufweist, welche bei Beaufschla gung des Dichtungselements (20) mit Druckgas an die Innenwandung (23) des Durchführungsrohrs (12) anleg bar ist.
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