DE10004274A1

DE10004274A1 - Device for coating the inner surface of a hollow body

Info

Publication number: DE10004274A1
Application number: DE2000104274
Authority: DE
Inventors: Hans-Peter Kabisch; Rodney Moore
Original assignee: Tetra Laval Holdings and Finance SA
Current assignee: Tetra Laval Holdings and Finance SA
Priority date: 2000-02-01
Filing date: 2000-02-01
Publication date: 2001-08-02
Also published as: AU2001221705A1; WO2001056706A1

Abstract

The invention relates to a device for coating the inner surface (6) of a hollow body (1) which has an opening (5) on a long neck (3), by depositing at least one reaction product on said surface (6). The reaction product is produced by reacting a gas mixture. The device comprises at least one delivery tube (7) for process gas which can be mounted centrally in the neck (3) and the opening (5); and at least one waste gas line (9). The invention provides that in order to be able to adjust the thickness of the layer on the container wall equally or inequally in different places, the waste gas line (9) mounted outside the hollow body (1) is connected to at least one waste gas pipe (19) which, in the operating position of the hollow body (1, figure 2), protrudes through the opening (5) of said hollow body, through its closing area (4) and into its neck. The open, inner end (20) of the at least one waste gas pipe (9) comes to rest beyond the closing area (4), at the level of the longitudinal extension of the hollow body (1) where the cross-section of said hollow body (1) is greater than the cross-section of the closing area (4).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschichten der inneren Oberfläche eines Hohlkör pers mit einer Öffnung an einem länglichen Hals mittels Abscheiden wenigstens eines Reakti onsproduktes auf diese Oberfläche, wobei das Reaktionsprodukt durch die Reaktion eines Gas gemisches entsteht, mit wenigstens einem zentrisch in dem Hals und der Öffnung anbringbaren Zuführrohr für Prozeßgas und mit wenigstens einer Abgasleitung.The invention relates to a device for coating the inner surface of a hollow body pers with an opening on an elongated neck by depositing at least one reaction onproduct on this surface, the reaction product by the reaction of a gas mixture arises, with at least one that can be attached centrally in the neck and the opening Feed pipe for process gas and with at least one exhaust pipe.

Es ist bekannt, daß zum Beispiel im Lebensmittelbereich und auf medizinischem Gebiet Hohl körper aus Kunststoff als Verpackungen verwendet werden, denn sie können leicht hergestellt und gehandhabt werden und sind auch preiswert. Bekanntlich kann aber niedermolekulares Gas, wie zum Beispiel Sauerstoff und Kohlendioxid, die Kunststoffwände durchdringen, und es kön nen auch niedermolekulare organische Verbindungen in den Kunststoff eindringen. Getränke können dadurch ihren Geschmack und ihre Qualität verlieren. It is known that, for example, in the food sector and in the medical field, Hohl plastic bodies can be used as packaging because they can be easily manufactured and are handled and are also inexpensive. As is well known, low molecular weight gas, such as oxygen and carbon dioxide that penetrate plastic walls and can low molecular weight organic compounds also penetrate the plastic. beverages can lose their taste and quality.

Zur Verbesserung der Barriereeigenschaften der Hohlkörperwandungen ist es bekannt, Behälter innen oder außen zu beschichten, wobei der Beschichtungsprozeß mit Hilfe eines Plasmas er folgt. Dieser, in dem Hohlkörper als Behandlungskammer stattfindende chemische Prozeß er möglicht zum Beispiel einen Auftrag aus der Gasphase. Ein Gemisch einer siliziumorganischen Verbindung, eines Oxidationsmittels und eines Trägergases wird über ein Zuführrohr durch den Hals des Hohlkörpers in diesen eingeführt. Elektromagnetische Energie wird eingestrahlt und zündet das Plasma innerhalb des Hohlkörpers. Bei diesem Behandlungsprozeß wird ein glasar tiges Siliziumoxid auf jene Teile des Inneren des Hohlkörpers aufgetragen, welche dem bren nenden Plasma ausgesetzt sind.It is known to improve the barrier properties of the hollow body walls to coat inside or outside, the coating process using a plasma follows. This chemical process taking place in the hollow body as a treatment chamber possible, for example, an order from the gas phase. A mixture of an organosilicon Compound, an oxidizing agent and a carrier gas is through a feed pipe through the Neck of the hollow body inserted into this. Electromagnetic energy is radiated in and ignites the plasma inside the hollow body. In this treatment process, a glasar Silicium oxide applied to those parts of the interior of the hollow body that burn exposed to plasma.

Mit der eingangs beschriebenen, bekannten Vorrichtung wird Prozeßgas mittels des Zuführroh res in den Hohlkörper eingeführt, und nach Ablauf des chemischen Prozesses zieht man die Abgase durch den Hals des Hohlkörpers nach außerhalb ab. Mit Nachteil mußte man feststellen, daß die auf der inneren Oberfläche des Hohlkörpers abgeschiedene Schicht je nach der Gestalt des Hohlkörpers unterschiedlich dick ist. Beschichtete man beispielsweise Hohlkörper mit einem verhältnismäßig langen Hals, wie er bei einigen Bierflaschen üblich ist, dann nahm die Schicht dicke längs des Halses ab, so daß bei einer zu geringen Schichtdicke die Barriereeigenschaften nicht mehr gegeben waren.With the known device described above, process gas is supplied by means of the feed tube res inserted into the hollow body, and after the chemical process is completed, the Exhausts through the neck of the hollow body to the outside. At a disadvantage you had to find that the layer deposited on the inner surface of the hollow body depends on the shape of the hollow body is of different thickness. For example, one coated a hollow body relatively long neck, as is common with some beer bottles, then took the shift thickness along the neck, so that the barrier properties if the layer is too thin were no longer given.

Man hat mit verschiedenen Überlegungen versucht, die Dicke der Beschichtung im Halsbereich eines solchen Hohlkörpers zu vergrößern. Erhöht man den Zuführdruck für Prozeßgas in dem perforierten Zuführrohr im Hauptbereich des Hauptkörpers, dann reicht dieser Effekt für den Halsbereich nicht aus. Würde man andererseits den Druck verringern (das Vakuum erhöhen), dann würde die Verweilzeit des Prozeßgases in dem Hohlkörper unterschritten. Auch damit wäre eine Lösung des Problems nicht in Aussicht gestellt. Dies gilt auch für eine bereits versuchte Maßnahme, die Menge an zugeführtem Prozeßgas zu erhöhen.Various considerations have been tried, the thickness of the coating in the neck area to enlarge such a hollow body. If you increase the supply pressure for process gas in the perforated feed pipe in the main area of the main body, then this effect is sufficient for the Neck area not out. On the other hand, would you decrease the pressure (increase the vacuum) then the dwell time of the process gas in the hollow body would be undershot. That would be too there is no prospect of a solution to the problem. This also applies to one that has already been tried Measure to increase the amount of process gas supplied.

Im Hinblick auf die bislang ungelösten Schwierigkeiten hat sich die Erfindung die Aufgabe ge stellt, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß man die Dicke der Schicht auf der Behälterwandung an verschiedenen Stellen gleich oder ungleich einstellen kann.In view of the difficulties to date, the invention has the task ge provides to improve a device of the type mentioned so that the thickness of the Can set the layer on the container wall in different places the same or different.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt erfindungsgemäß dadurch, daß die außerhalb des Hohlkör pers angebrachte Abgasleitung mit wenigstens einem Abgasrohr verbunden ist, welches in Be triebsposition des Hohlkörpers durch dessen Öffnung, durch dessen Verschlußbereich und in den Hals ragt und daß das offene, innere Ende des wenigstens einen Abgasrohres außerhalb des Verschlußbereiches auf derjenigen Höhe der Längserstreckung des Hohlkörpers zu liegen kommt, bei welcher der Querschnitt des Hohlkörpers größer ist als der Querschnitt des Ver schlußbereiches.This object is achieved according to the invention in that the outside of the hollow body pers attached exhaust pipe is connected to at least one exhaust pipe, which in Be drive position of the hollow body through its opening, through its closure area and in protrudes the neck and that the open, inner end of the at least one exhaust pipe outside of the closure area to be at that height of the longitudinal extent of the hollow body comes in which the cross section of the hollow body is larger than the cross section of the Ver closing range.

Unter Verschlußbereich versteht man den sich an die Öffnung des Hohlkörpers anschließenden, im wesentlichen ringförmigen Wandungsbereich, der für die Aufnahme einer dichtenden und/. oder schützenden Kappe vorgesehen ist. Dabei kann es sich um einen Ring für die Aufnahme eines Kronenkorkens handeln, oder der Verschlußbereich kann sich ein Stück weit in Längs richtung des Hohlkörpers erstrecken und ein Außengewinde tragen, auf welches eine Schutz- und/oder Dichtkappe aufgeschraubt wird.Closure area is understood to mean the area adjoining the opening of the hollow body, essentially annular wall area, which is used to hold a sealing and /. or protective cap is provided. This can be a ring for the shot a crown cap, or the closure area can be a bit long extend direction of the hollow body and carry an external thread on which a protective and / or sealing cap is screwed on.

Bei einer besonderen Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei dem Hohlkörper um einen flaschenähnlichen Körper, der bis auf die am äußeren Ende des Halses befindliche Öff nung sonst geschlossen ist, wobei von dieser Öffnung bis zu dem Hauptteil des Hohlkörpers sich hinter dem Verschlußbereich ein Hals anschließt. Dessen Gestalt kann etwa zylindermantelför mig oder konisch sein.In a special embodiment of the invention, the hollow body is a bottle-like body, except for the opening at the outer end of the neck voltage is otherwise closed, from this opening to the main part of the hollow body itself a neck connects behind the closure area. Its shape can be approximately cylindrical mig or conical.

Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß die Abgasströmung das Abscheiden des Reakti onsproduktes im Hals- und Verschlußbereich hemmt und wenigstens teilweise verhindert, wenn das Abgas durch den Hals- und Verschlußbereich strömen muß, um die außerhalb des Hohlkör pers angebrachte Abgasleitung zu erreichen. Von dort wird das Abgas dann weiter abgesaugt. Mit der erfinderischen Idee wurde eine Maßnahme getroffen, die Abgasströme daran zu hindern, längs der inneren Oberfläche des Hals- und/oder Verschlußbereiches des Hohlkörpers entlang zu strömen. Erreicht wird diese Wirkung durch das wenigstens eine neue Abgasrohr, welches zwar mit der Abgasleitung außerhalb des Hohlkörpers verbunden ist, welches aber von dieser Verbindungsstelle außerhalb des Hohlkörpers durch dessen Öffnung, durch dessen Verschluß bereich und in dessen Hals ragt. Dieses neue Abgasrohr erstreckt sich parallel zum Zuführrohr und kann gemeinsam mit diesem in den Hohlkörper eingeführt werden, um ein problemloses Befüllen des Hohlkörpers mit dem gewünschten Gasgemisch zu erreichen, die Abscheidung des gewünschten Reaktionsproduktes sicherzustellen und das Abgas durch den Hals und die Öff nung des Hohlkörpers nach außen so abzuziehen, daß sich auch an den inneren Wandungen des Halses und gegebenenfalls des Verschlußbereiches die Reaktionsprodukte in gewünschter Weise abscheiden können, um eine Schicht auf der Wandung des Hohlkörpers vorzusehen, die je nach den eingestellten Parametern mehr oder weniger dick ist.The invention is based on the knowledge that the exhaust gas flow separating the reacti onsprodues inhibits in the neck and closure area and at least partially prevented when the exhaust gas must flow through the neck and closure area to the outside of the hollow body personal exhaust pipe to reach. From there, the exhaust gas is then extracted further. With the inventive idea, a measure was taken to prevent the exhaust gas flows from along the inner surface of the neck and / or closure region of the hollow body to pour. This effect is achieved by the at least one new exhaust pipe, which is connected to the exhaust pipe outside the hollow body, but which of this Junction outside the hollow body through its opening, through its closure area and protrudes in the neck. This new exhaust pipe extends parallel to the feed pipe and can be inserted together with this into the hollow body to make a problem-free Filling the hollow body with the desired gas mixture to achieve the separation of the to ensure the desired reaction product and the exhaust gas through the neck and the opening deduction of the hollow body to the outside so that also on the inner walls of the neck and, if applicable, the closure area, the reaction products in the desired Way can deposit to provide a layer on the wall of the hollow body, the is more or less thick depending on the set parameters.

Zu dieser Wirkung trägt maßgeblich die Maßnahme bei, daß nämlich das innere Ende des Ab gasrohres im Halsbereich zu liegen kommt. Als solcher ist ein bestimmter Bereich der Längser streckung des Hohlkörpers gemeint, gegebenenfalls sogar am Übergang zum Hauptteil des Hohlkörpers oder in dem Hauptteil des Hohlkörpers, so daß die Abgase dort in das Abgasrohr eingesaugt und dann dicht am Zuführrohr im Abstand von der mehr oder weniger koaxialen Wand des Hohlkörpers abgeführt werden. Dadurch ist der gesamte Ringbereich an der inneren Oberfläche des Halses und gegebenenfalls auch des Verschlußbereiches frei von strömenden, wirbelnden und das Prozeßgas wegblasenden Fließbewegungen. Das Prozeßgas kann sich also in Ruhe auf den inneren Oberflächen abscheiden. Gewünscht ist dabei die Anordnung des offe nen Endes des Abgasrohres bzw. einer Absaugöffnung des Absaugrohres außerhalb des Ver schlußbereiches. Das Abgasrohr erstreckt sich mit anderen Worten geschlossen durch den Ver schlußbereich hindurch und hat sein offenes inneres Ende bzw. eine Absaugöffnung in einem bestimmten Höhenbereich. Diese Höhe ist dadurch definiert, daß der Querschnitt des Hohlkör pers an dieser Höhe größer ist als der Querschnitt des Verschlußbereiches.The measure contributes significantly to this effect, namely that the inner end of Ab gas pipe comes to rest in the neck area. As such, a certain area is elongated stretching of the hollow body meant, possibly even at the transition to the main part of the Hollow body or in the main part of the hollow body, so that the exhaust gases there into the exhaust pipe sucked in and then close to the feed pipe at a distance from the more or less coaxial Wall of the hollow body are removed. This means that the entire ring area is on the inside Surface of the neck and possibly also the closure area free from flowing, swirling and blowing away the process gas flow movements. So the process gas can deposit calmly on the inner surfaces. The arrangement of the open is desired NEN end of the exhaust pipe or a suction opening of the suction pipe outside the ver closing range. In other words, the exhaust pipe extends closed through the ver closing area and has its open inner end or a suction opening in one certain height range. This height is defined in that the cross section of the hollow body pers at this height is greater than the cross section of the closure area.

Im Gegensatz zu der bekannten Vorrichtung, bei welcher die Abgasleitung außerhalb des Hohl körpers ansetzt, wird erfindungsgemäß innerhalb des Hohlkörpers abgepumpt.In contrast to the known device, in which the exhaust pipe outside the hollow body attaches, is pumped out within the hollow body according to the invention.

Bei vorteilhafter weiterer Ausgestaltung der Erfindung hat das Zuführrohr für Prozeßgas etwa im Bereich des Halses des Hohlkörpers einen kleineren ersten Durchmesser als weiter im Inneren des Hohlkörpers, und das Abgasrohr ist im Bereich des kleineren ersten Durchmessers parallel zu dem Zuführrohr und außerhalb desselben dicht neben diesem geführt.In an advantageous further embodiment of the invention, the feed pipe for process gas has approximately in Area of the neck of the hollow body has a smaller first diameter than further inside of the hollow body, and the exhaust pipe is parallel in the region of the smaller first diameter led to the feed pipe and outside of it close to this.

Der Innendurchmesser des Halses eines Hohlkörpers ist bekanntlich kleiner als der Innen durchmesser des Hauptteils des Hohlkörpers. Um das Zuführrohr an diese innere Gestaltung des Hohlkörpers anzupassen, verkleinert sich der Durchmesser des Zuführrohres in diesem er sten Bereich mit dem kleineren ersten Durchmesser. Der Ringraum um diesen ersten Längenbe reich des Zuführrohres herum hat damit einen größeren Querschnitt, so daß sich die Reaktions produkte dort besser bewegen und in größerer Menge auf der inneren Oberfläche des Hohlkör pers abscheiden können. Von dem ersten Längenbereich des Zuführrohres mit dem kleineren ersten Durchmesser zu dem Restbereich des Zuführrohres mit dem größeren Durchmesser gibt es einen Übergang, der scharf oder abgeschrägt sein kann. Dieser etwa kegelstumpfförmige oder stufenförmige Übergang wird in Richtung der Längserstreckung des Hohlkörpers auf einer solchen Höhe innerhalb des Halses oder weiter innen angeordnet sein, daß der vorstehend er wähnte Effekt erreicht wird, wonach das Prozeßgas und das Reaktionsprodukt guten Zugang und ruhige Abscheidungsmöglichkeit haben, um die Beschichtung auf der Innenfläche im Hals bereich sicherzustellen. Es ist zweckmäßig, diesen Übergang nicht an der engsten Stelle, zum Beispiel etwa im Verschlußbereich, anzuordnen. Deshalb endet das Abgasrohr mit seinem inne ren Teil noch in dem ersten Längenbereich des Zuführrohres, wo dieses den kleineren ersten Durchmesser hat. Diese Position kann dicht neben dem erwähnten Übergang liegen, kann von dem Übergang aber auch einen Abstand haben, sofern nur immer die oben erwähnte Bedingung erfüllt ist, daß die Höhenposition des offenen inneren Endes des Abgasrohres oder seiner Ab saugöffnung dort liegt, wo der Querschnitt des Hohlkörpers größer ist als der des Verschlußbe reiches.As is known, the inside diameter of the neck of a hollow body is smaller than the inside diameter of the main part of the hollow body. To the feed pipe to this inner design adjust the hollow body, the diameter of the feed tube in this he decreases most area with the smaller first diameter. The annulus around this first Längenbe range of the feed tube around has a larger cross section, so that the reaction Move products there better and in larger quantities on the inner surface of the hollow body can separate pers. From the first length range of the feed pipe with the smaller one first diameter to the remaining area of the feed pipe with the larger diameter there is a transition that can be sharp or beveled. This is approximately frustoconical or step-shaped transition is in the direction of the longitudinal extension of the hollow body on a such a height within the neck or further inside that the above he imagined effect is achieved, after which the process gas and the reaction product good access and have quiet deposition to the coating on the inner surface in the neck ensure area. It is advisable not to make this transition at the narrowest point Example to arrange in the closure area. Therefore the exhaust pipe ends with its inside Ren part still in the first length range of the feed pipe, where this is the smaller first Diameter. This position can be close to the transition mentioned, can be from but also have a distance from the transition, if only always the condition mentioned above is satisfied that the height position of the open inner end of the exhaust pipe or its Ab suction opening is where the cross section of the hollow body is larger than that of the closure rich.

Vorteilhaft ist es gemäß der Erfindung ferner, wenn das Zuführrohr ein bis auf Austrittslöcher geschlossenes Hohlrohr ist, dessen erster Längenbereich mit dem kleineren ersten Durchmes ser wenigstens ein, vorzugsweise 4-10 und besonders bevorzugt 2 Gasaustrittslöcher aufweist. In dem Zuführrohr für Prozeßgas kann dadurch ein höherer Druck herrschen mit der Wirkung, daß das Prozeßgas auch aus dem Zuführrohr in den Hohlkörper hinein austritt. In dem dickeren, inneren Bereich des Zuführrohres mit dem größeren zweiten Durchmesser befinden sich zwar am Umfang verteilt Gasaustrittslöcher, am inneren hinteren Ende dieses Zuführrohres ist aber eine Kappe vorgesehen, die entweder ganz geschlossen ist oder einige wenige Gasaustrittslö cher hat, um sicherzustellen, daß der Strahl des Prozeßgases auch in die hintersten Ecken oder Bereiche des zu beschichtenden Hohlkörpers kommt. Die Anzahl der Gasaustrittslöcher in dem inneren dickeren Bereich des Zuführrohres ist größer als die Anzahl der Gasaustrittslöcher in dem ersten Längenbereich mit dem kleineren Durchmesser. Mit nur zwei Gasaustrittslöchern in diesem ersten Längenbereich des Zuführrohres wurden gute Versuchsergebnisse erzielt, d. h. eine ausreichend dicke Beschichtung im Halsbereich eines Hohlkörpers erreicht. Die Austritts strahlen aus dem inneren, dickeren Teil des Zuführrohres sind länger, stärker gerichtet und transportieren größere Gasmengen, wenn das hintere Ende des Zuführrohres durch die er wähnte Kappe geschlossen ist, selbst wenn dort wenige Austrittslöcher vorgesehen sind, zum Beispiel vier Löcher in einer kegelstumpfförmigen Fläche.It is also advantageous according to the invention if the feed pipe has one except for exit holes is closed hollow tube, the first length range with the smaller first diameter ser has at least one, preferably 4-10 and particularly preferably 2 gas outlet holes. This can result in a higher pressure in the feed pipe for process gas, with the effect that that the process gas also exits from the feed pipe into the hollow body. In the thicker inner area of the feed pipe with the larger second diameter are indeed Gas outlet holes are distributed around the circumference, but at the inner rear end of this feed pipe a cap is provided, which is either completely closed or a few gas outlet has to ensure that the jet of the process gas also in the far corners or Areas of the hollow body to be coated comes. The number of gas outlet holes in the inner thicker area of the feed pipe is larger than the number of gas outlet holes in the first length range with the smaller diameter. With only two gas outlet holes in good test results were achieved in this first length range of the feed pipe, i. H. achieved a sufficiently thick coating in the neck area of a hollow body. The exit rays from the inner, thicker part of the feed tube are longer, more directed and transport larger amounts of gas when the rear end of the feed pipe passes through it imagined cap is closed, even if there are few outlet holes for Example four holes in a frustoconical surface.

Wenn bei weiterer Ausgestaltung der Erfindung in dem ersten Längenbereich des Zuführrohres zwei oder mehr, etwa gleichmäßig über den Umfang des Zuführrohres verteilte Abgasrohre vor gesehen sind, dann ist eine größere Absaugfläche angeboten, so daß größere Abgasmengen nach außerhalb des Hohlkörpers abgesaugt werden können. Dadurch kann man erreichen, daß der Druck in dem Hohlkörper etwa gleich groß dem Druck in der außerhalb des Hohlkörpers befindlichen Abgasleitung ist. Man hat also keinen oder nur einen kleinen Druckabfall in der Ab saugleitung und erreicht dann mit Vorteil den größten Massenfluß des abgesaugten Gases. Wenn die Abgasrohre mehr oder weniger gleichmäßig über den Umfang des ersten Längenbe reiches des Zuführrohres (mit dem kleineren Durchmesser) verteilt vorgesehen sind, erreicht man im ganzen Raum ferner ein gleichmäßiges Absaugen mit dem Vorteil einer gleichmäßigen Beschichtung. If in a further embodiment of the invention in the first length range of the feed pipe two or more, approximately evenly distributed over the circumference of the supply pipe exhaust pipes seen, then a larger extraction area is offered, so that larger amounts of exhaust gas can be suctioned outside the hollow body. In this way one can achieve that the pressure in the hollow body is approximately equal to the pressure in the outside of the hollow body exhaust pipe located. So you have no or only a small pressure drop in the Ab suction line and then advantageously achieves the greatest mass flow of the extracted gas. If the exhaust pipes are more or less uniform over the circumference of the first length range of the feed pipe (with the smaller diameter) are provided, achieved one also uniform evacuation in the whole room with the advantage of an even Coating.

Neben diesen erfindungsgemäßen Maßnahme ist es auch günstig, wenn der Außenumfang ei nes gedachten Ringes, welcher um das Zuführrohr und um die an diesem angelegten Abgasroh re herumgelegt ist, kleiner ist als der Durchmesser des Halses oder des Verschlußbereiches des Hohlkörpers. Denn nur dann ist es möglich, das erfindungsgemäße Zuführrohr mit dem wenig stens einen Abgasrohr durch den Verschlußbereich und Halsbereich des Hohlkörpers in diesen hinein zu schieben.In addition to this measure according to the invention, it is also advantageous if the outer circumference egg nes imaginary ring, which around the feed pipe and the exhaust pipe applied to it re is laid around, is smaller than the diameter of the neck or the closure area of the Hollow body. Because only then is it possible to use the feed tube according to the invention with little least an exhaust pipe through the closure area and neck area of the hollow body in this to slide in.

Eine andere günstige Ausführungsform der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß das inne re Ende des Abgasrohres am inneren Ende des Zuführrohres zu liegen kommt. Mit anderen Worten ragt dann das Abgasrohr neben dem Zuführrohr genauso weit in das Innere des zu be schichtenden Hohlkörpers hinein wie das Zuführrohr selbst. Die Position mit der größten Saug wirkung befindet sich dann zwar auch außerhalb des Verschlußbereiches, dann aber nicht mehr innerhalb des Halses mit der Folge, daß Abgase aus dem Hals- und/oder Verschlußbereich erst nach innen in den Hohlkörper hineingesaugt und von dort über die Abgasrohre abgeführt wer den. Diese Führung von Abgasen ist genau entgegengesetzt der der bekannten Vorrichtung, bei welcher nur eine Abgasleitung außerhalb des Hohlkörpers vorgesehen war.Another cheap embodiment of the invention is characterized in that the inside re end of the exhaust pipe comes to rest on the inner end of the feed pipe. With others Words then extends the exhaust pipe next to the feed pipe just as far into the interior of the be layering hollow body like the feed pipe itself. The position with the largest suction Effect is then also outside the closure area, but then no longer within the neck with the result that exhaust gases from the neck and / or occlusion area only sucked inwards into the hollow body and discharged from there via the exhaust pipes the. This guidance of exhaust gases is exactly the opposite of that of the known device which was only provided an exhaust pipe outside the hollow body.

Eine weitere andere und auch günstige Ausführungsform der Erfindung erreicht man dann, wenn das Abgasrohr auf der Höhe des weiter innen im Hohlkörper liegenden dickeren Bereiches des Zuführrohres im Inneren des Zuführrohres geführt angebracht ist und das offene, innere Ende des Abgasrohres außerhalb des Zuführrohres angebracht ist. Nach wie vor verläuft das Abgas rohr in dem ersten Längenbereich mit dem kleineren ersten Durchmesser des Zuführrohres au ßerhalb desselben. Hingegen wird nach dieser Ausführungsform das Abgasrohr in dem dickeren Teil des Zuführrohres in dessen Innerem geführt. Letztlich muß aber das offene, innere Ende des Abgasrohres mit dem Raum außerhalb des Zuführrohres in Verbindung stehen, um die ge wünschte Absaugung zu gewährleisten. Deshalb ist das innere Ende des Abgasrohres außer halb des Zuführrohres angebracht. Nimmt man eine bevorzugte Ausführungsform, bei welcher das Abgasrohr vorn parallel außen im ersten Längenbereich des Zuführrohres geführt wird und das offene, innere Ende des Abgasrohres bis zum inneren Ende des Zuführrohres gezogen ist, dann saugt man das Abgas im Bereich des inneren Endes des Zuführrohres im Hohlkörper innen ab und führt es innerhalb des dickeren Bereiches des Zuführrohres parallel zu diesem nach vorn heraus. Das Abgasrohr verläßt das Zuführrohr im Bereich des erwähnten Überganges, um dann gemeinsam neben dem Zuführrohr den Hohlkörper vorn zu verlassen.Another and also inexpensive embodiment of the invention can be achieved if the exhaust pipe at the level of the thicker area of the inside of the hollow body Feed tube inside the feed tube is attached and the open inner end the exhaust pipe is attached outside the supply pipe. The exhaust gas continues to flow pipe in the first length range with the smaller first diameter of the feed pipe au outside of it. In contrast, according to this embodiment, the exhaust pipe in the thicker Part of the feed pipe guided inside. Ultimately, however, the open, inner end must the exhaust pipe with the space outside the feed pipe in connection to the ge to ensure the desired suction. Therefore, the inner end of the exhaust pipe is out attached half of the feed pipe. Take a preferred embodiment in which the exhaust pipe is guided in the front parallel outside in the first length range of the supply pipe and the open, inner end of the exhaust pipe is drawn to the inner end of the feed pipe, then you suck the exhaust gas in the area of the inner end of the feed pipe in the hollow body inside and leads it within the thicker area of the feed pipe parallel to the front out. The exhaust pipe leaves the feed pipe in the area of the transition mentioned, and then together to leave the hollow body at the front next to the feed pipe.

Für die Erfindung ist bevorzugt, wenn die Position der Absaugöffnungen die Symmetrie des Hohlkörpers berücksichtigt. Es ist zwar möglich, wenn ein einziges Absaugrohr mit nur einer Öffnung, nämlich dem offenen inneren Ende desselben, verwendet wird, diese Absaugöffnung exzentrisch anzuordnen. Besonders bevorzugt ist es dann aber, wenn diese Absaugöffnung oder das offene, innere Ende des Absaugrohres zentrisch auf der Längsmittelachse des Hohlkörpers liegt. Alternativ ist der Einsatz mehrerer Absaugöffnungen oben beschrieben. Wählt man hier eine gerade Anzahl von Absaugrohren, gegebenenfalls auch nur eine gerade Anzahl von Ab saugöffnungen, dann ist es aber bevorzugt, wenn diese bezüglich des Hohlkörpers symmetrisch angeordnet sind. Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen ist es möglich, auch diese Bedin gung recht leicht einzuhalten, ob nun das Abgas von der Absaugöffnung, gegebenenfalls dem offenen inneren Ende des Absaugrohres, abgesaugt und dann zu einem einzigen dickeren Ab gasrohr geführt wird, oder ob das Abgas in einer Mehrzahl von dünneren Abgasrohren geführt wird. Beide Alternativen zeigen gute Versuchsergebnisse.For the invention it is preferred if the position of the suction openings the symmetry of the Considered hollow body. It is possible if a single exhaust pipe with only one Opening, namely the open inner end of the same, is used for this suction opening to be arranged eccentrically. However, it is particularly preferred if this suction opening or the open, inner end of the suction tube centrally on the longitudinal central axis of the hollow body lies. Alternatively, the use of several suction openings is described above. You choose here an even number of suction pipes, possibly even an even number of Ab suction openings, but it is preferred if these are symmetrical with respect to the hollow body are arranged. By means of the measures according to the invention, it is also possible to use this condition It is fairly easy to adhere to whether the exhaust gas from the suction opening, possibly the open inner end of the suction tube, vacuumed and then to a single thicker Ab gas pipe is guided, or whether the exhaust gas is guided in a plurality of thinner exhaust pipes becomes. Both alternatives show good test results.

Eine andere günstige Ausführungsform ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß das Abgasrohr das Zuführrohr in dessen erstem Längenbereich mit den kleineren ersten Durchmes ser wenigstens teilweise umläuft und das Abgasrohr in seinem Umlaufbereich mindestens eine Absaugöffnung aufweist. Es genügt dann, wenn parallel außerhalb des ersten Längenbereiches des Zuführrohres ein einziges Abgasrohr geführt wird, dessen inneres Ende schlangenartig das Zuführrohr zum Beispiel in der Nähe des Überganges umschlingt, wobei radial nach außen eine mehr oder weniger symmetrisch zu dem Hohlkörper angeordnete Anzahl von Absaugöffnungen angeordnet ist. Diese Absaugöffnungen sind dann im Sinne des offenen, inneren Endes des Absaugrohres zu verstehen. Die Fläche der Absaugöffnung ist dann gleich der Summe der Flä chen der Absaugöffnungen.Another cheap embodiment is characterized in that the Exhaust pipe the supply pipe in its first length range with the smaller first diameters water circulates at least partially and the exhaust pipe in its circulation area at least one Has suction opening. It is sufficient if parallel outside the first length range of the feed pipe, a single exhaust pipe is guided, the inner end of which is serpentine For example, feed tube wraps around the transition, with one radially outward number of suction openings arranged more or less symmetrically to the hollow body is arranged. These suction openings are then in the sense of the open, inner end of the To understand suction pipe. The area of the suction opening is then equal to the sum of the areas the suction openings.

Man kann erfindungsgemäß das Abgasrohr auch flexibel ausgestalten, indem dieses nach Art eines Schlauches angeordnet und auch an dem ersten Längenbereich des Zuführrohres mit dem kleineren Durchmesser gehalten wird.According to the invention, the exhaust pipe can also be designed flexibly, in accordance with Art a hose arranged and also on the first length region of the feed pipe with the smaller diameter is kept.

Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den anliegenden Zeichnungen. Bei die sen zeigen:Further advantages, features and possible uses of the present invention result from the following description in conjunction with the accompanying drawings. At the show:

Fig. 1 perspektivisch eine erste Ausführungsform eines Zuführrohres mit vier nach unten vorn weggeführten Abführrohren, Fig. 1 shows in perspective a first embodiment of a feed tube with four forward and downward discharge pipes led away,

Fig. 2 eine Querschnittsansicht eines Zuführrohres für Prozeßgas mit vorn unten angesetz ten Abgasrohren, welche sich in einem Hohlkörper befinden, wobei die ganze Anord nung von einer Grundplatte gehaltert ist, . 2 is a cross-sectional view of a feed tube supported Fig for process gas with the lower front is translated th exhaust pipes, which are located in a hollow body, wherein the whole Anord voltage of a base plate,

Fig. 3 eine Querschnittsansicht durch Fig. 2 entsprechend der Schnittlinie III-III, Fig. 3 is a cross sectional view through Fig. 2 along the line III-III,

Fig. 4 eine ähnliche Ansicht wie Fig. 1, wobei jedoch eine andere Ausführungsform gezeigt ist, bei welcher die Abgasrohre sich bis zu dem hinteren oberen (inneren) Ende des Zuführrohres erstrecken, Fig. 4 is a view similar to Fig. 1, but another embodiment is shown, wherein the exhaust pipes extend to the rear upper (inner) end of the feed tube,

Fig. 5 eine Seitenansicht der Ausführungsform der Fig. 4, Fig. 5 is a side view of the embodiment of Fig. 4,

Fig. 6 eine Querschnittsansicht durch eine weitere andere Ausführungsform, bei welcher nur ein einziges Abgasrohr vorgesehen ist und Fig. 6 is a cross-sectional view through another other embodiment, in which only a single exhaust pipe is provided and

Fig. 7 eine weitere andere Ausführungsform in ähnlicher Darstellung wie die Fig. 1 und 4 (perspektivisch), wobei das Abgasrohr das Zuführrohr im Bereich des Überganges des Zuführrohres umläuft. Fig. 7 illustrates a further another embodiment in a similar view as Figs. 1 and 4 (a perspective view), wherein the exhaust pipe surrounds the feed pipe in the region of the transition of the feed tube.

In Fig. 2 ist ein flaschenähnlicher Hohlkörper 1 mit einem Boden 2, einem Halsbereich 3 und einem Verschlußbereich 4 mit Öffnung 5 gezeigt. Die innere Oberfläche 6 dieses Hohlkörpers 1 soll mittels Abscheiden eines Reaktionsproduktes beschichtet werden. Das Reaktionsprodukt entsteht durch die chemische Reaktion eines Gasgemisches, das ein Prozeßgas ist. Dieses Pro zeßgas wird durch ein Zuführrohr 7 in das Innere des Hohlkörpers 1 über die Gasaustrittslöcher 8, 8' zugeführt, wobei das Rest- bzw. Abgas über eine Abgasleitung 9 abgeführt wird. Um das Prozeßgas in den Hohlkörper 1 einbringen zu können, ist an einer Grundplatte 10 (Fig. 2) eine mit einer Durchführung 11 versehene Ringaufnahme 12 befestigt. In dieser Ringaufnahme 12 befindet sich ein gestuft ausgebildeter Fuß 13, der ebenfalls an der Grundplatte befestigt ist. Über einen Stützflansch 14 haltert der Fuß 13 das allgemein mit 7 bezeichnete Zuführrohr. Auch in den anderen Zeichnungen ist dieses Zuführrohr allgemein mit 7 bezeichnet und läßt sich be sonders gut anhand Fig. 1 beschreiben. Bis auf die Gasaustrittslöcher 8, 8' ist das Zuführrohr 7 ein etwa zylindrisches Hohlrohr mit einem ersten Längenbereich 15 mit der Länge l und einem zweiten Längenbereich 16 mit der Länge L, wobei der zweiten Längenbereich 16 länger ist als der erste Längenbereich 15. Zwischen diesen beiden Bereichen befindet sich ein stufenförmiger Übergang 17, welcher durch einen ähnlichen Stützflansch 17' die Verbindung zwischen den zwei Längenbereichen 15 und 16 des Zuführrohres 7 schafft wie der vordere untere Stützflansch 14 vom Fuß zu dem ersten Längenbereich 15 des Zuführrohres 7. Der erste Längenbereich 15 hat einen kleineren Durchmesser d (Fig. 5 und 7) als der zweite Längenbereich 16 mit dem Durchmesser D. d ist kleiner als D. Das Zuführrohr 7 ist an seinem inneren, hinteren bzw. in den Zeichnungen oben dargestellten Ende durch eine Kappe 18 geschlossen, die in der schrägen Fläche mit nur vier Gasaustrittsöffnungen 8 versehen ist.In FIG. 2, a bottle-like hollow body 1 with a bottom 2, a neck portion 3 and a sealing portion 4 with an opening 5 is shown. The inner surface 6 of this hollow body 1 is to be coated by depositing a reaction product. The reaction product is created by the chemical reaction of a gas mixture that is a process gas. This process gas is fed through a feed pipe 7 into the interior of the hollow body 1 via the gas outlet holes 8 , 8 ', the residual or exhaust gas being discharged via an exhaust pipe 9 . In order to be able to introduce the process gas into the hollow body 1 , a ring receptacle 12 provided with a passage 11 is fastened to a base plate 10 ( FIG. 2). In this ring receptacle 12 is a stepped foot 13 , which is also attached to the base plate. The foot 13 holds the feed tube, generally designated 7, via a support flange 14 . In the other drawings, this feed tube is generally designated 7 and can be described particularly well with reference to FIG. 1. Except for the gas outlet holes 8 , 8 ′, the feed tube 7 is an approximately cylindrical hollow tube with a first length range 15 with the length l and a second length range 16 with the length L, the second length range 16 being longer than the first length range 15 . Between these two areas there is a step-shaped transition 17 which, by means of a similar support flange 17 ′, creates the connection between the two length areas 15 and 16 of the feed pipe 7 as the front lower support flange 14 from the foot to the first length area 15 of the feed pipe 7 . The first length region 15 has a smaller diameter d ( FIGS. 5 and 7) than the second length region 16 with the diameter D. d is smaller than D. The feed pipe 7 is through at its inner, rear end or shown in the drawings above closed a cap 18 which is provided in the inclined surface with only four gas outlet openings 8 .

Mit der außerhalb des Hohlkörpers 1 und unterhalb der Ringaufnahme 12 angeordneten Abgas leitung 9 sind bei den Ausführungsformen nach den Fig. 1-5 vier Abgasrohre 19 verbun den. Jedes Abgasrohr 19 hat ein offenes, inneres Ende 20. Die vier Abgasrohre 19 verlaufen im wesentlichen über den gesamten ersten Längenbereich 15 des Zuführrohres 7 parallel zu diesem außerhalb und eng an diesem anliegend. Dadurch ist es möglich, das Zuführrohr zusam men mit den vier Abgasrohren 19 durch den Verschlußbereich 4 mit der Öffnung 5 des Hohlkör pers 1 in dessen Inneres zu schieben, wenngleich im Betrieb die Relativbewegung umgekehrt verläuft. Der Hohlkörper 1 wird nämlich mit seinem Verschlußbereich 4 vorn bzw. unten über das Zuführrohr 7 gestülpt und in eine Ausnehmung 11 der Ringaufnahme 12 gesteckt und dort ge haltert. Damit ist dann die in Fig. 2 gezeigte Betriebsposition erreicht. Prozeßgas kann gemäß Pfeil 21 von vorn unten in das Zuführrohr 7 eingeführt, durch dessen Gasaustrittsöffnungen 8 und 8' herausgepumpt und in das Innere des Hohlkörpers 1 gedrückt werden, aus welchem Ab gase nach der chemischen Reaktion in das offene innere Ende 20 der Abgasrohre 19 eintreten und gemäß den Pfeilen 22 und 23 nach außen abgesaugt werden.With the exhaust pipe 9 arranged outside the hollow body 1 and below the ring receptacle 12 , four exhaust pipes 19 are connected in the embodiments according to FIGS . 1-5. Each exhaust pipe 19 has an open, inner end 20 . The four exhaust pipes 19 run essentially over the entire first length region 15 of the supply pipe 7, parallel to it outside and closely adjacent to it. This makes it possible to push the feed pipe together with the four exhaust pipes 19 through the closure region 4 with the opening 5 of the hollow body 1 into its interior, although in operation the relative movement is reversed. The hollow body 1 is namely with its closure region 4 front or bottom over the feed tube 7 and inserted into a recess 11 of the ring receptacle 12 and held there ge. The operating position shown in FIG. 2 is then reached. Process gas can be inserted according to arrow 21 from below into the feed pipe 7 , pumped out through the gas outlet openings 8 and 8 'and pressed into the interior of the hollow body 1 , from which gases after the chemical reaction enter the open inner end 20 of the exhaust pipes 19 and suctioned out according to arrows 22 and 23 .

Man erkennt aus Fig. 2, daß das offene innere Ende 20 jedes der vier Abgasrohre 19 außer halb des Verschlußbereiches 4 zu liegen kommt, nämlich in Fig. 2 auf einer weiter oben liegen den Höhe der Längserstreckung des Hohlkörpers 1. Diese Höhe befindet sich in der Nähe des Überganges 17 zwischen dem ersten Längenbereich 15 des Zuführrohres 7 und dessen zweitem Längenbereich 16. Dieser Bereich zwischen dem Verschlußbereich 4 des Hohlkörpers 1 und seinem hinteren, dickeren Hauptteil ist der Hals 3. Bei der Ausführungsform der Fig. 2 liegt das offene, innere Ende 20 der Abgasrohre 19 auf einer Höhe etwas unterhalb der Schnittlinie III-III.It can be seen from FIG. 2 that the open inner end 20 of each of the four exhaust pipes 19 comes to lie outside the closure region 4 , namely in FIG. 2 at a higher level the length of the hollow body 1 . This height is in the vicinity of the transition 17 between the first length region 15 of the feed pipe 7 and its second length region 16 . This area between the closure area 4 of the hollow body 1 and its rear, thicker main part is the neck 3 . In the embodiment of FIG. 2, the open, inner end 20 of the exhaust pipes 19 is at a height slightly below the section line III-III.

Betrachtet man dazu Fig. 3, dann erkennt man, daß der Querschnitt Q₁ des Hohlkörpers 1 gleich ist der Fläche innerhalb des Kreises 1, abzüglich der fünf inneren Kreisflächen. Dieser Querschnitt Q₁ ist im Bereich des Halses 3 größer als der Querschnitt Q₂ des Verschlußberei ches 4, der in Fig. 3 nicht erkennbar ist.Looking at Fig. 3, it can be seen that the cross section Q _{1 of} the hollow body 1 is equal to the area within the circle 1 , minus the five inner circular surfaces. This cross section Q ₁ is larger in the region of the neck 3 than the cross section Q _{2 of} the closure area 4 , which cannot be seen in FIG. 3.

Bei der anderen Ausführungsform der Fig. 4-6 kommt das innere Ende 20 des Abgasroh res 19 am inneren Ende (im Bereich der das Zuführrohr 7 verschließenden Kappe 18) des Zu führrohres 7 zu liegen. Dennoch kann man auch hier zwischen den Ausführungsformen nach den Fig. 4 und 5 einerseits und der nach Fig. 6 andererseits unterscheiden.In the other embodiment of FIGS. 4-6, the inner end 20 of the exhaust pipe 19 comes to rest at the inner end (in the region of the cap 18 closing the feed pipe 7 ) of the guide pipe 7 . Nevertheless, one can also differentiate here between the embodiments according to FIGS. 4 and 5 on the one hand and that according to FIG. 6 on the other hand.

In den Fig. 4 und 5 ist gezeigt, wie wiederum symmetrisch um das Zuführrohr 7 vier Abgas rohre 19 so angeordnet sind, daß sie dicht außerhalb des Zuführrohres parallel zu diesem ver laufen. Sie folgen nach Verlassen des ersten Längenbereiches 15 außen unten dem Übergang 17, um dann außen längs des zweiten Längenbereiches 16 mit dem größeren Durchmesser D entlang zu laufen.In Figs. 4 and 5 is shown, as is in turn arranged symmetrically around the feed pipe 7, four exhaust pipes 19 so that they run closely outside of the feed tube parallel to ver. After leaving the first length region 15, they follow the transition 17 on the outside at the outside, and then run along the outside along the second length region 16 with the larger diameter D.

Bei der Ausführungsform der Fig. 6 hingegen gibt es nur ein Abgasrohr 19. Es verläuft von vorn unten ähnlich wie bei den anderen Ausführungsformen bis zu dem Übergang 17. Dort ist das Abgasrohr 19 durch das Zuführrohr 7 in seinem zweiten Längenbereich 16 so hindurchgeführt, daß das Abgasrohr 19 in den zweiten Längenbereich 16 des Zuführrohres 7 mit dem größeren Durchmesser D mittig und parallel zu diesem verläuft, bis das Abgasrohr 19 oben durch die Kappe 18 hindurchtritt, so daß das innere Ende 20 des Abgasrohres wieder mit dem Innenraum des Hohlkörpers 1 in Verbindung kommen kann.In the embodiment of FIG. 6, however, there is only one exhaust pipe 19 . It runs from the front bottom similar to the other embodiments up to the transition 17 . There, the exhaust pipe 19 is passed through the supply pipe 7 in its second length region 16 in such a way that the exhaust pipe 19 runs in the second length region 16 of the supply pipe 7 with the larger diameter D centrally and parallel to it until the exhaust pipe 19 passes through the cap 18 at the top passes through, so that the inner end 20 of the exhaust pipe can come into connection with the interior of the hollow body 1 again.

Bei der letzten hier gezeigten Ausführungsform gemäß Fig. 7 gibt es zwar auch nur ein einzi ges Abgasrohr 19. Dieses läuft aber im Bereich des Überganges 17 um das Zuführrohr 7 kreis förmig um und endet dort. Als inneres, offenes Ende weist es am Umfang außen gleichmäßig verteilt angeordnete Absaugöffnungen 24 auf. In the last embodiment shown here in FIG. 7, there is even only one exhaust pipe 19 only peo ges. But this runs in the area of the transition 17 around the feed pipe 7 in a circle and ends there. As the inner, open end, it has suction openings 24 arranged uniformly distributed on the outside on the circumference.

Reference list

11

Hohlkörper
Hollow body

22

Boden des Hohlkörpers
Bottom of the hollow body

33rd

Halsbereich des Hohlkörpers
Neck area of the hollow body

44

Verschlußbereich
Locking area

55

Öffnung
opening

66

innere Oberfläche des Hohllkörpers
inner surface of the hollow body

77

Zuführrohr
Feed pipe

88th

, ,

88th

' Gasaustrittslöcher
'' Gas outlet holes

99

Abgasleitung
Exhaust pipe

1010th

Grundplatte
Base plate

1111

Durchführung
execution

1212th

Ringaufnahme
Ring intake

1313

gestufter Fuß
stepped foot

1414

Stützflansch
Support flange

1515

erster Längenbereich
first length range

1616

zweiter Längenbereich
second length range

1717th

stufenförmiger Übergang
step transition

1717th

' Stützflansch
'' Support flange

1818th

Kappe
cap

1919th

Abgasrohr
Exhaust pipe

2020th

inneres offenes Ende des Abgasrohres
inner open end of the exhaust pipe

2121

Pfeil (Einführrichtung des Prozeßgases)
Arrow (direction of introduction of the process gas)

2222

Pfeil (Absaugrichtung der Abgase)
Arrow (exhaust gas exhaust direction)

2323

Pfeil (Absaugrichtung der Abgase)
Arrow (exhaust gas exhaust direction)

2424th

Absaugöffnungen
l Länge des ersten Längenbereiches Suction openings
l Length of the first length range

1515

L Länge des zweiten Längenbereiches L length of the second length range

1616

d Durchmesser des ersten Längenbereiches
D Durchmesser des zweiten Längenbereiches
Q₁ d diameter of the first length range
D diameter of the second length range
Q ₁

Querschnitt des Hohlkörpers Cross section of the hollow body

11

Q₂ Q ₂

Querschnitt des Verschlußbereiches Cross section of the locking area

44

Claims

1. Device for coating the inner surface ( 6 ) of a hollow body ( 1 ) with an opening on an elongated neck ( 3 ) by depositing at least one reaction product on this surface ( 6 ), the reaction product being formed by the reaction of a gas mixture, with at least one centrally attachable to the neck (3) and the opening (5) supply pipe (7) conduit for the process gas and having at least one exhaust (9), characterized in that the attached outside the hollow body (1) brought exhaust gas line (9) is connected to at least one exhaust pipe ( 19 ) which in the operating position of the hollow body (1, Fig. 2) projects through its opening ( 5 ) through its closure region ( 4 ) into its neck ( 3 ), and that the open, inner end ( 20 ) of the at least one exhaust pipe ( 19 ) outside the closure region ( 4 ) at which the longitudinal extent of the hollow body ( 1 ) lies, in which the cross section (Q 1) of the hollow body ( 1 ) is larger than the cross section (Q2) of the closure area ( 4 ).

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the feed pipe ( 7 ) for Pro zeßgas approximately in the region of the neck ( 3 ) of the hollow body ( 1 ) has a smaller first diameter (d) than further inside the hollow body ( 1 ) and that the exhaust pipe ( 19 ) in the region of the smaller first diameter (d) is guided parallel to the supply pipe ( 7 ) and outside the same, close to it.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the feed pipe ( 7 ) is a hollow pipe except for gas outlet holes ( 8 , 8 '), the first length region ( 15 ) with the smaller first diameter (d) at least one, preferably has four to ten and particularly preferably two gas outlet holes ( 8 ').

4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that in the first length region ( 15 ) of the feed pipe ( 7 ) two or more, approximately evenly distributed over the circumference of the feed pipe ( 7 ) exhaust pipes ( 19 ) are provided.

5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the inner end ( 20 ) of the exhaust pipe ( 19 ) at the inner end (cap 18 ) of the feed pipe ( 7 ) comes to rest.

6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the gas pipe ( 19 ) at the level of the further inside in the hollow body ( 1 ) lying thicker area ( 16 ) of the feed pipe ( 7 ) inside the feed pipe ( 7 ) is attached and the open, inner end ( 20 ) of the exhaust pipe ( 19 ) is attached outside the feed pipe ( 7 ).

7. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the gas pipe ( 19 ) from the feed pipe ( 7 ) in its first length region ( 15 ) with the smaller first diameter (d) at least partially rotates and that the exhaust pipe ( 19 ) has at least one suction opening ( 24 ) in its circulation area.

8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the gas pipe ( 19 ) is flexible.