DE07842153T1 - Verfahren und vorrichtung zur umschaltung zwischen passenden impedanzen - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur umschaltung zwischen passenden impedanzen Download PDFInfo
- Publication number
- DE07842153T1 DE07842153T1 DE07842153T DE07842153T DE07842153T1 DE 07842153 T1 DE07842153 T1 DE 07842153T1 DE 07842153 T DE07842153 T DE 07842153T DE 07842153 T DE07842153 T DE 07842153T DE 07842153 T1 DE07842153 T1 DE 07842153T1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- impedance
- load
- electrical device
- predetermined value
- switched
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract 7
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims 2
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 claims 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H11/00—Networks using active elements
- H03H11/02—Multiple-port networks
- H03H11/28—Impedance matching networks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H7/00—Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
- H03H7/38—Impedance-matching networks
- H03H7/40—Automatic matching of load impedance to source impedance
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H7/00—Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
- H03H7/38—Impedance-matching networks
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Amplifiers (AREA)
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
- Networks Using Active Elements (AREA)
Abstract
Elektrische Vorrichtung zum Umschalten zwischen angepassten Impedanzen, die Folgendes umfasst:
ein geschaltetes Element, das für eine selektive Kopplung mit der elektrischen Vorrichtung konfiguriert ist;
ein Anpassungsnetz, das so konfiguriert ist, dass es bewirkt, dass eine Eingangsimpedanz der elektrischen Vorrichtung mit einer vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn eine Impedanz einer an einem Ausgang der elektrischen Vorrichtung angeschlossenen Last auf einem ersten vorbestimmten Wert ist und das geschaltete Element von der elektrischen Vorrichtung abgekoppelt ist;
ein Phasenschiebernetz, das so konfiguriert ist, dass es bewirkt, dass die Eingangsimpedanz der elektrischen Vorrichtung mit der vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn die Impedanz der am Ausgang der elektrischen Vorrichtung angeschlossenen Last auf einem zweiten vorbestimmten Wert ist und das geschaltete Element mit der elektrischen Vorrichtung gekoppelt ist;
einen Sensor, der so konfiguriert ist, dass er zwischen der Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert und der Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten...
ein geschaltetes Element, das für eine selektive Kopplung mit der elektrischen Vorrichtung konfiguriert ist;
ein Anpassungsnetz, das so konfiguriert ist, dass es bewirkt, dass eine Eingangsimpedanz der elektrischen Vorrichtung mit einer vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn eine Impedanz einer an einem Ausgang der elektrischen Vorrichtung angeschlossenen Last auf einem ersten vorbestimmten Wert ist und das geschaltete Element von der elektrischen Vorrichtung abgekoppelt ist;
ein Phasenschiebernetz, das so konfiguriert ist, dass es bewirkt, dass die Eingangsimpedanz der elektrischen Vorrichtung mit der vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn die Impedanz der am Ausgang der elektrischen Vorrichtung angeschlossenen Last auf einem zweiten vorbestimmten Wert ist und das geschaltete Element mit der elektrischen Vorrichtung gekoppelt ist;
einen Sensor, der so konfiguriert ist, dass er zwischen der Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert und der Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten...
Claims (18)
- Elektrische Vorrichtung zum Umschalten zwischen angepassten Impedanzen, die Folgendes umfasst: ein geschaltetes Element, das für eine selektive Kopplung mit der elektrischen Vorrichtung konfiguriert ist; ein Anpassungsnetz, das so konfiguriert ist, dass es bewirkt, dass eine Eingangsimpedanz der elektrischen Vorrichtung mit einer vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn eine Impedanz einer an einem Ausgang der elektrischen Vorrichtung angeschlossenen Last auf einem ersten vorbestimmten Wert ist und das geschaltete Element von der elektrischen Vorrichtung abgekoppelt ist; ein Phasenschiebernetz, das so konfiguriert ist, dass es bewirkt, dass die Eingangsimpedanz der elektrischen Vorrichtung mit der vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn die Impedanz der am Ausgang der elektrischen Vorrichtung angeschlossenen Last auf einem zweiten vorbestimmten Wert ist und das geschaltete Element mit der elektrischen Vorrichtung gekoppelt ist; einen Sensor, der so konfiguriert ist, dass er zwischen der Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert und der Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert unterscheidet; und ein Steuerelement, das konfiguriert ist zum: Abkoppeln des geschalteten Elementes von der elektrischen Vorrichtung, wenn der Sensor ermittelt, dass die Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert ist; und Koppeln des geschalteten Elementes mit der elektrischen Vorrichtung, wenn der Sensor ermittelt, dass die Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert ist.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei sich das Phasenschiebernetz zwischen dem geschalteten Element und dem Anpassungsnetz befindet.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei sich das Phasenschiebernetz zwischen dem Anpassungsnetz und der Last befindet.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Phasenschiebernetz mit dem Anpassungsnetz integriert ist.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Anpassungsnetz ein variables Anpassungsnetz ist, wobei die elektrische Vorrichtung ferner Folgendes umfasst: einen Eingangssensor an einem Eingang der elektrischen Vorrichtung, wobei der Eingangssensor so konfiguriert ist, dass er das variable Anpassungsnetz steuert.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das geschaltete Element in einer Parallelschaltkonfiguration ist.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das geschaltete Element in einer Serienschaltkonfiguration ist.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das geschaltete Element ein Kondensator oder ein Induktor ist.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Phasenschiebernetz eine T- oder eine Pi-Topologie hat und das Phasenschiebernetz einen Hochpassfrequenzgang oder einen Tiefpassfrequenzgang hat.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Anpassungsnetz eine Hochpass-T-, Tiefpass-T-, L-Anpassungs- oder Gamma-Anpassungstopologie hat.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die vorbestimmte Quellenimpedanz ein Widerstand von 50 Ohm ist.
- Elektrische Vorrichtung zum Umschalten zwischen übereinstimmenden Impedanzen, die Folgendes umfasst: Mittel zum Anpassen einer Eingangsimpedanz der elektrischen Vorrichtung an eine vorbestimmte Quellenimpedanz, wenn eine Impedanz einer an einem Ausgang der elektrischen Vorrichtung angeschlossenen Last auf einem ersten vorbestimmten Wert ist und ein reaktives Element von der elektrischen Vorrichtung abgekoppelt ist; Mittel zum Bewirken, dass die Eingangsimpedanz der elektrischen Vorrichtung mit der vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn die Impedanz der am Ausgang der elektrischen Vorrichtung angeschlossenen Last auf einem zweiten vorbestimmten Wert ist und das reaktive Element mit der elektrischen Vorrichtung gekoppelt ist; Mittel zum Unterscheiden zwischen der Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert und der Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert; und Mittel zum selektiven Koppeln des reaktiven Elementes mit der elektrischen Vorrichtung, wobei das Mittel zum selektiven Koppeln konfiguriert ist zum: Abkoppeln des reaktiven Elementes von der elektrischen Vorrichtung, wenn das Mittel zum Unterscheiden zwischen der Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert und der Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert ermittelt, dass die Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert ist; und Koppeln des reaktiven Elementes mit der elektrischen Vorrichtung, wenn das Mittel zum Unterscheiden zwischen der Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert und der Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert ermittelt, dass die Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert ist.
- Elektrische Vorrichtung, die Folgendes umfasst: eine RF-(Radiofrequenz)-Stromversorgung mit einer vorbestimmten Quellenimpedanz; eine Last mit einer dynamisch variierenden Impedanz; und eine Impedanzanpassungsschaltung, die die RF-Stromversorgung elektrisch mit der Last koppelt, wobei die Impedanzanpassungsschaltung Folgendes beinhaltet: ein geschaltetes Element, das zum selektiven Koppeln mit der Impedanzanpassungsschaltung konfiguriert ist; ein Anpassungsnetz, das so konfiguriert ist, dass es bewirkt, dass eine Eingangsimpedanz der Impedanzanpassungsschaltung mit der vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn die dynamisch variierende Impedanz der Last auf einem ersten vorbestimmten Wert ist und das geschaltete Element von der Impedanzanpassungsschaltung abgekoppelt ist; ein Phasenschiebernetz, das so konfiguriert ist, dass es bewirkt, dass die Eingangsimpedanz der Impedanzanpassungsschaltung mit der vorbestimmten Quellenimpedanz übereinstimmt, wenn die dynamisch variierende Impedanz der Last auf einem zweiten vorbestimmten Wert ist und das geschaltete Element mit der Impedanzanpassungsschaltung gekoppelt ist; einen Sensor, der zum Unterscheiden zwischen der dynamisch variierenden Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert und der dynamisch variierenden Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert konfiguriert ist; und ein Steuerelement, das konfiguriert ist zum: Abkoppeln des geschalteten Elementes von der Impedanzanpassungsschaltung, wenn der Sensor ermittelt, dass die Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert ist; und Koppeln des geschalteten Elementes mit der Impedanzanpassungsschaltung, wenn der Sensor ermittelt, dass die Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert ist.
- Elektrische Vorrichtung nach Anspruch 13, wobei die elektrische Vorrichtung ein Sputtermagnetron und die Last ein Plasma ist.
- Verfahren zum Anpassen einer dynamisch variierenden Impedanz einer Last an eine vorbestimmte Quellenimpedanz einer Quelle, wobei das Verfahren die folgenden Schritte beinhaltet: Anpassen eines ersten vorbestimmten Wertes der dynamisch variierenden Lastimpedanz an die vorbestimmte Quellenimpedanz; und Bewirken einer Phasenverschiebung zwischen der Quelle und der Last, die es zulässt, dass ein zweiter vorbestimmter Wert der dynamisch variierenden Lastimpedanz durch Zuschalten eines einzelnen reaktiven Elementes zwischen der Quelle und der Last an die vorbestimmte Quellenimpedanz angepasst wird.
- Verfahren nach Anspruch 15, das ferner Folgendes umfasst: Unterscheiden zwischen der dynamisch variierenden Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert und der dynamisch variierenden Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert; Weglassen des einzelnen reaktiven Elementes zwischen der Quelle und der Last aus einer Impedanzanpassungsschaltung, wenn die dynamisch variierende Impedanz der Last auf dem ersten vorbestimmten Wert ist; und Einbeziehen des einzelnen reaktiven Elementes zwischen der Quelle und der Last in eine Impedanzanpassungsschaltung, wenn die dynamisch variierende Impedanz der Last auf dem zweiten vorbestimmten Wert ist.
- Verfahren nach Anspruch 15, wobei das einzelne reaktive Element in einer Parallelschaltkonfiguration zugeschaltet wird.
- Verfahren nach Anspruch 15, wobei das einzelne reaktive Element in einer Serienschaltkonfiguration zugeschaltet wird.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US531665 | 2006-09-13 | ||
| US11/531,665 US20080061901A1 (en) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | Apparatus and Method for Switching Between Matching Impedances |
| PCT/US2007/078018 WO2008033762A2 (en) | 2006-09-13 | 2007-09-10 | Apparatus and method for switching between matching impedances |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE07842153T1 true DE07842153T1 (de) | 2009-12-03 |
Family
ID=39168971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE07842153T Pending DE07842153T1 (de) | 2006-09-13 | 2007-09-10 | Verfahren und vorrichtung zur umschaltung zwischen passenden impedanzen |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20080061901A1 (de) |
| EP (1) | EP2062354A4 (de) |
| JP (1) | JP2010504042A (de) |
| KR (1) | KR20090064390A (de) |
| CN (1) | CN101523984A (de) |
| DE (1) | DE07842153T1 (de) |
| TW (1) | TW200832903A (de) |
| WO (1) | WO2008033762A2 (de) |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009047247A1 (de) * | 2009-11-27 | 2011-09-08 | Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. | Belastungszustandsbestimmer, Lastanordnung, Leistungsversorgungsschaltung und Verfahren zum Bestimmen eines Belastungszustandes einer elektrischen Leistungsquelle |
| US8552814B2 (en) * | 2010-07-01 | 2013-10-08 | W. John Bau | Output impedance compensation for voltage regulators |
| KR101663010B1 (ko) | 2010-11-09 | 2016-10-06 | 삼성전자주식회사 | Ｒｆ용 매칭 세그먼트 회로 및 이를 이용한 ｒｆ통합 소자 |
| WO2013005080A1 (en) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | Nokia Corporation | Apparatus with antenna and method for wireless communication |
| US9171700B2 (en) * | 2012-06-15 | 2015-10-27 | COMET Technologies USA, Inc. | Plasma pulse tracking system and method |
| US8781415B1 (en) | 2013-02-07 | 2014-07-15 | Mks Instruments, Inc. | Distortion correction based feedforward control systems and methods for radio frequency power sources |
| US10580623B2 (en) * | 2013-11-19 | 2020-03-03 | Applied Materials, Inc. | Plasma processing using multiple radio frequency power feeds for improved uniformity |
| CN104617893B (zh) * | 2014-12-31 | 2017-10-24 | 深圳市华信天线技术有限公司 | 多频带射频功率放大器 |
| US9721758B2 (en) | 2015-07-13 | 2017-08-01 | Mks Instruments, Inc. | Unified RF power delivery single input, multiple output control for continuous and pulse mode operation |
| US9876476B2 (en) | 2015-08-18 | 2018-01-23 | Mks Instruments, Inc. | Supervisory control of radio frequency (RF) impedance tuning operation |
| CN106560977B (zh) * | 2015-11-27 | 2019-01-22 | 天地融科技股份有限公司 | 一种通断装置及电子设备 |
| US10229816B2 (en) | 2016-05-24 | 2019-03-12 | Mks Instruments, Inc. | Solid-state impedance matching systems including a hybrid tuning network with a switchable coarse tuning network and a varactor fine tuning network |
| CN107947805B (zh) * | 2016-10-12 | 2020-11-10 | 株式会社村田制作所 | 匹配电路 |
| US12288673B2 (en) | 2017-11-29 | 2025-04-29 | COMET Technologies USA, Inc. | Retuning for impedance matching network control |
| EP3718129B8 (de) | 2017-11-29 | 2023-07-19 | Comet Technologies USA, Inc | Neuabstimmung für die steuerung des impedanzanpassungsnetzwerks |
| US11527385B2 (en) | 2021-04-29 | 2022-12-13 | COMET Technologies USA, Inc. | Systems and methods for calibrating capacitors of matching networks |
| US11114279B2 (en) | 2019-06-28 | 2021-09-07 | COMET Technologies USA, Inc. | Arc suppression device for plasma processing equipment |
| US11596309B2 (en) | 2019-07-09 | 2023-03-07 | COMET Technologies USA, Inc. | Hybrid matching network topology |
| US11107661B2 (en) | 2019-07-09 | 2021-08-31 | COMET Technologies USA, Inc. | Hybrid matching network topology |
| CN114144853B (zh) | 2019-08-28 | 2024-12-27 | 科米特技术美国股份有限公司 | 高功率低频线圈 |
| CN110536534B (zh) * | 2019-09-06 | 2024-03-26 | 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 | 一种匹配箱的阻抗调节方法、装置及射频电源系统 |
| US11670488B2 (en) | 2020-01-10 | 2023-06-06 | COMET Technologies USA, Inc. | Fast arc detecting match network |
| US11887820B2 (en) | 2020-01-10 | 2024-01-30 | COMET Technologies USA, Inc. | Sector shunts for plasma-based wafer processing systems |
| US12027351B2 (en) | 2020-01-10 | 2024-07-02 | COMET Technologies USA, Inc. | Plasma non-uniformity detection |
| US11830708B2 (en) | 2020-01-10 | 2023-11-28 | COMET Technologies USA, Inc. | Inductive broad-band sensors for electromagnetic waves |
| US11521832B2 (en) | 2020-01-10 | 2022-12-06 | COMET Technologies USA, Inc. | Uniformity control for radio frequency plasma processing systems |
| US11605527B2 (en) | 2020-01-20 | 2023-03-14 | COMET Technologies USA, Inc. | Pulsing control match network |
| US11961711B2 (en) | 2020-01-20 | 2024-04-16 | COMET Technologies USA, Inc. | Radio frequency match network and generator |
| DE202020102084U1 (de) | 2020-04-15 | 2020-05-13 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Impedanzanpassungsschaltung und Plasmaversorgungssystem |
| US11373844B2 (en) | 2020-09-28 | 2022-06-28 | COMET Technologies USA, Inc. | Systems and methods for repetitive tuning of matching networks |
| US12057296B2 (en) | 2021-02-22 | 2024-08-06 | COMET Technologies USA, Inc. | Electromagnetic field sensing device |
| US11923175B2 (en) | 2021-07-28 | 2024-03-05 | COMET Technologies USA, Inc. | Systems and methods for variable gain tuning of matching networks |
| US12243717B2 (en) | 2022-04-04 | 2025-03-04 | COMET Technologies USA, Inc. | Variable reactance device having isolated gate drive power supplies |
| US11657980B1 (en) | 2022-05-09 | 2023-05-23 | COMET Technologies USA, Inc. | Dielectric fluid variable capacitor |
| US12040139B2 (en) | 2022-05-09 | 2024-07-16 | COMET Technologies USA, Inc. | Variable capacitor with linear impedance and high voltage breakdown |
| US12051549B2 (en) | 2022-08-02 | 2024-07-30 | COMET Technologies USA, Inc. | Coaxial variable capacitor |
| US12132435B2 (en) | 2022-10-27 | 2024-10-29 | COMET Technologies USA, Inc. | Method for repeatable stepper motor homing |
| CN116190190B (zh) * | 2023-04-25 | 2023-07-25 | 季华实验室 | 自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3923661A1 (de) * | 1989-07-18 | 1991-01-24 | Leybold Ag | Schaltungsanordnung fuer die anpassung der impedanz einer plasmastrecke an einen hochfrequenzgenerator |
| US5195045A (en) * | 1991-02-27 | 1993-03-16 | Astec America, Inc. | Automatic impedance matching apparatus and method |
| US5815047A (en) * | 1993-10-29 | 1998-09-29 | Applied Materials, Inc. | Fast transition RF impedance matching network for plasma reactor ignition |
| US5689215A (en) * | 1996-05-23 | 1997-11-18 | Lam Research Corporation | Method of and apparatus for controlling reactive impedances of a matching network connected between an RF source and an RF plasma processor |
| US5654679A (en) * | 1996-06-13 | 1997-08-05 | Rf Power Products, Inc. | Apparatus for matching a variable load impedance with an RF power generator impedance |
| JP2929284B2 (ja) * | 1997-09-10 | 1999-08-03 | 株式会社アドテック | 高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム |
| US6313587B1 (en) * | 1998-01-13 | 2001-11-06 | Fusion Lighting, Inc. | High frequency inductive lamp and power oscillator |
| US6424232B1 (en) * | 1999-11-30 | 2002-07-23 | Advanced Energy's Voorhees Operations | Method and apparatus for matching a variable load impedance with an RF power generator impedance |
| US6677828B1 (en) * | 2000-08-17 | 2004-01-13 | Eni Technology, Inc. | Method of hot switching a plasma tuner |
-
2006
- 2006-09-13 US US11/531,665 patent/US20080061901A1/en not_active Abandoned
-
2007
- 2007-09-10 KR KR1020097005448A patent/KR20090064390A/ko not_active Ceased
- 2007-09-10 CN CNA2007800340707A patent/CN101523984A/zh active Pending
- 2007-09-10 JP JP2009528413A patent/JP2010504042A/ja not_active Withdrawn
- 2007-09-10 DE DE07842153T patent/DE07842153T1/de active Pending
- 2007-09-10 WO PCT/US2007/078018 patent/WO2008033762A2/en not_active Ceased
- 2007-09-10 EP EP07842153A patent/EP2062354A4/de not_active Withdrawn
- 2007-09-11 TW TW096133829A patent/TW200832903A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW200832903A (en) | 2008-08-01 |
| CN101523984A (zh) | 2009-09-02 |
| JP2010504042A (ja) | 2010-02-04 |
| KR20090064390A (ko) | 2009-06-18 |
| EP2062354A4 (de) | 2009-11-04 |
| WO2008033762A3 (en) | 2008-11-13 |
| EP2062354A2 (de) | 2009-05-27 |
| US20080061901A1 (en) | 2008-03-13 |
| WO2008033762A2 (en) | 2008-03-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE07842153T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur umschaltung zwischen passenden impedanzen | |
| KR102354140B1 (ko) | 광대역 전력 결합 장치 | |
| JP2016513448A5 (de) | ||
| EP1087640A2 (de) | Anwesenheit- und/oder Grössetopferkennung | |
| EP4136812A1 (de) | Eingangsimpedanznetzwerke mit leistungswiederherstellung | |
| CN105406161B (zh) | 一种耦合度可调节且具有可重构响应的横跨定向耦合器 | |
| CN103905089A (zh) | 电力线载波信号可调衰减器的电路 | |
| CN201234137Y (zh) | 可变换参数的高通滤波器 | |
| WO2015068077A1 (de) | Induktionskochfeldvorrichtung | |
| CN102479657A (zh) | 一种多段式匹配器 | |
| CN105227154B (zh) | 一种阻抗匹配装置 | |
| EP0177726B1 (de) | Vorrichtung zum Aufheizen einer Schicht aus dielektrischem Material mittels Hochfrequenz | |
| CN103856271A (zh) | 可调式谐波滤除装置 | |
| DE102023003315A1 (de) | Impedanzanpassung für kabellose Leistungsübertragung | |
| CN205647451U (zh) | 基于滤波器匹配式的功率放大电路 | |
| CN203069797U (zh) | 电法信号发送机输出矩形波边沿调节电路 | |
| CN108667435A (zh) | 一种恒流功率放大电路及设计方法 | |
| DE102009061064B4 (de) | Detektionseinrichtung für ein elektrisches Handgerät sowie Handgerät mit einer Detektionseinrichtung | |
| RU2746303C1 (ru) | Автоматический каскадируемый коммутатор антенн и способ автоматической коммутации антенн | |
| CN207283507U (zh) | 一种具有增益调节功能的射频功率放大器输出电路 | |
| WO2008128508A1 (de) | Schaltbarer hf-leistungsteiler | |
| Makarov et al. | High-frequency Class-E power amplifier with shunt filter | |
| CN107070189A (zh) | 一种射频电源检波电路中的滤波电路 | |
| Alexandru et al. | Comparisons of MOSFET and Relay Switches in Impedance Matching Networks for Wireless Power Transfer | |
| DE102023111487A1 (de) | Steuerungsvorrichtung zur Ansteuerung eines Plasmaprozessversorgungssystems, ein Plasmaprozessversorgungssystem mit einer solchen Steuerungsvorrichtung und ein Verfahren zum Betrieb einer Steuerungsvorrichtung |