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DD211171A1 - CIRCUIT ARRANGEMENT FOR DIGITAL MEASUREMENT IMPLEMENTATION IN INCREMENTAL MEASUREMENT SYSTEMS - Google Patents

CIRCUIT ARRANGEMENT FOR DIGITAL MEASUREMENT IMPLEMENTATION IN INCREMENTAL MEASUREMENT SYSTEMS Download PDF

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Publication number
DD211171A1
DD211171A1 DD24444482A DD24444482A DD211171A1 DD 211171 A1 DD211171 A1 DD 211171A1 DD 24444482 A DD24444482 A DD 24444482A DD 24444482 A DD24444482 A DD 24444482A DD 211171 A1 DD211171 A1 DD 211171A1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
input
incremental
output
gate
circuit arrangement
Prior art date
Application number
DD24444482A
Other languages
German (de)
Inventor
Hans-Guenther Eichhorn
Dieter Adam
Original Assignee
Zeiss Jena Veb Carl
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zeiss Jena Veb Carl filed Critical Zeiss Jena Veb Carl
Priority to DD24444482A priority Critical patent/DD211171A1/en
Publication of DD211171A1 publication Critical patent/DD211171A1/en

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Abstract

Bei einer Schaltungsanordnung zur digitalen Messwertumsetzung beim inkrementellen Mess-System sollen die Umsetzungszeit und der technisch-oekonomische Aufwand der Bereitstellung der Messwerte im entsprechenden Mass-System der Weiterverarbeitung verringert werden. Aus diesem Grunde war die Anzahl der fuer die Messwerterfassung und -umsetzung erforderlichen Informationsverarbeitungsschritte zu verringern. Erfindungsgemaess erfolgt die Messwertumsetzung bereits unmittelbar bei der Messwerterfassung und -speicherung, indem statt der direkt ankommenden inkrementellen Zaehlsignale und Richtungssignale nur bestimmte Zaehlsignale zur Auswertung gelangen, wobei das notwendige Regime mit Hilfe von Additions-Substrations-Schritten und Vorzeichentests erzeugt wird, so dass ein multiplikativer Ausdruck des erfassten Messwerts vorliegt.In a circuit arrangement for digital measured value conversion in the incremental measuring system, the implementation time and the technical-economic expenditure of providing the measured values in the corresponding mass system of the further processing should be reduced. For this reason, the number of information processing steps required for the measurement acquisition and conversion had to be reduced. According to the invention, the measured value conversion already takes place directly during the acquisition and storage of the measured value, in that instead of the directly arriving incremental count signals and direction signals only certain count signals are evaluated, the necessary regime being generated by means of addition-substration steps and sign tests, so that a multiplicative Expression of the acquired measured value is present.

Description

Titel äer Erfindung:Title of invention:

Schaltungsanordnung zur digitalen Meßwertumsetzung bei inkrementeilen MeßaystemenCircuit arrangement for digital measurement conversion in incremental Meßaystemen

Anwendung, der Erf indting,J1 Application Which Achieves , J 1

Die Erfindung betrifft eine SohaItungaanOrdnung zur digitalen Meßwertumsetzung bei inkrementeilen Meßaystemen, bei der digitale Zähl- und Zählrichtungssignale eines inkreinenteilen Impulsgebers erfaßt und die Zählsignale in Form von Zählerinhalten als Meßwerte gespeichert werden und bei der die gewonnenen Meßwertinformationen in andere Maßsysteme umzusetzen sind.The invention relates to a SohaItungaanOrdnung for digital Meßwertumsetzung in incremental Meßaystemen, in the digital counting and Zählrichtungssignale an incliners pulse encoder detected and the count signals are stored in the form of counter contents as measured values and in which the measured value information to be converted into other systems.

Die Erfindung ist beispielsweise für solche Systeme anwendbar, bei denen die MaßVerkörperung durch die Wellenlänge von Licht gegeben ist, jedoch im metrischen System gemessen werden soll. (Laserinterferometer) The invention is applicable, for example, to those systems in which the dimensioning is given by the wavelength of light but is to be measured in the metric system. (Laser interferometer )

Die Anwendung 1st besonders dann vorteilhaft, wenn die Meßwerte in sehr schneller seitlicher Folge zur Weiterverarbeitung benötigt werden.The application is particularly advantageous if the measured values are needed in a very fast lateral sequence for further processing.

Eine spezielle Anwendung stellt eine Korpuskularstrahl-Belichtungsanlage dar, bei der eine Objekttischverschiebung dynamisch in den aktiven Bearbeitungsprozeß integriert ist und somit in schneller l'olge Objektpositionen im metrischen System zu erfassen sind.A special application is a corpuscular beam exposure system in which a slide shift is dynamically integrated into the active machining process and thus to be detected in fast-paced object positions in the metric system.

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Charakteristik der bekannten technischen Lösungen: Characteristic of the known technical solutions:

Es ist allgemein bekannt, bei inkrementellen Meßwertgebern die Zählin- bzw. -dekremente als Zählerinhalte zu erfassen und zu speichern. Bei Anwendung derartiger Meßwertgeber ist es häufig erforderlich, die ermittelten Meßwerte in andere Maßsysteme (z.B. metrisches MaßsystemJ umzurechnen. Für diese Umrechnungsfunktionen werden an sich hinreichend bekannte Eechensysteme benötigt. Bs ist auch bereits vorgeschlagen worden, hierzu einen ggf. vorhandenen Gerätesteuerrechner zu verwenden, der in diesem Fall für seine eigentlichen Funktionen blockiert bzw. eingeschränkt wird, außerdem ist der relativ hohe Zeitaufwand für die Bereitstellung aktueller Meßwerte im erforderlichen Maßsystem zu deren weiterverarbeit ung nachteilig. Dieser Zeitaufwand kann in gewissen Grenzen verkürzt werden, wenn die Meßwertumrechnung mit aufwendigen, extrem schnellen Recheneinheiten durchgeführt wird, wodurch allerdings der teohnisch-ökonomische Aufwand unvertretbar anwächst. Durch die dennoch vorhandene relativ hohe Zahl von erforderlichen Informationsverarbeitungsschritten ist diese Verringerung der Meßwert-Bereitstellungszeit jedoch nur in beschränktem Maße möglich.It is generally known to record and store the increment or decrements of incremental transducers as counter contents. When using such transducers, it is often necessary to convert the determined measured values into other systems of measurement (for example, metrical system J. For these conversion functions, sufficiently well-known systems are needed.) It has also already been proposed to use a possibly present device control computer, which in In addition, the relatively high expenditure of time for providing up-to-date measured values in the required system of measurement for their further processing is disadvantageous.This expenditure of time can be shortened within certain limits if the conversion of the measured values involves complex, extremely fast computing units However, due to the relatively high number of required information processing steps, this reduction in the measured value provision time is due to the fact that the teohnisch-economical effort increases unreasonably but only to a limited extent possible.

Ziel der Erfindung;Aim of the invention;

Ziel der Erfindung ist die Verringerung der Umsetzungszeit und des technisch-ökonomischen Aufwandes bei der Bereitstellung der Meßwerte im entsprechenden Maßsystem der Weiterverarbeitung.The aim of the invention is to reduce the implementation time and the technical-economic effort in providing the measured values in the corresponding measurement system of further processing.

Darlegung, des tfeaens der Erfindun&iPresentation, the story of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Schaltungsanordnung zur Meßwertumsetzung mit einer verringerten Anzahl von für die Meßwerterfassung und -umwandlung erforderlichen Informationsverarbeitungsschritten zu schaffen.The invention has for its object to provide a circuit arrangement for Meßwertumsetzung with a reduced number of required for the data acquisition and conversion information processing steps.

Diese Aufgabe wird bai einer Schaltungsanordnung zur digitalen Meßwertumsetzung bei inkrementellen Meßsystemen, bei der digitale Zähl- und Zählrichtungssignale eines inkrementellen Im-This object is achieved by a circuit arrangement for the digital measurement conversion in incremental measuring systems, in which digital counting and counting direction signals of an incremental im-

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*3 bass* 3 bass

pulsgebera erfaßt und die Zählsignale in Form von Zählerinhalten in einem Zähler als Meßwerte gespeichert werden und bei der die gewonnenen Meßinformationen in andere Maßsysteme umzusetzen sind, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß Konstantenregister über eine Auswählstufβ mit zwei Steuereingängen ausgangsseitig zusammengeschaltet und mit einem ersten Eingang einer Addierstufe verbunden sind, dessen Summenausgang mit dem D- bzw. Setzeingang eines Testregisters bei dessen ausgangsseitiger Rückführung auf den zweiten Eingang der Addieratufe gekoppelt ist j daß der höchste Bitstellen-Ausgang (MSB) des Testregisters mit dem ersten Steuereingang der Auswahlstufe, an dessen zweiten oteuereingang das Zählrichtungssignal anliegt, und über eine Verzögerungs- und Impulsverkürzungsstufe mit einem ersten Eingang eines ODER-Gliedes und mit dem Takteingang des Zählers in Verbindung steht und daß die inkrementeilen Zählsignale am zweiten Eingang des ODER-Gliedes anliegen, dessen Ausgang mit dem Takteingang das Testregisters verbunden ist.Pulsgebera detected and the count signals are stored in the form of counter contents in a counter as measured values and in which the measured information to be converted into other systems measure, according to the invention achieved in that constant register connected via a Auswählstufβ with two control inputs output side and connected to a first input of an adder are whose sum output is coupled to the D- or Setzeingang a test register at its output side feedback to the second input of the Addieratufe j that the highest bit position output (MSB) of the test register with the first control input of the selection stage, at the second oteuereingang the Zählrichtungssignal is applied, and is connected via a delay and Impulsverkürzungsstufe with a first input of an OR gate and the clock input of the counter and that the incremental count signals applied to the second input of the OR gate, the sen output to the clock input of the test register is connected.

Es ist vorteilhaft, wenn die Auswahlstufe aus vier jeweils den Konstantenregistern zugeordneten Torschaltungen sowie aus einem 1 aus 4-Auswahldekoder besteht, wenn jeweils der erste Eingang der Torschaltung mit de$ Ausgang des zugeordneten Konstantenregisters, wenn die zweiten Eingänge der Torsehaltungen mit den vier Ausgängen des 1 aus 4-Auswahldekoders und wenn die Ausgänge der Torschaltungen jeweils mit dem ersten Eingang der Addierstufe in Verbindung stehen.It is advantageous if the selection stage consists of four respective gate circuits assigned to the constant registers and one of 1 selection selectors if the first input of the gate circuit has the output of the associated constant register if the second inputs of the gate positions are connected to the four outputs of the gate register 1 out of 4 select decoder and when the outputs of the gating circuits are respectively connected to the first input of the adder stage.

Außerdem ist von Vorteil, wenn die Torschaltungen aus BUS-Treibern mit jeweils Three-State-Ausgang bestehen. Erfindungsgemäß erfolgt die Meßwertumsetzung bereits unmittelbar bei der Meßwerterfassung, indem statt der direkt ankommenden inkrementellen Zählsignale und Richtungssignale nur bestimmte Zählsignale zur Auswertung gelangen, wobei das notwendige Regime mit Hilfe von Additions-Subtraktions-Schritten und Vorzeichentests erzeugt wird, so daß ein multiplikativer Ausdruck des erfaßten Meßwerts vorliegt.It is also advantageous if the gate circuits consist of BUS drivers with three-state output each. According to the invention, the measured value conversion already takes place directly in the measured value acquisition, in that instead of the directly arriving incremental counting signals and direction signals only certain counting signals are evaluated, the necessary regime being generated by means of addition-subtraction steps and sign tests, so that a multiplicative expression of the detected Measured value is present.

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t; mi -id Q Q * Or» Ii isf» Gt; mi -id Q Q * Or »Ii isf» G

.. 4 - JL, · ^ s β e ν AusfuhrunRsbeispiel: .. 4 - JL, · ^ s β e ν Execution example:

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.The invention will be explained in more detail below with reference to an embodiment shown in the drawing.

Ein inkrementeller Impulsgeber 1, bestehend aus einem inkrementellen Meßsystem ζ und einer Impulsaufbereitungsstufe 3 liefert digitale Zählimpulse ZI und ein Zählriohtungssignal RI, die durch einen Zähler 4 zu einem Meßwert zu erfassen sind. Durch die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung erfolgt diese Meßwerterfassung im Zähler 4 nicht mehr unmittelbar als inkrementeller Meßwert, sondern bereits in weiter verarbeitbarer Form als metrische Meßgröße. Zu diesem Zweck sind 4 Konstantenregister 5» 6, 7» 8 für die Konstanten -B, A, B und -A vorgesehen, die ausgangsseitig über Torschaltungen 9» 10, 11, Vc mit einem ersten Eingang E^ einer Addierstufe 13 in Verbindung stehen. Die vier Steuereingänge der Torschaltungen 9» 10, "11, Vd sind an vier Ausgängen eines 1 aus 4-Auswahldekoders angeschlossen, an dessem erstem Steuereingang 15 das Zählrichtungsiignal RI anliegt. Die Torschaltungen 9» 10, 11, Va sind durch BUS-Treiber mit Three-State-Ausgang realisiert. Von der Addierstufe 13 ist der Summenausgang 3 in der erforderlichen Bitbreit© an den D- bzw. Setzeingang eines Testregisters 16 geführt, um den Summenwert dar Addierstufe 13 zu speichern. Der Ausgang Q des Testregisters ist auf einen zweiten Eingang Ε., der Addierstufe 13 zurückgeführt. Das Ausgangs signal MSB der höchsten Bitstelle des Testregisters 16 (Vorzeichen des Registerinhaltes) bildet das zweite Steuersignal an einem Steuereingang 17 des 1 aus 4-Auswahldekoders H und liegt gleichzeitig am Eingang einer Verzögerung®- und Impulsverkürzungsstufe 18 an, die ausgangsseitig mit einem ersten Eingang eines ODER-Gliedes 19 und mit dem Takteingang 0 des Zählers 4 in Verbindung steht. Die Zählimpulsa ZI des inkrementeilen Impulsgebers 1 liegen an einem zweiten Eingang des ODER-Gliedes 19 an, dessen Ausgangssignale den Takteingang C des Testregisters 16 als Setztakt apeisen. Das Zählrichtungs3ignal RI des inkrementellen Impulsgebers 1 liegt am Zähleingang ZR des Zählers 4 an. Am Zähler und am Testregister 16 befinden sich Rücksetzeingänge R, dieAn incremental pulse generator 1, consisting of an incremental measuring system ζ and a pulse conditioning stage 3 provides digital counting pulses ZI and a Zählriohtungssignal RI, which are to be detected by a counter 4 to a measured value. By means of the circuit arrangement according to the invention, this measured value detection in the counter 4 no longer takes place directly as an incremental measured value, but already in further processable form as a metric measured variable. For this purpose, 4 constant registers 5 »6, 7» 8 are provided for the constants -B, A, B and -A, which are connected on the output side via gate circuits 9, 10, 11, Vc to a first input E of an adder 13 , The four control inputs of the gate circuits 9, 10, 11, Vd are connected to four outputs of a 1-out-of-4 selector decoder, to whose first control input 15 the counting direction signal RI is applied The gate circuits 9, 10, 11, Va are provided by BUS drivers with The sum output 3 in the required bit width © is fed to the D or set input of a test register 16 by the adder 13 in order to store the summation value of the adder 13. The output Q of the test register is set to a second one Input Ε., Fed back to adder 13. Output signal MSB of the highest bit position of test register 16 (sign of the register contents) forms the second control signal at a control input 17 of the 1-out of 4-select decoder H and at the same time is at the input of a delay and pulse shortening stage 18 on the output side is connected to a first input of an OR gate 19 and to the clock input 0 of the counter 4. Die The Zählimpulsa ZI of the incremental pulse generator 1 are applied to a second input of the OR gate 19, the output signals of which feed the clock input C of the test register 16 as a set clock. The counting direction signal RI of the incremental pulse generator 1 is applied to the counting input ZR of the counter 4. At the counter and the test register 16 are reset inputs R, the

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miteinander verbunden sind und über die bei einem Rückaetzsignal SEo der Zähler 4 und das Testregister 16 auf einen definierten Anfangszustand rückgesetst werden können.are connected to each other and can be reset by a Rückaetzsignal SEo the counter 4 and the test register 16 to a defined initial state.

Erfindungsgemäß bewirkt jedes Inkrement bzw. Dekrement des Impulsgebers 1 eine Addition/Subtraktion der Konstante A oder eine Subtraktion/Addition der Konstante B zum Inhalt dea Testregisters 16, je nachdem, welches Vorzeichen der Inhalt des Testregisters 16 besitzt (Auswahl der Konstantenregister 5, 6, 7, 8) bzw. welche Zählrichtung, d.h. Inkrement oder Dekrement, vorliegt (Auswahl Addition/Subtraktion;.According to the invention, each increment or decrement of the pulse generator 1 causes an addition / subtraction of the constant A or a subtraction / addition of the constant B to the content of the test register 16, depending on the sign of the contents of the test register 16 (selection of the constant registers 5, 6, 7, 8) or which counting direction, ie Increment or decrement, present (selection addition / subtraction;

Die Punktion des 1 aus 4-Auswahldekoders 14 besteht in der Auswahl jeweils einer der Konstanten ± A, + B nach folgender VorschriftThe puncture of the 1 of 4 selection decoder 14 consists in selecting one of the constants ± A, + B according to the following rule

EI = L · RI-= HEI = L · RI- = H

MSB a L - A AMSB a L - A A

243B = I-I B - B243B = I-I B - B

KI = L - Vorwärta zählung RI = H - RückwärtszählungKI = L - Vorwärt a count RI = H - countdown

Bei einer entsprechenden Vorzeichenänderung des Inhalts im Testregister 1fo wird ein Zählimpuls für den Zähler 4 zur Meßwerterfassung abgegeben und damit eine zusätzliche Addition/Subtraktion in dem Testregister 16 ausgelöst, wobei das jeweils andere der Konstantenregister 5, 6, 7, 8 (für die Konstante A oder B; ausgewählt wird.With a corresponding change in sign of the content in the test register 1fo a count pulse for the counter 4 is output to the measured value detection and thus an additional addition / subtraction in the test register 16 triggered, the other one of the constant register 5, 6, 7, 8 (for the constant A or B; is selected.

PUr den Zähler 4 entsteht eine gegenüber den Zählimpulsen ZI verringerte Impulsrate, wodurch zu jedem Zeitpunkt auf ein Digit genau im Zähler 4 der //ert y = χ . A/B erzeugt wird.The counter 4 produces a pulse rate which is reduced in comparison to the counting pulses ZI, whereby at any time on a digit exactly in the counter 4, the value y = χ. A / B is generated.

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Claims (3)

44 Erfind ungaana ur uoh.44 invented ungaana ur uoh. 1. Schaltungaanordnung zur digitalen Meßwertumsetzung bei inkrementeilen Maßsystemen, bei der digitale Zähl- und Zählrichtungasignale eines inkrementellen Impulagebera erfaßt und die Zählaignale in Form von Zählerinhalten in einem Zähler ala Meßwerte geapeichert werden und bei der die gewonnenen Meßwertinformationen in andere Maßsysteme umzuaetzen sind, gekennzeichnet dadurch, daß Konstantenregister über eine Auswahlstufe mit zwei Steuereingängen ausgangsseitig zusammengeschaltet und mit einem ersten Eingang einer Addierstuf© verbunden sind, dessen Summenausgang mit dem O- bzw.1. Schaltungaanordnung for digital Meßwertumsetzung incremental Maßsystemen, in the digital counting and Zählrichtungasignale an incremental Pululagebera detected and the Zählaignale be stored in the form of counter contents in a counter ala measured values and in which the measured information obtained are to be converted into other measurement systems, characterized in that constant registers are interconnected on the output side via a selection stage with two control inputs and are connected to a first input of an adding stage © whose sum output is connected to the O or Setzeingang eines Testregisters bei dessen ausgabeseitiger Rückführung auf den zweiten Eingang der Adetierstufe gekoppelt ist, daß der höchste Bitstellen-Ausgang (MSB) des Testregisters mit dem ersten Steuereingang der Auswahlstufe, an dessen zweiten Steuereingang das Zählrichtungssignal anliegt, und über eine Verzögerung·- und ImpulsverkUrzungsatufθ mit einem ersten Eingang eines ODER-Gliedes und mit dem Takteingang des Zählers in Verbindung steht und daß die inkrementellen Zählsignale am zweiten Eingang des ODER-Gliedes anliegen, dessen Ausgang mit aem Takteingang des Testregiaters verbunden ist.Set input of a test register is coupled at its output side feedback to the second input of the adder, that the highest bit position output (MSB) of the test register with the first control input of the selection stage, at the second control input the Zählrichtungssignal is applied, and a delay · - and ImpulsverkUzungsatufθ is in communication with a first input of an OR gate and with the clock input of the counter and that the incremental count signals are applied to the second input of the OR gate whose output is connected to the clock input of the test regulator. Z. Schaltungsanordnung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Auswahlatufe aus vierjjeweils den Konstantenregistern zugeordneten Torschaltungen sowie aus einem 1 aus 4-Auawahldekoder besteht, daß jeweils der erste Eingang der Torschaltung mit dem Ausgang des zugeordneten Konstantenregisters, daß die zweiten Eingänge der Torschaltungen mit den vier Ausgängen des 1 aua 4-Äuswahldeköder und daß die Ausgänge der Torschaltungen jeweils mit dem ersten Eingang der Addierstufe in Verbindung stehen. Z. Circuit arrangement according to item 1, characterized in that the Auswahlatufe consists of four times each of the constant registers associated gate circuits and a 1 of 4-Auawahldekoder that each of the first input of the gate with the output of the associated constant register that the second inputs of the gate circuits with the four outputs of the 1 aua 4- Ä uswahldeköder and that the outputs of the gate circuits are connected respectively to the first input of the adder. 3. Schaltungsanordnung nach Funkt ki, gekennzeichnet dadurch, daß die Torschaltungen aus BUS-Treibern mit jeweils Three-State-Ausgang bestehen.3. Circuit arrangement to Funkt ki, characterized in that the gate circuits consist of BUS drivers, each with three-state output. Hierzu 1 Seite ZeichnungenFor this 1 page drawings 40974097
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE4034966A1 (en) * 1989-11-02 1991-05-08 Sony Magnescale Inc CIRCUIT AND METHOD FOR GENERATING AN OUTPUT PULSE SEQUENCE DEPENDING ON A POSITIVE OR NEGATIVE TRANSMISSION OF A NUMBER PULSE SEQUENCE

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