DD207076A3 - METHOD FOR THE PRODUCTION OF FORM BODIES OF METAL SILICIDES - Google Patents
METHOD FOR THE PRODUCTION OF FORM BODIES OF METAL SILICIDES Download PDFInfo
- Publication number
- DD207076A3 DD207076A3 DD23614881A DD23614881A DD207076A3 DD 207076 A3 DD207076 A3 DD 207076A3 DD 23614881 A DD23614881 A DD 23614881A DD 23614881 A DD23614881 A DD 23614881A DD 207076 A3 DD207076 A3 DD 207076A3
- Authority
- DD
- German Democratic Republic
- Prior art keywords
- mold
- production
- metal silicides
- targets
- preheated
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims abstract description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 3
- 229910006774 Si—W Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 6
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 241000722270 Regulus Species 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000011067 equilibration Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Metallurgie. Ziel der Erfindung ist es, den Verunreinigungsgrad und den oekonomischen Aufwand an Grundmitteln zu senken, die Erosion bei Targets zu verringern sowie die Gleichgewichtseinstellung zu erreichen. Ihr liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, das sich durch Reinheit der danach hergestellten Formkoerper auszeichnet, das keine teuren Presswerkzeuge, grosse Presskraefte und Sinteranlagen fuer hohe Temperaturen erfordert, mit dem dichte Formkoerper erzeugt werden koennen und bei dem kein Sinterprozess angewendet wird. Erfindungsgemaess wird die Aufgabe geloest, dass die Schmelze in eine auf >-900 Grad Celsius vorgewaermte, thermisstoff gegossen wird. Die Abkuehlung erfolgt unter Vakuum, gleichmaessig mit einer Abkuehlgeschwindigkeit >- 20 Grad Celsius/ min auf Raumtemperatur. Anwendungsgebiet der Erfindung ist die Herstellung gegossener Formkoerper aus Meallsiliziden, beispielsweise Targets, fuer Beschichtungszwecke.The invention relates to the field of metallurgy. The aim of the invention is to reduce the degree of contamination and the economic burden of basic agents to reduce the erosion of targets and to achieve equilibrium. It is the object of the invention to provide a method which is characterized by purity of the moldings produced thereafter, which does not require expensive pressing tools, large presses and sintering equipment for high temperatures, can be produced with the dense form body and in which no sintering process is applied. According to the invention, the object is achieved that the melt is poured into a preheated to> -900 degrees Celsius, thermis. The cooling is carried out under vacuum, uniformly with a cooling rate> - 20 degrees Celsius / min to room temperature. The field of application of the invention is the production of cast molds from metal silicides, for example targets, for coating purposes.
Description
236148 4236148 4
Verfahren, zur Herstellung ύοώ. Formkorpern aus MetallsilizidenMethod of making ύοώ. Shaped bodies of metal silicides
Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention
Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet, der Metallurgie« Ihre Anwendung ist bei der Herstellung τοη Fonnkörpern aus Metalisiliziden möglich., für die Herstellung von scheibenfSrmigen Targets zu Beschichtungszwecken besonders zweckmäßig.The invention relates to the field of metallurgy. "Its use is possible in the production of metal-silicide shaped bodies. It is particularly useful for the production of disc-shaped targets for coating purposes.
Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions
Es ist bekannt (Finnenschrift der Fa. MRC, 1980, Metals for evaporating and sputtering, Third Ed.);, Formkörper aus Metallsiliziden, insbesondere Targets, durch. Pressen entsprechender Pulverini scimng en und Sintern der Preßlinge herzustellen. Nachteilig ist der relativ hohe Verunreinigungsgrad der Formkörper, der auf mangelnde Reinheit der Pulvermischung und die begrenzte Reinheit der Verfahrenstechnik zurückzuführen ist. Ein weiterer Hachteil ist der große ökonomische Aufwand bei der Serstellung, der durch teure Preßwerkzeuge, große Preßkräfte und Sinteranlagen für hohe Temperaturen hervorgerufen wird, herden derartige Formkörper als Targets eingesetzt, tritt als weiterer Mangel relativ große Erosion in Erscheinung, die auf dem hohen Porenanteil beruht. Außerdem ist die ungenügende Gleichgewichtseinstellung· der Legierung beim Sintern nachteilig. It is known (fineness of the company MRC, 1980, Metals for evaporating and sputtering, Third Ed.), Shaped bodies of metal silicides, in particular targets, by. Pressing appropriate Pulverini scimng s and sintering of the compacts produce. A disadvantage is the relatively high degree of contamination of the moldings, which is due to lack of purity of the powder mixture and the limited purity of the process engineering. Another disadvantage is the great economic effort in the Serstellung, which is caused by expensive press tools, large pressing forces and sintering equipment for high temperatures, herden used such moldings as targets occurs as a further deficiency relatively large erosion in appearance, which is based on the high pore content , In addition, the insufficient equilibrium of the alloy during sintering is disadvantageous.
- 2 - Ί J ο I 4 ö. 4- 2 - Ί J ο I 4 ö. 4
Ziel der ErfindungObject of the invention
Ziel der Erfindung ist es, den Verunreinigungsgrad und den ökonomischen Aufwand an Grundmitteln zu senken, die Erosion bei Targets zu verringern sowie die Gleichgewichtseinstellung zu erreichen.The aim of the invention is to reduce the degree of contamination and the economic outlay on basic agents, to reduce the erosion of targets and to achieve equilibration.
Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, das sich durch Reinheit der danach hergestellten Formkörper auszeichnet, das keine teuren Preßwerkzeuge, große Preßkräfte und Sinteranlagen für hohe. Temperaturen erfordert, mit dem dichte Formkörper erzeugt werden können und bei dem kein Sinterprozeß angewendet: wird. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die Schmelze in eine vorgewärmte, thermisch isolierte Kokille aus einem Kohlenstoffwerkstoff gegossen wird. Die Konstruktion der Kokille muß ein ungehindertes Schwinden des Formkörpers ermöglichen. Die Abkühlung erfolgt unter Vakuum, gleichmäßig mit einer Abkühlgeschwindigkeit :5 2.0 °C/inin auf Raumtemperatur .The invention has for its object to provide a method which is characterized by purity of the molded body produced thereafter, no expensive press tools, large pressing forces and sintering systems for high. Requires temperatures that can be produced with the dense shaped body and in which no sintering process is applied. According to the invention the object is achieved in that the melt is poured into a preheated, thermally insulated mold made of a carbon material. The construction of the mold must allow unhindered shrinkage of the molding. The cooling is carried out under vacuum, uniformly with a cooling rate: 5 2.0 ° C / inin to room temperature.
Eine Variante der Erfindung sieht vor, daß die Abkühigeschwindigkeit von :? 20°C/min durch eine Heizung der Kokille erreicht wird. Zweckmäßigerweise wird als Eokillenwerkstoff Graphit; verwendet.A variant of the invention provides that the Abkühigeschwindigkeit of:? 20 ° C / min is achieved by heating the mold. Appropriately, as Eokillenwerkstoff graphite; used.
Ausführungsbeispielembodiment
Im Vakuumlichtbogenofen: wird mit einer W-Permanentelektrode eine Cr-Si-W-Legierung der Zusammensetzung 38 At-% Cr, 60 Ät-% Si und 2 At-% W als Knopf erschmolzen und der Regulus zerkleinert. Die Bruchstücke werden bei einem Druck von 50 KPa Argon in einem .AlgO^-Tlegel im Vakuuminduktionsofen aufgeschmolzen. Die Kokille au3 Graphit wird in einen entsprechenden Glühbehälter eingebaut, außer der Singußöffnung vollständig mit Sand umhüllt und auf 1000 0C vorgeheizt. Die vorbereitete Kokille wird in den Vakuuiainduktionsofen ein-In the vacuum arc furnace: a W-type permanent electrode is used to melt a Cr-Si-W alloy of the composition 38 at% Cr, 60% by wt of Si and 2 at% W as a knob and comminute the regulus. The fragments are melted at a pressure of 50 KPa argon in a .AlgO ^ -Tlegel in Vakuuminduktionsofen. The mold au3 graphite is installed in a corresponding annealing vessel, except the Singußöffnung completely covered with sand and preheated to 1000 0 C. The prepared mold is placed in the vacuum induction furnace.
236U8 k 236U8 k
geschleust, die Atmosphäre des Innenraumes auf 4 kPa eingestellt und die Schmelze abgegossen. Unter Vakuum wird die Kokille im Laufe von 10 Stunden auf Raumtemperatur abgekühlt, üach dem Auspacken des Formkörpers wird der Einguß elektroerosiv entfernt und der Rohling beiderseits plangeschliffen»slid, adjusted the atmosphere of the interior to 4 kPa and poured the melt. Under vacuum, the mold is cooled to room temperature over the course of 10 hours, after unpacking the molding, the sprue is removed by electrical discharge and the blank is ground flat on both sides »
Auf diese Weise wurden Formkörper der Abmessung ü) I56 σ 8 mm hergestellt, die als !Pargets verwendet wurden.In this way, shaped bodies of dimension ü) I56 σ 8 mm were produced, which were used as! Pargets.
So hergestellte Formkörper zeigen gute Oberflächenbeschaffenheit, sind maßhaltig, riß- und lunkerfrei, zeigen sehr gleichmäßige "verteilung der Elemente, hohe .Reinheit und gute Wärmeleitfähigkeit. Bei der Verwendung als Target ist bessere Kühlung möglich und damit sind größere Abscheidungsraten zu erzielen. Außerdem wird durch die hohe Dichte die Erosion vermindert und dadurch die Einsatzzeit der Targets erhöht.Moldings produced in this way exhibit good surface properties, are dimensionally stable, crack-free and voids-free, exhibit very uniform distribution of the elements, high purity and good thermal conductivity The high density reduces erosion and thereby increases the service life of the targets.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD23614881A DD207076A3 (en) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | METHOD FOR THE PRODUCTION OF FORM BODIES OF METAL SILICIDES |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD23614881A DD207076A3 (en) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | METHOD FOR THE PRODUCTION OF FORM BODIES OF METAL SILICIDES |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD207076A3 true DD207076A3 (en) | 1984-02-15 |
Family
ID=5535731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD23614881A DD207076A3 (en) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | METHOD FOR THE PRODUCTION OF FORM BODIES OF METAL SILICIDES |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD207076A3 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4127792C1 (en) * | 1991-08-22 | 1992-08-06 | W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau, De |
-
1981
- 1981-12-23 DD DD23614881A patent/DD207076A3/en not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4127792C1 (en) * | 1991-08-22 | 1992-08-06 | W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau, De | |
| EP0529194A1 (en) * | 1991-08-22 | 1993-03-03 | W.C. Heraeus GmbH | Process for the production of article of hot cracking susceptible material and mould therefor |
| US5236033A (en) * | 1991-08-22 | 1993-08-17 | W. C. Heraeus Gmbh | Method for producing a body from a material susceptible to thermal cracking and casting mold for executing the method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AT408153B (en) | METAL MATRIX COMPOSITE (MMC) COMPONENT | |
| US3725015A (en) | Process for forming high density refractory shapes and the products resulting therefrom | |
| US4681629A (en) | Powder metallurgical process for manufacturing copper-nickel-tin spinodal alloy articles | |
| DE19906720B4 (en) | Molybdenum disilicide heating element and process for its preparation | |
| GB2093481A (en) | Sintered high density refractory compositions | |
| DE2813666A1 (en) | DENSE, TEMPERATURE-RESISTANT BODY MADE OF SILICON CARBIDE AND PROCESS FOR ITS MANUFACTURING | |
| DE3824849A1 (en) | PRESSURIZED POLYCRYSTALLINE MIXING MATERIALS BASED ON HEXAGONAL BORNITRIDE, OXIDES AND CARBIDES | |
| US4268314A (en) | High density refractory composites and method of making | |
| DE2357217A1 (en) | DENSE SILICON CARBIDE CERAMICS AND THE PROCESS FOR THEIR PRODUCTION | |
| DE3719606C2 (en) | ||
| EP0281765B1 (en) | Cast iron for the manufacture of brake elements | |
| DE3628055C2 (en) | Process for the production of refractory plates based on aluminum oxide / carbon | |
| DE2923729A1 (en) | SINTER-CERAMIC PRODUCT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF | |
| DD207076A3 (en) | METHOD FOR THE PRODUCTION OF FORM BODIES OF METAL SILICIDES | |
| US2352316A (en) | Method of producing shaped bodies from powdery ferrous material | |
| DE19953780C1 (en) | Production of semi-finished material and molded bodies comprises intensively mixing silver and silver alloy powder as matrix powder and powdered particles that increase the strength of the matrix material, and pressing and sintering | |
| EP0028670A1 (en) | Process for preparing bodies containing highly radioactive wastes | |
| FI81283C (en) | SAETT VIDEO FRAMSTAELLNING AV EN FORMKROPP AV EN JAERNLEGERING. | |
| WO2009112192A2 (en) | Composite material based on transition metal borides, method for the production thereof, and use thereof | |
| DE3226604A1 (en) | Process for the preparation of a composite material based on Cr/Cu for medium-voltage vacuum power switches | |
| DE602004007369T2 (en) | USE OF A SILICONCARBID BASED CERAMIC MATERIAL IN AGGRESSIVE ENVIRONMENTS | |
| DE1018349B (en) | Molded body made of refractory material | |
| DD206686A3 (en) | METHOD FOR PRODUCING METAL SILICIDE FORM BODIES | |
| DE4013025C2 (en) | Manufacture of boron nitride moldings | |
| EP1496020B1 (en) | Ceramic-lined molybdenum material for use in contact with molten glass |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ENJ | Ceased due to non-payment of renewal fee |