DD159924A1

DD159924A1 - DEVICE FOR THE DIGITAL CONTROL OF THYRISTOR-CONTROLLED HF GENERATORS

Info

Publication number: DD159924A1
Application number: DD23095681A
Authority: DD
Inventors: Harald Ritter; Georg Bethin; Ekkehard Feige
Original assignee: Harald Ritter; Georg Bethin; Ekkehard Feige
Priority date: 1981-06-19
Filing date: 1981-06-19
Publication date: 1983-04-13

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur einschleifigen digitalen Regelung von thyristorgesteuerten HF-Generatoren,insbesondere zur Schmelzwaermeerzeugung in Kristallziehanlagen, die es ermoeglicht, mit einem Mikrorechner, einem Analog/Digitalumsetzer den Induktor-Ist-Strom digital zu erfassen und die Ausgabe der erforderlichen Zuendwinkel fuer die Thyristorsteller ueber Rueckzaehlschaltungen vorzunehmen, wobei der Induktor-Soll-Strom wechselseitig digital ueber Handvorgabe und Fuehrungsprozessor eingegeben, bei Erreichen von freiwaehlbaren Anodenstromgrenzen rueckgezaehlt und bei Erreichen einer festen Maximalgrenze die Thyristorzuendung unterbrochen wird.The invention relates to a device for einschleifigen digital control of thyristor-controlled RF generators, in particular for Schmelzwaermeerzeugung in crystal pulling systems, which makes it possible with a microcomputer, an analog / digital converter to detect the current inductor current and the output of the required Zuendwinkel for the thyristor controller via reset count circuits, whereby the nominal inductor current is input mutually digitally via manual input and control processor, counted back when freely selectable anode current limits are reached and the thyristor application is interrupted when a fixed maximum limit is reached.

Description

Titel der ErfindungTitle of the invention

Einrichtung zur digitalen Regelung von thyristorgesteuerten HF-GeneratorenDevice for digital control of thyristor-controlled HF generators

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur einschleifigen di-, gitalen Regelung von thyristorgesteuerten HF-Generatoren,, insbesondere zur Schmelzwärmeerzeugung in Kristallziehanlagen nach dem Zonenfloatingverfahren.The invention relates to a device for einschlifigen di-, Gitalen control of thyristor-controlled RF generators ,, in particular for the production of hot melt in crystal pulling systems by Zonenfloatingverfahren.

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

Die derzeit bekannten Kristallziehanlagen sind mit HF-Generatoren mit analoger Regelung ausgestattet z. B« in der Art, daß der Istwert von der Anodenspannung oder dem HF-Strom abgeleitet und mit einem Sollwert verglichen, der über ein Potentiometer von Hand vorgegeben wird. Oder aber es wird so verfahren, daß der Sollwert digital vorgegeben und über nachfolgende, aufwendige Digital/Analog-Umsetzer einem analogen HF-Stromkreis zugeführt v/ird. Ebenfalls ist das Prinzip der direkten digitalen Regelung (DDC) insbesondere von Verfahrens- und Antriebsregelungen bekannt und in der Literatur beschrieben. In einer Vielzahl bekannter Schaltungen werden zur Überwachung des maximalen Anodenstromes Komparatoren eingesetzt, die die Ausgabe von Zündimpulsen sperren. Als unbefriedige-nd haben sich hier fehlende feste Schwellen zur Begrenzung der Leistungseinkopplung im Moment des Überganges vom halbleitenden in den leitenden Zustand eines Kristalles beim Einsatz eines HF-Generators für Kristallziehvorgänge gezeigt.The currently known crystal pulling systems are equipped with HF generators with analog control z. B "in such a way that the actual value of the anode voltage or the HF current derived and compared with a setpoint, which is set via a potentiometer by hand. Or else the procedure is such that the setpoint value is preset digitally and fed via subsequent complicated digital / analogue converters to an analogue HF circuit. Also, the principle of direct digital control (DDC) in particular of process and drive controls is known and described in the literature. In a variety of known circuits comparators are used to monitor the maximum anode current, blocking the output of ignition pulses. As unsatisfactory, there have been no fixed thresholds for limiting the power injection at the moment of transition from the semiconducting to the conducting state of a crystal when using an RF generator for crystal pulling operations.

Weiterhin sind viele Anordnungen bekannt, die sich mit der symnietriscnen Ansteuerung von Thyristoren in oberwellenhaltigen Netzen beschäftigen« Hier handelt es sich im allgemeinen um . analoge und aufwendige Spezialschaltungen. Ebenso aufwendige Schaltungen existieren zur Zündwinkelbegrenzung.Furthermore, many arrangements are known which deal with the symnietriscnen control of thyristors in harmonic networks "This is generally about. analog and complex special circuits. Equally complex circuits exist for Zündwinkelbegrenzung.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Das Ziel der Erfindung besteht darin, eine Einrichtung zu schaffen, die es erlaubt, den Induktorstrom von HF-Generatoren, insbesondere für Kris tall ziehanlagen, in einem einschleif-igen digitalen Regelkreis präzise zu regeln, den Sollwert mit hoher Auflösung und Stabilität von Hand und durch einen übergeordneten Führungsprozessor, zum Zwecke der Prozeßautomatisierung einzustellen, den Zündwinkel für die Thyristoren mit großer Auflösung, phasenstarr, d. h. Verhindern von Instabilitäten, am weichen Netz, und definierter Begrenzung abzugeben, die Modulation des Induktorstromes zu verringern, die HF-Leistung beim Übergang vom halbleitenden in den leitenden Zustand des Kristalles durch Vermindern des Induktorstromsollwertes über Vorgabe variabler Schwellen-des Anodenstromes zu begrenzen, um den Bedienenden von konzentrierter Prozeßbeobachtung zu entlasten und ein Zerbersten der Kristallstäbe durch zu rapide Leistungsankopplung zu vermeiden. Diese Forderungen werden insbesondere an Regelungen von HF-Energiequellen in Kristallziehanlagen gestellt.The object of the invention is to provide a device that allows the Induktorstrom of RF generators, in particular for Kris tall ziehanlagen to precisely control in a einschleif- igen digital control loop, the setpoint with high resolution and stability by hand and set by a higher-level management processor, for the purpose of process automation, the firing angle for the thyristors with high resolution, phase-locked, d. H. Preventing instabilities, soft network, and defined limit to reduce the modulation of the inductor current to limit the RF power in the transition from the semiconducting to the conductive state of the crystal by reducing the inductor current setpoint over the specification of variable threshold of the anode current to the To relieve operators of concentrated process observation and to avoid a rupture of the crystal rods by too fast power coupling. These requirements are placed in particular on regulations of RF energy sources in crystal pulling systems.

Gleichzeitig besteht die Notwendigkeit der Kommunikation mit einem Führungsprozessor im Zusammenhang mit einer Prozeßautomatisierung, d ie zu einem durchgängigen digitalen Konzept, insbesondere bei der Sollwertvorgäbe zwingt, wobei der Übergang von der Handvorgabe zum Führungsprozessor und umgekehrt stoßfrei erfolgen soll»At the same time, there is a need for communication with a control processor in the context of process automation, which forces a consistent digital concept, particularly in the set point, whereby the transition from the manual to the routing processor and vice versa should be bumpless. "

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Die Aufgabe wird mit der Erfindung gelöst durch einen Analog/ Digital-Umsetzer, der mit einem HB'-Stfomv/andler/Anodenspannungsteiler verbunden ist, einen Mikrorechner, der bidirektional mit dem Analog/Digital-Umsetzer und einem Sollwertspei-The object is achieved with the invention by an analog-to-digital converter, which is connected to an HB 'Stfomv / andler / anode voltage divider, a microcomputer, the bidirectional with the analog / digital converter and a setpoint

eher, in dem die Sollwerte 'wahlweise von Hand mittels Impulsgeber oder einem Führungsprozessor eingegeben und gespeichert sind5 verbunden ist, einer Logikschaltung, zur Ausgabe der anzuzeigenden Soll- und Istwerte, einen E/a-Port zur Aufnahme und Abgabe von Steuerinformationen, Rückzählschaltungen, denen zum Zwecke'der Umsetzung der'binären Stellgrößen'in einen äquivalenten Zündwinkel nach Freigabe über zugeordnete Nulldurchgangsschalter eine Rückzählfrequenz auf,die Eingänge gelegt wird und über deren Ausgänge mit nachfolgender Impulsformung . jeweils ein Zündimpuls für die Thyristorsteller ableitbar ist und einer ersten Komparatorschaltung zur Sperrung weiterer Zündimpulse bei Erreichen eines max. Anodenstromes über den E/A-Port, einer zweiten Komparatorschaltung zur Vorgabe mehrerer, vorzugsweise exponential 'abgestufter Ansprechschwellen zur Begrenzung des Generator-Anodenstromes durch Rückzählung des Sollwertes im Sollwertspeicher.rather, in which the setpoints' are input and stored selectively by hand by means of pulse generators or a lead processor 5, a logic circuit for outputting the desired and actual values to be displayed, an I / O port for receiving and outputting control information, count back circuits to which for the purpose of 'converting the' binary manipulated variables' into an equivalent firing angle after release via assigned zero-crossing switches, a count-back frequency is applied to the inputs and via their outputs with subsequent pulse shaping. in each case an ignition pulse for the thyristor is derivable and a first comparator circuit for blocking further ignition pulses upon reaching a max. Anode current via the I / O port, a second comparator circuit for setting a plurality of, preferably exponentially 'graded thresholds for limiting the generator anode current by counting back the setpoint in the setpoint memory.

Die erfindungsgemäße Einrichtung ermöglicht mit einem Mikro-' rechner und dem Analog/Digit.al-Umsetzer eine digitale Erfassung mit hoher Auflösung und zeitlicher Konstanz des HF-Generatorstromes bzw. der Generator-Anodenspannung» Dabei werden die Berechnungen des Istwertes, der Regelalgorithmus und die Bedienung der Anzeigen durch den Mikrorechner parallel zur Zündimpulsauszählung abgearbeitet, wodurch der Mikrorechner für jede der drei Ne'tzphasen des Generators eine aktuelle Stellgrößenbestimaung und Ausgabe vornehmen kann. Die Auflösung der Stellgröße ist in weiten Grenzen variabel und in erster Linie durch die maximal erreichbare Zählfrequenz des Rückzählers bestimmt. Die Eingabe des Sollwertes erfolgt wechselseitig digital über Handvorgabe und Führungsprozessor, wobei durch die Software bei einer Umschaltung gewährleistet wird, daß eine definierte Änderungsgeschwindigkeit des Sollwertes vorgegeben werden kann. Zur Unterbrechung der Thyristorzündimpulsvorgabe beim Erreichen einer festen Maximalgrenze des Generator-Anodenstromes dient eine Komparatorschältung. Eine zweite Komparatorschaltung wird verwendet, um variable -.an.odenstromgrenzen vorgeben zu können, mit denen exponential· abgestufte Schwellen bei der Leistungseinkopplung im-Moment des Überganges des halbleitenden in den leitenden Zustand eines Kristalles beim Einsatz eines HF-Generators für Kristallziehvorgänge erreichbar sind.The inventive device allows with a micro 'computer and the analog / Digit.al converter digital recording with high resolution and temporal constancy of the HF generator current or the generator anode voltage »The calculations of the actual value, the control algorithm and the Operation of the displays processed by the microcomputer parallel to Zündimpulszählzählung, whereby the microcomputer for each of the three Ne'tzphasen of the generator can make a current Stellgrößenbestimaung and output. The resolution of the manipulated variable is variable within wide limits and determined primarily by the maximum achievable counting frequency of the back counter. The input of the setpoint is mutually digitally via manual input and command processor, which is ensured by the software when switching that a defined rate of change of the setpoint can be specified. To interrupt the Thyristorzündimpulsvorgabe when reaching a fixed maximum limit of the generator anode current is a comparator Schalte. A second comparator circuit is used to provide variable anode current limits that can be used to achieve exponentially stepped thresholds in power injection at the moment of transition of the semiconducting to the conducting state of a crystal when using a RF generator for crystal pulling operations.

Ausführungsbeispiel embodiment

Im--folgenden.wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles 'unter Hinweis auf die Zeichnung, näher erläutert. In der Zeichnung wird in einem .Blockschaltbild die erfindungsgemäße Einrichtung zur digitalen Regelung von. HF-Generatoren dargestellt»In the following, the invention will be explained in more detail with reference to an embodiment 'with reference to the drawing. In the drawing, the inventive device for digital control of. In a block diagram. HF generators presented »

Der Mikrorechner ist über den internen BUS bidirektional mit der Rückzählschaltung 7 und dem Ein/Ausgabe Port 9 verbunden. Der Sollwertspeicher 5 und der Analog/Digital-Umsetzer 3 sind ausgangsseitig und die Logikschaltung/Display 8 .eingangsseitig mit dem internen BUS verbunden. Der Sollwertspeicher· 5 ist über seine seriellen Dateneingänge mit dem Impulsgeber 2 und über seine parallelen Dateneingänge über den Sollwert-BUS mit dem Führungsprozessor 4 verbunden. Eine Steuerungsleitung liegt am Hand/Automatikschalter 21. Der Analog/ Digital-Umsetzer 3 ist eingangsseitig mit einem HF-Stromwand- ler/Anodenspannungsteiler 1 verbunden· Die Thyristorsteller 19 sind über das jeweilige Gate mit den Ausgängen der Impulsformerstufen 11 verbunden. Deren Eingänge liegen an den Ausgängen der Rückzählschaltungen 3 sowie an den Rücksetzeingängen der Flip-Flop's 12· An den Takteingängen der Flip-Flop's 12 liegen mit ihren jeweiligen Ausgängen die Nulldurchgangsschalter 13» die eingangsseitig mit· den zugehörigen Netzphasen verbunden sind und zusätzlich an den Eingängen des E/A Port 9 liegen. An den D-Eingängen der Flip-Flop^ 12 liegt ein statischer "High"-Pegel. Die Ausgänge der Flip-Flop's sind verbunden mit den zugehörigen Eingängen der UND-Gatter 10. Zweite Eingänge der UND-Gatter 10 liegen an einer extern zum beschriebenen Blockschaltbild erzeugten Rückzählfrequenz RZF1. Die Ausgänge der UND-Gatter 10 sind an die Rückzähleingänge der Rückzählschaltungen 7 geführt. Der Rückzähleingang des Sollwertspeichers 5 ist verbunden mit dem Ausgang des UND-Gatters 10, das eingangsseitig am Ausgang eines ersten !Comparators 18 und am Eingang des monostabilen Multivibrators 17 liegt. Ein zweiter UIiD-Gatter-Eingang liegt an"'einer zweiten, extern zum beschriebenen Blockschaltbild erzeugten Rückzählfrequenz' RZF2. Der Ausgang des monostabilen Multivibrators 17 liegt amThe microcomputer is bidirectionally connected to the countdown circuit 7 and the input / output port 9 via the internal bus. The setpoint memory 5 and the analog / digital converter 3 are the output side and the logic circuit / display 8. Input side connected to the internal BUS. The setpoint memory · 5 is connected via its serial data inputs to the pulse generator 2 and via its parallel data inputs via the setpoint bus to the control processor 4. A control line is located on the hand / automatic switch 21. The analog / digital converter 3 is connected on the input side to an HF current transformer / anode voltage divider 1. The thyristor actuators 19 are connected via the respective gate to the outputs of the pulse shaping stages 11. Their inputs are at the outputs of the Rückzählschaltungen 3 and at the reset inputs of the flip-flop's 12 · At the clock inputs of the flip-flop's 12 are with their respective outputs, the zero crossing switch 13 "the input side with the associated network phases are connected and in addition to the inputs I / O Port 9. At the D inputs of the flip-flop ^ 12 is a static "high" level. The outputs of the flip-flop's are connected to the associated inputs of the AND gate 10. Second inputs of the AND gate 10 are connected to an externally to the block diagram generated Rückzählfrequenz RZF1. The outputs of the AND gates 10 are fed to the Rückzähleingänge the Rückzählschaltungen 7. The countback input of the setpoint memory 5 is connected to the output of the AND gate 10, which is located on the input side of the output of a first comparator 18 and at the input of the monostable multivibrator 17. A second UIiD gate input is connected to a second count-back frequency generated externally to the described block diagram RZF2

- 5 - I - 5 - I

.Takteingang des Schieberegisters 14. Die Standardausgänge q.....Q_d sind mit dem Analogschalter 15 verbunden, der mit seinen weiteren Anschlüssen am invertierenden Eingang des ersten Komparators 18 und an der Widerstandskombination 16 liegt. Die Widerstandskombination 16 liegt eingangsse itig gemeinsam mit dem invertierenden Eingang der zweiten Komparatorschaltung 18 an einer extern vorgegebenen Referenzspannung. Die nicht invertierenden Eingänge beider Komparatorschaltungen 18 liegen an den extern zugeführten, dem Anodenstrom I_n proportionalen '" Spannung U.. Clock input of the shift register 14. The standard outputs q ..... Q _d are connected to the analog switch 15, which lies with its other terminals at the inverting input of the first comparator 18 and the resistor combination 16. The resistor combination 16 is eingangsse ity together with the inverting input of the second comparator 18 at an externally predetermined reference voltage. The non-inverting inputs of both comparator circuits 18 are connected to the externally supplied, the anode current I _n proportional '"voltage U.

Die Wirkungsweise der Einrichtung ist folgende. Von dem Mikrorechner 6 werden die Regelkreise gesteuert und bedient· Über den Impulsgeber 2, der in Abhängigkeit einer rotatori- "*' sehen Bewegung Impulse abgibt, erfolgt in der Betriebsart Handbetrieb - die Sollwertvorgabe über die seriellen Dateneingänge in den als Vor- Rückwärtszähler beschriebenen Sollwert- · speicher 5. Im Automatikbetrieb, der durch die Umschaltung über Schalter 21 vorgegeben'wird, erfolgt die Sollwertvorgabe über die parallelen Dateneingänge vom Führungsprozessor 4. In beiden Fällen steht der aktuelle Sollwert an den Ausgängen des SollwertSpeichers 5 ständig in binärer Form zum Auslesen über den internen BUS, der Adreß-, Daten- und Steuerleitungen enthält, an. Die Ausgabe der Stellgröße erfolgt über die Rückzähl schaltungen 7. Dazu werden von den Phasen R, S und T über die Uulldurchgangsschalter 13 von den Phasennulldurchgängen für jede Phase Synchronimpulse abgeleitet, die einerseits über das E/A Port 9 das Mikrorechnerprogramm synchronisieren, und andererseits über die Flip-Flop 12 das Einlaufen von Zählimpulsen RZF 1 über die UND-Gatter 10 in die Rückzählschaltungen 7 freigeben. Die in den Rückzählschaltungen 7 von Mikrorechner 6'eingeschriebenen und gespeicherten Stellgrößen werden ausgezählt. Der beim Nulldurchgang der Rückzählschaltungen 7 an den Ausgängen auftretende "Nullimpuls" steuert über eine nachfolgend* Impulsformerstufe 11 die Thyristorsteller 19 durch· und blockiert durch das Rücksetzen der Flip-Flop's 12^-'ein weiteres Dekrementieren der Rückzählschaltungen 7. Die Stellgröße wird über den Mikrorechner-6 vor Beginn eines erneuten Rückzählvorganges, ausgelöst durch den nachfolgenden Synchronirnpuls (Nulldurch-The operation of the device is the following. The micro-computer 6 controls and operates the control circuits. Pulse generator 2, which emits pulses as a function of a rotational movement, in the manual mode operating mode sets the setpoint value via the serial data inputs to the setpoint value described as the up-down counter In automatic mode, which is preset by switching over switch 21, the setpoint input takes place via the parallel data inputs from the command processor 4. In both cases, the current setpoint at the outputs of the setpoint memory 5 is always in binary form for readout The output of the manipulated variable via the count-down circuits 7. These are derived from the phases R, S and T via the zero-crossing switch 13 of the phase zero crossings for each phase synchronizing pulses, on the one hand via the I / O port 9, the microcomputer program syn chronisieren, and on the other hand on the flip-flop 12, the arrival of counts RZF 1 via the AND gate 10 in the Rückzählschaltungen 7 release. The manipulated variables entered and stored in the count-back circuits 7 of microcomputers 6 'are counted. Occurring at the outputs of the zero crossing of the Rückzählschaltungen 7 "zero pulse" controlled by a below * pulse shaper 11, the thyristor 19 by · and blocked by the reset of the flip-flops 12 ^- 'another decrementing the Rückzählschaltungen 7. The manipulated variable is the microcomputer -6 before the start of a new count-back process, triggered by the following sync pulse (zero-crossing)

ι ό υ a b ο υ ι ό υ from ο υ

gang der zugehörigen Phase) und für jede Rückzählschaltung 7 getrennt., aktualisiert. ' . ·'associated phase) and for each countdown circuit 7 separately, updated. '. · '

Eine Ausführungsvariante der Erfindung sieht vor, daß zwei Nulldurchgangsschalter 13 entfallen.· In diesen Fällen wird für die Phasen, in deren Ansteuerzweigen die entfallenen Nulldurchgangsschalter liegen, die Freigabe für die entsprechenden Flip-Flop 12 vom Mikrorechner 6 gebildet und über das E/A Port 9, das einen bidirektionalen Betrieb erlaubt, vorgegeben·An embodiment variant of the invention provides that two zero-crossing switches 13 are dispensed with. In these cases, for the phases in whose drive branches the omitted zero-crossing switches are located, the enable for the corresponding flip-flops 12 is formed by the microcomputer 6 and via the I / O port 9, which allows a bidirectional operation, given

Der Istwert von einem HF-Stromwandler/Anodenspannungsteller wird dem Analog/Digital-Umsetzer 3 zugeführt' und über den bidirektionalen Datenbus durch den Mikrorechner 6 ausgelesen und verarbeitet.The actual value from an HF current transformer / anode voltage regulator is supplied to the analog / digital converter 3 'and read out and processed by the microcomputer 6 via the bidirectional data bus.

Soll- und Istwerte kommen über eine Logikschaltung/Display 8 zur Anzeige^ 'Setpoints and actual values come via a logic circuit / display 8 to the display ^ '

Über einen ersten Komparator 18, der über das UND-Gatter 10' eine zweite Rückzählfrequenz RZF2 an den Sollwertspeicher 5 durchschaltet, werden variable Ansprechschwellen des Anodenstromes für eine Sollwertreduzierung wirksam. Dazu wird mit dem beschriebenen Komparator 18 ein Vergleich zwischen einer dem Anodenstrom I. proportionalen Spannung und einer über den variablen Spannungsteiler in der Widerstandskombination 16' geführten Referenzspannung U^-g-™» die über den Analogschalter 15 an den invertierenden Eingang des Komparators 18 geschaltet wird, durchgeführt. Stimmeii die Spannungspotentiale am invertierenden und nicht invertierenden Eingang des Komparators überein, wird über den monostabilen Multivibrator 17 ein Impuls, dessen Dauer experimentel für den jeweiligen Anwendungsfall zu ermitteln ist., erzeugt, der das Schieberegister 14 weiterschaltet, so daß über den Analogsciialter 15 ein Strompfad, der den nachfolgenden Widerstand der exponential abgestuften ϊ/iderstandskomb!nation 16 beinhaltet, hergestellt wird. Damit wird eine entsprechend der Auslegung des Analogschalters 15, des Schieberegisters 14 und der Anzahl der Widerstände der Y/iderstandskomb!nation 16, festgelegte Anzahl von Ansprechschwellen realisiert. Die Darstellung im Ausführungsbeispiel bezieht sich auf vier Schwellen.Via a first comparator 18, which via the AND gate 10 'through a second Rückzählfrequenz RZF2 to the setpoint memory 5, variable thresholds of the anode current for a setpoint reduction effective. For this purpose, with the described comparator 18, a comparison between a voltage proportional to the anode current I.sub.s and a reference voltage U.sub.1.sup.-g.sup.-guided via the variable voltage divider in the resistor combination 16 'is switched to the inverting input of the comparator 18 via the analog switch 15 is carried out. Stimmeii the voltage potentials at the inverting and non-inverting input of the comparator match, via the monostable multivibrator 17, a pulse whose duration is determined experimentel for the particular application, generated., Which further switches the shift register 14, so that on the Analogsciialter 15 a current path , which contains the subsequent resistance of the exponentially graded 16 / identity combination 16. This realizes a set number of response thresholds according to the design of the analog switch 15, the shift register 14 and the number of resistances of the resistor combination 16. The illustration in the embodiment relates to four thresholds.

Über einen zweiten komparator 18 erfolgt ein Vergleich zwischen UVvI. und der unmittelbar extern bereitgestellten Reü Via a second comparator 18, a comparison is made between UVvI. and the directly externally provided Reü

ferenzspannung Urvgj,. Bei Übereinstimmung erfolgt nach entsprechender Abfrage des zugehörigen Einganges am E/A Port 9 durch "den Mikrorecnner 6 eine Sperrung der weiteren Abgabe von Zündimpulsen an'die !ihyristorsteller 19 über Rückzählschaltungen 7 und Impulsformer 11.bias voltage Urvgj ,. If there is a match, the corresponding input of the corresponding input at the I / O port 9 is blocked by the micro-controller 6 from blocking the further delivery of ignition pulses to the logic controller 19 via count-back circuits 7 and pulse shaper 11.

Claims

S -

Invention claims. , ,

1 · Device for the digital control of thyristor-controlled RF generators with a single-loop digital control loop, characterized by;

an analog-to-digital converter (3) which is connected to an HP current transformer / anode voltage divider (1),

a microcomputer (6) bidirectionally stored with the analogue / digital converter (3) and a setpoint memory (5) in which the setpoint values are input either manually by means of pulse transmitters (2) or a control processor (4), connected is,

· · - a logic circuit for outputting the setpoints and actual values to be displayed,

- an I / O port (9) for the reception and delivery of control information, ····.

-Rückzählschaltungen (7), which for the purpose of implementation of the binary control variables in an equivalent firing angle after release via associated zero crossing switch (13) a countback frequency is applied to the inputs and their outputs with subsequent pulse shaping in each case an ignition pulse for .Thyristorsteller (19 ) is derivable

a first comparator circuit for blocking further ignition pulses when a maximum anode current is reached via the I / O port (9),

- A second comparator circuit for specifying a plurality of, preferably exponentially graded thresholds for limiting .The generator anode current by counting back the setpoint.

2. Device according to item 1, characterized in that the second comparator (18) opens a gate (10) upon reaching each threshold predetermined by analogue switches (15) and preferably exponentially staged resistance combination (16), and countdown pulses to

, , Setpoint memory (5) releases and via a monostable ital-crvibrator (17) by means of shift register (14) of the analog

, switch (1 _5, _a uf _t he next lower threshold is switchable.

3. Device 1, characterized in that a microcomputer (6) bidirectionally has an input-side switchable analog-to-digital converter O, two set value specifiers (5, two pulse-overs (6), _and a second connection (FIG. 20) in correlation.

The direction according to point 1 is marked by the fact that "ei • a.P three times the zero-crossing switch (13) can be neglected" and that the output signal is only via the third hull

il «V ^ ^{to the I / O port (9) is sefutet} -

(12) can be staggered via the I / O port (9)

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