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DD128165B1 - Vorrichtung zum ueberdecken von masken und substratscheiben - Google Patents

Vorrichtung zum ueberdecken von masken und substratscheiben

Info

Publication number
DD128165B1
DD128165B1 DD19567476A DD19567476A DD128165B1 DD 128165 B1 DD128165 B1 DD 128165B1 DD 19567476 A DD19567476 A DD 19567476A DD 19567476 A DD19567476 A DD 19567476A DD 128165 B1 DD128165 B1 DD 128165B1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
substrate discs
covering masks
masks
covering
discs
Prior art date
Application number
DD19567476A
Other languages
English (en)
Other versions
DD128165A1 (de
Inventor
Erhard Jaksch
Original Assignee
Erhard Jaksch
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Erhard Jaksch filed Critical Erhard Jaksch
Priority to DD19567476A priority Critical patent/DD128165B1/de
Priority to DE19772747439 priority patent/DE2747439A1/de
Priority to SU777770029A priority patent/SU911439A1/ru
Publication of DD128165A1 publication Critical patent/DD128165A1/de
Priority to FR7733802A priority patent/FR2375631A1/fr
Publication of DD128165B1 publication Critical patent/DD128165B1/de

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
DD19567476A 1976-11-09 1976-11-09 Vorrichtung zum ueberdecken von masken und substratscheiben DD128165B1 (de)

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DD19567476A DD128165B1 (de) 1976-11-09 1976-11-09 Vorrichtung zum ueberdecken von masken und substratscheiben
DE19772747439 DE2747439A1 (de) 1976-11-09 1977-10-21 Vorrichtung zum ueberdecken von masken und substratscheiben
SU777770029A SU911439A1 (ru) 1976-11-09 1977-11-02 Устройство дл совмещени масок и подложек микросхемы
FR7733802A FR2375631A1 (fr) 1976-11-09 1977-11-09 Dispositif pour superposer des masques et des substrats en forme de plaquettes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD19567476A DD128165B1 (de) 1976-11-09 1976-11-09 Vorrichtung zum ueberdecken von masken und substratscheiben

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Publication Number Publication Date
DD128165A1 DD128165A1 (de) 1977-11-02
DD128165B1 true DD128165B1 (de) 1979-12-27

Family

ID=5506232

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DD19567476A DD128165B1 (de) 1976-11-09 1976-11-09 Vorrichtung zum ueberdecken von masken und substratscheiben

Country Status (4)

Country Link
DD (1) DD128165B1 (de)
DE (1) DE2747439A1 (de)
FR (1) FR2375631A1 (de)
SU (1) SU911439A1 (de)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3071052D1 (en) * 1979-04-03 1985-10-10 Eaton Optimetrix Inc Improved step-and-repeat projection alignment and exposure system
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US4414749A (en) 1979-07-02 1983-11-15 Optimetrix Corporation Alignment and exposure system with an indicium of an axis of motion of the system
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RU191704U1 (ru) * 2019-06-03 2019-08-19 Открытое Акционерное Общество "Научно-Исследовательский Институт Полупроводникового Машиностроения (Оао "Ниипм") Блок центрирования полупроводниковых пластин на вакуумном столике в кластерной линии фотолитографии перед проведением технологических операций

Also Published As

Publication number Publication date
SU911439A1 (ru) 1982-03-07
FR2375631A1 (fr) 1978-07-21
DE2747439A1 (de) 1978-06-01
DD128165A1 (de) 1977-11-02

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