CN222167162U - 集成电路老化测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种集成电路老化测试装置，包括高温老化箱体、由上至下依次设在高温老化箱体内的多个放置架，每一放置架上均设有一检测板，所述高温老化箱体设有密封门，所述密封门上可拆卸设有匚形的把手杆，所述放置架包括一对相对的滑杆以及间隔设在一对滑杆之间的多根支杆，所述支杆与所述滑杆垂直连接，一对滑杆分别与高温老化箱体的两相对的内壁滑动连接，所述把手杆同向的两杆体中，其中一杆体上设有两端敞口的槽孔。本实用新型具有的有益效果是，本实用新型可以避免操作人员人手直接伸入高温老化箱体内，且滑出检测板无需用电，避免了现有的电动滑轨失灵的问题，且结构相对简单，设备制作成本较低。

Description

集成电路老化测试装置

技术领域

本实用新型涉及高温老化测试设备领域。更具体地说，本实用新型涉及一种集成电路老化测试装置。

背景技术

随着国内集成电路行业发展的如火如荼，集成电路的品质也愈发得到重视。集成电路实际使用时，经常会处于高温工作状态下，长期处于高温工作状态的集成电路的芯片性能会下降，进而影响产品的性能。老化测试是评价集成电路高温工作寿命的一种测试方法。现有技术中，集成电路老化测试时，将集成电路芯片置于高温(≥125℃)、高电压(最大工作电压)的条件下，持续工作规定的时间(通常≥1000小时)，观察集成电路芯片是否有失效情况，以此来评估芯片的寿命和长期上电运行的可靠性以及稳定性。现有技术中，已有许多用于集成电路老化测试的装置，且为了避免人手伸入高温老化箱体进而造成可能的烫伤或者为了合理利用空间放置更多的检测板，现有技术中有将放置检测板的托架设计成与高温老化箱体滑动连接的形式，如申请号为202122919630.7的专利公开了一种集成电路检测用老化考核装置，其通过设置耐温老化箱主体、电动滑轨机构以及设在电动滑轨机构上的检测板，便于人员在合适的温度范围之内取出检测物件，防止人手伸入老化试验结束后的耐温老化箱主体内引起烫伤。但上述结构中，由于采用的是电动滑轨机构，实际使用时，每一层检测板均需配置一电动滑轨机构，使得整体结构复杂且制作成本增加，同时电动滑轨机构也会存在没电失灵的情况，此外，若将托架设置成与高温老化箱体滑动连接的结构(不靠电力驱动)，当需要取拿托架时，为了防止可能的烫伤需要带上手套或者用其他的辅助物将托架从高温老化箱中滑出拉出，但实际使用时，手套或其他的辅助物属于额外物品，不一定能及时找到。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题，并提供一种集成电路老化测试装置，其将高温老化箱体的把手杆作为拉动放置架的辅助物，使用时，利用把手杆将高温老化箱体的密封门打开后，将把手杆拆下来然后利用把手杆将放置架从高温老化箱体内滑动拉出，可在老化试验前，方便将集成电路芯片安设在放置架的检测板上或在老化试验结束后将集成电路芯片从检测板上取出，避免了人手伸入高温老化箱体内导致的操作不便同时避免了高温老化箱体对人手可能造成的烫伤，且由于把手杆设在高温老化箱体上，随用随取，可及时使用，此外，相比现有的电动滑轨结构，检测板滑动伸出高温老化箱体的结构无需用电且结构简单，制作成本较低。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种集成电路老化测试装置，包括高温老化箱体、由上至下依次设在高温老化箱体内的多个放置架，每一放置架上均设有一检测板，所述高温老化箱体设有密封门，所述密封门上可拆卸设有匚形的把手杆，所述放置架包括一对相对的滑杆以及间隔设在一对滑杆之间的多根支杆，所述支杆与所述滑杆垂直连接，一对滑杆分别与所述高温老化箱体两相对的内壁滑动连接，所述把手杆同向的两杆体中，其中一杆体上设有两端敞口的槽孔，所述槽孔与所述支杆的大小相适配以当支杆穿设在槽孔上时，把手杆拉动放置架。

优选的是，所述槽孔内壁敷设有摩擦垫。

优选的是，所述密封门上设有观察窗。

优选的是，所述密封门上由上至下依次设有多对弹性垫，多对弹性垫对应多个放置架，每一对弹性垫分设在所述观察窗两侧，以当所述密封门关闭时，所述弹性垫按压对应的放置架。

优选的是，所述密封门上设有插槽，所述插槽内设有卡孔，所述把手杆靠近所述密封门的杆体内部开设有安装腔，所述安装腔内设有安装板，所述安装板与所述安装腔内壁之间设有多个弹簧，所述安装板远离所述弹簧的侧壁上分别设有与所述卡孔相适配的卡块以及按压块，所述卡块以及所述按压块通过所述弹簧均活动伸出所述安装腔外；其中，所述卡块伸入所述卡孔内时，所述按压块位于所述密封门外。

优选的是，所述按压块的按压面为圆弧面。

优选的是，所述高温老化箱体上开设有进风口和出风口，所述进风口处设有进风风机，所述进风口连接有方形的进风管道，所述进风管道位于高温老化箱体外，所述进风管道的顶部和底部均开设有穿孔；还包括滤网组件，所述滤网组件包括第一辊轴、第二辊轴、第一张紧辊、第二张紧辊、过滤网，所述第一辊轴和所述第二辊轴分设在位于进风管道上方和下方的高温老化箱体侧壁上，所述第一张紧辊和所述第二张紧辊分设在所述进风管道的顶部和底部，所述滤网的一端卷设在所述第一辊轴上，所述滤网的另一端依次滚过第一张紧辊、穿过一对穿孔、滚过第二张紧辊后绕设在第二辊轴上；所述第二辊轴的一端设有转动把。

本实用新型至少包括以下有益效果：

通过设置高温老化箱体、检测板、密封门、把手杆、滑杆、支杆、槽孔，当检测板上的集成电路芯片老化试验结束后，通过把手杆打开密封门，然后将把手杆从密封门上拆下来，将把手杆的槽孔搭设在放置架的最外的支杆上，通过拉动把手杆的另一端，即可将放置架从高温老化箱体内取出；整体上，将高温老化箱体的把手杆作为拉动放置架的辅助物，利用把手杆将高温老化箱体的密封门打开后，将把手杆拆下来然后利用把手杆将放置架从高温老化箱体内滑动拉出，可在老化试验前，方便将检测板安设在放置架上或在老化试验结束后将检测板从放置架上取出，避免了人手伸入高温老化箱体内导致的操作不便同时避免了高温老化箱体对人手可能造成的烫伤，且由于把手杆设在高温老化箱体上，随用随取，可及时使用，此外，相比相比现有的电动滑轨结构，检测板滑动伸出高温老化箱体的结构无需用电且结构简单，制作成本较低。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

图1为本实用新型其中一种技术方案所述集成电路老化测试装置的结构示意图；

图2为图1中A处放大图；

图3为本实用新型其中一种技术方案所述集成电路老化测试装置的结构侧视图；

图4为本实用新型其中一种技术方案所述放置架放置在高温老化箱体中的结构示意图；

图5为本实用新型其中一种技术方案所述密封门的结构示意图；

图6为本实用新型其中一种技术方案所述门把手的结构示意图；

图7为本实用新型其中一种技术方案所述放置架的结构俯视图；

图8为本实用新型其中一种技术方案所述上杆体与插槽的结构俯视图。

附图标记：1-高温老化箱体；2-密封门；3-把手杆；301-上杆体；302-下杆体；303-连接杆体；304-辅助杆；4-出风口；5-卡孔；6-安装腔；7-弹簧；8-卡块；9-按压块；10-安装板；11-放置架；1101-滑杆；1102-支杆；12-竖直隔板；13-检测板；1301-金手指插接端；14-进风管道；15-第一支架；16-第一辊轴；17-第二辊轴；18-第一张紧辊；19-第二张紧辊；20-过滤网；21-第二支架；22-锁紧螺栓；23-观察窗；24-弹性垫；25-摩擦垫；26-槽孔；27-转动把。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

如图1-8所示，本实用新型提供一种集成电路老化测试装置，包括高温老化箱体1、由上至下依次设在高温老化箱体1内的多个放置架11，每一放置架11上均设有一检测板13，所述高温老化箱体1设有密封门2，所述密封门2上可拆卸设有匚形的把手杆3，所述放置架11包括一对相对的滑杆1101以及间隔设在一对滑杆1101之间的多根支杆1102，所述支杆1102与所述滑杆1101垂直连接，一对滑杆1101分别与高温老化箱体1两相对的内壁滑动连接，所述把手杆3同向的两杆体中，其中一杆体上设有两端敞口的槽孔26，所述槽孔26与所述支杆1102的大小相适配以当支杆1102穿设在槽孔26上时，把手杆3拉动放置架11；

在上述技术方案中，所述高温老化箱体1是本领域常见的用于集成电路芯片老化试验用的高温箱主体，所述密封门2与高温老化箱体1铰接，密封门通过锁扣组件(图中未示出)扣合以将高温老化箱体密封；所述高温老化箱体1内从上至下依次设有多个放置架11，每一放置架11均包括一对滑杆1101以及多个间隔设在一对滑杆1101之间的支杆1102，以形成一个镂空的放置架11，一对滑杆1101分别与高温老化箱体1两相对的内壁滑动连接，滑动连接的形式优选限位滑槽和滑轮的形式，每一放置架11上固定设有一检测板13，所述检测板13放置在放置架11上后，不覆盖到最外的支杆1102；所述把手杆3与所述密封门2可拆卸连接的方式可以是卡接或螺接，使用时可拆卸下来作为拉动放置架11的辅助物；所述把手杆3为匚形，所述把手杆3同向的两杆体上下设置，且位于上部的杆体为上杆体301、位于下部的杆体为下杆体302、连接上杆体301和下杆体302的杆体为连接杆体303，所述上杆体301的底部设有槽孔26，槽孔26的两端敞口以使支杆1102能穿设在槽孔26上；实际使用时，可在连接杆体303上设置另一辅助杆304，以使下杆体302、辅助杆304以及连接杆体303形成T型杆，方便人手握住使力以便拉动放置架11；

在上述技术方案中，使用时，当检测板13上的集成电路芯片老化试验结束后，解除锁扣组件的扣合关系后，通过把手杆3打开密封门2，然后将把手杆3从密封门2上拆下来，将把手杆3的槽孔26搭设在最外的一支杆1102上，通过拉动把手杆3的另一端，即可将放置架11从高温老化箱体1内取出，可以避免操作人员人手直接伸入高温老化箱体1内，可能造成的烫伤，同时相比现有的电动滑出检测板13的结构，本实用新型滑出检测板13无需用电，避免了现有的电动滑轨失灵的问题，且结构相对简单，设备制作成本较低；实际使用时，由于设计了可拉动放置架11的结构，因此，人手可不用置于箱体内操作，那么箱体内可根据需要设计多层放置架11，且由于把手杆3设在高温老化箱体1上，随用随取，可及时使用。

在另一种技术方案中，所述槽孔26内壁敷设有摩擦垫25；具体地，所述摩擦垫25的材质为橡胶或乳胶或硅胶，使用时，摩擦垫25可增大支杆1102与槽孔26的摩擦力，可使门把手在拉动放置架11时较为稳固。

在另一种技术方案中，所述密封门2上设有观察窗23；采用该技术方案，得到的有益效果是，通过设计观察窗23，可观察高温老化箱体1内部的试验情况。

在另一种技术方案中，所述密封门2上由上至下依次设有多对弹性垫24，多对弹性垫24对应多个放置架11，每一对弹性垫24分设在观察窗23两侧，所述密封门2关闭时，所述弹性垫24对对应的放置架11按压；

在这种技术方案中，高温老化箱体1参照现有的老化箱结构，如申请号为201810234826.2的专利里的高温箱，或者如申请号为202121792238.4的专利里的用于高温老化实验箱的结构，或者，高温老化箱体1包括箱体，箱体内部通过竖直隔板12分隔成第一区和第二区，其中，放置架11设在第二区，第二区内设有加热板(图中未示出)或其他现有的加热元件为第二区内提供加热功能，所述检测板13包括老化基板以及设在老化基板一侧的金手指插接端1301，所述第一区内设有与检测板相适配的电源电气组件(图中未示出)，所述竖直隔板12上设有穿孔以便于金手指插接端1301穿过穿孔与第一区的电源电气组件连接，电源电气组件为本领域非常成熟的结构，如多个带有与金手指插接端1301相适配的金手指插槽端的电源基板(图中未示出)，多个电源基板与多个检测板13一一对应，实际使用时还可以根据需要设置其他辅助控制组件，由于是非常成熟的现有技术，故在此不过多赘述；实际使用时，检测板13上金手指插接端1301与电源电气组件上的金手指插槽端可通过导线连接，也可不通过导线连接，直接将金手指插接端1301与金手指插槽端插接连接，本技术方案适用于金手指插接端1301与金手指插槽端直接插接连接情形，在本技术方案中，通过在观察窗23两侧的密封门2上设有多对弹性垫24，使用时，将密封门2关闭后，弹性垫24与对应的放置架11抵接，可使检测板13上的金手指插接端1301与对应的电源电气组件稳固连接，避免接触不良。

在另一种技术方案中，所述密封门2上设有插槽，所述插槽内设有卡孔5，所述把手杆3靠近所述密封门2的杆体内部开设有安装腔6，所述安装腔6内设有安装板10，所述安装板10与所述安装腔6内壁之间设有多个弹簧7，所述安装板10远离所述弹簧7的侧壁上分别设有与所述卡孔5相适配的卡块8以及按压块9，所述卡块8以及所述按压块9通过所述弹簧7均活动伸出所述安装腔6外；其中，所述卡块8伸入所述卡孔5内时，所述按压块9位于所述密封门2外；

在上述技术方案中，所述密封门2上设有水平的插槽，所述插槽内壁开设有水平的卡孔5，所述把手杆3的上杆体301内部开设有水平的安装腔6，所述安装腔6内设有竖直的安装板10，所述安装板10与所述安装腔6内壁之间设有多个弹簧7，优选两个弹簧7，两个弹簧7分设在安装板10两端，所述弹簧7的一端与安装前内壁连接、另一端与安装板10板面连接，所述安装板10远离所述弹簧7的板面上分设有卡块8和按压块9，所述安装腔6远离所述弹簧7的腔壁上开设有第一孔和第二孔，所述卡块8远离所述安装板10的一端沿第一孔滑进滑出，所述按压块9远离所述安装板10的一端沿第二孔滑进滑出，所述卡块8与所述卡孔5相适配(卡孔5的内径比卡块8的直径大1～2mm左右)，实际使用时，根据情况设计卡块8和按压块9的间隔距离以及弹簧7的弹力，以按压按压块9时带动卡块8同步回缩，同时，当上杆体301的端部与插槽的底部接触时，卡块8与卡孔5同轴；使用时，按压按压块9，使卡块8回缩至安装腔6内，然后将上杆体301插设在插槽内，当所述上杆体301插设在所述插槽内且上杆体301端部与插槽底部接触时，卡块8与卡孔5同轴，此时松开按压块9，卡块8卡设进卡孔5内，此时把手杆3与密封门2相对固定，把手杆3充当门把使用；当需要拿出检测板13时，按压按压块9，使卡块8回缩至安装腔6内，然后将把手杆3从密封门2上取下，将把手杆3上的槽孔26套设在支杆1102上，即可拉动放置架11从箱体内滑出；实际使用时，由于上杆体301会插入插槽，因此，下杆体302适应性设计后，下杆体302的长度小于上杆体301；

采用该技术方案，得到的有益效果是，通过设计插槽、卡孔5、安装腔6、弹簧7、卡块8、按压块9，提供了一种门把手与密封门2的可拆卸连接方式，相比传统的卡接或螺接，较为省力且操作简单，安拆快速。

在另一种技术方案中，所述按压块9的按压面为圆弧面；采用该技术方案，得到的有益效果是，通过将按压块9的按压面设计为圆弧面，提高人手按压时的舒适度。

在另一种技术方案中，所述高温老化箱体1上开设有进风口和出风口4，所述进风口处设有进风风机，所述进风口连接有方形的进风管道14，所述进风管道14位于高温老化箱体1外，所述进风管道14的顶部和底部均开设有穿孔；还包括滤网组件，所述滤网组件包括第一辊轴16、第二辊轴17、第一张紧辊18、第二张紧辊19、过滤网20，所述第一辊轴16和所述第二辊轴17分设在位于进风管道14上方和下方的高温老化箱体1侧壁上，所述第一张紧辊18和所述第二张紧辊19分设在所述进风管道14的顶部和底部，所述滤网的一端卷设在所述第一辊轴16上，所述滤网的另一端依次滚过第一张紧辊18、穿过一对穿孔、滚过第二张紧辊19后绕设在第二辊轴17上；所述第二辊轴17的一端设有转动把；

在上述技术方案中，所述高温老化箱体1的侧壁设有进风口、顶壁设有出风口4，所述进风口处设有进风风机(图中未示出)，以在进风风机的驱动下，将外界风吸入箱体内；所述进风口处设有进风管道14，所述进风管道14位于所述高温老化箱体1外，所述进风管道14为方形(截面为方形)，所述进风管道14的顶部和底部均开设有穿孔，所述穿孔为长条状，一对穿孔之间的进风管道14为过滤空间；所述滤网组件包括包括第一辊轴16、第二辊轴17、第一张紧辊18、第二张紧辊19以及过滤网20，所述第一辊轴16和所述第二辊轴17均分别通过一第一支架15安设在所述高温老化箱体1侧壁，所述第一辊轴16和所述第二辊轴17均与对应的支架转动连接，所述进风管道14的顶部靠近对应的穿孔处设有第一张紧辊18、所述进风管道14的底部靠近对应的穿孔处设有第二张紧辊19，所述第一张紧辊18和所述第二张紧辊19均分别通过一第二支架21安设在高温老化箱体1侧壁，所述第一张紧辊18和所述第二张紧辊19均与对应的第二支架21转动连接，以便后述的过滤网20滚动移动；所述过滤网20为本领域常见的柔性过滤网20，所述过滤网20的一端卷设在第一辊轴16上，另一端滚动过第一张紧辊18、一对穿孔后滚动过第二张紧辊19，最后卷设在第二辊轴17上，所述第二辊轴17的一端转动伸出对应的第二支架21，且该伸出端上设有转动把27，转动转动把27，过滤网20在第一辊轴16、第一张紧辊18、一对穿孔、第二张紧辊19以及第二辊轴17之间流转，实际使用时，还可在转动把27上设置一支板，支板上螺接一锁紧螺栓22，当锁紧螺栓22与第一支架15抵接时，转动把相对第一支架15固定；实际使用时，还可以在出风口4处也同步设置过滤网；

在本技术方案中，使用时，当位于进风管道14内的过滤网20失去过滤效果时或过滤效果降低时，转动转动把27，将积满灰尘的过滤网20卷绕在第一辊轴16上，同时，新的过滤网20进入进风管道14内，可及时更换过滤网20，保证进风管道14处的过滤效果，避免灰尘进入高温老化箱体1内，对箱体内的组件产生影响。这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型集成电路老化测试装置的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (7)

1.集成电路老化测试装置，包括高温老化箱体、由上至下依次设在高温老化箱体内的多个放置架，每一放置架上均设有一检测板，所述高温老化箱体设有密封门，其特征在于，所述密封门上可拆卸设有匚形的把手杆，所述放置架包括一对相对的滑杆以及间隔设在一对滑杆之间的多根支杆，所述支杆与所述滑杆垂直连接，一对滑杆分别与所述高温老化箱体两相对的内壁滑动连接，所述把手杆同向的两杆体中，其中一杆体上设有两端敞口的槽孔，所述槽孔与所述支杆的大小相适配以当支杆穿设在槽孔上时，把手杆拉动放置架。

2.如权利要求1所述的集成电路老化测试装置，其特征在于，所述槽孔内壁敷设有摩擦垫。

3.如权利要求1所述的集成电路老化测试装置，其特征在于，所述密封门上设有观察窗。

4.如权利要求3所述的集成电路老化测试装置，其特征在于，所述密封门上由上至下依次设有多对弹性垫，多对弹性垫对应多个放置架，每一对弹性垫分设在所述观察窗两侧，以当所述密封门关闭时，所述弹性垫按压对应的放置架。

5.如权利要求1所述的集成电路老化测试装置，其特征在于，所述密封门上设有插槽，所述插槽内设有卡孔，所述把手杆靠近所述密封门的杆体内部开设有安装腔，所述安装腔内设有安装板，所述安装板与所述安装腔内壁之间设有多个弹簧，所述安装板远离所述弹簧的侧壁上分别设有与所述卡孔相适配的卡块以及按压块，所述卡块以及所述按压块通过所述弹簧均活动伸出所述安装腔外；其中，所述卡块伸入所述卡孔内时，所述按压块位于所述密封门外。

6.如权利要求5所述的集成电路老化测试装置，其特征在于，所述按压块的按压面为圆弧面。

7.如权利要求2所述的集成电路老化测试装置，其特征在于，所述高温老化箱体上开设有进风口和出风口，所述进风口处设有进风风机，所述进风口连接有方形的进风管道，所述进风管道位于高温老化箱体外，所述进风管道的顶部和底部均开设有穿孔；还包括滤网组件，所述滤网组件包括第一辊轴、第二辊轴、第一张紧辊、第二张紧辊、过滤网，所述第一辊轴和所述第二辊轴分设在位于进风管道上方和下方的高温老化箱体侧壁上，所述第一张紧辊和所述第二张紧辊分设在所述进风管道的顶部和底部，所述滤网的一端卷设在所述第一辊轴上，所述滤网的另一端依次滚过第一张紧辊、穿过一对穿孔、滚过第二张紧辊后绕设在第二辊轴上；所述第二辊轴的一端设有转动把。