CN220376838U - 一种单晶炉冷却管路系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种单晶炉冷却管路系统，包括：进水管路和回水管路，所述进水管路的出水端与所述回水管路的进水端分别可打开/关闭地连接单晶炉的进水口和出水口，所述进水管路上还设有可通断的第一排污口；反冲洗管路，所述反冲洗管路的进水口可通断地连接所述进水管路的进水端，且所述反冲洗管路的出水口可通断地连接所述回水管路的出水端。根据本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统，能够方便清洗反冲。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅制备技术领域，具体涉及一种单晶炉冷却管路系统。
背景技术
现有技术中，单晶炉的冷却管路反冲清洗多为拆卸水管，反接冲洗，再重新恢复接上冷却管路，但该方法在使用过程有几大问题：1、胶管反复拆卸后，出现破损，需要裁掉，多次剪裁后长度不够，需要更换整根胶管；2、水路支路较多，拆卸时操作疏忽，回路容易安装错误；3、拆卸水管时，旁边有干泵、泵站等装置，操作不慎容易遭遇喷水造成故障。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供一种单晶炉冷却管路系统，方便清洗反冲。
为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
根据本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统，包括：
进水管路和回水管路，所述进水管路的出水端与所述回水管路的进水端分别可打开/关闭地连接单晶炉的进水口和出水口，所述进水管路上还设有可通断的第一排污口；
反冲洗管路，所述反冲洗管路的进水口可通断地连接所述进水管路的进水端，且所述反冲洗管路的出水口可通断地连接所述回水管路的出水端。
进一步地，所述进水管路包括：
进水主管道，所述进水主管道的一端开口形成为进水端，另一端开口形成为可通断的所述第一排污口；
进水阀门，所述进水阀门设于靠近所述进水主管道的进水端侧的所述进水主管道上；
进水分支管道，所述进水分支管道的一端连接在靠近所述第一排污口侧的所述进水主管道上，所述进水分支管道的另一端用于连接单晶炉的进水口。
进一步地，所述回水管路包括：
回水主管道，所述回水主管道的一端开口形成为出水端，另一端封闭；
回水阀门，所述回水阀门设于靠近所述回水主管道的出水端侧的所述回水主管道上；
回水分支管道，所述回水分支管道的一端连接在靠近所述回水主管道另一端的所述回水主管道上，所述回水分支管道的另一端用于连接单晶炉的出水口。
进一步地，所述进水分支管道或回水分支管道包括一个或者多个。
进一步地，所述回水主管道的另一端设有可通断的第二排污口。
进一步地，所述反冲洗管路包括反冲阀门，
所述反冲阀门的进水口连接所述进水主管道的进水端，且设于所述进水阀门的进水口侧；
所述反冲阀门的出水口连接所述回水主管道的出水端，且设于所述回水阀门的进水口侧与所述回水分支管道之间。
进一步地，所述进水阀门进口侧的所述进水主管道侧壁上设有第一接口，所述第一接口用于连通所述反冲阀门的进水口。
进一步地，所述回水阀门的进水口侧与所述回水分支管道之间的所述回水主管道侧壁上设有第二接口，所述第二接口用于连通所述反冲阀门的出水口。
进一步地，所述单晶炉冷却管路系统还包括蓄水池，所述进水主管道的进水口与所述回水主管道的出水口分别连通所述蓄水池。
进一步地，所述单晶炉冷却管路系统还包括排污池，所述第一排污口和所述第二排污口分别连通所述排污池。
本实用新型的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：
根据本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统，包括：进水管路、回水管路以及反冲洗管路，其中，进水管路的出水端与回水管路的进水端分别可打开/关闭地连接单晶炉的进水口和出水口，进水管路上还设有可通断的第一排污口，反冲洗管路的进水口可通断地连接进水管路的进水端，且反冲洗管路的出水口可通断地连接回水管路的出水端，由此，控制进水管路的进水端停止向进水管路里面进水以及关闭回水管路的出水端，而控制进水管路的进水端通过反冲洗管路的进水口往反冲洗管路内进水，反冲洗管路内的水由反冲洗管路的出水口流进回水管路，并由回水管路的进水端流进单晶炉并由单晶炉流进进水管路，最终由第一排污口排出，可方便高效地实现了冷却管路内的清洗，操作便捷，省去拆卸管路工作，且有效地延长了管路的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统的结构示意图。
附图标记：100.进水管路；110.进水主管道；120.进水阀门；130.进水分支管道；140.第一排污口；150.第一接口；
200.出水管路；210.回水主管道；220.回水阀门；230.回水分支管道；240.第二排污口；250.第二接口；
300.反冲洗管路；310.反冲阀门；
400.单晶炉；
实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
除非另作定义，本实用新型中使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
下面首先结合附图具体描述根据本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统。
根据本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统，如图1所示，可以包括：进水管路100、回水管路200以及反冲洗管路300。
其中，进水管路100的出水端与回水管路200的进水端分别可打开/关闭地连接单晶炉400的进水口和出水口，进水管路100上还设有可通断的第一排污口140。
反冲洗管路300的进水口可通断地连接进水管路100的进水端，且反冲洗管路300的出水口可通断地连接回水管路200的出水端。
具体地，根据本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统，通过控制进水管路100的进水端停止向进水管路100里面进水以及关闭回水管路200的出水端，进而控制进水管路100的进水端通过反冲洗管路300的进水口往反冲洗管路300内进水，反冲洗管路300内的水由反冲洗管路300的出水口流进回水管路200，并由回水管路200的进水端流进单晶炉400并由单晶炉400流进进水管路100，最终由进水管路100内的第一排污口140排出，可方便高效地实现了冷却管路内的清洗，操作便捷，省去拆卸管路工作，且有效地延长了管路的使用寿命。
此外，本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统在正常工作时，冷却水由进水管路100进入单晶炉400内，对单晶炉400进行冷却，然后由单晶炉400流出进入回水管路200，最后由回水管路200导入至回收池内，从而实现对冷却水的回收多次利用。
在一些实施例中，如图1所示，进水管路100可以包括：进水主管道110、进水阀门120和进水分支管道130。
其中，进水主管道110的一端开口形成为进水端，另一端开口形成为可通断的第一排污口140。
进水阀门120设于靠近进水主管道110的进水端侧的进水主管道110上。
进水分支管道130的一端连接在第一排污口140侧的进水主管道110上，进水分支管道110的另一端用于连接单晶炉400的进水口。
也就是说，在进行正常冷却时，冷却水可以由进水管路100中的进水主管道110的进水端进入进水主管道110内，并由设在进水主管道110进水端的进水阀门120来控制进水主管道110内水流的通断，而进入进水主管道110的冷却水可由进水分支管道130流出进入单晶炉400内，进行冷却。
在一些实施例中，如图1所示，回水管路200可以包括：回水主管道210、回水阀门220和回水分支管道230。
其中，回水主管道210的一端开口形成为出水端，另一端封闭。
回水阀门220设于靠近回水主管道210的出水端侧的回水主管道210上。
回水分支管道230的一端连接在靠近回水主管道210另一端的回水主管道230上，回水分支管道230的另一端用于连接单晶炉400的出水口。
也就是说，进入单晶炉400内的冷却水通过回水分支管道230进入回水主管道210内，然后通过回水主管道210的出水端排出，其中，回水阀门220可控制回水主管道210的出水端的通断。
在一些实施例中，如图1所示，进水分支管道130或回水分支管道230包括一个或者多个。
具体地，单晶炉400内包括坩埚轴、炉盖、副室、旋阀、热屏以及副泵等设备，进水分支管道130或回水分支管道230的设置数量可根据具体需要冷却的区域对应选择。
在一些实施例中，如图1所示，回水主管道210的另一端设有可通断的第二排污口240。
由此，设置第二排污口240，可以对正常冷却工况下进行打开排污。
在一些实施例中，如图1所示，反冲洗管路300可以包括反冲阀门310。
其中，反冲阀门310的进水口连接进水主管道110的进水端，且设于进水阀门120的进水口侧。
反冲阀门310的出水口连接回水主管道210的出水端，且设于回水阀门220的进水口侧与回水分支管道230之间。
由此，本实用新型实施例的单晶炉冷却管路系统在冷却工作结束后，进行反冲洗时，只需关闭进水阀门120以及回水阀门220并打开第一排污口140，由进水主管道110的进水端往反冲阀门310内进水，清洗水流通过反冲阀门310进入回水主管道210，并通过回水分支管道230进入单晶炉400内，单晶炉400内的清洗水流再通过进水分支管道130进入进水主管道110，最终反清洗的污水通过第一排污口140流出，操作简便，清洗高效。
在一些实施例中，如图1所示，进水阀门120进口侧的进水主管道110侧壁上设有第一接口150，第一接口150用于连通反冲阀门310的进水口，回水阀门220的进水口侧与回水分支管道230之间的回水主管道210侧壁上设有第二接口250，第二接口250用于连通反冲阀门310的出水口。
也就是说，通过在进水主管道110和回水主管道210的侧壁上分别设置第一接口150和第二接口250，用以对接反冲阀门310的进水口和出水口，来代替现有技术中的拆卸冷却管路的方式，通过控制反冲阀门310开关实现管路反冲洗目的，有效解决了现有方式中拆卸过程漏水、对插错误、裁剪胶管等问题，且控制操作更加方便高效，便于更换维护。
在一些实施例中，单晶炉冷却管路系统还包括蓄水池（未示出），进水主管道110的进水口与回水主管道210的出水口分别连通蓄水池。
由此，通过蓄水池可实现冷却水的回收反复利用，降低生产成本。
在一些实施例中，单晶炉冷却管路系统还包括排污池（未示出），第一排污口140和第二排污口240分别连通排污池。
由此，通过排污池来收集清洗过程中排出的废水，并进行处理，有效避免环境污染。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种单晶炉冷却管路系统，其特征在于，包括：
进水管路和回水管路，所述进水管路的出水端与所述回水管路的进水端分别可打开/关闭地连接单晶炉的进水口和出水口，所述进水管路上还设有可通断的第一排污口；
反冲洗管路，所述反冲洗管路的进水口可通断地连接所述进水管路的进水端，且所述反冲洗管路的出水口可通断地连接所述回水管路的出水端。
2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述进水管路包括：
进水主管道，所述进水主管道的一端开口形成为进水端，另一端开口形成为可通断的所述第一排污口；
进水阀门，所述进水阀门设于靠近所述进水主管道的进水端侧的所述进水主管道上；
进水分支管道，所述进水分支管道的一端连接在靠近所述第一排污口侧的所述进水主管道上，所述进水分支管道的另一端用于连接单晶炉的进水口。
3.根据权利要求2所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述回水管路包括：
回水主管道，所述回水主管道的一端开口形成为出水端，另一端封闭；
回水阀门，所述回水阀门设于靠近所述回水主管道的出水端侧的所述回水主管道上；
回水分支管道，所述回水分支管道的一端连接在靠近所述回水主管道另一端的所述回水主管道上，所述回水分支管道的另一端用于连接单晶炉的出水口。
4.根据权利要求3所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述进水分支管道或回水分支管道包括一个或者多个。
5.根据权利要求3所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述回水主管道的另一端设有可通断的第二排污口。
6.根据权利要求3所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述反冲洗管路包括反冲阀门，
所述反冲阀门的进水口连接所述进水主管道的进水端，且设于所述进水阀门的进水口侧；
所述反冲阀门的出水口连接所述回水主管道的出水端，且设于所述回水阀门的进水口侧与所述回水分支管道之间。
7.根据权利要求6所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述进水阀门进口侧的所述进水主管道侧壁上设有第一接口，所述第一接口用于连通所述反冲阀门的进水口。
8.根据权利要求6所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述回水阀门的进水口侧与所述回水分支管道之间的所述回水主管道侧壁上设有第二接口，所述第二接口用于连通所述反冲阀门的出水口。
9.根据权利要求3所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述单晶炉冷却管路系统还包括蓄水池，所述进水主管道的进水口与所述回水主管道的出水口分别连通所述蓄水池。
10.根据权利要求5所述的单晶炉冷却管路系统，其特征在于，所述单晶炉冷却管路系统还包括排污池，所述第一排污口和所述第二排污口分别连通所述排污池。
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