CN219916173U - 一种掩模版支撑件及光罩盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光罩盒技术领域，尤其涉及一种掩模版支撑件及光罩盒，包括：第一定位柱、第二定位柱和第三定位柱，三者的底面处于同一平面内，且在与底面平行的同一平面内，第一定位柱和第二定位柱之间的连线与第一定位柱和第三定位柱之间的连线的垂直设置；第一定位柱、第二定位柱和第三定位柱轴向平行设置，第一定位柱向第二定位柱方向延伸有第一弧形支撑部，第一定位柱向第二定位柱方向延伸有第二弧形支撑部，第一弧形支撑部的端部连接有与第二定位柱连接的第一弧形抵挡部，第二弧形支撑部上连接有与第三定位柱连接的第二弧形抵挡部。本实用新型通过掩模版与侧边接触的方式，形成线接触，减少了与掩模版的接触面积，避免在掩模版上形成压痕。

Description

一种掩模版支撑件及光罩盒

技术领域

本实用新型涉及光罩盒技术领域，尤其涉及一种掩模版支撑件及光罩盒。

背景技术

掩模版又称为光罩，是微电子制造过程中的图形转移工具或者母版，是承载图形设计和工艺技术等信息的载体，由于掩模版光刻图案精细度较高，发生掩膜污染的风险也较高，现有技术中多采用光罩盒对掩模版进行存储和运输。

现有技术中，多在光罩盒中设置定位支撑装置来实现对掩模版的定位支撑，如授权公告号为CN209167810U的中国实用新型专利于2019年7月26日公开了一种光罩盒缓冲定位支撑装置，其通过在该定位装置上延伸出一弧形悬空的抵持部来实现对掩模版的支撑。

然而发明人在实施上述方案时发现，上述抵持部相对于掩模版的表面会与掩模版的上表面或者下表面接触，长时间的压持会在掩模版上产生压痕，导致掩模版的表面受损。

实用新型内容

鉴于以上技术问题中的至少一项，本实用新型提供了一种掩模版支撑件及光罩盒，采用结构改进以提高对掩模版的支撑有效性并降低对掩模版的损伤。

根据本实用新型的第一方面，提供一种掩模版支撑件，包括：第一定位柱、第二定位柱和第三定位柱，三者的底面处于同一平面内，且在与底面平行的同一平面内，所述第一定位柱和第二定位柱之间的连线与第一定位柱和第三定位柱之间的连线的垂直设置；

所述第一定位柱、第二定位柱和第三定位柱的轴向平行设置，且所述第一定位柱朝向所述第二定位柱方向延伸有第一弧形支撑部，所述第一定位柱朝向所述第二定位柱方向延伸有第二弧形支撑部，所述第一弧形支撑部的端部连接有与所述第二定位柱连接的第一弧形抵挡部，所述第二弧形支撑部上连接有与所述第三定位柱连接的第二弧形抵挡部；

其中，所述第一弧形抵挡部的最高点高于所述第一弧形支撑部的最高点，所述第二弧形抵挡部的最高点高于所述第二弧形支撑部的最高点，所述第一弧形支撑部和第二弧形支撑部被配置为与掩模版的侧边接触支撑。

进一步地，所述第一弧形支撑部与第一弧形抵挡部的连接处，以及所述第二弧形支撑部与所述第二弧形抵挡部的连接处均具有内凹倒角。

进一步地，所述第一弧形支撑部与第一弧形抵挡部的底部，以及所述第二弧形支撑部与所述第二弧形抵挡部的底部均形成弧形结构，所述弧形结构内具有拱形支撑部。

进一步地，所述第一弧形抵挡部和第二弧形抵挡部上均具有加强板。

进一步地，所述第一定位柱与第三定位柱之间的距离大于所述第一定位柱与所述第二定位柱之间的距离。

进一步地，该掩模版支撑件为防静电材料。

根据本实用新型的第二方面，还提供了一种光罩盒，包括如第一方面中任一项所述的掩模版支撑件，还包括：

可相对闭合的下壳体和上壳体，所述上壳体和下壳体闭合后形成容纳掩模版的空间；

所述掩模版支撑件在所述上壳体和下壳体内均布置有多个，且每个所述掩模版支撑件被配置为支撑掩模版一面的相邻两侧边。

进一步地，所述掩模版支撑件的第一定位柱、第二定位柱和第三定位柱的底部均具有安装槽，所述上壳体和下壳体上具有与所述安装槽对应的安装柱。

进一步地，所述上壳体和下壳体的同一侧转动连接，相对的另一侧上具有锁扣结构。

进一步地，在所述光罩盒内，固定在所述上壳体内的掩模版支撑件与相对设置的固定在所述下壳体上的掩模版支撑件交叉设置。

本实用新型的有益效果为：本实用新型通过掩模版与侧边接触的方式，形成线接触，减少了掩模版支撑件与掩模版的接触面积，避免在掩模版上形成压痕。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中掩模版支撑件的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中掩模版支撑件的俯视图；

图3为本实用新型实施例中掩模版支撑件的侧视图；

图4为本实用新型实施例中掩模版与掩模版支撑件接触的结构示意图；

图5为本实用新型实施例中图4中的A处局部放大图；

图6为本实用新型实施例中上下壳体的掩模版支撑件位置示意图；

图7为本实用新型实施例中图6中的B处局部放大图；

图8为本实用新型实施例中图6中的B处局部放大图；

图9为本实用新型实施例中光罩盒的结构示意图；

图10为本实用新型实施例中光罩盒的结构示意图；

图11为本实用新型实施例中光罩盒上安装柱与掩模版支撑件安装槽的结构示意图；

图12为本实用新型实施例中的两掩模版支撑件重合的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1至图8所示的掩模版支撑件，包括：第一定位柱1、第二定位柱2和第三定位柱3，具体请参考图1至图3所示，三者的底面处于同一平面内，且在与底面平行的同一平面内，第一定位柱1和第二定位柱2之间的连线与第一定位柱1和第三定位柱3之间的连线垂直设置；即第一定位柱1、第二定位柱2和第三定位柱3之间的连线构成直角三角形，请参照图2，第一定位柱1和第二定位柱2之间的连线以及第一定位柱1和第三定位柱3之间的连线为直角三角形的两个直角边；

第一定位柱1、第二定位柱2和第三定位柱3的轴向平行设置，且第一定位柱1朝向第二定位柱2方向延伸有第一弧形支撑部12，第一定位柱1朝向第二定位柱2方向延伸有第二弧形支撑部13，第一弧形支撑部12的端部连接有与第二定位柱2连接的第一弧形抵挡部21，第二弧形支撑部13上连接有与第三定位柱3连接的第二弧形抵挡部31；如图1和图3中所示，第一弧形支撑部12的一端与第一定位柱1的顶部连接，另一端与第一弧形抵挡部21连接；第二弧形支撑部13的一端与第一定位柱1的顶部连接，另一端与第二弧形抵挡部31连接，如此，构成掩模版支撑件的整体结构，与现有技术相比，该结构形式简单，仅需两个弧形结构即实现了整体成型，减少了用料，降低了成本的同时也易于加工和制造；此外，通过本实用新型的上述结构设计，使得支撑件无死角，在清洗光罩盒的过程中，可以有效地避免颗粒物停留，进而提高光罩盒的洁净程度。

请参照图3和图4，在本实用新型实施例中，第一弧形抵挡部21的最高点高于第一弧形支撑部12的最高点，第二弧形抵挡部31的最高点高于第二弧形支撑部13的最高点，第一弧形支撑部12和第二弧形支撑部13被配置为与掩模版的侧边接触支撑。请参照图4，在具体进行支撑时，掩模版的侧边搭接在第一弧形支撑部12和第二弧形支撑部13上，由于第一弧形支撑部12和第一弧形抵挡部21呈两个弧形结构，使得掩模版在与第一弧形支撑部12接触时，被夹持在第一弧形支撑部12和第二弧形支撑部13的夹角位置处，在本实用新型实施例中，仅使得掩模版底面的侧边与第一弧形支撑部12接触，如此，将现有技术中在掩模版底部通过面接触的方式改变为仅通过侧壁或者底壁的侧边与第一弧形支撑部12或者第二弧形支撑部13接触，将面接触改变为了线接触；本实用新型通过掩模版与侧边接触的方式，形成线接触，减少了第一弧形支撑部12和第二弧形支撑部13与掩模版的接触面积，避免在掩模版上形成压痕。并且，由于第一弧形支撑部12设置为弧形，如图5中所示，该弧形在与掩模版的侧边接触时，此处的弧形面与侧边的接触时，除了朝上的支撑分力之外，还具有朝内的弹性分力，进而形成了倾斜朝上的合力，这样，在多个掩模版支撑件的共同作用下，可以形成多个线接触倾斜朝向掩模版内部的合力；由于第一定位柱1、第二定位柱2和第三定位柱3的布局呈直接三角形的两个直角边，如图7中所示，可以在掩模版相邻的两个侧边同时施力，进而与现有技术中单点施力的方式相比，对掩模版的支撑和固定更加可靠。在本实用新型实施例中，第一弧形抵挡部21和第二弧形抵挡部31的作用在于防止在运输过程中受到横向力导致掩模版的横移，即在正常固定时第一弧形抵挡部21和第二弧形抵挡部31不与掩模版接触，仅在掩模版受到横向力发生偏移时，第一弧形抵挡部21和第二弧形抵挡部31可以起到限位的作用，防止掩模版从多个支撑件构成的支撑结构中脱离。

在本实用新型的一些实施例中，如图4、图5所示，第一弧形支撑部12与第一弧形抵挡部21的连接处，以及第二弧形支撑部13与第二弧形抵挡部31的连接处均具有内凹倒角22。通过上述内凹倒角22设置，掩模版与掩模版支撑件的内凹倒角22接触的方式，形成线接触，避免同时接触两个面，即通过内凹倒角22的设置，使得第一弧形支撑部12和第二弧形支撑部13的连接处朝内让出空间。

在本实用新型的一些实施例中，如图3至图5所示，第一弧形支撑部12与第一弧形抵挡部21的底部，以及第二弧形支撑部13与第二弧形抵挡部31的底部均形成弧形结构，弧形结构内具有拱形支撑部23。通过上述弧形结构和拱形支撑部23的设置，来提高弧形结构的缓冲效果。通过拱形支撑部23的设置，一方面使得第一弧形支撑部12和第二弧形抵挡部31之间的连接结构强度得到了加强，另一方面，拱形支撑部23具有更好的支撑效果，进而使得在受到外力时第一弧形支撑部12和第二弧形抵挡部31或者第二弧形支撑部13和第二弧形抵挡部31具有更好的缓冲效果。此外，这里还需要指出的是，在本实用新型实施例中，拱形支撑部23的宽度小于第一弧形抵挡部21、第一弧形支撑部12的宽度，如此设置，可以避免拱形支撑部23上集灰，也便于清洗。

为了进一步提高第一弧形抵挡部21和第二弧形抵挡部31的结构强度，在本实用新型的一些实施例中，请参考图7所示，第一弧形抵挡部21和第二弧形抵挡部31上均具有加强板32。在本实用新型实施例中，加强板32的结构形式为沿着第一弧形抵挡部21的延伸方向一端与抵挡部抵接，另一端与第二定位柱2抵接，并且在高度方向延伸；当然这里还需要指出的是，加强板32可以是如图7中设置两个，也可以在中间设置一个或者设置更多个，通过上述加强板32的设置，可提高抵挡部的强度，增强对掩模版的支撑力。通过上述结构设置，使得该支撑件具有更好的弹性模量，使承载的掩模版更大程度避免外力的冲击，得到更好的保护。

在本实用新型的一些实施例中，如图1、图2和图6所示，第一定位柱1与第三定位柱3之间的距离大于第一定位柱1与第二定位柱2之间的距离。通过不等边的设置，实现上下相对的两个支撑件的交错支撑，提高支撑稳定性，同时防止掩模版在移动中出现位移。如图8中所示，在本实用新型实施例中，需要在掩模版的上下两面均布置支撑件，为了避免两个相对的支撑件抵接，通过该不等边设置，可以实现上下两个支撑件在进行支撑时相对交叉。

进一步地，该掩模版支撑件为防静电材料。通过防静电材料的设置，可以避免掩模版支撑件与掩模版接触时产生颗粒物，同时防静电材料本身无小分子析出，同时根据防静电材料的弯曲模量与弹性模量分析，合理设计掩膜支架的尺寸，提高对掩模版的保护效果。

如图9至图12所示，本实用新型实施例中还提供了一种包括前文所述的掩模版支撑件的光罩盒，包括：

可相对闭合的下壳体4和上壳体5，上壳体5和下壳体4闭合后形成容纳掩模版的空间。具体请参照图9、图10，这里需要指出的是，在本发明实施例中，相对闭合具有多种形式，可以是图中的铰接形式，也可以是其他闭合形式。

请继续参考图9、图10，掩模版支撑件在上壳体5和下壳体4内均布置有多个，且每个掩模版支撑件被配置为支撑掩模版一面的相邻两侧边。如图10所示，通过在上壳体5和下壳体4内分别设置4个支撑件，可将掩模版四个边进行固定，有效避免外力的冲击，防止掩模版发生位移，对掩模版造成伤害。

此外，这里需要指出的是，在本实用新型实施例中，还对上壳体5和下壳体4内部的结构做了改进，取消了原有光罩盒内部的定位格挡，如此，使得上壳体5和下壳体4内部更加光洁，进而减少了上壳体5和下壳体4内部的颗粒残留，进而避免了在掩模版的放入和取出时碰到定位格挡造成的损害。

在本实用新型的一些实施例中，如图11所示，掩模版支撑件的第一定位柱1、第二定位柱2和第三定位柱3的底部均具有安装槽1a，上壳体5和下壳体4上具有与安装槽1a对应的安装柱41。这里需要指出的是，在本发明实施例中，固定形式具有多种形式，可以是上文的安装槽1a对应安装柱41的形式，也可以是其他固定形式。例如在上壳体5和下壳体4上设置带有柱的凸起，然后将定位柱上的安装槽1a插在凸起的安装柱41上，通过上述插接的结构，易于安装和拆卸。

在本实用新型的一些实施例中，如图9所示，上壳体5和下壳体4的同一侧转动连接，相对的另一侧上具有锁扣结构42。这里需要指出的是，在本发明实施例中，上壳体5和下壳体4相对闭合具有多种结构形式，可以是图中的锁扣机构，也可以是其他结构形式，盒体的锁扣结构42为现有技术，这里不做详细描述。

在本实用新型的一些实施例中，请参考图8、图12所示，在光罩盒内，固定在上壳体5内的掩模版支撑件与相对设置的固定在下壳体4上的掩模版支撑件交叉设置。第一弧形支撑部12与第二弧形支撑相邻且平行设置，分别支撑掩模版的上表面和下表面的同侧，做到上下交叉固定掩模版，保持掩模版左右不晃动，避免外力对掩模版造成伤害。

本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种掩模版支撑件，其特征在于，包括第一定位柱、第二定位柱和第三定位柱，三者的底面处于同一平面内，且在与底面平行的同一平面内，所述第一定位柱和第二定位柱之间的连线与第一定位柱和第三定位柱之间的连线的垂直设置；

所述第一定位柱、第二定位柱和第三定位柱的轴向平行设置，且所述第一定位柱朝向所述第二定位柱方向延伸有第一弧形支撑部，所述第一定位柱朝向所述第二定位柱方向延伸有第二弧形支撑部，所述第一弧形支撑部的端部连接有与所述第二定位柱连接的第一弧形抵挡部，所述第二弧形支撑部上连接有与所述第三定位柱连接的第二弧形抵挡部；

其中，所述第一弧形抵挡部的最高点高于所述第一弧形支撑部的最高点，所述第二弧形抵挡部的最高点高于所述第二弧形支撑部的最高点，所述第一弧形支撑部和第二弧形支撑部被配置为与掩模版的侧边接触支撑。

2.根据权利要求1所述的掩模版支撑件，其特征在于，所述第一弧形支撑部与第一弧形抵挡部的连接处，以及所述第二弧形支撑部与所述第二弧形抵挡部的连接处均具有内凹倒角。

3.根据权利要求1所述的掩模版支撑件，其特征在于，所述第一弧形支撑部与第一弧形抵挡部的底部，以及所述第二弧形支撑部与所述第二弧形抵挡部的底部均形成弧形结构，所述弧形结构内具有拱形支撑部。

4.根据权利要求1所述的掩模版支撑件，其特征在于，所述第一弧形抵挡部和第二弧形抵挡部上均具有加强板。

5.根据权利要求1所述的掩模版支撑件，其特征在于，所述第一定位柱与第三定位柱之间的距离大于所述第一定位柱与所述第二定位柱之间的距离。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的掩模版支撑件，其特征在于，该掩模版支撑件为防静电材料。

7.一种光罩盒，其特征在于，包括：

可相对闭合的下壳体和上壳体，所述上壳体和下壳体闭合后形成容纳掩模版的空间；

如权利要求1至6中任一项所述的掩模版支撑件，所述掩模版支撑件在所述上壳体和下壳体内均布置有多个，且每个所述掩模版支撑件被配置为支撑掩模版一面的相邻两侧边。

8.根据权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，所述掩模版支撑件的第一定位柱、第二定位柱和第三定位柱的底部均具有安装槽，所述上壳体和下壳体上具有与所述安装槽对应的安装柱。

9.根据权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，所述上壳体和下壳体的同一侧转动连接，相对的另一侧上具有锁扣结构。

10.根据权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，在所述光罩盒内，固定在所述上壳体内的掩模版支撑件与相对设置的固定在所述下壳体上的掩模版支撑件交叉设置。