CN219239804U - 一种电镀槽防液体飞溅门 - Google Patents
一种电镀槽防液体飞溅门 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219239804U CN219239804U CN202320330947.3U CN202320330947U CN219239804U CN 219239804 U CN219239804 U CN 219239804U CN 202320330947 U CN202320330947 U CN 202320330947U CN 219239804 U CN219239804 U CN 219239804U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- splash
- splash guard
- tank body
- side walls
- door
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
本实用新型涉及半导体电镀领域，具体公开了一种电镀槽防液体飞溅门，包括防溅板，防溅板设有若干组，所述防溅板的一侧设有槽体，槽体设有若干个，每个槽体的左右两端的侧壁上均开设有通孔，每个通孔的内侧均安装有一组防溅板；每组防溅板设有两个，两个相邻的防溅板相邻的上端侧壁上均开设有通道；每个防溅板的一端上下端均安装有滚轮，滚轮和槽体的侧壁滚动连接，将半导体产品穿过相邻两个防溅板之间的通道，即可对半导体产品进行电镀，防溅板起到防止槽体内的化剂溢流时飞溅至其他相邻的化剂槽，导致化剂污染的作用。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体电镀领域，具体为一种电镀槽防液体飞溅门。
背景技术
电镀就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止金属氧化(如锈蚀)，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用。
现在半导体行业高速连续电镀所用的槽体连接方式为槽与槽之间使用PVC材质的椭圆形孔洞串联起来。每个槽体使用不同的化剂，不同的化剂工艺不同。化剂泵将每个化剂储槽内药剂抽送至化剂槽，待产品经过时与化剂产生化学反应后，化剂再溢流至化剂储槽，反复循环。
但，因产品不停的作业，化剂不停的溢流、飞溅，对化剂的浓度产生一定的影响，需不定期更换污染的化剂。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种电镀槽防液体飞溅门，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电镀槽防液体飞溅门，包括防溅板，防溅板设有若干组，所述防溅板的一侧设有槽体，槽体设有若干个，每个槽体的左右两端的侧壁上均开设有通孔，每个通孔的内侧均安装有一组防溅板；
每组防溅板设有两个，两个相邻的防溅板相邻的上端侧壁上均开设有通道；
每个防溅板的一端上下端均安装有滚轮，滚轮和槽体的侧壁滚动连接。
优选的，每个所述槽体的左右两端内侧的侧壁上均开设有两个凹槽，两个凹槽分别位于通孔的左右两侧，且每个凹槽的底端内壁上均开设有导向槽二。
优选的，每个所述槽体左右两侧的顶端侧壁上均开设有导向槽一，导向槽一位于导向槽二的正上方，且和导向槽二大小、形状完全相同。
优选的，所述滚轮上转轴的一端转动连接有安装块，安装块和防溅板的外壁固定连接。
优选的，所述滚轮的直径小于凹槽的宽度，位于防溅板下端的滚轮插入凹槽内，并和导向槽二的侧壁滚动连接，同时位于防溅板上端的滚轮和导向槽一的侧壁滚动连接。
优选的，所述槽体的前后端的侧壁上均固定连接有安装板，安装板呈L状，安装板的上端侧壁上固定安装有电动推杆，电动推杆位于槽体的上端。
优选的，所述电动推杆远离安装板的一端侧壁上固定连接有推板，推板的一端固定安装在防溅板远离通道的一端侧壁上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
将半导体产品穿过相邻两个防溅板之间的通道，即可对半导体产品进行电镀，防溅板起到防止槽体内的化剂溢流时飞溅至其他相邻的化剂槽，导致化剂污染的作用。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型槽体和防溅板连接示意图；
图3为本实用新型图1中A区域结构放大图；
图4为本实用新型防溅板结构示意图。
图中：1、槽体；2、通孔；3、导向槽一；4、凹槽；5、导向槽二；6、防溅板；7、通道；8、安装块；9、滚轮；10、安装板；11、电动推杆；12、推板。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本发明实施例，并不用于限定本发明实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：
请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：一种电镀槽防液体飞溅门，包括防溅板6，防溅板6设有若干组，防溅板6的一侧设有槽体1，槽体1设有若干个，每个槽体1的左右两端的侧壁上均开设有通孔2，每个通孔2的内侧均安装有一组防溅板6；每组防溅板6设有两个，两个相邻的防溅板6相邻的上端侧壁上均开设有通道7；每个防溅板6的一端上下端均安装有滚轮9，滚轮9和槽体1的侧壁滚动连接；
通过需要电镀半导体产品的尺寸大小来调整防溅板6的大小，并进行滑动安装，防止半导体产品经过时卡料，整体pvc材质制成，耐腐蚀；
通过在槽体1与槽体1之间的通道7的一侧安装防溅板6，来减少各个槽体内化剂飞溅污染。
实施例二：
在实施例一的基础上，为了让防溅板6移动的较为顺畅，每个槽体1的左右两端内侧的侧壁上均开设有两个凹槽4，两个凹槽4分别位于通孔2的左右两侧，且每个凹槽4的底端内壁上均开设有导向槽二5，每个槽体1左右两侧的顶端侧壁上均开设有导向槽一3，导向槽一3位于导向槽二5的正上方，且和导向槽二5大小、形状完全相同，滚轮9上转轴的一端转动连接有安装块8，安装块8和防溅板6的外壁固定连接，滚轮9的直径小于凹槽4的宽度，位于防溅板6下端的滚轮9插入凹槽4内，并和导向槽二5的侧壁滚动连接，同时位于防溅板6上端的滚轮9和导向槽一3的侧壁滚动连接；
当需要移动防溅板6时，对防溅板6施加推力，让滚轮9在导向槽一3和导向槽二5内滚动，从而让防溅板6移动的较为顺畅。
实施例三：
在实施例二的基础上，为了便于让防溅板6自动开合，槽体1的前后端的侧壁上均固定连接有安装板10，安装板10呈L状，安装板10的上端侧壁上固定安装有电动推杆11，电动推杆11位于槽体1的上端，电动推杆11远离安装板10的一端侧壁上固定连接有推板12，推板12的一端固定安装在防溅板6远离通道7的一端侧壁上；
通过电动推杆11将防溅板6和槽体1连接在一起，当启动电动推杆11时，电动推杆11的输出端对防溅板6施加推力或者拉力，让防溅板6自动开合。
实际使用时，在对半导体产品进行电镀时，首先启动电动推杆11将相邻的两个防溅板6贴合，将半导体产品穿过相邻两个防溅板6之间的通道7，即可对半导体产品进行电镀，防溅板6起到防止槽体1内的化剂溢流时飞溅至其他相邻的化剂槽，导致化剂污染的作用。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种电镀槽防液体飞溅门，包括防溅板(6)，防溅板(6)设有若干组，其特征在于：所述防溅板(6)的一侧设有槽体(1)，槽体(1)设有若干个，每个槽体(1)的左右两端的侧壁上均开设有通孔(2)，每个通孔(2)的内侧均安装有一组防溅板(6)；
每组防溅板(6)设有两个，两个相邻的防溅板(6)相邻的上端侧壁上均开设有通道(7)；
每个防溅板(6)的一端上下端均安装有滚轮(9)，滚轮(9)和槽体(1)的侧壁滚动连接。
2.根据权利要求1所述的一种电镀槽防液体飞溅门，其特征在于：每个所述槽体(1)的左右两端内侧的侧壁上均开设有两个凹槽(4)，两个凹槽(4)分别位于通孔(2)的左右两侧，且每个凹槽(4)的底端内壁上均开设有导向槽二(5)。
3.根据权利要求2所述的一种电镀槽防液体飞溅门，其特征在于：每个所述槽体(1)左右两侧的顶端侧壁上均开设有导向槽一(3)，导向槽一(3)位于导向槽二(5)的正上方，且和导向槽二(5)大小、形状完全相同。
4.根据权利要求3所述的一种电镀槽防液体飞溅门，其特征在于：所述滚轮(9)上转轴的一端转动连接有安装块(8)，安装块(8)和防溅板(6)的外壁固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种电镀槽防液体飞溅门，其特征在于：所述滚轮(9)的直径小于凹槽(4)的宽度，位于防溅板(6)下端的滚轮(9)插入凹槽(4)内，并和导向槽二(5)的侧壁滚动连接，同时位于防溅板(6)上端的滚轮(9)和导向槽一(3)的侧壁滚动连接。
6.根据权利要求5所述的一种电镀槽防液体飞溅门，其特征在于：所述槽体(1)的前后端的侧壁上均固定连接有安装板(10)，安装板(10)呈L状，安装板(10)的上端侧壁上固定安装有电动推杆(11)，电动推杆(11)位于槽体(1)的上端。
7.根据权利要求6所述的一种电镀槽防液体飞溅门，其特征在于：所述电动推杆(11)远离安装板(10)的一端侧壁上固定连接有推板(12)，推板(12)的一端固定安装在防溅板(6)远离通道(7)的一端侧壁上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320330947.3U CN219239804U (zh) | 2023-02-27 | 2023-02-27 | 一种电镀槽防液体飞溅门 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320330947.3U CN219239804U (zh) | 2023-02-27 | 2023-02-27 | 一种电镀槽防液体飞溅门 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219239804U true CN219239804U (zh) | 2023-06-23 |
Family
ID=86849962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320330947.3U Active CN219239804U (zh) | 2023-02-27 | 2023-02-27 | 一种电镀槽防液体飞溅门 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219239804U (zh) |
-
2023
- 2023-02-27 CN CN202320330947.3U patent/CN219239804U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102443831B (zh) | 太阳能电池片焊带的电镀工艺及流水线 | |
| WO2022116509A1 (zh) | 一种防止导电辊镀铜的装置及方法 | |
| CN202440559U (zh) | 带材电镀装置 | |
| CN104047044B (zh) | 向电镀滚筒中加装电镀液的循环机构 | |
| CN219239804U (zh) | 一种电镀槽防液体飞溅门 | |
| WO2018109983A1 (ja) | ファスナーチェーンの電気めっき方法及び装置 | |
| CN113089068B (zh) | 连续电镀装置 | |
| CN117187928A (zh) | 吊镀设备 | |
| CN215163228U (zh) | 一种垂直电镀设备导电辊非对称布置结构 | |
| CN211445959U (zh) | 一种镀锡设备 | |
| WO1998014642A1 (fr) | Electrolyseur avec extracteurs de liquides sans contact avec la bande | |
| CN209702895U (zh) | 一种电镀槽 | |
| CN111893548B (zh) | 一种高效电镀生产线 | |
| CN205616971U (zh) | 一种卷材的电镀装置 | |
| CN212077185U (zh) | 一种可拼接式电镀槽 | |
| CN210481530U (zh) | 节能环保型酸洗装置及带材处理系统 | |
| CN223705788U (zh) | 引线框架预镀铜改进结构 | |
| CN111519221A (zh) | 单面电镀锌的加工方法 | |
| CN217077835U (zh) | 一种电镀装置 | |
| KR101620413B1 (ko) | 도금용액 회수장치 및 이를 구비하는 전기도금장치 | |
| KR200351336Y1 (ko) | 도금기판 안내용 모듈형 가이드레일 | |
| CN223316809U (zh) | 槽体堰口挡液机构 | |
| CN222043390U (zh) | 一种垂直连续电镀线的挡水口结构 | |
| JP4797635B2 (ja) | 錫めっき鋼帯の製造方法と錫めっきセル | |
| CN214937931U (zh) | 一种工艺品均匀电镀装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 224700 Electronic Information Industrial Park, Beijing Road, economic development zone, Jianhu County, Yancheng City, Jiangsu Province Patentee after: Jiangsu Kaijia Electronic Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: Beijing Road Electronic Information Industry Park, Jianhu County Economic Development Zone, Yancheng City, Jiangsu Province Patentee before: Jiangsu qibajiu Electronic Technology Co.,Ltd. Country or region before: China |
|
| CP03 | Change of name, title or address |