CN218567233U - 光罩表面检查装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种光罩表面检查装置，其于一机柜体上设有一移动载台、一第一线性影像扫描器、一第二线性影像扫描器、一细缝光源模块、一区域图像扫描器及一运算控制单元，供对一收纳于一透视型光罩容器内部的一光罩进行检测，以能在不打开光罩容器下，直接检测收纳于光罩容器内部的光罩，可避免光罩在检测过程中产生新的缺陷，且能有效缩小体积及占积，进而降低购置与维护成本。

Description

光罩表面检查装置

技术领域

本实用新型涉及一种检测的技术领域，具体而言为一种用于检查光罩容器内光罩的光罩表面检查装置。

背景技术

在现今半导体的制程中，半导体元件的电路图案是通过光刻〔Photolithography〕制程将光罩〔Photomask〕的电路图案〔Pattern〕转印至晶圆〔Wafer〕的表面。而光罩为了保护电路图案，通常光罩会于形成电路图案的表面设有一防尘护膜〔Pellicle〕用来避免电路图案遭受刮伤、污染或破坏。然而在光刻制程中会因材料、气体、或因零件微粒与油污的剥落，又或因环境中存在的微粒或气体游离分子等污染物经积聚或化学变化后，在光罩表面附着微粒或形成雾霾等缺陷，由于半导体元件的微小化，前述光罩的缺陷会影响晶圆表面电路图案形成的质量，因此在制程中防范光罩表面产生缺陷及早期侦测到光罩上的缺陷，对于管理半导体制程都极为重要；

为此，光罩在运送过程及保存期间，都必须放置于一高洁净度、气密性佳、低气体逸出与抗静电防护性高的光罩容器〔Reticle SMIF Pod,RSP〕内，以防止光罩受到污染产生缺陷，然而现行光罩的检查装置在进行防尘护膜、背侧表面及电路图案的检测时，仍需打开该光罩容器，以提取置于光罩容器内的光罩，此时微粒或部分污染物仍可能会附着于光罩表面，甚至重复的启闭动作也容易因磨擦或不当碰撞产生微粒或静电，大幅增加了光罩受污染的几率，也需要提高无尘室的建置等级，更甚者缩短了光罩回厂整修的间隔时间，并增加光罩清洗的次数，从而缩短光罩的电路图案寿命，大幅的降低其生产效率，故需增加同一布局的光罩备用量，如此将增加整体制程成本，而随着微影制程技术越来越精细、且高成本，因此对于光罩的保护需求也越来越高。

再加上，现有的光罩检查装置在检查光罩的防尘护膜、背侧表面及电路图案时，受限于光源位置、照射角度、透光性及分辨率的影响，通常采用独立的检查装置、或可进行光罩换面的检查装置，不幸的是购买及维护单独的光罩检查装置极为昂贵，且光罩检查装置内部更需组设有用于光罩容器的进出料机构、储存机构及开盒机构，无形间增加现有光罩检查装置的体积及成本。

有鉴于上述缺失弊端，本实用新型人认为具有改正的必要，遂以从事相关技术以及产品设计制造的多年经验，秉持优良设计理念，针对以上不良处加以研究改良，经不断努力的试作，终于成功开发一种光罩表面检查装置，用于检查光罩容器内光罩，以提供光罩检查的新机制。

实用新型内容

因此，本实用新型的主要目的在于提供一种光罩表面检查装置，以能在不打开光罩容器下，直接检测收纳于光罩容器内部的光罩，使其可在不开启该光罩容器下分别进行光罩的背侧表面、防尘护膜及电路图案的检测，其能避免光罩在检测过程中产生新的缺陷。

又，本实用新型的次一主要目的在于提供一种光罩表面检查装置，其能一次进料时完成光罩的防尘护膜、背侧表面及电路图案的检测，可缩短光罩检测的时间，进一步可以大幅的提升其检测效率。

再者，本实用新型的另一主要目的在于提供一种光罩表面检查装置，其能使表面检查装置不需设置用于光罩容器的进出料机构、储存机构及开盒机构，可以有效缩小其体积及占积，进而降低设备的购置与维护成本。

为此，本实用新型主要通过下列的技术手段，来具体实现上述的各项目的与效能，本实用新型提供一种光罩表面检查装置，应用于不换面状况下检测一光罩的上、下两个侧表面，该光罩表面检查装置至少包含有：

一机柜体，其具有一支撑构体，且该支撑构体中央设有一具长导孔的平台；

一移动载台，其与后述的运算控制单元电性耦合，该移动载台滑设于该平台的长导孔内，且可沿着长导孔的长轴线被选择性位移，该移动载台具有一供选择性摆置一被检测物的放置面，且该放置面具有复数相对围绕该检测物空间的定位件，再者该放置面具有一对应该被检测物的检视透孔；

一第一线性影像扫描器，其与后述的运算控制单元电性耦合，该第一线性影像扫描器可被利用一第一支臂设于该支撑构体中对应该移动载台的位移路径，该第一支臂具有接设该第一线性影像扫描器的第一导轨组，令该第一线性影像扫描器可相对平台移动载台方向升降位移；

一第二线性影像扫描器，其与后述的运算控制单元电性耦合，该第二线性影像扫描器可被利用一第二支臂设于该支撑构体中对应该移动载台的位移路径、且位于该平台相对该第一线性影像扫描器的另一侧，又该第二支臂具有接设该第二线性影像扫描器的第二导轨组，令该第二线性影像扫描器可相对平台移动载台方向升降位移；

一细缝光源模块，其与后述的运算控制单元电性耦合，该细缝光源模块分别具有一第一光箱及一第二光箱，其中该第一光箱及该第二光箱分别利用一第一立座及一第二立座设于该平台的长导孔两侧、且对应该第一线性影像扫描器扫描该被检测物的范围，又该第一、二光箱对应该长导孔的侧面分别形成有一道与移动载台移动方向平行的细缝，令该第一、二光箱可同时投射一照射于该被检测物表面的直线光束；

一运算控制单元，其具有至少一记忆单元，供储存用以执行处理的程序及检测数据，又该运算控制单元电性耦接有一显示单元，供显示该运算控制单元执行处理程序的指令画面及检测结果。

以此，通过前述技术手段的具体实现，使本实用新型光罩表面检查装置可提高其工作效率，而能增加其附加价值，并能提高其经济效益。

在本实用新型一实施例中，该光罩表面检查装置的被检测物是一收纳于一透视型的光罩容器内部的一光罩，该光罩容器具有对应该光罩上、下两个侧表面的一第一视窗及一第二视窗，再者该光罩容器的任两个相对应的壁面上分别设有一对应光罩两个相对侧面的侧透光窗，而该移动载台的放置面于对应该复数定位件内缘处分别设有一耦合前述运算控制单元、且略为凸出放置面表面的感应器，用于供检知该光罩容器置放时是否完全平贴于该放置面表面。

在本实用新型一实施例中，该移动载台的放置面于邻近该检视透孔的周缘分设有呈三角排列的限位凸柱，而该光罩容器底面形成有对应的限位凹孔，使得该光罩容器能够被准确、且稳固定位于该放置面。

在本实用新型一实施例中，该移动载台的该放置面于对应该复数定位件内缘处分别设有一耦合前述运算控制单元、且略为凸出放置面表面的感应器，用于供检知该光罩容器置放时是否完全平贴于该放置面表面。

在本实用新型一实施例中，该移动载台具有一载板，而该放置面设于该载板，且该放置面低于该载板的表面。

在本实用新型一实施例中，该细缝光源模块的该第一立座及该第二立座具有接设该第一光箱及该第二光箱的第一立轨组及该第二立轨组，使该第一光箱及该第二光箱能够被选择性相对平台表面升降。

在本实用新型一实施例中，该细缝光源模块的第一光箱及该第二光箱于该第一立轨组及该第二立轨组具有接设该第一光箱及该第二光箱的第一旋轴组及该第二旋轴组，使该第一光箱及该第二光箱相对平台旋转调整角度，令该第一光箱及该第二光箱的直线光束与该光罩的受检测表面的夹角为0～6度。

在本实用新型一实施例中，该光罩表面检查装置进一步包含有一区域图像扫描器，该区域图像扫描器与该运算控制单元电性耦合，又该区域图像扫描器被利用一支撑悬臂设于该机柜体的支撑构体上，且该区域图像扫描器对应该移动载台的动作路径，又该支撑悬臂具有接设该区域图像扫描器的第三导轨组，使该区域图像扫描器能够垂直该移动载台移动轴线方向位移，另该第三导轨组进一步具有接设该区域图像扫描器的第四导轨组，使该区域图像扫描器能够相对平台升降。

在本实用新型一实施例中，该机柜体于对应该平台上移动载台的其中一外壳具有一进出料门，该进出料门电性耦接前述的运算控制单元，用于供依作业流程自动启闭。

在本实用新型一实施例中，该移动载台的载板两侧分别具有一滑轨组，该两个滑轨组被分设于该平台邻近长导孔的两个侧缘，使得该移动载台能够承载该光罩容器被选择性沿长导孔位移。

为能够进一步了解本实用新型的构成、特征及其他目的，以下举本实用新型的若干较佳实施例，并配合图式详细说明如下，供让熟悉该项技术领域者能够具体实施。

附图说明

图1A为应用于本实用新型的光罩的立体外观示意图。

图1B为应用于本实用新型的光罩的侧视断面示意图。

图2A为应用于本实用新型供收纳光罩的透视型光罩容器的外观示意图。

图2B为应用于本实用新型供收纳光罩的透视型光罩容器的侧视剖面示意图。

图3图为本实用新型光罩表面检查装置的架构示意图。

图4为本实用新型光罩表面检查装置的立体外观示意图。

图5为本实用新型光罩表面检查装置中移动载台的外观示意图。

图6为本实用新型光罩表面检查装置中细缝光源模块的外观示意图。

图7为本实用新型光罩表面检查装置于进行背侧表面检测的状态示意图。

图8为本实用新型光罩表面检查装置于进行防尘护膜检测的状态示意图。

图9为本实用新型光罩表面检查装置于进行电路图形检测的状态示意图。

图10为本实用新型光罩表面检查装置用于检测收纳于光罩容器内光罩的范例流程图。

图11为本实用新型光罩表面检查装置用于检测光罩的背侧表面或防尘护膜后的检查画面示意图。

图12为本实用新型光罩表面检查装置用于检测光罩的电路图形后的检查画面示意图。

附图标记说明：100-光罩；101-表面；102-表面；105-电路图形；106-框架；108-防尘护膜；200-光罩容器；201-第一视窗；202-第二视窗；203-基座；204-盖体；205-侧透光窗；206-限位凹孔；10-机柜体；11-支撑构体；14-进出料门；15-平台；16-长导孔；20-移动载台；21-载板；22-放置面；23-定位件；24-感应器；25-检视透孔；26-滑轨组；28-限位凸柱；30-第一线性影像扫描器；31-第一支臂；32-第一导轨组；40-第二线性影像扫描器；41-第二支臂；42-第二导轨组；50-细缝光源模块；51-第一光箱；511-细缝；52-第二光箱；521-细缝；53-第一立座；54-第一立轨组；55-第一旋轴组；56-第二立座；57-第二立轨组；58-第二旋轴组；60-区域图像扫描器；61-支撑悬臂；62-第三导轨组；63-第四导轨组；70-运算控制单元；71-记忆单元；75-显示单元。

具体实施方式

本实用新型为一种光罩表面检查装置，随附图例示本实用新型的具体实施例及其构件中，所有关于前与后、左与右、顶部与底部、上部与下部、以及水平与垂直的参考，仅用于方便进行描述，并非限制本实用新型，亦非将其构件限制于任何位置或空间方向。图式与说明书中所指定的尺寸，当可在不离开本实用新型权利要求书的范围内，根据本实用新型的具体实施例的设计与需求而进行变化。

如图1A～图3所显示，本实用新型为一种应用于检测一透视型光罩容器200内部一光罩100或光罩100等被检测物的光罩表面检查装置，其中如图1A、图1B所示，该光罩100具有相互平行的表面101、102，其中一侧的表面101生成有可以通过光束投射转印至一晶圆表面的电路图形105，其中该光罩100具有电路图形105的表面101能利用一框架106支撑一用于保护该电路图形105的防尘护膜108，而该光罩100不具有电路图形105的表面被定义为背侧表面102。再者，如图2A、图2B所示，该透视型的光罩容器200可以被选择性启闭收纳一定位于内部的光罩100，且该光罩容器200具有一第一视窗201，该第一视窗201设于该光罩容器200上相对内部光罩100具防尘护膜108的一侧表面101，且该第一视窗201的可视范围大于或等于该光罩100的防尘护膜108轮廓，又该光罩容器200进一步包含有一第二视窗202，该第二视窗202设于该光罩容器200上相对内部光罩100异于防尘护膜108的背侧表面102，且该第二视窗202的可视范围大于或等于该光罩100的背侧表面102，根据某些实施例该光罩容器200可以是由能相对盖合夹压光罩100的一基座203及一盖体204所组成，而该第一视窗201与该第二视窗202分别形成于该基座203与该盖体204的相对表面，再者该光罩容器200的任两个相对应的壁面上分别设有一对应光罩100侧面的侧透光窗205，而该等侧透光窗205的可视范围大于该光罩100侧面轮廓，且由该等侧透光窗205射入的光源可投射于该光罩容器200内部收纳的光罩100的背侧表面102或防尘护膜108，又前述的第一、二视窗201、202及侧透光窗205可以选自透明石英板；

而根据图3、图4所揭示，该光罩表面检查装置于一机柜体10上设有一移动载台20、一第一线性影像扫描器30、一第二线性影像扫描器40、一细缝光源模块50、一区域图像扫描器60及一运算控制单元70，供对一光罩100进行检测，而依据该移动载台20型态的不同可以提供不同的检测模式，其中该光罩100可以是直接置放于该移动载台20上单独进行检测，且该光罩100也可以是收纳于一透视型的光罩容器200内、再将光罩容器200置放于移动载台20上进行检测；

如图4所揭示，该机柜体10由纵、横支杆交错组接而成的支撑构体11，且该支撑构体11外部可以被复数外壳封闭〔图中未示〕，再者该机柜体10周缘侧面具有一进出料门14，该进出料门14可以电性耦接前述的运算控制单元70，供依作业流程自动启闭，再者该机柜体10的支撑构体11中段固设有一平台15，且该平台15上具有复数供上、下空间空气流通的通孔，又该平台15具有一长轴线对应该进出料门14的长导孔16，供安装前述的移动载台20，使得该移动载台20可于平台15上沿着长轴线被选择性移动，该移动的长轴线被定义为X轴，而与X轴呈水平交错的轴线被定义为Y轴，另与X轴呈垂直交错的轴线被定义为Z轴；

而该移动载台20电性耦合前述的运算控制单元70，供承载该光罩100或该收纳有光罩100的光罩容器200，进一步配合图5所揭示，本实用新型以可被选择性承载该光罩容器200为主要实施例，该移动载台20具有一载板21，该载板21上具有一低于该载板21表面的放置面22，且该放置面22具有复数相对围绕呈一矩形空间的定位件23，该复数定位件23所围范围适对应该光罩容器200底缘轮廓，使该光罩容器200可以被正确定位放置于该载板21的放置面22上，又该放置面22于对应该复数定位件23内缘处分别设有一耦合前述运算控制单元70、且略为凸出放置面22表面的感应器24，供检知该光罩容器200置放时是否完全平贴于该放置面22表面，再者该放置面22具有一检视透孔25，该检视透孔25对应置放于该放置面22的该光罩容器200的第一视窗201，且该放置面22于邻近该检视透孔25的周缘分设有呈三角排列的限位凸柱28，而对应形成于该光罩容器200底面的限位凹孔206〔如图2A所示〕，使得该光罩容器200可以被准确、且稳固定位于该放置面22，同时具有放置该光罩容器200时的防呆功能，又该载板21两侧分别具有一滑轨组26，该等滑轨组26被分设于前述平台15邻近长导孔16的两个侧缘，使得承载该光罩容器200的该移动载台20被前述运算控制单元70操控选择性产生X轴方向的位移；

又该第一、二线性影像扫描器30、40〔Linear Image Sensors〕分别位于该平台15下方及上方，该第一、二线性影像扫描器30、40并分别与前述的运算控制单元70电性耦合，且配合图7、图8所示，该第一、二线性影像扫描器30、40对应该移动载台20的位移路径，又该第一、二线性影像扫描器30、40可以选自电荷耦合器件〔Charge-coupled Device，CCD〕或互补金属氧化物半导体〔Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS〕，另该第一、二线性影像扫描器30、40被分别利用一第一支臂31及一第二支臂42设于该机柜体10的支撑构体11上，其中该第一、二支臂31、41具有接设该第一、二线性影像扫描器30、40的第一、二导轨组32、42，供分别带动该第一、二线性影像扫描器30、40相对平台15沿Z轴方向位移，使得该第一、二线性影像扫描器30、40可被分别用于检测该移动载台20上光罩容器200内部的光罩100的两个侧表面如防尘护膜108或背侧表面102；

另该细缝光源模块50电性耦接于前述的运算控制单元70、且设于该平台15的长导孔16两侧，又该细缝光源模块50对应该第一、二线性影像扫描器30、40扫描该光罩100的范围，进一步配合图5、图6所揭示，该细缝光源模块50于该平台15的长导孔16两侧分设有内部具发光元件、且相对照射的一第一光箱51及一第二光箱52，又该第一、二光箱51、52对应该平台15长导孔16的侧面分别形成有一道与X轴平行的细缝511、521，使得该第一、二光箱51、52可对于移动载台20上的光罩100表面投射一直线光束，另该第一、二光箱51、52被分别利用一第一立座53及一第二立座56设于该平台15上，其中该第一、二立座53、56具有接设该第一、二光箱51、52的第一、二立轨组54、57，供分别带动该第一、二光箱51、52相对平台15沿Z轴方向位移，且该第一、二立轨组54、57具有接设该第一、二光箱51、52的第一、二旋轴组55、58，供分别带动该第一、二光箱51、52相对平台15沿X轴旋转调整角度，使得该第一、二线性影像扫描器30、40可被分别用于检测该移动载台20上光罩容器200内部的光罩100的两个侧表面如防尘护膜108或背侧表面102，且令该第一、二光箱51、52移动后的直线光束与该光罩100的受检测表面如下方防尘护膜108或上方背侧表面102的夹角为0～6度〔如图7、图8所示〕；

再者，该区域图像扫描器60〔Area Image Sensors〕位于该平台15上方，且该区域图像扫描器60并与前述运算控制单元70电性耦合，又配合图9所示，该区域图像扫描器60对应该移动载台20的动作路径，另该区域图像扫描器60可以选自电荷耦合器件〔Charge-coupled Device，CCD〕或互补金属氧化物半导体〔Complementary Metal OxideSemiconductor，CMOS〕，且该区域图像扫描器60被利用一支撑悬臂61设于该机柜体10的支撑构体11上，其中该支撑悬臂61具有接设该区域图像扫描器60的第三导轨组62，供带动该区域图像扫描器60相对平台15沿Y轴方向位移，又该第三导轨组62进一步具有接设该区域图像扫描器60的第四导轨组63，供带动该区域图像扫描器60相对平台15沿Z轴方向位移，使得该区域图像扫描器60可被用于检测该移动载台20上光罩容器200内部的光罩100其中的电路图形105〔如图1A、图9所示〕，且该区域图像扫描器60于检测时可以对该光罩100提供由上而下或由下而上的光源；

至于，如图3所示，该运算控制单元70能统合性的操控整个光罩表面检查装置的各部位，例如控制该机柜体10进出料门14的启闭、该移动载台20的移动，该第一、二线性影像扫描器30、40的移动取像，该细缝光源模块50的照射，以及该区域图像扫描器60的移动取像，该运算控制单元70具有至少一记忆单元71，供储存包含但不限于用以运算控制单元70所执行处理的程序、供比对的光罩100电路图形105数据〔如该电路图形105的设计图面或无缺陷的电路图形105影像〕、检测影像数据及检出结果数据等，又该运算控制单元70电性耦接有一供设于机柜体10外部的显示单元75，供显示该运算控制单元70执行处理程序的指令画面及该第一、二线性影像扫描器30、40与该区域图像扫描器60的检出缺陷影像及检出实时影像，又该运算控制单元70具有至少一输出入单元〔图中未示〕，供下载用于比对的电路图形105数据或上传检测数据，以供后续制程处理及参考；

以此，组构成一用于检测收纳于光罩容器200内部光罩100的光罩表面检查装置。

而本实用新型于进行检测作业的实际操作时，则如图10所示〔进一步参考图3、图4及图7～图9〕，该光罩表面检查装置在进行检测作业800前，预先将该第一、二线性影像扫描器30、40的焦距利用其第一、二导轨组32、42以Z轴方向调整于相对收纳于光罩容器200内部的光罩100的背侧表面102或防尘护膜108，另预先将该区域图像扫描器60的焦距利用其第四导轨组63以Z轴方向调整于相对收纳于光罩容器200内部的光罩100的电路图形105表面，而该检测作业800的处理流程为：

在810，将收纳有光罩100的透视型的光罩容器200放置于移动载台20上，如图4、图5所示，其通过运算控制单元70操作该机柜体10的进出料门14，而将收纳有光罩100的透视型光罩容器200置于移动载台20的载板21放置面22上，并利用放置面22上的定位件23及限位凸柱28导引光罩容器200以正确方向稳固放置，且通过该放置面22的感应器24检知该光罩容器200的放置是否异常。

在820，执行该光罩100的防尘护膜108的检测，如图4、图7所示，当光罩容器200被正确放置于该移动载台20的载板21放置面22后，前述进出料门14自动关闭，而该运算控制单元70并操作该移动载台20以X轴方向移动至第一线性影像扫描器30前，且作动该细缝光源模块50的第一、二光箱51、52以Z轴方向位移下降，并令该第一、二光箱51、52相对投射直线光束，使该等直线光束可以穿透该光罩容器200的两侧侧透光窗205而照射于该光罩100底面的防尘护膜108，且该等直线光束与该防尘护膜108保持由下而上的0～6度夹角，同时该运算控制单元70启动该第一线性影像扫描器30以X轴方向位移、且穿透该放置面22的检视透孔25与该光罩容器200的第一视窗201线性扫描内部的光罩100的防尘护膜108，供依预设的缺陷尺寸〔如5um或10um以上〕取得该防尘护膜108上该等缺陷的列表、全图位置及实景影像〔如图11中A、B及C所示〕。

在830，执行该光罩100的背侧表面102的检测，如图4、图8所示，当完成该光罩100的背侧表面102检测后，该运算控制单元70并操作该移动载台20移动至第二线性影像扫描器40前，且作动该细缝光源模块50的第一、二光箱51、52以Z轴方向位移上升，使得该第一、二光箱51、52相对投射直线光束可以穿透该光罩容器200的两侧侧透光窗205而照射于该光罩100的背侧表面102，且该等直线光束与该背侧表面102保持由上而下的0～6度夹角，同时该运算控制单元70启动该第二线性影像扫描器40以X轴方向位移、且穿透该光罩容器200的第二视窗202线性扫描内部的光罩100的背侧表面102，并供依预设缺陷尺寸〔如5um或10um以上〕取得该背侧表面102上该等缺陷的列表、全图位置及实景影像〔如图11中A、B及C所示〕。根据某些实施例中，在820和830的执行可以互换或重复交错实施。

在840，执行该光罩100的电路图形105的检测，当完成该光罩100的背侧表面102及防尘护膜108检测后，该运算控制单元70并操作该移动载台20移动至该区域图像扫描器60前，且关闭该细缝光源模块50的第一、二光箱51、52，同时该运算控制单元70启动该区域图像扫描器60以Y轴方向位移、且该移动载台20带动该光罩容器200以X轴方向位移，并使该区域图像扫描器60穿透该光罩容器200的第二视窗202区域扫描内部的光罩100的电路图形105，并供与该运算控制单元70的记忆单元71内储存的比对用电路图形105数据〔可以是该电路图形105的设计图面或无缺陷的电路图形105影像〕进行分析，以取得该受测的光罩100电路图形105上缺陷的列表、全图位置及实景影像〔如图12中A、B及C所示〕。根据某些实施例中，在820和830的执行后可以不执行840或仅执行840而不执行820和830。

在850，配合该显示单元75检视该光罩100的检出影像，当完成该光罩100的背侧表面102、防尘护膜108及/或电路图形105的检测后，操作人员可以通过该运算控制单元70操控利用其显示单元75逐一检视各缺陷的检出列表〔如图11、图12中的A所示〕及全图位置〔如图11、图12中的B所示〕，且在电路图形105检测的检视上，进一步可以通过该运算控制单元70控制启动该区域图像扫描器60以Y轴方向位移、且该移动载台20带动该光罩容器200以X轴方向位移来取得该电路图形105上缺陷的实时影像〔如图11、图12中的C所示〕，供操作人员检视判断其缺陷的影响及归类，作为后续制程的参考。

在860，取出该收纳有光罩100的透视型的光罩容器200，在完成收纳于光罩容器200内部的光罩100检测及检视后，该运算控制单元70可以作动该移动载台20带动该光罩容器200移动至机柜体10进出料门14处，并作动该进出料门14自动开启，供取出该收纳有光罩100的光罩容器200，而完成整个检测作业800。

经由上述的说明，本实用新型光罩表面检测装置通过移动载台20直接放置透视型的光罩容器200，且利用细缝光源模块50两侧的第一、二光箱51、52可投射直线光束于该光罩容器200内部的光罩100表面，使得该光罩表面检查装置可以通过第一、二线性影像扫描器30、40及区域图像扫描器60直接检测收纳于光罩容器200内部的光罩100的背侧表面102、防尘护膜108及电路图形105，以能在不打开光罩容器200下直接检测收纳于内部的光罩100，以避免光罩100在检测过程中因接触外部而产生新的缺陷，且可缩短光罩检测的时间，提升其检测效率，再者相较于现有技术能不需设置用于光罩容器200的进出料机构、储存机构及开盒机构等，可以有效缩小其体积及占积，进而降低设备的购置与维护成本，大幅增进其实用性。

综上所述，可以理解到本实用新型为一创意极佳的实用新型，除了有效解决现有技术所面临的问题，更大幅增进功效，且在相同的技术领域中未见相同或近似的产品实用新型或公开使用，同时具有功效的增进。

Claims (10)

1.一种光罩表面检查装置，应用于不换面状况下检测一光罩的上、下两个侧表面，其特征在于，该光罩表面检查装置至少包含有：一机柜体、一移动载台、一第一线性影像扫描器、一第二线性影像扫描器、一细缝光源模块、一区域图像扫描器及一运算控制单元，其中：

该机柜体，其具有一支撑构体，且该支撑构体中央设有一具长导孔的平台；

该移动载台，与该运算控制单元电性耦合，该移动载台滑设于该平台的长导孔内，且能够沿着长导孔的长轴线被选择性位移，该移动载台具有一供选择性摆置一被检测物的放置面，且该放置面具有复数相对围绕该检测物空间的定位件，再者该放置面具有一对应该被检测物的检视透孔；

该第一线性影像扫描器，与该运算控制单元电性耦合，该第一线性影像扫描器能够被利用一第一支臂设于该支撑构体中对应该移动载台的位移路径，该第一支臂具有接设该第一线性影像扫描器的第一导轨组，令该第一线性影像扫描器能够相对平台移动载台方向升降位移；

该第二线性影像扫描器，与该运算控制单元电性耦合，该第二线性影像扫描器能够被利用一第二支臂设于该支撑构体中对应该移动载台的位移路径、且位于该平台相对该第一线性影像扫描器的另一侧，又该第二支臂具有接设该第二线性影像扫描器的第二导轨组，令该第二线性影像扫描器能够相对平台移动载台方向升降位移；

该细缝光源模块，与该运算控制单元电性耦合，该细缝光源模块分别具有一第一光箱及一第二光箱，其中该第一光箱及该第二光箱分别利用一第一立座及一第二立座设于该平台的长导孔两侧、且对应该第一线性影像扫描器扫描该被检测物的范围，又该第一光箱及该第二光箱对应该长导孔的侧面分别形成有一道与移动载台移动方向平行的细缝，令该第一光箱及该第二光箱能够同时投射一照射于该被检测物表面的直线光束；

该运算控制单元，其具有至少一记忆单元，供储存用以执行处理的程序及检测数据，又该运算控制单元电性耦接有一显示单元，用于供显示该运算控制单元执行处理程序的指令画面及检测结果。

2.如权利要求1所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该光罩表面检查装置的被检测物是一收纳于一透视型的光罩容器内部的一光罩，该光罩容器具有对应该光罩上、下两个侧表面的一第一视窗及一第二视窗，再者该光罩容器的任两个相对应的壁面上分别设有一对应光罩两个相对侧面的侧透光窗，而该移动载台的放置面于对应该复数定位件内缘处分别设有一耦合前述运算控制单元、且略为凸出放置面表面的感应器，用于供检知该光罩容器置放时是否完全平贴于该放置面表面。

3.如权利要求2所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该移动载台的放置面于邻近该检视透孔的周缘分设有呈三角排列的限位凸柱，而该光罩容器底面形成有对应的限位凹孔，使得该光罩容器能够被准确、且稳固定位于该放置面。

4.如权利要求2所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该移动载台的该放置面于对应该复数定位件内缘处分别设有一耦合前述运算控制单元、且略为凸出放置面表面的感应器，用于供检知该光罩容器置放时是否完全平贴于该放置面表面。

5.如权利要求2或3或4所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该移动载台具有一载板，而该放置面设于该载板，且该放置面低于该载板的表面。

6.如权利要求1所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该细缝光源模块的该第一立座及该第二立座具有接设该第一光箱及该第二光箱的第一立轨组及该第二立轨组，使该第一光箱及该第二光箱能够被选择性相对平台表面升降。

7.如权利要求6所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该细缝光源模块的第一光箱及该第二光箱于该第一立轨组及该第二立轨组具有接设该第一光箱及该第二光箱的第一旋轴组及该第二旋轴组，使该第一光箱及该第二光箱相对平台旋转调整角度，令该第一光箱及该第二光箱的直线光束与该光罩的受检测表面的夹角为0～6度。

8.如权利要求1或2所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该光罩表面检查装置进一步包含有一区域图像扫描器，该区域图像扫描器与该运算控制单元电性耦合，又该区域图像扫描器被利用一支撑悬臂设于该机柜体的支撑构体上，且该区域图像扫描器对应该移动载台的动作路径，又该支撑悬臂具有接设该区域图像扫描器的第三导轨组，使该区域图像扫描器能够垂直该移动载台移动轴线方向位移，另该第三导轨组进一步具有接设该区域图像扫描器的第四导轨组，使该区域图像扫描器能够相对平台升降。

9.如权利要求1或2所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该机柜体于对应该平台上移动载台的其中一外壳具有一进出料门，该进出料门电性耦接前述的运算控制单元，用于供依作业流程自动启闭。

10.如权利要求1或2所述的光罩表面检查装置，其特征在于，该移动载台的载板两侧分别具有一滑轨组，该两个滑轨组被分设于该平台邻近长导孔的两个侧缘，使得该移动载台能够承载该光罩容器被选择性沿长导孔位移。

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