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CN216404526U - Pvd镀膜设备转架 - Google Patents

Pvd镀膜设备转架 Download PDF

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CN216404526U
CN216404526U CN202123074289.6U CN202123074289U CN216404526U CN 216404526 U CN216404526 U CN 216404526U CN 202123074289 U CN202123074289 U CN 202123074289U CN 216404526 U CN216404526 U CN 216404526U
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CN
China
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rotating
rotating member
hole
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pvd coating
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CN202123074289.6U
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郭栋
张树玲
甘志颖
黄腾龙
武帅政
张瑞峰
吴苏瑞
郭峰
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Qingdao University of Technology
Original Assignee
Qingdao University of Technology
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Abstract

本实用新型的实施例提供了一种PVD镀膜设备转架,涉及镀膜设备领域。旨在提供一种对弧面产品进行镀膜的转架。PVD镀膜设备转架包括第一转动件、第二转动件以及转动杆;第一转动件设置有第一孔,第二转动件设置有第二孔;第一转动件以及第二转动件间隔设置于转动杆,第一转动件与第二转动件固定,以将待镀膜的圆球夹在第一孔与第二孔之间。待镀膜的圆球被夹在第一孔与第二孔之间,镀膜设备能够对待镀膜的圆球暴露在第一孔以及第二孔外部的弧面以及暴露在第一孔与第二孔之间的弧面进行镀膜,提供一种能够适用于弧面产品镀膜的转架。

Description

PVD镀膜设备转架
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备领域,具体而言,涉及一种PVD镀膜设备转架。
背景技术
目前对于镀膜设备主要都是对平面材料进行镀膜,不能对球形、曲面类的零部件进行涂层制备,主要是缺少一种对弧面产品进行镀膜的转架。
实用新型内容
本实用新型的目的包括,例如,提供了一种PVD镀膜设备转架,其能够提供一种对弧面产品进行镀膜的转架。
本实用新型的实施例可以这样实现:
本实用新型的实施例提供了一种PVD镀膜设备转架,包括第一转动件、第二转动件以及转动杆;
所述第一转动件设置有第一孔,所述第二转动件设置有第二孔;所述第一转动件以及所述第二转动件间隔设置于所述转动杆,所述第一转动件与所述第二转动件固定,以将待镀膜的圆球夹在所述第一孔与所述第二孔之间。
另外,本实用新型的实施例提供的PVD镀膜设备转架还可以具有如下附加的技术特征:
可选地,所述第一转动件固定于所述转动杆,所述第二转动件可移动地设置于所述转动杆,所述第二转动件相对所述转动杆移动的过程中靠近或者远离所述第一转动件。
可选地,所述PVD镀膜设备转架还包括紧固件;所述第二转动件在相对所述转动杆移动到预设位置的情况下与所述第一转动件通过所述紧固件固定,以将待镀膜的圆球夹在所述第一孔与所述第二孔之间。
可选地,所述第一转动件以及所述第二转动件均为圆形板状结构;所述第一转动件以及所述第二转动件的中心均与所述转动杆的轴心线重合。
可选地,所述第一孔的数量为多个,多个所述第一孔绕所述第一转动件的中心间隔设置;所述第二孔的数量为多个,多个所述第二孔绕所述第二转动件的中心间隔设置;多个所述第一孔与多个所述第二孔一一对应。
可选地,所述紧固件为螺栓;所述第一转动件开设有多个第一螺孔,多个所述第一螺孔绕所述第一转动件的中心间隔设置;所述第二转动件开设有多个第二螺孔,所述多个第二螺孔与所述多个第一螺孔一一对应。
可选地,所述第一螺孔的中心到所述第一转动件的中心的距离小于所述第一孔的中心到所述第一转动件的中心的距离。
可选地,所述第一转动件的数量为多个;所述第二转动件的数量为多个;
每个所述第一转动件与一个所述第二转动件组成一组支架组,多组所述支架组沿所述转动杆的延伸方向间隔设置。
可选地,所述PVD镀膜设备转架还包括转动圆盘;所述转动杆可转动地设置于所述转动圆盘,并在所述转动圆盘转动的情况下绕所述转动圆盘的中心转动。
本实用新型实施例的PVD镀膜设备转架的有益效果包括,例如:
PVD镀膜设备转架,包括第一转动件、第二转动件以及转动杆;第一转动件设置有第一孔,第二转动件设置有第二孔;第一转动件以及第二转动件间隔设置于转动杆,第一转动件与第二转动件固定,以将待镀膜的圆球夹在第一孔与第二孔之间。第一孔与第二孔之间用于放置待镀膜的圆球,第一转动件与第二转动件固定后,待镀膜的圆球被卡箍在第一孔与第二孔之间,在镀膜的过程中,待镀膜的圆球暴露在第一孔以及第二孔外部的弧面以及暴露在第一孔与第二孔之间的弧面能够完成镀膜,实现弧面镀膜,提供一种能够适用于弧面产品镀膜的转架。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本实用新型实施例提供的PVD镀膜设备转架的主视图;
图2为本实用新型实施例提供的PVD镀膜设备转架中第二转动件的俯视图。
图标:10-PVD镀膜设备转架;100-第一转动件;110-第一孔;120-第一螺孔;130-第一圆孔;200-第二转动件;210-第二孔;220-第二螺孔;230-第二圆孔;300-转动杆。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型的实施例中的特征可以相互结合。
下面结合图1至图2对本实施例提供的PVD镀膜设备转架10进行详细描述。
请参照图1,本实用新型的实施例提供了一种PVD镀膜设备转架10,包括第一转动件100、第二转动件200以及转动杆300;第一转动件100设置有第一孔110,第二转动件200设置有第二孔210;第一转动件100以及第二转动件200间隔设置于转动杆300,第一转动件100与第二转动件200固定,以将待镀膜的圆球夹在第一孔110与第二孔210之间。
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子,或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术,物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。镀膜过程中,PVD镀膜设备转架10安装于PVD镀膜设备内。
PVD镀膜设备转架10的第一孔110以及第二孔210用来放置待镀膜的圆球,将待镀膜的圆球放入第一孔110与第二孔210之间,然后固定第一转动件100与第二转动件200,将待镀膜的圆球夹在第一孔110与第二孔210之间。对待镀膜的圆球暴露在第一孔110以及第二孔210外部的弧面以及暴露在第一孔110与第二孔210之间的弧面均可进行镀膜。实现对待镀膜的圆球的弧面的镀膜,改善现有的PVD镀膜设备转架10仅适用于平面材料的镀膜的缺陷,提供了一种能够适用于弧面产品镀膜的转架。
转动杆300转动的过程中带动第一转动件100以及第二转动件200绕转动杆300的中心线转动,实现待镀膜的圆球周面的均匀镀膜。
参照图1,本实施例中,第一转动件100固定于转动杆300,第二转动件200可移动地设置于转动杆300,第二转动件200相对转动杆300移动的过程中靠近或者远离第一转动件100。
具体地,第一转动件100与转动杆300焊接。第二转动杆300可以沿转动杆300的轴向上下移动。在将待镀膜的圆球放在第一转动件100的第一孔110上后,移动第二转动件200,直到第二孔210与第一孔110共同箍紧待镀膜的圆球,然后将第二转动件200与第一转动件100固定,完成待镀膜的圆球的安装,可进行镀膜。
参照图1,本实施例中,PVD镀膜设备转架10还包括紧固件;第二转动件200在相对转动杆300移动到预设位置的情况下与第一转动件100通过紧固件固定,以将待镀膜的圆球夹在第一孔110与第二孔210之间。
第二转动件200移动到预设位置的情况下,第二孔210与第一孔110共同箍紧待镀膜的圆球。采用紧固件,结构以及操作简单。
参照图1,本实施例中,第一转动件100以及第二转动件200均为圆形板状结构;第一转动件100以及第二转动件200的中心均与转动杆300的轴心线重合。
具体地,第一转动件100为第一圆板,第二转动件200为第二圆板。第一圆板焊接于转动杆300,第二圆板可移动地连接于转动杆300。
具体地,第一圆板的中心设置有第一圆孔130,第二圆板的中心设置有第二圆孔230,转动杆300穿设于第一圆孔130与第二圆孔230。
参照图1以及图2,本实施例中,第一孔110的数量为多个,多个第一孔110绕第一转动件100的中心间隔设置;第二孔210的数量为多个,多个第二孔210绕第二转动件200的中心间隔设置;多个第一孔110与多个第二孔210一一对应。
每个第一孔110与一个第二孔210之间均可以固定一个待镀膜的圆球,第一孔110与第二孔210设置多个,可以固定多个待镀膜的圆球,一次可以完成多个待镀膜的圆球的镀膜,提高效率。
参照图1以及图2,本实施例中,紧固件为螺栓;第一转动件100开设有多个第一螺孔120,多个第一螺孔120绕第一转动件100的中心间隔设置;第二转动件200开设有多个第二螺孔220,多个第二螺孔220与多个第一螺孔120一一对应。
采用多组螺栓固定第一转动件100与第二转动件200,保证第一转动件100与第二转动件200圆周方向受力均匀,提高固定待镀膜的圆球的牢固程度。
参照图2,本实施例中,第一螺孔120的中心到第一转动件100的中心的距离小于第一孔110的中心到第一转动件100的中心的距离。
待镀膜的圆球相对螺栓位于第一转动件100的外侧,避免螺栓挡到待镀膜的圆球的镀膜面。
再次参照图2,本实施例中,第一转动件100的数量为多个;第二转动件200的数量为多个;每个第一转动件100与一个第二转动件200组成一组支架组,多组支架组沿转动杆300的延伸方向间隔设置。
沿转动杆300的竖直方向依次设置第二转动件200、第一转动件100、第二转动件200、第一转动件100,一个第二转动件200与一个第一转动件100构成一个支架组。其中第一转动件100的数量以及第二转动件200的数量根据实际需求设置。
本实施例中,PVD镀膜设备转架10还包括转动圆盘;转动杆300可转动地设置于转动圆盘,并在转动圆盘转动的情况下绕转动圆盘的中心转动。
具体地,转动杆300的数量为多个,多个转动杆300沿转动圆盘的中心间隔设置于转动圆盘,每个转动杆300上设置多个支架组。转动圆盘转动的过程中带动多个转动杆300以及多个支架组绕转动圆盘的中心转动,同时转动杆300带动多个支架组绕转动杆300的中心线转动。
根据本实施例提供的一种PVD镀膜设备转架10,可以采用如下的尺寸:第一圆板以及第二圆板的半径为65mm,厚度为3mm,第一圆板以及第二圆板上分别开有直径为4mm的第一螺孔120以及第二螺孔220,直径为6mm的第一孔110以及第二孔210,以及直径为10mm的第一圆孔130以及第二圆孔230。直径为6mm的第一孔110用来放置需要待镀膜的圆球,第一圆孔130以及第二圆孔230的直径与转动杆300的直径相等,以便于转动杆300穿过每一个第一圆板以及第二圆板。12个厚度为3mm的第一圆板以及第二圆板依次装到492mm长的转动杆300上,每2个第一圆板以及第二圆板是一组,第一圆板焊接到转动杆300上,第二圆板可以在转动杆300上自由移动。最底端的第一圆板距离转动杆300底端的距离为72mm。相邻两组的第一圆板之间的距离为60mm。球夹在第一圆板以及第二圆板之间,通过螺栓固定,防止球滚出第一孔110以及第二孔210。
根据本实施例提供的一种PVD镀膜设备转架10,PVD镀膜设备转架10工作原理包括:通过将转动杆300的底端卡到转动圆盘内,实现转动。由于转动圆盘的转动,PVD镀膜设备转架10在自转的同时也在公转。通过第一转动件100的第一孔110与第二转动件200上的第二孔210夹住待镀膜的圆球,实现圆球表面薄膜的制备。
本实施例提供的一种PVD镀膜设备转架10至少具有以下优点:第一转动件100与第二转动件200固定后,待镀膜的圆球被卡箍在第一孔110与第二孔210之间,在镀膜的过程中,待镀膜的圆球暴露在第一孔110以及第二孔210外部的弧面以及暴露在第一孔110与第二孔210之间的弧面能够完成镀膜,实现弧面镀膜。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种PVD镀膜设备转架,其特征在于,包括:
第一转动件(100)、第二转动件(200)以及转动杆(300);
所述第一转动件(100)设置有第一孔(110),所述第二转动件(200)设置有第二孔(210);所述第一转动件(100)以及所述第二转动件(200)间隔设置于所述转动杆(300),所述第一转动件(100)与所述第二转动件(200)固定,以将待镀膜的圆球夹在所述第一孔(110)与所述第二孔(210)之间。
2.根据权利要求1所述的PVD镀膜设备转架,其特征在于:
所述第一转动件(100)固定于所述转动杆(300),所述第二转动件(200)可移动地设置于所述转动杆(300),所述第二转动件(200)相对所述转动杆(300)移动的过程中靠近或者远离所述第一转动件(100)。
3.根据权利要求2所述的PVD镀膜设备转架,其特征在于:
所述PVD镀膜设备转架还包括紧固件;所述第二转动件(200)在相对所述转动杆(300)移动到预设位置的情况下与所述第一转动件(100)通过所述紧固件固定,以将待镀膜的圆球夹在所述第一孔(110)与所述第二孔(210)之间。
4.根据权利要求3所述的PVD镀膜设备转架,其特征在于:
所述第一转动件(100)以及所述第二转动件(200)均为圆形板状结构;所述第一转动件(100)以及所述第二转动件(200)的中心均与所述转动杆(300)的轴心线重合。
5.根据权利要求4所述的PVD镀膜设备转架,其特征在于:
所述第一孔(110)的数量为多个,多个所述第一孔(110)绕所述第一转动件(100)的中心间隔设置;所述第二孔(210)的数量为多个,多个所述第二孔(210)绕所述第二转动件(200)的中心间隔设置;多个所述第一孔(110)与多个所述第二孔(210)一一对应。
6.根据权利要求5所述的PVD镀膜设备转架,其特征在于:
所述紧固件为螺栓;所述第一转动件(100)开设有多个第一螺孔(120),多个所述第一螺孔(120)绕所述第一转动件(100)的中心间隔设置;所述第二转动件(200)开设有多个第二螺孔(220),所述多个第二螺孔(220)与所述多个第一螺孔(120)一一对应。
7.根据权利要求6所述的PVD镀膜设备转架,其特征在于:
所述第一螺孔(120)的中心到所述第一转动件(100)的中心的距离小于所述第一孔(110)的中心到所述第一转动件(100)的中心的距离。
8.根据权利要求1-7任一项所述的PVD镀膜设备转架,其特征在于:
所述第一转动件(100)的数量为多个;所述第二转动件(200)的数量为多个;
每个所述第一转动件(100)与一个所述第二转动件(200)组成一组支架组,多组所述支架组沿所述转动杆(300)的延伸方向间隔设置。
9.根据权利要求1-7任一项所述的PVD镀膜设备转架,其特征在于:
所述PVD镀膜设备转架还包括转动圆盘;所述转动杆(300)可转动地设置于所述转动圆盘,并在所述转动圆盘转动的情况下绕所述转动圆盘的中心转动。
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