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CN216150401U - 点检装置及硅片检测分选设备 - Google Patents

点检装置及硅片检测分选设备 Download PDF

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CN216150401U
CN216150401U CN202121007717.0U CN202121007717U CN216150401U CN 216150401 U CN216150401 U CN 216150401U CN 202121007717 U CN202121007717 U CN 202121007717U CN 216150401 U CN216150401 U CN 216150401U
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CN
China
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silicon wafer
detection
inspection device
point inspection
magazine
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Application number
CN202121007717.0U
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English (en)
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温延培
曹葵康
孙靖
顾烨
孙俊
苏傲
钱春辉
程璧
胡辉来
张体瑞
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Tztek Technology Co Ltd
Original Assignee
Tztek Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供一种点检装置及硅片检测分选设备,其中,点检装置包括:供料点检机构、收料点检机构以及若干检测机构;供料点检机构设置于若干检测机构的上游,收料点检机构设置于若干检测机构的下游。本实用新型的点检装置中,点检机构可设置于检测流线的上游端和下游端。如此,在硅片的检测、分选之前,可通过点检机构提供标准硅片,使标准硅片在上游位置流入各检测机构中,之后由下游的点检机构回收。从而,通过标准硅片的预先试运行,可提前排查可能出现的问题,克服现有技术中存在的反复停机调试的问题。

Description

点检装置及硅片检测分选设备
技术领域
本实用新型涉及硅片检测分选技术领域,尤其涉及一种点检装置及硅片检测分选设备。
背景技术
硅片作为重要的工业原材料,被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。因此,在硅片生产出厂之前需要对其质量进行严格的把控,以保证由硅片制造的太阳能电池、电路板等产品的质量。
为了保证硅片的出厂质量,需要对硅片进行质量检测、分选等。然而,实际硅片检测、分选过程中,经常面临需要停机对各检测、分选工位进行调试的问题,以便于查找、校正存在的问题,进而影响了硅片的检测、分选效率。因此,针对上述问题,有必要提出进一步地解决方案。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种点检装置及硅片检测分选设备,以克服现有技术中存在的不足。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:
一种点检装置,其包括:供料点检机构、收料点检机构以及若干检测机构;
所述供料点检机构设置于所述若干检测机构的上游,所述收料点检机构设置于所述若干检测机构的下游,所述供料点检机构包括:第一升降模组以及由所述第一升降模组驱动进行升降的第一料盒,所述第一料盒具有适于多个标准硅片自上而下排列放置的第一料腔;所述收料点检机构包括:第二升降模组以及由所述第二升降模组驱动进行升降的第二料盒,所述第二料盒具有适于多个标准硅片自上而下排列放置的第二料腔。
作为本实用新型点检装置的改进,所述第一升降模组为竖直设置的伺服电机,其滑块通过一料盒支架与所述第一料盒相连接。
作为本实用新型点检装置的改进,所述第一料盒包括:两相对设置的第一固定板,任一所述第一固定板的内侧还设置有第一插板,所述第一插板上开设有自上而下排列设置的插槽,两个第一插板上的插槽相对设置。
作为本实用新型点检装置的改进,所述若干检测机构沿一输送带间隔设置,所述第一插板分置于所述输送带的两侧。
作为本实用新型点检装置的改进,所述第二升降模组为竖直设置的伺服电机,其滑块通过一料盒支架与所述第二料盒相连接。
作为本实用新型点检装置的改进,所述第二料盒包括:两相对设置的第二固定板,任一所述第二固定板的内侧还设置有第二插板,所述第二插板上开设有自上而下排列设置的插槽,两个第二插板上的插槽相对设置。
作为本实用新型点检装置的改进,所述若干检测机构包括:左右崩边机构、厚度检测机构、电阻率测试机构、前后崩机构、尺寸检测机构、脏污检测机构、倒角崩边机构以及隐裂检测机构中的一种或者几种的组合。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:
一种硅片检测分选设备,其包括如上所述的点检装置。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型的点检装置中,点检机构可设置于检测流线的上游端和下游端。如此,在硅片的检测、分选之前,可通过点检机构提供标准硅片,使标准硅片在上游位置流入各检测机构中,之后由下游的点检机构回收。从而,通过标准硅片的预先试运行,可提前排查可能出现的问题,克服现有技术中存在的反复停机调试的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型点检装置一实施例的主视图;
图2为图1中供料点检机构的立体示意图;
图3为图1中收料点检机构的立体示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示,本实用新型一实施例提供一种点检装置,其包括:供料点检机构10、收料点检机构20以及若干检测机构30。
其中,供料点检机构10设置于若干检测机构30的上游,收料点检机构 20设置于若干检测机构30的下游。且若干检测机构30沿一输送带间隔设置,如此输送带传送的硅片可由各检测机构30进行质量检测。
供料点检机构10用于在硅片检测、分选之前提供标准硅片进行试运行,进而提前排查可能出现的问题,克服现有技术中存在的反复停机调试的问题。其原理在于,由于标准硅片为质量合格的硅片产品,正常状态下,若干检测机构30应当均反馈质量合格的数据。此时,如果某一检测机构30反馈的数据为硅片质量不合格,则表明该检测机构30存在问题,进而需要进行校正调试。
如图2所示,供料点检机构10包括:第一升降模组11以及由第一升降模组11驱动进行升降的第一料盒12。
其中,第一升降模组11固定于一固定座13上,该固定座13包括:底板、固定于底板上的立板以及底板和立板之间的加强件。第一升降模组11安装于立板上。一个实施方式中,第一升降模组11为竖直设置的伺服电机,此时其滑块通过一料盒支架14与第一料盒12相连接。如此,该第一升降模组11可带动第一料盒12进行升降,以使得第一料盒12中的标准硅片下降至需求的位置,便于标准硅片的出料。
第一料盒12具有适于多个标准硅片自上而下排列放置的第一料腔。具体地,第一料盒12包括:两相对设置的第一固定板121,任一第一固定板121 的内侧还设置有第一插板122,两个第一插板122之间形成上述第一料腔。第一插板122上开设有自上而下排列设置的插槽,两个第一插板122上的插槽相对设置。第一插板122分置于输送带的两侧。如此,标准硅片可被放置于各组插槽中,当第一升降模组11带动第一料盒12下降至需求的位置时,标准硅片可与输送线接触并进一步由其带走,以实现标准硅片的供料。
收料点检机构20与供料点检机构10的结构相似,其用于实现检测完毕之后硅片的回收,回收方式可以为人工回收。
如图3所示,收料点检机构20包括:第二升降模组21以及由第二升降模组21驱动进行升降的第二料盒22,第二料盒22具有适于多个标准硅片自上而下排列放置的第二料腔。
具体地,第二升降模组21固定于一固定座23上,该固定座23包括:底板、固定于底板上的立板以及底板和立板之间的加强件。第二升降模组21安装于立板上。一个实施方式中,第二升降模组21为竖直设置的伺服电机,其滑块通过一料盒支架24与第二料盒22相连接,进而可调节第二料盒22的高度。
进一步地,第二料盒22包括:两相对设置的第二固定板221,任一第二固定板221的内侧还设置有第二插板222,第二插板222上开设有自上而下排列设置的插槽,两个第二插板222上的插槽相对设置。如此,检测完毕之后的标准硅片可被收纳于各组插槽中。
若干检测机构30可用于对硅片的质量进行检测,检测项目可以为:硅片的左右边缘质量、厚度尺寸、电阻率、前后边缘质量、长宽尺寸、脏污情况、倒角情况、是否存在裂痕等。相应的,若干检测机构30包括:左右崩边机构、厚度检测机构30、电阻率测试机构、前后崩机构、尺寸检测机构30、脏污检测机构30、倒角崩边机构以及隐裂检测机构30中的一种或者几种的组合。上述各检测机构30均采用现有的检检测模组,本实施例不对其进行详细介绍。
本实用新型另一实施例还提供一种硅片检测分选设备,该硅片检测分选设备包括如上述实施例所述的点检装置。
综上所述,本实用新型的点检装置中,点检机构可设置于检测流线的上游端和下游端。如此,在硅片的检测、分选之前,可通过点检机构提供标准硅片,使标准硅片在上游位置流入各检测机构中,之后由下游的点检机构回收。从而,通过标准硅片的预先试运行,可提前排查可能出现的问题,克服现有技术中存在的反复停机调试的问题。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (8)

1.一种点检装置,其特征在于,所述点检装置包括:供料点检机构、收料点检机构以及若干检测机构;
所述供料点检机构设置于所述若干检测机构的上游,所述收料点检机构设置于所述若干检测机构的下游,所述供料点检机构包括:第一升降模组以及由所述第一升降模组驱动进行升降的第一料盒,所述第一料盒具有适于多个标准硅片自上而下排列放置的第一料腔;所述收料点检机构包括:第二升降模组以及由所述第二升降模组驱动进行升降的第二料盒,所述第二料盒具有适于多个标准硅片自上而下排列放置的第二料腔。
2.根据权利要求1所述的点检装置,其特征在于,所述第一升降模组为竖直设置的伺服电机,其滑块通过一料盒支架与所述第一料盒相连接。
3.根据权利要求1所述的点检装置,其特征在于,所述第一料盒包括:两相对设置的第一固定板,任一所述第一固定板的内侧还设置有第一插板,所述第一插板上开设有自上而下排列设置的插槽,两个第一插板上的插槽相对设置。
4.根据权利要求3所述的点检装置,其特征在于,所述若干检测机构沿一输送带间隔设置,所述第一插板分置于所述输送带的两侧。
5.根据权利要求1所述的点检装置,其特征在于,所述第二升降模组为竖直设置的伺服电机,其滑块通过一料盒支架与所述第二料盒相连接。
6.根据权利要求1所述的点检装置,其特征在于,所述第二料盒包括:两相对设置的第二固定板,任一所述第二固定板的内侧还设置有第二插板,所述第二插板上开设有自上而下排列设置的插槽,两个第二插板上的插槽相对设置。
7.根据权利要求1所述的点检装置,其特征在于,所述若干检测机构包括:左右崩边机构、厚度检测机构、电阻率测试机构、前后崩机构、尺寸检测机构、脏污检测机构、倒角崩边机构以及隐裂检测机构中的一种或者几种的组合。
8.一种硅片检测分选设备,其特征在于,所述硅片检测分选设备包括如权利要求1至7任一项所述的点检装置。
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CN114940282A (zh) * 2022-05-31 2022-08-26 苏州天准科技股份有限公司 一种规整装置及规整打包设备
CN118988750A (zh) * 2024-10-24 2024-11-22 杭州领策科技有限公司 集成电路测试系统的点检方法、装置、设备及存储介质
CN119064767A (zh) * 2024-11-05 2024-12-03 杭州领策科技有限公司 测试座、分选机、芯片测试系统及其点检方法
TWI866065B (zh) * 2022-12-26 2024-12-11 大陸商西安奕斯偉材料科技股份有限公司 矽料處理方法及其裝置

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