CN215267006U - 一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，包括旋转阴极本体，所述旋转阴极本体内部设有端头，且端头内部开设有防湿干区，所述防湿干区内部设有导电滑环本体，所述端头内部设有电源连接装置，所述导电滑环本体内部设有导电杆，所述旋转阴极本体内部设有驱动装置，且驱动装置内部设有旋转电机，所述旋转电机的输出端固定连接有驱动轴，且驱动轴外侧设有主齿轮，所述主齿轮外侧啮合连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮外侧固定连接有旋转导电轴，所述旋转阴极本体内部设有定位底板。本实用新型解决了现现旋转阴极在对使用中无法防污染、防腐等问题，该防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，具备防污染和腐蚀的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体为一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构。
背景技术
磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，涂层材料一直保持固态，不形成熔池。
传统的磁控溅射镀膜中的旋转阴极是将电刷置于端头内部从而进行导电，而磁铁全泡在水中，长时间使用容易导致磁铁收到污染；同时目前市场上的旋转阴极没有利用导电滑环的结构，无法将磁铁全部放置在干区，使磁铁容易受水阻抗的变化被腐蚀，从而大大减少了装置使用寿命，所以，针对现旋转阴极在对使用中无法防污染、防腐等问题，亟需加以改进。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，具备防污染和腐蚀的优点，解决了旋转阴极在使用中无法防污染、防腐的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，包括旋转阴极本体，所述旋转阴极本体内部设有端头，且端头内部开设有防湿干区，所述防湿干区内部设有导电滑环本体，所述端头内部设有电源连接装置，所述导电滑环本体内部设有导电杆，且导电杆延伸至导电滑环本体外侧和电源连接装置为电性连接，所述旋转阴极本体内部设有驱动装置，且驱动装置内部设有旋转电机，所述旋转电机的输出端固定连接有驱动轴，且驱动轴外侧设有主齿轮，所述主齿轮外侧啮合连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮外侧固定连接有旋转导电轴，所述旋转阴极本体内部设有定位底板。
作为本实用新型优选的，所述防湿干区内部设有防腐蚀空腔，所述防腐蚀空腔内侧设有防水层，所述导电滑环本体安装在防水层内部。
作为本实用新型优选的，所述导电滑环本体内部设有连接卡圈，且连接卡圈内部开设有转子出线孔，所述转子出线孔关于连接卡圈的垂直中心线对称分布有四组。
作为本实用新型优选的，所述驱动齿轮外侧啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮外侧设有止转杆，所述从动齿轮和主齿轮相对应设置。
作为本实用新型优选的，所述导电滑环本体内部设有固定外套圈，所述固定外套圈的直径大于旋转导电轴的直径，所述固定外套圈和旋转导电轴为活动连接。
作为本实用新型优选的，所述导电滑环本体内部活动连接有旋转轴套，所述旋转轴套和旋转导电轴之间通过螺钉固定，所述旋转轴套的圆心和旋转导电轴的圆心处于同一垂直线。
作为本实用新型优选的，所述定位底板内部开设有定位孔，所述定位孔外侧设有固定支撑竖杆，所述定位孔在定位底板内部呈等距分布。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、该防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，防湿干区内部设有的导电滑环本体一端通过导电杆和电源连接装置相连接，另一侧和旋转导电轴相接触，使磁铁全放在干区，避免了磁铁污染、防腐，而且全磁路全封闭，使寿命更长；
2、该防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，通过防腐蚀空腔和防水层的设置，可以提高装置整体的防腐蚀性，而通过驱动装置内部设有的旋转电机可以带动主齿轮进行旋转，进一步使驱动齿轮可以带动旋转导电轴进行旋转，促使旋转轴套能够相对进行运动，确保使用的稳定性；
3、该防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，通过定位底板内部开设的定位孔可以使固定支撑竖杆能够起到上下支撑作用，而固定支撑竖杆设在防湿干区内部，能够对导电滑环本体起到一定防护作用，进一步提高装置的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型立体结构示意图；
图2为本实用新型图1中旋转阴极本体的结构正剖面图；
图3为本实用新型图1中旋转阴极本体的结构俯视剖面图。
图中：1、旋转阴极本体；2、端头；3、防湿干区；4、导电滑环本体；5、电源连接装置；6、导电杆；7、驱动装置；8、旋转电机；9、驱动轴；10、主齿轮；11、驱动齿轮；12、旋转导电轴；13、定位底板；14、防腐蚀空腔；15、防水层；16、连接卡圈；17、转子出线孔；18、从动齿轮；19、止转杆；20、固定外套圈；21、旋转轴套；22、定位孔；23、固定支撑竖杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1至图3所示，本实用新型提供的一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，包括旋转阴极本体1，旋转阴极本体1内部设有端头2，且端头2内部开设有防湿干区3，防湿干区3内部设有导电滑环本体4，端头2内部设有电源连接装置5，导电滑环本体4内部设有导电杆6，且导电杆6延伸至导电滑环本体4外侧和电源连接装置5为电性连接，旋转阴极本体1内部设有驱动装置7，且驱动装置7内部设有旋转电机8，旋转电机8的输出端固定连接有驱动轴9，且驱动轴9外侧设有主齿轮10，主齿轮10外侧啮合连接有驱动齿轮11，驱动齿轮11外侧固定连接有旋转导电轴12，旋转阴极本体1内部设有定位底板13。
参考图2，防湿干区3内部设有防腐蚀空腔14，防腐蚀空腔14内侧设有防水层15，导电滑环本体4安装在防水层15内部。
作为本实用新型的一种技术优化方案，通过防腐蚀空腔14和防水层15的设置，可以提高装置整体的防腐蚀性，避免了磁铁受到污染的风险，提高了装置的使用寿命。
参考图3，导电滑环本体4内部设有连接卡圈16，且连接卡圈16内部开设有转子出线孔17，转子出线孔17关于连接卡圈16的垂直中心线对称分布有四组。
作为本实用新型的一种技术优化方案，通过连接卡圈16的设置，可以起到连接卡位的作用，从而进一步确保了使用的稳定性。
参考图2，驱动齿轮11外侧啮合连接有从动齿轮18，从动齿轮18外侧设有止转杆19，从动齿轮18和主齿轮10相对应设置。
作为本实用新型的一种技术优化方案，通过从动齿轮18的设置，当旋转电机8带动驱动齿轮11进行运动时，可以带动其相对的进行运动，当需要停止转动时利用止转杆19能够起到止转效果。
参考图3，导电滑环本体4内部设有固定外套圈20，固定外套圈20的直径大于旋转导电轴12的直径，固定外套圈20和旋转导电轴12为活动连接。
作为本实用新型的一种技术优化方案，通过固定外套圈20的设置，当旋转导电轴12进行转动时，固定外套圈20为固定设置，使导电馈入部分不会随着旋转导电轴12的转动而转动。
参考图3，导电滑环本体4内部活动连接有旋转轴套21，旋转轴套21和旋转导电轴12之间通过螺钉固定，旋转轴套21的圆心和旋转导电轴12的圆心处于同一垂直线。
作为本实用新型的一种技术优化方案，通过旋转轴套21的设置，便于导电滑环本体4和旋转导电轴12之间进行固定安装，从而确保了安装的稳定性，提高装置使用的安装性。
参考图3，定位底板13内部开设有定位孔22，定位孔22外侧设有固定支撑竖杆23，定位孔22在定位底板13内部呈等距分布。
作为本实用新型的一种技术优化方案，通过定位孔22和固定支撑竖杆23的设置，能够起到上下支撑作用，而固定支撑竖杆23设在防湿干区3内部，能够对导电滑环本体4起到一定防护作用，进一步提高装置的使用寿命。
本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，防湿干区3内部设有的导电滑环本体4一端通过导电杆6和电源连接装置5相连接，另一侧和旋转导电轴12相接触，使磁铁全放在干区，避免了磁铁污染、防腐，而且全磁路全封闭，使寿命更长，通过防腐蚀空腔14和防水层15可以提高装置整体的防腐蚀性，旋转电机8可以带动主齿轮10进行旋转，进一步使驱动齿轮11可以带动旋转导电轴12进行旋转，促使旋转轴套21能够相对进行运动，确保使用的稳定性，定位孔22可以使固定支撑竖杆23能够起到上下支撑作用，而固定支撑竖杆23设在防湿干区3内部，能够对导电滑环本体4起到一定防护作用，进一步提高装置的使用寿命。
综上所述：该防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，通过设置旋转阴极本体1、端头2、防湿干区3、导电滑环本体4、电源连接装置5、导电杆6、驱动装置7、旋转电机8、驱动轴9、主齿轮10、驱动齿轮11、旋转导电轴12、定位底板13的配合使用，解决了传统的磁控溅射镀膜中的旋转阴极是将电刷置于端头2内部从而进行导电，而磁铁全泡在水中，长时间使用容易导致磁铁收到污染；同时目前市场上的旋转阴极没有利用导电滑环的结构，无法将磁铁全部放置在干区，使磁铁容易受水阻抗的变化被腐蚀，从而大大减少了装置使用寿命的问题。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，包括旋转阴极本体，其特征在于：所述旋转阴极本体内部设有端头，且端头内部开设有防湿干区，所述防湿干区内部设有导电滑环本体，所述端头内部设有电源连接装置，所述导电滑环本体内部设有导电杆，且导电杆延伸至导电滑环本体外侧和电源连接装置为电性连接，所述旋转阴极本体内部设有驱动装置，且驱动装置内部设有旋转电机，所述旋转电机的输出端固定连接有驱动轴，且驱动轴外侧设有主齿轮，所述主齿轮外侧啮合连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮外侧固定连接有旋转导电轴，所述旋转阴极本体内部设有定位底板。
2.根据权利要求1所述的一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，其特征在于：所述防湿干区内部设有防腐蚀空腔，所述防腐蚀空腔内侧设有防水层，所述导电滑环本体安装在防水层内部。
3.根据权利要求1所述的一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，其特征在于：所述导电滑环本体内部设有连接卡圈，且连接卡圈内部开设有转子出线孔，所述转子出线孔关于连接卡圈的垂直中心线对称分布有四组。
4.根据权利要求1所述的一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，其特征在于：所述驱动齿轮外侧啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮外侧设有止转杆，所述从动齿轮和主齿轮相对应设置。
5.根据权利要求1所述的一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，其特征在于：所述导电滑环本体内部设有固定外套圈，所述固定外套圈的直径大于旋转导电轴的直径，所述固定外套圈和旋转导电轴为活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，其特征在于：所述导电滑环本体内部活动连接有旋转轴套，所述旋转轴套和旋转导电轴之间通过螺钉固定，所述旋转轴套的圆心和旋转导电轴的圆心处于同一垂直线。
7.根据权利要求1所述的一种防止湿作业腐蚀的阴极导电滑环结构，其特征在于：所述定位底板内部开设有定位孔，所述定位孔外侧设有固定支撑竖杆，所述定位孔在定位底板内部呈等距分布。
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