CN214818007U - 一种晶圆装夹装置 - Google Patents
一种晶圆装夹装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN214818007U CN214818007U CN202121048769.2U CN202121048769U CN214818007U CN 214818007 U CN214818007 U CN 214818007U CN 202121048769 U CN202121048769 U CN 202121048769U CN 214818007 U CN214818007 U CN 214818007U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- circular groove
- clamping device
- pressing
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 86
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000009471 action Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 19
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 13
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 13
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 112
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种种晶圆装夹装置，在装夹晶圆时使晶圆不易碎裂，包括：基座，其一侧端面上具有用于让晶圆嵌入的圆形凹槽；多个压紧机构，安装在基座上，用于夹紧晶圆，其中，每个压紧机构具有环绕圆形凹槽设置的压块以及与该压块相配套设置的弹性元件，压块在弹性元件的作用下向靠近圆形凹槽的中心的方向压紧晶圆。与现有技术中晶圆直接通过类似三爪卡盘的装置装夹相比，本发明的晶圆装夹装置上的晶圆收到的力较小，而且具有侧面承托和阻挡作用，可以有效防止晶圆在装夹过程中碎裂。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆检测辅助工具，具体涉及一种晶圆装夹装置。
背景技术
晶圆，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片。晶圆的厚度很小，多在1mm左右。在对晶圆进行检测时，需要对晶圆进行装夹固定。
现有技术中，使用装夹普通镜片的镜片夹紧装置对晶圆进行装夹。这种镜片夹紧装置具有可以从镜片的周面夹紧镜片的卡爪，镜片放置在该镜片夹紧装置上时，由卡爪进行定位和夹紧。这种卡爪对镜片的夹紧力较大，如果用来装夹晶圆，由于晶圆的厚度较小，强度也很小，因此容易在装夹过程中夹碎晶圆，造成晶圆损耗，极大地影响晶圆的测量。
实用新型内容
为解决上述问题，提供一种晶圆装夹装置，在装夹晶圆时使晶圆不易碎裂，本实用新型采用了如下技术方案：
本实用新型提供了一种晶圆装夹装置，其特征在于，包括：基座，其一侧端面上具有用于让晶圆嵌入的圆形凹槽；多个压紧机构，安装在基座上，用于夹紧晶圆，其中，每个压紧机构具有环绕圆形凹槽设置的压块以及与该压块相配套设置的弹性元件，压块在弹性元件的作用下向靠近圆形凹槽的中心的方向压紧晶圆。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，基座上具有三个均匀环绕圆形凹槽的安装部，压紧机构的数量为三个，分别安装在对应的安装部中。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，圆形凹槽具有环形槽壁，在该环形槽壁上具有三个与各个安装部相连通的通道部，该通道部沿圆形凹槽的径向延伸，压块具有凸向圆形凹槽的凸柱，该凸柱可以对应的通道部内沿圆形凹槽的径向移动。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，压紧机构还具有压杆，压杆沿圆形凹槽的径向延伸，具有与压块固定连接的一端作为结合端，以及穿过安装部延伸至基座外的一端作为延伸端，弹性元件为压紧弹簧，该压紧弹簧一端固定在压块上，另一端固定在安装部上。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，压紧机构还具有压杆把手，压杆把手一体成形于压杆的延伸端，压紧弹簧套设在压杆上。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，安装部上固定安装有与该安装部中的压杆平行的至少一个导向杆，压紧弹簧套设在导向杆上，压块还具有用于让导向杆穿过的至少一个导向杆安装孔，使得压杆移动时，压块沿导向杆的长度方向移动。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，导向杆的数量为两个，分别对称分布在对应的压杆的两侧。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，安装部还具有抵接件，该抵接件设置在安装部远离圆形凹槽的一端，具有让压杆穿过的压杆安装孔，弹簧的另一端固定在抵接件上。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，基座呈圆形，中心具有通孔，圆形凹槽设置在基座的中心，并且与通孔的圆心重合。
本实用新型提供的晶圆装夹装置，还可以具有这样的特征，其中，圆形凹槽的深度与晶圆的厚度相匹配。
实用新型作用与效果
根据本实用新型的晶圆装夹装置，包括具有让晶圆嵌入的圆形凹槽的基座以及用于压紧嵌在圆形凹槽中的晶圆的压紧机构，通过圆形凹槽对晶圆进行预定位，并对晶圆的一侧面进行一定的承托，另外压紧机构通过弹性元件以及压块的配合相晶圆的中心压紧晶圆，放置晶圆在晶圆装夹装置中移动，实现对晶圆的装夹。由于圆形凹槽对晶圆进行预定位，加上夹紧使用的是弹簧夹紧，与现有技术中晶圆直接通过类似三爪卡盘的装置装夹相比，本发明的晶圆装夹装置上的晶圆收到的力较小，而且具有侧面承托和阻挡作用，可以有效防止晶圆在装夹过程中碎裂。
附图说明
图1是本实用新型实施例一中晶圆装夹装置的立体结构示意图一；
图2是本实用新型实施例一中晶圆装夹装置的立体结构示意图二；
图3是本实用新型实施例一中晶圆装夹装置的剖视图一；
图4是本实用新型实施例一中晶圆装夹装置的剖视图二；
图5是本实用新型实施例一中压杆和压杆把手的立体结构示意图；
图6是本实用新型实施例二中晶圆装夹装置的立体结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图以及实施例来说明本实用新型的具体实施方式。
<实施例一>
图1是本实用新型实施例一中晶圆装夹装置的立体结构示意图一。图2是本实用新型实施例一中晶圆装夹装置的立体结构示意图二。
如图1和图2所示，本实施例提供一种晶圆装夹装置100，用于装夹晶圆，包括基座10以及三个压紧机构20。本实施例中，待装夹的晶圆的厚度为1mm。
基座10呈圆盘状，具有通孔11、圆形凹槽12、三个安装部13以及与安装部13对应的三个通道部14。
通孔11呈圆形，贯穿基座10，并且与基座10同轴。另外，通孔11的直径小于待装夹的晶圆的直径。
圆形凹槽12设置在基座10的一侧端面上，余基座10同轴，该圆形凹槽12的直径略大于待装夹的晶圆的直径，用于让晶圆嵌入，对晶圆进行预定位。圆形凹槽12具有环形底面121以及环形槽壁122。
晶圆嵌入环形凹槽12中时，晶圆的一侧端面的周边部分与环形底面12相贴合。
圆形凹槽12的深度与晶圆的厚度相匹配。本实施例中，圆形凹槽12的深度为1mm，使得晶圆嵌入环形凹槽12中时，完全容纳在环形凹槽12内。
每个安装部13用于安装对应的压紧机构20，设置在基座10设置有圆形凹槽12的一侧端面上。安装部13具有安装槽131、抵接件132、以及导向杆133。
安装槽131为方形槽，沿圆形凹槽12的径向延伸。该安装槽的一端与圆形安装槽具有一定间隔，另一端延伸至基座10的圆周面上。
抵接件132呈长条形，通过螺钉固定安装在安装槽131中，位于靠近基座10的圆周面的一侧。抵接件132的中央位置具有沿圆形凹槽12的径向延伸的压杆安装孔134。
本实施例中，导向杆133的数量为两个，分别从抵接件132长度方向的两端延伸至于安装槽131靠近圆形凹槽12的一侧面。导向杆133与压杆安装孔134的轴线平行。
通道部14从环形槽壁122延伸至与安装槽131。通道部14一端开口设置在环形槽壁122上，另一端开口设置在安装槽131的靠近圆形凹槽12的一侧面上。
图3是本实用新型实施例一中晶圆装夹装置的剖视图一。图4是本实用新型实施例一中晶圆装夹装置的剖视图二。
如图3和图4所示，压紧机构20安装在安装部13上，用于压紧晶圆，具有压块21、弹性元件22、压杆23以及压杆把手24。
压块21可滑动地安装在安装槽131中位于靠近圆形凹槽12的一侧，呈长条形，具有凸柱211以及导向杆安装孔212。
凸柱211从压块21上沿圆形凹槽12的径向延伸，设置在通道部14内，当压块21在安装槽131中滑动时，凸柱211沿通道部14移动，也就是说，凸柱211沿圆形凹槽12的径向相靠近或远离晶圆的方向移动。
本实施例中，压块21包括两个部分分别为第一部分213和第二部分214，第一部分213完全位于安装槽131中，第二部分214通过螺栓固定连接在第一部分213上，并且位于第一部分213远离安装槽131的槽底部的一侧，凸柱211设置在第二部分214上。
导向杆安装孔212设置在压块21长度方向的两端，用于让导向杆133穿过，使得压块21可以沿导向杆133的长度方向在安装槽131内滑动。
本实施例中，弹性元件22为压紧弹簧22，该压紧弹簧22的一端固定在压块21上，另一端固定在抵接件上，并且该压缩弹簧221处于压缩状态，用于向压块21提供一个朝向圆形凹槽12的圆心的压紧力，使得压块21上的凸柱211凸出通道部14并压紧位于圆形凹槽12中的晶圆。
图1示出了凸柱211未凸出通道部14的状态，图2示出了凸柱211凸出通道部14的状态，晶圆装夹装置100夹紧晶圆的状态如图2所示。
图5是本实用新型实施例一中压杆和压杆把手的立体结构示意图。
如图5所示，压杆21安装在安装槽131中，沿圆形凹槽12的径向延伸。两个导向杆133与压杆21平行。
压杆21的一端为与压块21固定连接的结合端231，另一端为穿过抵接件132上的压杆安装孔134的延伸端232。
延伸端232穿过压杆安装孔134延伸至基座10的圆周壁之外，压杆把手24安装在延伸端232，位于抵接件132远离圆形凹槽12的一侧。本实施例中，压杆把手24一体成型于压杆23的延伸端232上。
压紧弹簧22套设在压杆21上。
在使用本实施例一的晶圆装夹装置100时，具体动作过程如下。
向基座10的外拉动三个压紧机构20的压杆把手24，使得压杆23带动压块21向远离圆形凹槽12的方向移动，也就使得压块21上的凸柱211缩回通道部14中。然后将待检测的晶圆完全嵌入到圆形凹槽12中，由于晶圆的厚度为1mm，圆形凹槽12的深度也为1mm，因此当晶圆放入圆形凹槽12后，晶圆的一侧面与圆形凹槽12的环形底面121贴合，另一面与基座10具有圆形凹槽12的一侧端面齐平。最后松开三个压杆把手24，压块21在压紧弹簧22的弹性力作用下向靠近圆形凹槽12的方向移动，使得压块21上的凸柱211从晶圆的径向压紧晶圆，实现对晶圆的定位和限位。
实施例一作用与效果
本实施例一提供的晶圆装夹装置，包括具有让晶圆嵌入的圆形凹槽的基座以及用于压紧嵌在圆形凹槽中的晶圆的压紧机构，通过圆形凹槽对晶圆进行预定位，并对晶圆的一侧面进行一定的承托，另外压紧机构通过弹性元件以及压块的配合相晶圆的中心压紧晶圆，放置晶圆在晶圆装夹装置中移动，实现对晶圆的装夹。由于圆形凹槽对晶圆进行预定位，加上夹紧使用的是弹簧夹紧，与现有技术中晶圆直接通过类似三爪卡盘的装置装夹相比，本发明的晶圆装夹装置上的晶圆收到的力较小，而且具有侧面承托和阻挡作用，可以有效防止晶圆在装夹过程中碎裂。
另外，基座上具有三个均匀环绕圆形凹槽的压紧机构，三个压紧机构从三个方向压紧晶圆，使晶圆收到的力相对平衡的同时，也减少了晶圆圆周面上受到的不同方向力的数量，并且，三方向夹持时，对晶圆的限位最为稳定，不易产生晃动。
另外，压紧机构包括压块以及在基座的通道部内滑动的凸柱，凸柱在弹性元件的作用下压向晶圆，在需要卸下晶圆时，可以使凸柱缩回到通道部内后，再将晶圆取出，这种压紧机构结构简单，易于晶圆的拆卸操作。
另外，基座具有通过螺栓连接在基座上的抵接件，压杆的延伸端穿过抵接件，并且在该延伸端具有一体成型的压杆把手，在安装压杆时，可以通过拆下抵接件而进行快速安装，方便了整个晶圆装夹装置的装配。
另外，在抵接件上设有导向杆，压块套设在导向杆上，由于导向杆与压杆平行，当使用者拉动压杆把手使压杆向基座的外移动时，压块可以平顺的沿导向杆滑动。并且由于导向杆的数量为两个，分置在压杆的两侧，因此可以使得压块的滑动更加平顺。
另外，基座的圆形凹槽的深度与晶圆的厚度相匹配，使得晶圆完全嵌入圆形凹槽中，并且在嵌入后，晶圆与基座的端面齐平，可以进一步避免晶圆在装夹过程中碎裂。
<实施例二>
本实施例二中，对于与实施例二相同的结构予以相同的编号并省略相应的说明。
图6是本实用新型实施例二中晶圆装夹装置的立体结构示意图。
如图6所示，本实施例提供一种晶圆夹紧装置100’，该晶圆夹紧装置100’与实施例一的晶圆夹紧装置100相比，基座10’的直径相同，但是具有直径更大的通孔11’和圆形凹槽12’。
另外，晶圆夹紧装置100’具有压紧机构20’，基座10’的导向杆133、压紧机构20’的压杆23’以及压紧弹簧22’的长度小于对应的晶圆装置100中相应结构的长度，从而使得本实施例二的晶圆夹紧装置100’可用于夹持直径更大的晶圆。
上述实施例仅用于举例说明本实用新型的具体实施方式，而本实用新型不限于上述实施例的描述范围。
本实施例中，压紧机构仅具有一个压紧弹簧，该压紧弹簧套设在压杆上，在其他实施例中，压紧机构也可以具有两个压紧弹簧，分别套设在两个导向杆上。对于导向杆比较长的晶圆夹紧装置，设置两个压紧弹簧可以使得压块的移动更加平顺。
Claims (10)
1.一种晶圆装夹装置，用于装夹晶圆，其特征在于，包括：
基座，其一侧端面上具有用于让所述晶圆嵌入的圆形凹槽；
多个压紧机构，安装在所述基座上，用于夹紧所述晶圆，
其中，每个所述压紧机构具有环绕所述圆形凹槽设置的压块以及与该压块相配套设置的弹性元件，
所述压块在所述弹性元件的作用下向靠近所述圆形凹槽的中心的方向压紧所述晶圆。
2.根据权利要求1所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述基座上具有三个均匀环绕所述圆形凹槽的安装部，
所述压紧机构的数量为三个，分别安装在对应的所述安装部中。
3.根据权利要求2所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述圆形凹槽具有环形槽壁，在该环形槽壁上具有三个与各个所述安装部相连通的通道部，该通道部沿所述圆形凹槽的径向延伸，
所述压块具有凸向所述圆形凹槽的凸柱，该凸柱可以对应的所述通道部内沿所述圆形凹槽的径向移动。
4.根据权利要求3所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述压紧机构还具有压杆，
所述压杆沿所述圆形凹槽的径向延伸，具有与所述压块固定连接的一端作为结合端，以及穿过所述安装部延伸至所述基座外的一端作为延伸端，
所述弹性元件为压紧弹簧，该压紧弹簧一端固定在所述压块上，另一端固定在所述安装部上。
5.根据权利要求4所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述压紧机构还具有压杆把手，
所述压杆把手一体成形于所述压杆的所述延伸端，
所述压紧弹簧套设在所述压杆上。
6.根据权利要求4所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述安装部上固定安装有与该安装部中的所述压杆平行的至少一个导向杆，
所述压紧弹簧套设在所述导向杆上，
所述压块还具有用于让所述导向杆穿过的至少一个导向杆安装孔，使得所述压杆移动时，所述压块沿所述导向杆的长度方向移动。
7.根据权利要求6所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述导向杆的数量为两个，分别对称分布在对应的所述压杆的两侧。
8.根据权利要求4所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述安装部还具有抵接件，该抵接件设置在所述安装部远离所述圆形凹槽的一端，具有让所述压杆穿过的压杆安装孔，
所述弹簧的所述另一端固定在所述抵接件上。
9.根据权利要求1所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述基座呈圆形，中心具有通孔，
所述圆形凹槽设置在所述基座的中心，并且与所述通孔的圆心重合。
10.根据权利要求1所述的晶圆装夹装置，其特征在于：
其中，所述圆形凹槽的深度与所述晶圆的厚度相匹配。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121048769.2U CN214818007U (zh) | 2021-05-17 | 2021-05-17 | 一种晶圆装夹装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121048769.2U CN214818007U (zh) | 2021-05-17 | 2021-05-17 | 一种晶圆装夹装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214818007U true CN214818007U (zh) | 2021-11-23 |
Family
ID=78774545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121048769.2U Active CN214818007U (zh) | 2021-05-17 | 2021-05-17 | 一种晶圆装夹装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214818007U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI819854B (zh) * | 2022-06-10 | 2023-10-21 | 大陸商西安奕斯偉材料科技股份有限公司 | 矽片定位方法及裝置 |
-
2021
- 2021-05-17 CN CN202121048769.2U patent/CN214818007U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI819854B (zh) * | 2022-06-10 | 2023-10-21 | 大陸商西安奕斯偉材料科技股份有限公司 | 矽片定位方法及裝置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5934137A (en) | Compression assembly tool | |
| US8449314B1 (en) | Latching system for electrical connector | |
| CN214818007U (zh) | 一种晶圆装夹装置 | |
| CN105855946B (zh) | 一种固定治具 | |
| KR101556143B1 (ko) | 탈부착이 용이한 센터링 블럭 및 블레이드를 가지는 반도체 ic 테스트용 핸들러 | |
| JP6989626B2 (ja) | ケーブル加工装置 | |
| CN107581727B (zh) | 一种双按钮弹簧扣装配系统 | |
| CN103786048B (zh) | 快速压紧装置 | |
| CN111288051A (zh) | 快速锁高压接头机构 | |
| KR101594809B1 (ko) | 단자 압착기 | |
| CN218534248U (zh) | 夹具 | |
| CN215035623U (zh) | 一种用于排气管加工的固定工装 | |
| CN211698618U (zh) | 逼压式表圈及手表 | |
| CN213380990U (zh) | 带线压力开关装载夹具 | |
| CN213540952U (zh) | 快速锁高压接头机构 | |
| CN211589812U (zh) | 一种机械加工夹具 | |
| CN109830857B (zh) | 一种方便拆卸的双向接线柱 | |
| CN210731716U (zh) | 盘盖类零件凸台铣槽用工装夹具 | |
| CN219038630U (zh) | 一种钢套硬度检测固定装置 | |
| CN221650241U (zh) | 一种端检仪辅助治具 | |
| CN109397129A (zh) | 越夹越紧的钳子 | |
| CN201419376Y (zh) | 拔取治具 | |
| CN207669199U (zh) | 一种防水接头装配用定位夹具 | |
| CN212133504U (zh) | 一种汽车零部件的检具 | |
| CN220094397U (zh) | 一种吸附式芯片定位夹具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |