CN203764000U - 过滤器滤材的制造装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的课题在于提供一种这样的过滤器滤材的制造装置：能够防止在平板部之间的间隔变宽时在相邻的平板部之间发生放电，能够抑制因该放电而在滤材原材上形成贯通孔而由此导致过滤器滤材的集尘效率降低。该过滤器滤材的制造装置包括：褶裥压缩部，其用于一边沿一方向输送滤材原材的形成为皱襞状的区域一边沿一方向对该皱襞状的区域进行压缩，由此使平板部之间的间隔减小；除电部，其用于在该褶裥压缩部的靠滤材原材的输送方向下游侧的端部向滤材原材放出离子来对滤材原材进行除电；褶裥释放部，其用于使滤材原材的被褶裥压缩部压缩的区域自被压缩的状态释放，由此与在褶裥压缩部内相比在该褶裥释放部内平板部之间的间隔较大。

Description

过滤器滤材的制造装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材的制造装置，特别是涉及一种用于制造对形成为片状的滤材原材进行打裥加工而成的过滤器滤材的过滤器滤材的制造装置。

背景技术

以往，在用于制造半导体、液晶的工厂的洁净室等中，使用了构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材。该过滤器滤材使用这样的滤材：使形成为片状的滤材原材在多处弯曲而形成为皱襞状的滤材。这样的过滤器滤材包括：通过使滤材原材弯曲而形成的弯曲部、将该滤材原材的除该弯曲部以外的区域以相对的方式配置而形成的多个平板部、以及用于保持相邻的平板部之间的间隔的多个间隔保持部。

作为用于制造该过滤器滤材的制造装置，采用了这样的制造装置，该制造装置包括：打裥加工部，其构成为一边沿一方向输送片状的滤材原材一边使其在多处弯曲而形成为皱襞状（打裥加工）；粘接剂涂敷部，其用于在利用该打裥加工部进行了打裥加工后的滤材原材上涂敷粘接剂；滤材形成部，其用于使利用该粘接剂涂敷部涂敷了粘接剂的滤材原材再次形成为皱襞状而形成过滤器滤材（参照专利文献1、2）。

在上述那样的制造装置中，利用打裥加工部形成弯曲部，由此使滤材原材的为弯曲部的区域形成弯折记忆（日文：折り癖）。因此，即使在利用粘接剂涂敷部将粘接剂涂敷于滤材原材时将滤材原材的形成为皱襞状的区域（以下，也记作皱襞状区域）拉伸，也能够利用滤材形成部容易地返回到皱襞状。

为了良好地保持该弯折记忆，提出了一种还包括褶裥压缩部的制造装置，该褶裥压缩部用于沿一方向对滤材原材的皱襞状区域进行压缩。利用该褶裥压缩部以平板部之间的间隔减小的方式对皱襞状区域进行压缩，因此滤材原材的弯折记忆增强。由此，在皱襞状区域自被压缩的状态释放时，也能够良好地维持滤材原材的弯折记忆。

然而，在上述那样的制造装置中，滤材原材与制造装置之间滑动接触，而有可能导致滤材原材带电。并且，若滤材原材的皱襞状区域在被褶裥压缩部压缩的状态下带电，则在皱襞状区域自被压缩的状态释放时，存在这样的情况：平板部之间的间隔变宽而在相邻的平板部之间发生放电。这样的放电是导致在平板部形成贯通孔的主要原因，由于形成有该贯通孔，而导致过滤器滤材的集尘效率降低。

专利文献1：日本特开2003-265910号公报

专利文献2：日本特开2004-321937号公报

实用新型内容

因此，本实用新型的课题在于提供一种这样的过滤器滤材的制造装置：能够防止在平板部之间的间隔变宽时在相邻的平板部之间发生放电，能够抑制因该放电而在滤材原材上形成贯通孔而由此导致过滤器滤材的集尘效率降低。

本实用新型的过滤器滤材的制造装置包括：打裥加工部，其用于在片状的滤材原材的一方向上的多处、沿与一方向正交的另一方向使滤材原材弯曲而形成多个弯曲部，并且将该滤材原材的除该弯曲部以外的区域以相对的方式配置而形成多个平板部，由此将滤材原材形成为皱襞状；褶裥压缩部，其用于一边沿一方向输送滤材原材的形成为皱襞状的区域一边沿一方向对该皱襞状的区域进行压缩，由此使平板部之间的间隔减小；除电部，其构成为在该褶裥压缩部的靠滤材原材的输送方向下游侧的端部向滤材原材放出离子来对滤材原材进行除电；褶裥释放部，其用于使滤材原材的被褶裥压缩部压缩的区域自被压缩的状态释放，由此与在褶裥压缩部内相比在该褶裥释放部内平板部之间的间隔较大。

根据该结构，由于具有除电部，因此能够防止在褶裥释放部内平板部之间的间隔变宽时在相邻的平板部之间发生放电。具体而言，在褶裥压缩部的靠滤材原材的输送方向下游侧的端部，滤材原材的形成为皱襞状的区域（以下，也记作皱襞状区域）成为平板部之间的间隔较小的状态。即，在褶裥压缩部的靠滤材原材的输送方向下游侧的端部，滤材原材的皱襞状区域成为带电的状态，因此在该端部利用除电部向滤材原材放出离子，由此能够通过滤材原材与离子之间的接触而对滤材原材进行除电。由此，在褶裥释放部内平板部之间的间隔变宽时，也能够防止相邻的平板部之间发生放电。

优选的是，上述褶裥压缩部包括：夹入部，其用于从滤材原材的两面侧夹入滤材原材的形成为皱襞状的区域；加压部，其配置在比该夹入部靠滤材原材的输送方向下游侧的位置，用于至少从滤材原材的一面侧对滤材原材的形成为皱襞状的区域进行加压，上述除电部构成为：在加压部的靠滤材原材的输送方向下游侧的端部向滤材原材放出离子。

根据该结构，将滤材原材的皱襞状区域以被夹入部夹入的状态进行输送，并且以被加压部加压的状态进行输送，因此该滤材原材的皱襞状区域因与夹入部之间的滑动接触和与加压部之间的滑动接触而容易带电。但是，在加压部的靠滤材原材的输送方向下游侧的端部自除电部向滤材原材放出离子，因此在该滤材原材进入褶裥释放部之前（即，以相邻的平板部之间不发生放电的状态）对滤材原材进行除电。由此，在褶裥释放部内平板部之间的间隔变宽时，也能够防止相邻的平板部之间发生放电。

优选的是，上述除电部构成为：自滤材原材的一面侧朝向滤材原材的输送方向上游侧放出离子。

根据该结构，以自滤材原材的一面侧朝向滤材原材的输送方向上游侧放出离子的方式构成除电部，因此由除电部放出的离子有效地与滤材原材接触。由此，能够有效地对滤材原材进行除电，在褶裥释放部内平板部之间的间隔变宽时，也能够相对有效地防止相邻的平板部之间发生放电。

如以上那样，采用本实用新型，能够防止在平板部之间的间隔变宽时在相邻的平板部之间发生放电，能够抑制因该放电而在滤材原材上形成贯通孔而由此导致过滤器滤材的集尘效率降低。

附图说明

图1是表示本实施方式的过滤器滤材的制造装置的概略图。

图2是表示利用该实施方式的过滤器滤材的制造装置而在滤材原材上涂敷了粘接剂的状态的立体图及其局部放大图。

图3是利用该实施方式的过滤器滤材的制造装置而制造出的过滤器滤材的立体图。

图4是利用该实施方式的过滤器滤材的制造装置而制造出的过滤器滤材的剖视图。

附图标记说明

1、制造装置；2、打裥加工部；2a、刀片；3、粘接剂涂敷部；3a、注射喷嘴；3b、上下输送位置；4、滤材形成部；A、滤材原材；A1、多孔质层；A2、基材层；A3、弯曲区域；A4、非弯曲区域；B、肋部；F1、过滤器滤材；F1a、弯曲部；F1b、平板部；F1c、间隔保持部

具体实施方式

以下，参照图1～图4说明本实用新型的实施方式。另外，在以下的附图中对同一部分或相当于同一部分的部分标注同一附图标记并不重复其说明。

如图1所示，本实施方式的过滤器滤材的制造装置（以下，仅记作制造装置）1构成为：能够通过一边沿一方向输送形成为片状的滤材原材A一边使其形成为皱襞状（打裥加工）来形成过滤器滤材F1。滤材原材A能够使用以一方向为长度方向的方式形成为片状的滤材原材。在本实施方式中，滤材原材A能够使用这样的滤材原材，该滤材原材构成为通过自以一方向为长度方向的方式形成为长条状且被卷起的状态放卷而成为片状。

在此，说明滤材原材A。滤材原材A构成为能够捕集被过滤气体中的颗粒。具体而言，滤材原材A包括用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的多孔质层A1和具有透气性的基材层A2。在本实施方式中，滤材原材A构成为：包括多个（具体而言，两个）基材层A2，在两个基材层A2之间层叠有多孔质层A1。

上述多孔质层A1是使用能够捕集上述颗粒的多孔质的片材（以下，也记作多孔质片）形成的。该多孔质片并不特别限定，能够根据过滤器滤材F1的用途而适当选择。例如，能够采用将聚四氟乙烯（PTFE）形成为片状而成的PTFE片、熔喷无纺布、驻极体过滤片、或者玻璃纤维等。在本实施方式中，使用PTFE片作为多孔质片。优选该PTFE片在透过流速为5.3cm/sec时的压力损失为50mmH₂O以下。并且，PTFE片在透过流速为5.3cm/sec时，测量颗粒直径为0.1μm～0.2μm的颗粒的捕集效率（与下述的实施例同样地计算）优选为80%以上，更优选为99.9%以上，优选PF值为22以上。

上述基材层A2是使用具有透气性的片材（以下，也记作透气性片）形成的。透气性片并不特别限定，例如能够利用无纺布、织布、网状物、高分子纤维等。特别是，在使多孔质层A1（多孔质层片）与基材层A2（透气性片）热熔接（热层压）的情况下，优选采用由具有热塑性的材料构成的透气性片。

作为透气性片的材质，例如能够列举出聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃、尼龙、聚酯、芳纶（具体而言，芳香族系聚酰胺等）、或者将它们组合而成的材质（例如，由芯/鞘构造的纤维构成的无纺布、低熔点材料和高熔点材料的双层无纺布等）。除此之外，作为透气性片的材质，例如能够列举出PFA（四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物）、FEP（四氟乙烯/六氟丙烯共聚物）、PTFE的多孔质膜等氟系多孔膜。

特别是，优选使用利用由芯鞘构造的复合纤维且是芯成分的熔点高于鞘成分的熔点的合成纤维构成的无纺布、由低熔点材料和高熔点材料这两层构成的无纺布等形成的透气性片。通过使用这样的透气性片，能够抑制在使多孔质层片（多孔质层A1）与透气性片（基材层A2）热层压时透气性片（基材层A2）发生收缩。并且，通过使用该透气性片，打裥加工时的加工性良好，能够增加使滤材原材A弯曲的部位（折入间距）。

作为用于形成上述那样的结构的滤材原材A的方法，并不特别限定，例如能够采用这样的方法：在用于形成多孔质层A1的多孔质片与用于形成基材层A2的透气性片之间配置热熔胶、压敏性粘接剂，将多孔质片和透气性片压接。另外，能够采用将透气性片加热而软化后将该透气性片与多孔质片压接（热层压）的方法。

本实施方式的制造装置1包括：打裥加工部2，其用于对滤材原材A进行打裥加工；粘接剂涂敷部3，其用于在滤材原材A上涂敷粘接剂；滤材形成部4，其用于利用涂敷有粘接剂的滤材原材A形成过滤器滤材F1。并且，制造装置1还包括：褶裥压缩部5，其用于沿一方向对滤材原材A的形成为皱襞状的区域进行压缩；除电部（具体而言，除电装置）6，其用于对滤材原材A进行除电；褶裥释放部7，其用于将滤材原材A的被褶裥压缩部5压缩的区域自被压缩的状态释放。

打裥加工部2构成为沿一方向（长度方向）输送片状的滤材原材A。并且，打裥加工部2包括形成为板状的一对刀片2a、2a。并且，打裥加工部2构成为向一对刀片2a、2a之间输送滤材原材A。并且，一对刀片2a、2a沿与滤材原材A的一方向（长度方向）正交的另一方向（宽度方向）配置。另外，优选的是，输送至打裥加工部2时的滤材原材A被裁切为规定宽度。

并且，一对刀片2a、2a分别沿轨道2L动作，由此对滤材原材A进行打裥加工。具体而言，利用一刀片2a使滤材原材A自一面侧朝向另一面侧地沿宽度方向弯曲，并且在滤材原材A的长度方向上与被一刀片2a弯曲了的区域分开的位置、利用另一刀片2a使滤材原材A自另一面侧朝向一面侧地沿宽度方向弯曲。即，打裥加工部2构成为：利用一对刀片2a、2a使滤材原材A朝向长度方向隔有间隔地交替折入（进行打裥加工）（往复方式）。由此，在片状的滤材原材A的一方向（长度方向）上的多处沿着另一方向（宽度方向）使滤材原材A弯曲而形成多个弯曲部F1a，并且将滤材原材A的除该弯曲部F1a以外的区域以相对的方式配置而形成多个平板部F1b，从而使片状的滤材原材A形成有形成为皱襞状的区域（以下，也记作皱襞状区域）。

将滤材原材A的皱襞状区域输送到褶裥压缩部5。褶裥压缩部5构成为：一边沿一方向（与片状的滤材原材A的一方向相当的方向、即长度方向）输送滤材原材A的皱襞状区域一边沿一方向对该皱襞状区域进行压缩。具体而言，褶裥压缩部5包括：夹入部5a，其用于从滤材原材A的两面侧夹入该滤材原材A的皱襞状区域；加压部5b，其配置在比该夹入部5a靠滤材原材A的输送方向下游侧的位置，用于至少从滤材原材A的一面侧对该滤材原材A的皱襞状区域进行加压。

在本实施方式中，褶裥压缩部5由如下部件构成：下侧板5c，其用于载置滤材原材A的皱襞状区域；上侧板5d，其配置在该下侧板5c的上方；加压装置5e，其用于对滤材原材A的皱襞状区域进行加压。并且，下侧板5c的靠输送方向上游侧的区域与上侧板5d构成夹入部5a，并且下侧板5c的靠输送方向下游侧的区域与加压装置5e构成加压部5b。

夹入部5a构成为：在下侧板5c与上侧板5d之间夹入滤材原材A的皱襞状区域。由此，各弯曲部F1a的成为峰侧的面与夹入部5a（具体而言，下侧板5c和上侧板5d）接触。并且，由于沿一方向输送滤材原材A的皱襞状区域，因此夹入部5a（具体而言，下侧板5c和上侧板5d）与各弯曲部F1a滑动接触。

另一方面，加压部5b构成为：利用加压装置5e自上方对滤材原材A的载置在下侧板5c上的皱襞状区域进行加压。像这样，利用加压部5b对滤材原材A的皱襞状区域进行加压，由此滤材原材A在褶裥压缩部5内的输送速度小于从打裥加工部2向褶裥压缩部5输送滤材原材A的输送速度。因此，在褶裥压缩部5内，滤材原材A的皱襞状区域沿一方向（滤材原材A的长度方向）被压缩，而成为平板部F1b之间的间隔减小的状态，并且弯曲部F1a的弯折记忆增强。像这样，弯折记忆增强，由此即使在后述的粘接剂涂敷部3将滤材原材A的皱襞状区域拉伸，也能够利用滤材形成部4容易地返回到皱襞状。另外，为了有效地保持弯折记忆，优选褶裥压缩部5还包括用于对滤材原材进行加温的（具体而言，加温到80℃左右）加温机构（未图示）。

上述除电装置6构成为：在褶裥压缩部5（具体而言，加压部5b）的靠滤材原材A的输送方向下游侧的端部（以下，也记作下游侧端部）处向滤材原材A放出离子。即，除电装置6构成为：在平板部F1b之间的间隔较小的状态下（即，在皱襞状区域被输送到褶裥释放部7之前）向滤材原材A的皱襞状区域放出离子。并且，优选除电装置6构成为：向滤材原材A的宽度方向的整个区域放出离子。并且，除电装置6构成为：从滤材原材A的一面侧朝向滤材原材A的输送方向上游侧地放出离子。优选利用除电装置6来进行了除电的滤材原材A的皱襞状区域的带电量为1.0kV以下，更优选为0.8kV以下，进一步优选为0.3kv以下。除电装置6并不特别限定，例如能够利用日本基恩士公司制造的SJ-HA等。

将滤材原材A的利用褶裥压缩部5压缩了的皱襞状区域输送到褶裥释放部7。褶裥释放部7构成为：沿一方向（与片状的滤材原材A的一方向相当的方向、即长度方向）输送滤材原材A的皱襞状区域。具体而言，褶裥释放部7由倾斜板7a构成，该倾斜板7a构成为：自褶裥压缩部5的下侧板5c的下游侧端部向下方倾斜，且用于载置滤材原材A的皱襞状区域。由此，通过将滤材原材A的皱襞状区域自褶裥压缩部5输送到褶裥释放部7，由此滤材原材A的皱襞状区域在倾斜板7a上沿一方向（滤材原材A的长度方向）被输送。并且，在褶裥释放部7内，滤材原材A的皱襞状区域自被压缩的状态释放，因此与在褶裥压缩部5内相比，在褶裥释放部7内平板部F1b之间的间隔较宽。

将滤材原材A的利用褶裥释放部7自被压缩的状态释放的皱襞状区域输送到粘接剂涂敷部3。粘接剂涂敷部3构成为：将滤材原材A的皱襞状区域拉伸为打裥加工之前的状态（片状）。具体而言，粘接剂涂敷部3包括多个夹持辊，利用该夹持辊沿一方向（长度方向）对滤材原材A的皱襞状区域施加张力。由此，将滤材原材A的皱襞状区域拉伸为片状。其中，也可以在滤材原材A的被拉伸的区域将滤材原材A裁切为规定的宽度。优选不对裁切了的部分施加张力。

并且，粘接剂涂敷部3构成为：在将滤材原材A的皱襞状区域拉伸为片状的状态下，在滤材原材A上涂敷粘接剂。并且，粘接剂涂敷部3构成为：沿滤材原材A的一方向（长度方向）相对地输送滤材原材A。并且，粘接剂涂敷部3构成为：沿滤材原材A的长度方向（输送方向）间歇地涂敷粘接剂。并且，粘接剂涂敷部3构成为：在滤材原材A的输送方向为上下方向的位置（以下，也记作上下输送位置）3b处在滤材原材A上涂敷粘接剂。

并且，粘接剂涂敷部3包括用于向滤材原材A注射粘接剂的注射喷嘴3a。该注射喷嘴3a配置在粘接剂涂敷部3的上下输送位置3b。并且，注射喷嘴3a配置在滤材原材A的一面侧和另一面侧。而且，注射喷嘴3a沿滤材原材A的宽度方向隔有间隔地配置有多个。由此，在沿滤材原材A的宽度方向上隔有间隔地在多处涂敷粘接剂。并且，粘接剂涂敷部3构成为：相对于注射喷嘴3a沿一方向（长度方向）相对地输送滤材原材A。由此，自注射喷嘴3a的顶端部注射粘接剂（具体而言，断续地注射），从而沿滤材原材A的一方向（长度方向）在滤材原材A的两面呈线状地（具体而言，呈线状且间歇地）涂敷粘接剂。

作为利用粘接剂涂敷部3涂敷于滤材原材A的粘接剂，并不特别限定，例如能够利用热熔胶（具体而言，热塑性的树脂）。在将热熔胶涂敷于滤材原材A时的温度根据热熔粘接剂的成分的不同而不同，例如优选为100℃～250℃，更优选为140℃～230℃。

如图2所示，利用粘接剂涂敷部3而涂敷于滤材原材A的粘接剂构成肋部B。该肋部B形成于滤材原材A的两面。并且，肋部B沿滤材原材A的一方向（长度方向）呈线状且间歇地形成。

形成在滤材原材A的一面侧的肋部（以下，也记作一面侧肋部）B和形成于滤材原材A的另一面侧的肋部（以下，也记作另一面侧肋部）B分别形成于滤材原材A的多处。具体而言，一面侧肋部B和另一面侧肋部B分别沿滤材原材A的一方向（长度方向）隔有间隔地形成有多个。并且，一面侧肋部B和另一面侧肋部B沿滤材原材A的一方向（长度方向）交替地（而且，以端部彼此隔着滤材原材A重叠的方式）形成。并且，一面侧肋部B和另一面侧肋部B沿滤材原材A的宽度方向隔有间隔地形成有多个（在本实施方式中为3个）。

一面侧肋部B和另一面侧肋部B形成为：与在对滤材原材A进行打裥加工后被弯曲的区域（以下，也记作弯曲区域）A3交叉（大致正交）。具体而言，构成为：相邻的弯曲区域A3、A3中的一弯曲区域A3与一面侧肋部B交叉，且另一弯曲区域A3与另一面侧肋部B交叉。并且，一面侧肋部B和另一面侧肋部B形成在各弯曲区域A3……的成为峰侧的面上。

并且，一面侧肋部B和另一面侧肋部B形成于滤材原材A的相邻的弯曲区域A3之间的区域（以下，也记作非弯曲区域）A4的两面。具体而言，一面侧肋部B和另一面侧肋部B形成于从其与各弯曲区域A3交叉的位置到各非弯曲区域A4的大致中央部之间的整个区域内，并且形成为：在各非弯曲区域A4的大致中央部处一面侧肋部B的端部和另一面侧肋部B的端部彼此隔着滤材原材A重叠。

滤材形成部4使利用粘接剂涂敷部3而涂敷有粘接剂的（形成有肋部B的）滤材原材A在各弯曲区域A3再次弯曲而形成为皱襞状。在各弯曲区域A3，如上述那样形成弯折记忆，因此容易再次弯曲，而使滤材原材A形成为皱襞状。由此，各非弯曲区域A4以相对的方式配置。并且，使形成于相邻的非弯曲区域A4、A4的一面侧肋部B、B彼此接合在一起且使形成于相邻的非弯曲区域A4、A4的另一面侧肋部B彼此接合在一起。由此，形成如图3所示那样的过滤器滤材F1。该过滤器滤材F1包括多个使滤材原材A弯曲而形成的弯曲部F1a，且包括多个由滤材原材A的除弯曲部F1a以外的区域（非弯曲区域A4）形成的平板部F1b。并且，过滤器滤材F1包括多个用于保持相邻的平板部F1b、F1b之间的间隔的间隔保持部F1c。该间隔保持部F1c通过使各一面侧肋部B（或者各另一面侧肋部B）彼此接合而形成。

其中，在用于构成肋部B的粘接剂使用热熔胶的情况下，优选在热熔胶彼此软化到能够接合的程度时（敞露时间内）将滤材原材A再次形成为皱襞状。

另外，在以下的说明中，过滤器滤材F1的在与滤材原材A的一方向（长度方向）相当的方向为过滤器滤材F1的长度L1方向。并且，以滤材原材A的一面侧为峰侧的方式形成的弯曲部F1a与以滤材原材A的另一面侧为峰侧的方式形成的弯曲部F1a之间的间隔为过滤器滤材F1的高度L2。

如图4所示，如上述那样形成的过滤器滤材F1包括间隔保持部F1c，该间隔保持部F1c分别形成在滤材原材A的一面侧和另一面侧。并且，各间隔保持部F1c沿着过滤器滤材F1的高度L2方向形成为直线状。并且，过滤器滤材F1的一面侧的各间隔保持部F1c和另一面侧的各间隔保持部F1c沿着过滤器滤材F1的长度L1方向（具体而言，在直线上）交替排列。

上述那样的过滤器滤材F1收容在以能够收容过滤器滤材F1的方式构成的框体内，而作为过滤器单元使用。该框体包括用于收容过滤器滤材F1的内部空间和与该内部空间连通的一对开口部。由此，框体构成为：自一侧的开口部侧朝向另一侧的开口部侧地供被过滤气体通过。

框体的形状只要为能够收容过滤器滤材F1的形状即可，并不特别限定，例如能够列举出长方体形状、圆形形状等。并且，框体的材质并不特别限定，能够采用铝制框体。

在过滤器滤材F1与框体之间填充有敛缝剂。该敛缝剂例如能够采用二液型环氧敛缝剂（具体而言，汉高公司制造将Macroplast8104MC-18和Macroplast UK5400以3：1的比例混合而成的二液型环氧敛缝剂）等。

该过滤器单元适合用作洁净室等内的HEPA（High Efficiency ParticulateAir：高效空气）过滤器及ULPA（Ultra Low Penetration Air：超高效空气）过滤器。

如上述那样构成的过滤器单元配置为：过滤器滤材F1的长度L1方向与被过滤气体的流通方向交叉（具体而言，大致正交）。即，过滤器单元配置为：被过滤气体沿过滤器滤材F1的高度L2方向与过滤器滤材F1接触。由此，自框体的一开口部流入到过滤器单元内部的被过滤气体在内部空间内透过过滤器滤材F1，而从框体的另一开口部排出。

如以上那样，采用本实用新型的过滤器滤材的制造装置，能够防止在平板部之间的间隔变宽时在相邻的平板部之间发生放电，能够抑制因该放电而在滤材原材上形成贯通孔而由此导致过滤器滤材的集尘效率降低。

即，制造装置1包括除电装置6，由此能够防止在褶裥释放部7内平板部F1b之间的间隔变宽时在相邻的平板部F1b之间发生放电。具体而言，在褶裥压缩部5的靠滤材原材A的输送方向下游侧的端部，滤材原材A的形成为皱襞状的区域（以下，也记作皱襞状区域）为平板部F1b之间的间隔较小的状态。即，在褶裥压缩部5的靠滤材原材A的输送方向下游侧的端部，滤材原材A的皱襞状区域为带电的状态，因此在该端部自除电装置6向滤材原材A放出离子，由此通过滤材原材A与离子之间的接触而对滤材原材A进行除电。由此，在褶裥释放部7内平板部F1b之间的间隔变宽时，也能够防止相邻的平板部F1b之间发生放电。

另外，将滤材原材A的皱襞状区域以被夹入部5a夹入的状态进行输送且以被加压部5b加压的状态进行输送，因此滤材原材A的皱襞状区域因与夹入部5a之间的滑动接触和与加压部5b之间的滑动接触而容易带电。但是，在加压部5b的靠滤材原材A的输送方向下游侧的端部，自除电装置6向滤材原材A放出离子，因此在滤材原材A进入褶裥释放部7之前（即，以相邻的平板部F1b之间不发生放电的状态）对滤材原材A进行除电。由此，在褶裥释放部7内平板部F1b之间的间隔变宽时，也能够防止相邻的平板部F1b之间发生放电。

此外，以自滤材原材A的一面侧朝向滤材原材A的输送方向上游侧放出离子的方式构成除电装置6，因此由除电装置6放出的离子有效地与滤材原材A接触。由此，能够有效地进行滤材原材A的除电，在褶裥释放部7内平板部F1b之间的间隔变宽时，也能够更有效地防止相邻的平板部F1b之间发生放电。

其中，本实用新型的过滤器滤材的制造装置并不限定于上述实施方式，能够在不脱离本实用新型的要旨的范围内进行各种变更。并且，不言而喻，可以任意地采用上述的多个实施方式的结构、方法等来进行组合（也可以将一个实施方式的结构、方法等应用于另一个实施方式的结构、方法等），而且，也可以任意地选择下述的各种变更例的结构、方法等并将其应用于上述的实施方式的结构、方法等。

例如，在上述实施方式中，一面侧肋部B和另一面侧肋部B以端部彼此隔着滤材原材A重叠的方式形成，但并不限定于此，也可以以该端部彼此不重叠的方式形成。

另外，在上述实施方式中，利用由单一多孔质层A1和一对基材层A2构成的滤材原材A构成过滤器滤材F1，但并不限定于此，例如也可以利用由单一多孔质层A1和单一基材层A2形成的滤材原材。或者，也可以利用仅由多孔质层A1形成的滤材原材，还可以利用以多孔质层A1夹入单一基材层A2的方式形成的滤材原材。

另外，在上述实施方式中，打裥加工部2采用往复方式，但并不限定于此，也可以构成为：向在外周配置有多个刀片的一对筒之间输送滤材原材A，由此对滤材原材A进行打裥加工（旋转方式）。

另外，在上述实施方式中，采用形成为长条状的滤材原材A，但并不限定于此，例如也可以利用以一方向为长度方向的方式形成为单片体状的滤材原材。

另外，对于打裥加工部2，为了有效地拉伸滤材原材A，优选夹持辊具有高低差。并且，为了防止滤材原材A在打裥加工后带电，优选对进行打裥加工的气氛进行加湿，或者从构成制造装置1的构件进行接地。并且，优选在利用制造装置1进行制造的整个工序中滤材原材A的带电量为0.3kv以下。

另外，在粘接剂涂敷部3内，形成有肋部B的滤材原材A借助夹持辊输送至滤材形成部4。因此，为了使夹持辊与肋部B不接触，优选借助具有槽的夹持辊将形成有肋部B的滤材原材A输送至滤材形成部4。

利用滤材形成部4形成的过滤器滤材F1利用带式输送装置等输送设备自滤材形成部4输送出。该输送设备的输送速度被设定为小于向滤材形成部4输送滤材原材A的输送速度。其中，优选根据输送设备的输送速度与向滤材形成部4输送滤材原材A的输送速度之间的比率和粘接剂的涂敷量来决定使滤材原材A弯曲的间隔。

以下，说明本实用新型的实施例。其中，本实用新型并不限定于下述的实施例。

实施例

1.多孔质片的制作

（1）作为PTFE细粉，使用了polyflon F-104（大金工业公司制造）。并且，作为液态润滑剂，使用了流体石蜡。

（2）对PTFE细粉100重量份添加液态润滑剂30重量份而得到混合物。

（3）利用挤出法和轧制法对得到的混合物进行轧制，得到一方向为长度方向的厚度为0.2mm的片状的成型体。

（4）以200℃对得到的片状的成型体进行加热，除去液态润滑剂。

（5）接着，将得到的片状的成型体沿长度方向拉伸20倍而使其多孔质化。

（6）进而，将得到的片状的成型体在60℃的环境下沿宽度方向拉伸20倍，得到多孔质片。

（7）得到的多孔质片的压力损失为50mmH₂O以下，捕集效率为99.9%以上，PF值为22以上。

2.滤材原材A的制作

使得到的多孔质片与透气性片（无纺布ELEVES T0403尤妮佳公司制造）层叠，并进行热层压，而得到滤材原材A（宽度：1200mm）。

3.过滤器滤材的制作

利用上述实施方式的制造装置1，对滤材原材A进行打裥加工，并利用褶裥压缩部5形成滤材原材A的皱襞状区域的弯折记忆。具体而言，以恒定张力将滤材原材A放出，以打裥加工速度为70PLT/min、高度L2为35mm的方式进行打裥加工。并且，在褶裥压缩部5内滤材原材A的加热温度为80℃。并且，除电装置6使用了日本基恩士公司制造的SJ-HA。之后，利用粘接剂涂敷部3在滤材原材A上涂敷粘接剂，利用滤材形成部4形成过滤器滤材F1。其中，在褶裥释放部7测量了滤材原材A的皱襞状区域的带电量。测量结果表示在下述表1中。

4.评价

将利用实施例的制造装置1得到的过滤器滤材F1拉伸为打裥加工之前的状态而成为片状，将该成为片状的过滤器滤材F1作为试验样品。

之后，针对试验样品，根据在EN1822-3（2009）中规定的方法，测量捕集效率。具体而言，将试验样品放置于圆环状的保持件（有效面积：100cm²），测量捕集效率。作为测量条件，使含有聚-α-烯烃（PAO）的颗粒（粒径：0.1μm～0.2μm，个数：10⁸个/L以上）的被过滤气体透过（透过流速：5.3cm/sec）试验样品，利用颗粒计数器测量透过了试验样品的PAO颗粒的浓度。之后，利用以下的式（1）计算捕集效率。实施例的试验过滤器的捕集效率表示在下述表1中。

捕集效率（%）＝［1-（透过了试验过滤器的颗粒浓度/被过滤气体中的颗粒浓度）］×100    （1）

比较例

利用与实施例相同的方法制作多孔质片和滤材原材A。并且，除在制作过滤器滤材时不使用除电装置6以外，利用与实施例相同的方法制作试验过滤器，利用该试验过滤器测量颗粒的透过情况，计算捕集效率。各测量部位的捕集效率表示在下述表1中。

【表1】

总结

由表1得知，实施例的捕集效率为较高的数值。这是因为，在实施例中，利用除电装置6在褶裥压缩部5的下游侧端部向滤材原材A的皱襞状区域放出离子。因此，在平板部F1b之间的间隔变宽之前（即，向褶裥释放部7输送皱襞状区域之前），对滤材原材A进行除电。由此得知，能够防止在平板部F1b之间的间隔变宽时（即，将皱襞状区域输送到了褶裥释放部7时）在相邻的平板部F1b之间发生放电。

因此得知，由于包括用于在褶裥压缩部的下游侧端部向滤材原材的皱襞状区域放出离子的除电装置，因此能够抑制因放电而在滤材原材上形成贯通孔而由此导致过滤器滤材的捕集效率降低。

Claims (3)

1.一种过滤器滤材的制造装置，其特征在于，

该过滤器滤材的制造装置包括：

打裥加工部，其用于在片状的滤材原材的一方向上的多处、沿与一方向正交的另一方向使滤材原材弯曲而形成多个弯曲部，并且将该滤材原材的除该弯曲部以外的区域以相对的方式配置而形成多个平板部，由此将滤材原材形成为皱襞状；

褶裥压缩部，其用于一边沿一方向输送滤材原材的形成为皱襞状的区域一边沿一方向对该皱襞状的区域进行压缩，由此使平板部之间的间隔减小；

除电部，其用于在该褶裥压缩部的靠滤材原材的输送方向下游侧的端部向滤材原材放出离子来对滤材原材进行除电；

褶裥释放部，其用于使滤材原材的被褶裥压缩部压缩的区域自被压缩的状态释放，由此与在褶裥压缩部内相比在该褶裥释放部内平板部之间的间隔较大。

2.根据权利要求1所述的过滤器滤材的制造装置，其特征在于，

上述褶裥压缩部包括：夹入部，其用于从滤材原材的两面侧夹入滤材原材的形成为皱襞状的区域；加压部，其配置在比该夹入部靠滤材原材的输送方向下游侧的位置，用于至少从滤材原材的一面侧对滤材原材的形成为皱襞状的区域进行加压，

上述除电部构成为：在加压部的靠滤材原材的输送方向下游侧的端部向滤材原材放出离子。

3.根据权利要求1或2所述的过滤器滤材的制造装置，其特征在于，

上述除电部构成为：自滤材原材的一面侧朝向滤材原材的输送方向上游侧放出离子。