CN203566873U - 一种多线切割用异构固结磨料锯线及其制造设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种多线切割用异构固结磨料锯线，母线为截面圆形或近似圆形的金属丝，直径在0.05mm-0.50mm之间，所述母线为用于固定切割磨料的基底金属丝；母线表面规律性地覆盖有用于固定切割磨料的应力隔断固结层，所述应力隔断固结层为金属电镀层和/或合金层；锯线表面覆盖有磨削动态排屑层。还涉及一种所述的异构固结磨料锯线的制造装置。本实用新型通过缓解切割磨料固结层内的应力集中，降低现有技术中切割磨料固结层容易开裂和切割磨料颗粒容易脱落拨出的风险；通过在切割磨料之间的间隙上建立磨削动态排屑层，在对切割工面同步进行一定程度抛光的同时，增强实用过程中排屑的有效性、一致性和可持续性，以及冷却液的微观流动能力。

Description

一种多线切割用异构固结磨料锯线及其制造设备

技术领域

本实用新型涉及一种多线切割用异构固结磨料锯线及其制造设备，该异构固结磨料锯线适用于使用多线切割方法加工晶硅、碳化硅、水晶、蓝宝石等硬质材料，具体地说是一种具有规律性变化的切割段和磨削段的异构锯线。

背景技术

在使用多线切割机来加工晶体硅、蓝宝石以及其它高硬度固体的薄片时，主要有两种工艺路线。一种是使用表面光滑的锯线与分散在液体里的游离磨料；另外一种是使用将磨料颗粒固定在锯线上的固结锯线，固结锯线中比较有代表性的是金刚石锯线。与使用游离磨料的工艺路线相比较，固结锯线在切割成本和环境保护等方面，具有较大的优势。

目前使用的固结磨料锯线，磨料通常是通过电镀金属或树脂结合层，固结粘附于钢线的表面。通常磨料颗粒均匀或相对均匀分布于锯线表面，其固结材料则是呈现连续分布于锯线基底钢线的表面。两类锯线，尤其是电镀法生产的锯线，已经广泛应用于晶体硅的开方、蓝宝石/单晶硅的多线切割等领域。

从目前市场实用效果看，常规固结磨料锯线面临着如下的突出问题，尤其对于方兴未艾的针对太阳能硅片的细线切割（母线直径在0.10mm-0.12mm之间，磨料粒径在5um-20um之间）已构成严重的推广障碍：

1.切割断线率偏高且不稳定。尤其严重的是，固结磨料锯线在切割过程中发生断裂后，很难做到像游离磨料切割那样将断线从锯缝中取出，通过焊接等方式修复抢救后继续切割，后果是，固结磨料锯线若在切割过程发生断线，多数情况下会造成切割工件的大部或全部报废，导致用户端应用风险陡增；

2.切割后的成品切面沿锯线方向上常出现表面状况异于相邻周边的带状区域，导致产成品的后续加工（如晶硅硅片的后续制绒）成本增加和/或工艺兼容性差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服或缓解现有固结磨料技术中的如下问题：

1、切割断线率偏高且不稳定，导致用户端应用风险陡增；

2、切割后的成品切面沿锯线方向上常出现表面状况异于周边的带状区域，导致在成品的后续加工（如晶硅硅片的后续制绒）成本增加和/或工艺兼容性差。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多线切割用异构固结磨料锯线，（a）母线为截面圆形或近似圆形的金属丝，直径在0.05mm-0.50mm之间，所述母线为用于固定切割磨料的基底金属丝；（b）母线表面规律性地覆盖有用于固定切割磨料的应力隔断固结层，所述应力隔断固结层为金属电镀层和/或合金层；（c）锯线表面覆盖有磨削动态排屑层。

在多线切割操作中，锯线反复缠绕于导轮上，锯线需要承受一定的张力。从目前的工业应用情况来分析，布线产生的张力强度一般在0.5-2GPa范围，远远超过多数材料的断裂强度。而带有磨料颗粒的固结层可以被视为是带有大量缺陷的连续薄层，在高的拉伸张力作用下，很容易在缺陷点，即磨料嵌入处产生开裂。

以两个导轮一组的情况为例，每次经过导轮，锯线就会被弯曲180°。相应地，锯线在接触导轮的一侧和远离导轮的一侧，就会产生伸长量的差异。这种伸长量的差异数值取决于锯线的线径以及导轮的直径之比。以晶体硅切割中通常使用的200-375mm直径的导轮，0.1mm直径的碳钢材质基底钢线来进行估算，则基底钢线在导轮上缠绕时产生的变形量在0.001-0.0006，相应的应力在锯线轴心平均后，在59-100MPa范围，这一数值范围和大多数固结层所用材料的断裂强度接近，同样容易在有缺陷的固结层中造成开裂。并且，这种因为锯线弯曲产生的应力无法通过预加张力的方式来消除。

另外，对于这种连续的多层结构，每次弯曲都会产生一定程度的层间应力集中。对于锯线上的固结磨料层来说，其与钢线基底的结合界面需要能够承受这个应力产生的剪切力。通常在应力均匀分布的情况下，结合界面的材质和其与钢线基底的结合强度是可以承受这个应力和剪切力的，但是磨料颗粒的植入同样造成结合层上产生很多缺陷点，在弯曲产生的剪切应力作用下，易造成结合层的破坏。

上述应力集中导致切割磨料被拔出/固结层被破坏的情形，在切割对象沿切割面机械强度不均匀（如多晶硅锭）的情况下表现的得尤为突出，结果表现为断线率高企，“固结磨料锯线无法应用于切割多晶”几成行业定论。

综上所述，从目前使用固结磨料锯线的生产实际来看，磨料颗粒的拨出和固结层的破坏，是影响其应用的两种主要失效形式，一旦发生，通常结果就是损失当次切割的所有晶片及耗材。

本实用新型通过使切割磨料固结层在母线表面规律性地覆盖，为缓解/释放上述破坏性应力集中提供了简易的解决方式：

i.避免了锯线弯曲产生的应力在较长距离上的应力集中，有利于避免固结层失效；

ii.进一步地，考虑到切割中使用的导轮材质具有比锯线材料低得多的弹性模量，这种分段的设计，与通常的连续结构相比，将会进一步降低锯线上的应力；

iii.考虑到多线切割过程中，目标工件中存在的硬质点等缺陷，锯线在意外的情况下发生剧烈弯转时，固结层间断的存在会减缓固结层发生严重的剥落和开裂。通常对于切割面机械强度不均匀的切割对象（如多晶硅锭），还可以通过适当加大固结层间断的长度进一步降低切割中的断线风险。

所述应力隔断固结层的宽度为锯线导轮直径的1/2-1/200。

所述应力隔断固结层的宽度为锯线导轮直径的1/5-1/10时，可达到锯线单位长度制造成本和固结层应力有效隔断之间优化均衡。

至于在使用固结磨料切割后，成品切面沿锯线方向上常出现表面状况不同于周边的带状区域的问题，其成因主要在于锯屑累积堵塞切割磨料之间的缝隙，导致锯线切割能力下降/波动。本实用新型提出了一种简易解决办法，也即在切割磨料的缝隙之间制造磨削动态排屑层，具体为所述磨削动态排屑层包括有机粘合材料与填充磨料，覆盖于已布好切割磨料的锯线表面，从而构成磨削动态排屑层，所述填充磨料的平均粒径小于切割磨料的平均粒径：

iv.因为有机粘合材料的弹性模量，远小于应力隔断固结层的弹性模量，其即使对前述应力隔断固结层环绕母线轴线的间断实现了完全填充，亦不会影响到该种间断的原始设计功能（也即释放固结层内的应力集中）；

v.同时因为有机粘合材料对填充磨料的结合牢度，远低于固结层对于切割磨料的结合牢度，实际切割过程中，磨削动态排屑层在起到一定的对锯缝表面磨削抛光作用的同时，其中的填充磨料会不断/逐渐地被拔出，导致原本堆积于排屑层之上的锯屑沉积不断地“崩溃塌陷”，掉下的锯屑连同填充磨料被冷却液带走，腾出的空间用于接受新的锯屑，如此构成高效且持续性强的“磨削动态排屑”机制；

vi.上述“磨削动态排屑”机制，同时也大大加强了冷却液的微观流动能力，有利于防止锯线表面出现局部过热等导致锯线结构损坏/断线。

另一种磨削动态排屑层的结构为，所述磨削动态排屑层表面带有凹陷。例如，将橡塑材料覆盖于已布好切割磨料的锯线表面，进一步加工使橡塑材料表面形成凹陷，从而构成磨削动态排屑层。所述的进一步加工的工艺可以是先在橡塑材料中混合纳米粒子，如碳酸钙，然后经过酸洗去除表面纳米粒子形成凹陷；也可以是控制已布好切割磨料的锯线表面的流平性，然后涂覆橡塑材料，使橡塑材料由于表面张力较大，不均匀涂覆于锯线表面形成凹陷。所述橡塑材料可以是乙丙橡胶、聚氨酯、环氧树脂等材料。

为达到较佳的磨削动态排屑效果，填充磨料的平均粒径小于切割磨料平均粒径的0.6倍。

为了便于加工，所述应力隔断固结层呈如下的规律性覆盖：所述应力隔断固结层的形状为环状、近似环状或螺旋状中的一种或几种。

所述母线为表面自带有镀层的金属丝。

为了给磨削动态排屑层留下空间，可进一步选取应力隔断固结层的平均厚度小于切割磨料平均粒径的0.8倍。

所述有机粘合材料为乙丙橡胶、聚氨酯、热熔胶、树脂、环氧树脂、酚醛树脂、甲基丙烯酸树脂、聚酰亚胺、改性环氧树脂的任意一种或其组合。

所述填充磨料为金刚石、碳化硅、氮化铝、氧化铝、石墨、碳化硼、氮化硼、氧化锆、锆酸铝、或金属及合金微粉的一种或其组合。

一种所述的异构固结磨料锯线的制造装置，依次至少包括如下部分：(a)母线预处理装置：对经过其中的母线表面有规律地喷涂绝缘带；（b）母线上砂装置：载有一定分布密度的表面导电切割磨料的电镀装置，对经过其中的经过装置(a)预处理后的母线，通过电镀方式固着切割磨料；（c）镀层增厚装置：通过电镀方式，在经过装置（b）上砂后的锯线上增镀电镀层，以使镀层达到设计厚度；（d)磨削排屑层附着装置：在通过其中的经过装置(c)后的锯线半成品的表面附着填充磨料与有机粘合材料的混合浆料；（e）磨削排屑层固化装置：对经过其中的锯线半成品的表面浆料进行紫外线和/或加温烘焙固化。

所述母线预处理装置对经过其中的母线表面间歇式喷涂环状或近似环状的绝缘带，或者所述母线预处理装置对经过其中的母线表面喷涂螺旋状的绝缘带。

所述镀层增厚装置中还具有表面加热装置，使不同镀层之间反应形成合金层。

所述磨削排屑层附着装置为浸渍装置，所述磨削排屑层附着装置和磨削排屑层固化装置之间具有锯线湿定型装置：包括锥形入口和定径带的筒状模具，锥形入口的内径由外至内逐渐缩小，定径带的内径与锥形入口的最小内径一致，对经过其中的经过装置（d）处理的锯线半成品外径完成湿定型。

所述磨削排屑层附着装置为喷涂装置。

如果所述磨削排屑层附着装置为喷涂装置，所述磨削排屑层附着装置和磨削排屑层固化装置之间可以具有锯线湿定型装置：包括锥形入口和定径带的筒状模具，锥形入口的内径由外至内逐渐缩小，定径带的内径与锥形入口的最小内径一致，对经过其中的经过装置（d）处理的锯线半成品外径完成湿定型。

一种所述的异构固结磨料锯线的制造方法，至少包括以下步骤：(a)母线预处理：对经过其中的母线表面有规律地喷涂绝缘带；（b）母线上砂：对经过步骤(a)预处理后的母线，通过电镀方式固着切割磨料；（c）镀层增厚：通过电镀方式，在经过步骤（b）上砂后的锯线上增镀电镀层，以使镀层达到设计厚度；（d)磨削排屑层附着：在经过步骤(c)后的锯线半成品的表面附着填充磨料与有机粘合材料的混合浆料；（e）磨削排屑层固化：对锯线半成品的表面浆料进行紫外线和/或加温烘焙固化。

所述母线预处理装置对经过其中的母线表面间歇式喷涂环状或近似环状的绝缘带，或者所述母线预处理装置对经过其中的母线表面喷涂螺旋状的绝缘带。

在所述镀层增厚步骤中还包括表面加热的步骤，使不同镀层之间反应形成合金层。

所述磨削排屑层附着方式为浸渍，步骤（d）与步骤（e）之间具有锯线湿定型的步骤：由筒状模具对经过步骤（d）处理的锯线半成品外径完成湿定型，所述筒状模具包括锥形入口和定径带，锥形入口的内径由外至内逐渐缩小，定径带的内径与锥形入口的最小内径一致。

所述磨削排屑层附着方式为喷涂。

如果所述磨削排屑层附着方式为喷涂，步骤（d）与步骤（e）之间可以具有锯线湿定型的步骤：由筒状模具对经过步骤（d）处理的锯线半成品外径完成湿定型，所述筒状模具包括锥形入口和定径带，锥形入口的内径由外至内逐渐缩小，定径带的内径与锥形入口的最小内径一致。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的一种多线切割用异构固结磨料锯线及其制造设备，

A.通过缓解切割磨料固结层内的应力集中，降低现有技术中切割磨料固结层容易开裂和切割磨料颗粒容易脱落拨出的风险；

B.通过在切割磨料之间的间隙上建立磨削动态排屑层，在对切割工面同步进行一定程度抛光的同时，增强实用过程中排屑的有效性、一致性和可持续性，以及冷却液的微观流动能力。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的一种多线切割用异构固结磨料锯线的结构示意图。

图2是图1的异构固结磨料锯线的剖面结构示意图。

图3是图1的异构固结磨料锯线开刃后的剖面结构示意图。

图4是图2中A处的局部放大图。

图5是本实用新型的一种多线切割用异构固结磨料锯线的结构示意图。

图6是本实用新型的一种多线切割用异构固结磨料锯线的结构示意图。

图7是本实用新型喷涂近似环状绝缘带的工艺过程示意图。

图8是本实用新型喷涂近似环状绝缘带的工艺过程示意图。

图9是本实用新型喷涂螺旋状绝缘带的工艺过程示意图。

图10是本实用新型的另一种异构固结磨料锯线的剖面结构示意图。

图中：1、母线；2、应力隔断固结层；2-1、切割磨料；2-2、电镀层；2-21、镍电镀层；2-22、磷青铜合金层；3、磨削动态排屑层；3-1、填充磨料；L、单个独立的应力隔断固结层的宽度；4、喷嘴；5、绝缘带；6、凹陷。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。

实施例1

如图1、图2所示，一种针对350mm直径导轮设计的多线切割用异构固结磨料锯线。母线1表面间歇性地覆盖有用于固定切割磨料2-1的应力隔断固结层2，应力隔断固结层2的形状为环绕所述锯线轴线的近似环状，应力隔断固结层2的平均厚度小于切割磨料2-1平均粒径的0.8倍。锯线表面覆盖有磨削动态排屑层3，磨削动态排屑层3由有机粘合材料与填充磨料3-1固化构成，所述有机粘合材料为环氧树脂，所述填充磨料3-1为平均粒径小于切割磨料2-1平均粒径的0.6倍的固体颗粒。350mm的导轮，例如瑞士梅耶博格公司DS271型多切切割机上和日本NTC公司PV800型多切切割机上所采用的就是该直径的导轮。因为该型导轮直径较大，应力集中程度较小直径导轮系统低，故本实施例中所述单个独立的近似环状的应力隔断固结层2的宽度L为锯线导轮直径的1/5，即可达到锯线单位长度制造成本和固结层应力有效隔断之间优化均衡。母线1为直径105μm表面镀黄铜线，切割磨料2-1采用平均粒径为12μm的金刚石砂，所述填充磨料3-1为平均粒径为5μm的金刚石砂。由于应力隔断固结层2轴线方向有间断，可以有效降低应力沿轴向的长程累积，从而降低镀层破坏导致表面切割磨料2-1脱落/被拔出的风险。

如图4所示，应力隔断固结层2为镍电镀层2-21和磷青铜合金层2-22。

通过以下装置来制造上述的异构固结磨料锯线，依次至少包括如下部分：

（a）母线预处理装置：具有如图7、图8所示的一组喷嘴4，由3个喷嘴4环绕母线1周向构成，对经过其中的母线1表面间歇式喷涂近似环状的绝缘带5；

（b）母线上砂装置：载有一定分布密度的表面导电切割磨料的电镀装置，对经过其中的经过装置(a)预处理后的母线1，通过电镀方式固着切割磨料2-1，表面导电切割磨料即经过表面带有导电镀层预处理的切割磨料；

（c）镀层增厚装置：通过电镀方式，在经过装置（b）上砂后的锯线上增镀电镀层2-2，以使镀层达到设计厚度；

（d)磨削排屑层附着装置：在通过其中的经过装置(c)后的锯线半成品的表面浸渍附着填充磨料3-1与有机粘合材料的混合浆料；

（e）锯线湿定型装置：包括锥形入口和定径带的筒状模具，锥形入口的内径由外至内逐渐缩小，定径带的内径与锥形入口的最小内径一致，对经过其中的经过装置（d）处理的锯线半成品外径完成湿定型；

（f）磨削排屑层固化装置：对经过其中的锯线半成品的表面浆料进行紫外线和/或加温烘焙固化。

对于如图4所示的应力隔断固结层2为镍电镀层2-21、磷青铜合金层2-22的结构，磷青铜合金层2-22的形成，是在所述镀层增厚装置中增加表面加热装置，在先后电镀上铜电镀层和含微量磷的锡电镀层后，加热电镀表面，使铜电镀层、锡电镀层之间反应形成磷青铜合金层2-22。

所述磨削排屑层附着装置也可以是喷涂装置，能够形成如图5所示的结构，即锯线线径在带有应力隔断固结层2的位置较大。

通过以下步骤来制造上述的异构固结磨料锯线：至少包括以下步骤：

（a）母线预处理：在105μm直径的母线1表面上间歇式喷涂近似环状的长度为0.7mm的环氧树脂绝缘带5，该绝缘带5厚度很小，各实施例的图中都未画出；

（b）母线上砂：将喷涂过环氧树脂绝缘带5的钢线通过分散有12μm粒径金刚石的电镀槽，在钢线表面没有环氧树脂涂层的区域电镀排列紧密的金刚石切割磨料；

（c）镀层增厚：通过电镀方式，在经过步骤（b）上砂后的锯线上增镀电镀层2-2，以使镀层达到设计厚度；

（d)磨削排屑层附着：在经过步骤(c)后的锯线半成品的表面浸渍附着填充磨料3-1与有机粘合材料的混合浆料；

（e）锯线湿定型：由筒状模具对经过步骤（d）处理的锯线半成品外径完成湿定型，所述筒状模具包括锥形入口和定径带，锥形入口的内径由外至内逐渐缩小，定径带的内径与锥形入口的最小内径一致；

（f）磨削排屑层固化：对锯线半成品的表面浆料进行紫外线和/或加温烘焙固化。

在所述镀层增厚步骤中还可以包括表面加热的步骤，使不同镀层之间反应形成合金层。

所述磨削排屑层附着方式也可以是喷涂，能够形成如图5所示的结构，即锯线线径在带有应力隔断固结层2的位置较大。

如图2所示，是本实施例的成品图，在使用前，通常先经过开刃的步骤，使切割磨料2-1凸出于磨削排屑层，以进行正常的切割。开刃后的锯线结构如图3所示。

实施例2

如图6所示，本实施例与实施例1基本相同，区别在于，应力隔断固结层2的形状为环绕所述锯线轴线的螺旋状，螺旋状的应力隔断固结层2的宽度L为锯线导轮直径的1/10，螺旋状应力隔断固结层2的宽度L是指螺旋的宽度，在图6中标出。本实施例针对直径为100mm的导轮，将应力隔断固结层2的宽度L设为锯线导轮直径的1/10，由于轴线方向有间断，可以有效降低应力沿轴向的长程累积，从而降低镀层破坏导致表面切割磨料2-1脱落/被拔出的风险。

相应地，异构固结磨料锯线制造设备中，母线预处理装置对经过其中的母线1表面喷涂螺旋状的绝缘带5，例如如图9所示，喷嘴4可以环绕母线1周向旋转，母线1匀速通过，表面即可形成图5所示的螺旋状的绝缘带5。

实施例3

如图10所示，本实施例与实施例1基本相同，区别在于磨削动态排屑层的结构。所述磨削动态排屑层为表面带有凹陷的聚氨酯材料。

所述磨削动态排屑层的加工工艺为：先在聚氨酯材料中混合平均粒径为5μm的碳酸钙纳米粒子，将该聚氨酯材料覆盖于已布好切割磨料的锯线表面，经过酸洗去除表面纳米粒子形成凹陷，从而构成磨削动态排屑层。

另一种实施方式为控制已布好切割磨料的锯线表面的流平性，然后涂覆聚氨酯材料，使聚氨酯材料由于表面张力较大，不均匀涂覆于锯线表面形凹陷，并控制凹陷的直径大小大致在5μm左右。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (17)

1.一种多线切割用异构固结磨料锯线，其特征在于：（a）母线为截面圆形或近似圆形的金属丝，直径在0.05mm-0.50mm之间，所述母线为用于固定切割磨料的基底金属丝；（b）母线表面规律性地覆盖有用于固定切割磨料的应力隔断固结层，所述应力隔断固结层为金属电镀层和/或合金层；（c）锯线表面覆盖有磨削动态排屑层。 

2.如权利要求1所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：所述磨削动态排屑层包括有机粘合材料与填充磨料，所述填充磨料为平均粒径小于切割磨料平均粒径的固体颗粒。 

3.如权利要求1所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：所述磨削动态排屑层表面带有凹陷。 

4.如权利要求1或2所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：所述应力隔断固结层的形状为环绕所述锯线轴线的环状、近似环状或螺旋状中的一种或几种。 

5.如权利要求1所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：所述母线为表面自带有镀层的金属丝。 

6.如权利要求1所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：应力隔断固结层的平均厚度小于切割磨料平均粒径的0.8倍。 

7.如权利要求4所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：所述单个独立的环状、近似环状或螺旋状的应力隔断固结层的宽度为锯线导轮直径的1/2-1/200。 

8.如权利要求7所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：所述单个独立的环 状、近似环状或螺旋状的应力隔断固结层的宽度为锯线导轮直径的1/5-1/10。 

9.如权利要求2所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：所述有机粘合材料为乙丙橡胶、聚氨酯、热熔胶、树脂、环氧树脂、酚醛树脂、甲基丙烯酸树脂、聚酰亚胺、改性环氧树脂的任意一种。 

10.如权利要求2所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：所述填充磨料为金刚石、碳化硅、氮化铝、氧化铝、石墨、碳化硼、氮化硼、氧化锆、锆酸铝、或金属及合金微粉的一种。 

11.如权利要求2所述的异构固结磨料锯线，其特征在于：填充磨料的平均粒径小于切割磨料平均粒径的0.6倍。 

12.一种如权利要求1-11中任一项所述的异构固结磨料锯线的制造装置，其特征在于：依次至少包括如下部分：(a)母线预处理装置：对经过其中的母线表面有规律地喷涂绝缘带；（b）母线上砂装置：载有一定分布密度的表面导电切割磨料的电镀装置，对经过其中的经过装置(a)预处理后的母线，通过电镀方式固着切割磨料；（c）镀层增厚装置：通过电镀方式，在经过装置（b）上砂后的锯线上增镀电镀层，以使镀层达到设计厚度；（d)磨削排屑层附着装置：在通过其中的经过装置(c)后的锯线半成品的表面附着填充磨料与有机粘合材料的混合浆料；（e）磨削排屑层固化装置：对经过其中的锯线半成品的表面浆料进行紫外线和/或加温烘焙固化。 

13.如权利要求12所述的异构固结磨料锯线的制造装置，其特征在于：所述母线预处理装置对经过其中的母线表面间歇式喷涂环状或近似环状的绝缘 带，或者所述母线预处理装置对经过其中的母线表面喷涂螺旋状的绝缘带。 

14.如权利要求12所述的异构固结磨料锯线的制造装置，其特征在于：所述镀层增厚装置中还具有表面加热装置，使不同镀层之间反应形成合金层。 

15.如权利要求12-14中任一项所述的异构固结磨料锯线的制造装置，其特征在于：所述磨削排屑层附着装置为浸渍装置，所述磨削排屑层附着装置和磨削排屑层固化装置之间具有锯线湿定型装置：包括锥形入口和定径带的筒状模具，锥形入口的内径由外至内逐渐缩小，定径带的内径与锥形入口的最小内径一致，对经过其中的经过装置（d）处理的锯线半成品外径完成湿定型。 

16.如权利要求12-14中任一项所述的异构固结磨料锯线的制造装置，其特征在于：所述磨削排屑层附着装置为喷涂装置。 

17.如权利要求16所述的异构固结磨料锯线的制造装置，其特征在于：所述磨削排屑层附着装置和磨削排屑层固化装置之间具有锯线湿定型装置：包括锥形入口和定径带的筒状模具，锥形入口的内径由外至内逐渐缩小，定径带的内径与锥形入口的最小内径一致，对经过其中的经过装置（d）处理的锯线半成品外径完成湿定型。 

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