CN203300612U - 光罩传送盒的充气座结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种光罩传送盒的充气座结构，其摆置有一光罩传送盒，且光罩传送盒上分别设有至少一进气用的气阀及至少一排气用的气阀；充气座结构由一承载板构成，承载板上分别形成有对应进气用及排气用的气阀的嵌槽，嵌槽的进气槽及排气槽间分别形成有相互连通的进气通孔及排气通孔，而承载板上分别于进气通孔与排气通孔的出口端设有一进气接头与一排气接头。本实用新型使进、排气通孔形成于承载板内部，可减少外露的管路设计，如此可缩小相邻充气座的承载板的间距，能在相同规格的收纳框中增加光罩传送盒的容量，且进一步可避免外露管路或零件被不当碰撞或勾勒，可增进收纳与取出作业的便利性，并能延长其使用寿命。

Description

光罩传送盒的充气座结构

技术领域

本实用新型关于一种光罩传送盒，特别是指一种避免导气管路外露的光罩传送盒的充气座结构。

背景技术

受到电子产品不断朝向轻薄短小、高频、高效能等特性发展的影响，用于电子产品中的核心芯片也跟着微小化与具有高效能，而欲使芯片微小化与具高效能，则需使芯片上的集成电路线径微细化。且受到集成电路微细化及降低制作成本的影响，晶圆的尺寸越来越大，但每一晶圆的芯片数越来越多，使晶圆价值不断地提高，因此制程中晶圆上的任何问题都可能造成极大的损失。而芯片上集成电路线径的微细化的成败主要在于半导体制程中的黄光微影制程技术，而其关键设备在于扫描步进机(Scanner)与光罩(Reticle)，尤其是光罩表面的洁净度更是直接地影响到晶圆的良率。

但目前光罩于制作、清洗、操作与储存、运输的过程中，不论置于容置光罩的载具或无尘室的环境中，均存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质会附着于光罩表面，且在经长时间储存或曝光制程的加热后，会于光罩表面产生微粒附着、结晶或雾化等现象，以黄光微影制程为例，其会直接影响到光罩的透光率，进而使光罩上的图形失真，其会造成晶圆良率降低的现象，且增加清理与改善的时间，造成生产量降低，相对上也会提高营运的成本。

因此，为了解决这个问题，而在半导体制程中，运用自动化物料搬运系统(Automated Material Handling System，AMHS)，与隔离进出料标准机械接口(Standard Mechanical Interface，SMIF)设备，来进行光罩于不使用期间的维护与运送，不但能取代传统人工搬运、降低无尘室设备的建置与维护成本，还能提升光罩的洁净度，达到超高生产合格率；故近年来，AMHS与SMIF已被列为是国际间半导体厂的标准设备规范。

根据上述技术概念，除了在曝光使用时，光罩在运送过程或保存期间，都必须将光罩放置在一个高洁净度、气密性佳与低气体逸出(Outgassing)的载具内，如光罩传送盒(Reticle SMIF Pod，RSP)。而为了提高前述载具的洁净度，通常会在前述密封式载具内充填干净的惰性气体(如氮气(N₂) )，以减少有害气体的危害，然而受限于载具气密性不足的问题，通常在一段时间后，即会因漏气而失去效果，故近年来业界进一步开发有注入循环洁净气体的充气座，该充气座并可被设计应用于各种光罩传送盒的收纳设备上，如制程设备旁的进出料工作站、储存用的收纳柜、充气柜或光罩运输设备等，供对每一个光罩传送盒进行独立的循环充气。

而现有公知的充气座主要由一板体所构成，板体上分设有对应光罩传送盒进、出气用气阀的进气阀件与排气阀件，且其中进气阀件并通过接头零件、管路连接至供应洁净惰性气体的供气模块，而排气阀件则通过接头零件、管路连接至回收废气的排气模块。公知光罩传送盒呈上下摆置状，因此其进、排气阀件亦呈上、下状设置，且后续气路上的接头与管路均呈向下伸设状态，故通常下方的充气座在设置时，除了需考虑光罩传送盒进出的空间外，还需考虑回避前述接头与管路干扰的空间，目前约需增加5～8厘米，无形间减少同一空间可收纳光罩传送盒的容量。

再者，前述接头与管路需以束带等固设于各充气座的板体底面，不仅零件尺寸无法一致化及简单化，增加后制加工时间及交期，且给人杂乱的感觉，又因固定方式及位置无法统一，也造成机械手臂进出抓取光罩传送盒的不便，稍一不慎即可能发生碰撞或勾勒前述接头与管路的状况，影响工作进行的顺畅与效率，且外露的管路也可能因外在因素而破裂漏气，造成气体的浪费，甚至引发危险，因此如何解决这些问题，是相当重要的课题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种可增加容量的光罩传送盒的充气座结构，借此使进、排气回路形成于内部，而无外露的管路，以减少零件与管路的干扰，可有效缩小上、下相邻充气座的间距，进而增进同一空间可收纳容量；而且以使零件尺寸一致化及简单化，以节省后制加工时间及交期，可提升工作进行的顺畅与效率；其因整体外观及零件位置统一，不致造成机械手臂进出抓取光罩传送盒的不便，也不会发生碰撞或勾勒的现象，以避免因管路破裂漏气，而造成气体浪费的问题。

为了达成上述目的，本实用新型提供一种光罩传送盒的充气座结构，其摆置有一光罩传送盒，且所述光罩传送盒上分别设有至少一进气用的气阀及至少一排气用的气阀；

所述充气座结构由一承载板构成，所述承载板上形成有多个对应所述进气用的气阀的嵌槽，所述嵌槽内锁设有一进气阀件，且所述嵌槽的底面中心形成有一凹陷的进气槽，所述嵌槽的进气槽间形成有相互连通的进气通孔，所述进气通孔的出口端接设有一进气接头；

且所述承载板上形成有多个对应所述排气用的气阀的嵌槽，所述嵌槽内锁设有一排气阀件，且所述嵌槽的底面中心形成有一凹陷的排气槽，所述嵌槽的进气槽间形成有相互连通的排气通孔，所述排气通孔的出口端接设有一排气接头。

作为上述一种光罩传送盒的充气座结构的优选方案，其中所述承载板的周缘分别设有多个定位框，所述定位框对应限制所述光罩传送盒的位置。

作为上述一种光罩传送盒的充气座结构的优选方案，其中所述嵌槽的内底面于进气槽、排气槽外围具有一环槽，所述环槽内容设有一环状密封件。

作为上述一种光罩传送盒的充气座结构的优选方案，其中所述进气通孔、排气通孔的出口端位于所述承载板的壁面。

作为上述一种光罩传送盒的充气座结构的优选方案，其中所述承载板表面设有多个定位感测件，且所述定位感测件连接有一用于检知光罩传送盒是否在充气位置的处理模块。

作为上述一种光罩传送盒的充气座结构的优选方案，其中所述承载板上设有一无线射频识别系统的无线射频读取元件，且所述无线射频读取元件连接有一处理模块，而所述光罩传送盒上设有对应的无线射频标签。

作为上述一种光罩传送盒的充气座结构的优选方案，其中所述充气座结构于所述进气接头上设有一流量调整阀及一压力流量计。

作为上述一种光罩传送盒的充气座结构的优选方案，其中所述充气座于所述排气接头上设有一用于检知排气流量的检知元件。

本实用新型还提供一种充气座结构，其摆置有一光罩传送盒，所述光罩传送盒上设有多个气阀，所述充气座结构包含：

一承载板，其具有至少一水平壁面及至少一垂直壁面，所述水平壁面摆置有所述光罩传送盒，并与所述气阀呈气体连接，所述承载板更具有：

一进气通孔，其埋设于所述承载板内，并当所述光罩传送盒摆置于所述水平壁面上时气体连接至所述气阀的其中之一；

一进气接头，其设置于所述垂直壁面上，并与所述进气通孔呈气体连接；

一排气通孔，其埋设于所述承载板内，并当所述光罩传送盒摆置于所述水平壁面上时气体连接至所述气阀的其中之一；

一排气接头，其设置于所述垂直壁面上，并与所述排气通孔呈气体连接。

本实用新型所提供的光罩传送盒的充气座结构，其进、排气通孔分别形成于承载板内部，并让进、排气接头可横向接设于承载板侧边，令上、下相邻的充气座承载板间无零件或管路等，如此可有效节省空间，大幅增加同一收纳空间的容量，再者由于零件、尺寸及锁接位置可以一致化及简单化，而能节省后制加工时间及缩短交期，也不会造成机械手臂进出抓取光罩传送盒的不便，更不致发生碰撞或勾勒零件、管路的状况，确保工作进行的顺畅与效率，且避免造成管路因破损而漏气，以防止气体的浪费。

附图说明

图1为本实用新型光罩传送盒的充气座结构的外观示意图；

图2为本实用新型光罩传送盒的充气座结构的局部分解示意图，其说明各元件的状态及其相对关系；

图3为本实用新型光罩传送盒的充气座结构于实际使用的状态示意图；

图4为本实用新型光罩传送盒的充气座结构应用于收纳柜的外观示意图。

【主要元件符号说明】

10-充气座；11-承载板；111-水平壁面；112-垂直壁面；12-定位框；13-嵌槽；130-进气槽；131-环槽；132-密封件；14-进气通孔；15-进气接头；16-嵌槽；160-排气槽；161-环槽；162-密封件；17-排气通孔；18-排气接头；19-定位感测件；

20-进气阀件；25-排气阀件；

30-流量调整阀；35-压力流量计；

50-光罩传送盒；55-气阀；

60-柜体；65-架杆。

具体实施方式

本实用新型提供一种光罩传送盒的充气座结构，随附图例示的本实用新型具体实施例及其构件中，所有关于前与后、左与右、顶部与底面、上部与下部、以及水平与垂直的参考，仅用于方便进行描述，并非限制本实用新型，亦非将其构件限制于任何位置或空间方向。

本实用新型光罩传送盒的充气座结构的详细构成，则请参照图1、图2所显示，该充气座10可被应用于制程设备旁的进出料工作站、储存用的收纳柜60(如图4所示)、充气柜或光罩运输设备等，供对个别光罩传送盒50进行独立的充气，且该等光罩传送盒50上分别设有至少一进气用的气阀55及至少一排气用的气阀55。

且该充气座10由一承载板11所构成，该承载板11的周缘分别设有多个定位框12，该等定位框12可对应光罩传送盒50的位置，让光罩传送盒50可获得限制与定位的作用；再者承载板11上形成有多个对应光罩传送盒50进气用的气阀55的嵌槽13，该嵌槽13内可供锁设有一进气阀件20，该等嵌槽13底面中心形成有一凹陷的进气槽130，又嵌槽13内底面于进气槽130外围具有一环槽131，该环槽131内可供容设一环状密封件132，以提升进气阀件20与嵌槽13间的气密性，再者该等嵌槽13的进气槽130间形成有一相互连通的进气通孔14埋设于承载板11内；本实施例的进气通孔14与承载板11的水平壁面111呈相互平行，该进气通孔14的出口端位于承载板11垂直壁面112，供连接一进气接头15，以选择性连接一供气模块。

另承载板11上形成有多个对应光罩传送盒50排气用的气阀55的嵌槽16，该嵌槽16内可供锁设有一排气阀件25，该等嵌槽16底面中心形成有一凹陷的排气槽160，又嵌槽16内底面于排气槽160外围具有一环槽161，该环槽161内可供容设一环状密封件162，以提升排气阀件25与嵌槽16间的气密性；再者该等嵌槽16的排气槽160间形成有一相互连通的排气通孔17埋设于承载板11内；本实施例的排气通孔17与承载板11的水平壁面111亦呈相互平行，该排气通孔17的出口端并位于承载板11垂直壁面112，供接设一排气接头18，以选择性连接一排气模块。

再者，承载板11表面设有多个定位感测件19，供检知光罩传送盒50是否在充气位置；再者该等充气座10的承载板11上进一步可设有一无线射频识别系统的无线射频读取元件，该无线射频读取元件可供传输与读取光罩传送盒50上无线射频标签的相关信息。

又充气座10的进气接头15于连接供气模块时，进一步可分别串设有一流量调整阀30及一压力流量计35，以供控制流量，并实时检知进气的流量与压力，且充气座10的排气接头18并连接设有一检知元件，供检知排气的流量。

因此，组构成一可节省空间、且不干扰作业的光罩传送盒的充气座结构。

至于本实用新型的实际应用，则如图2、图3及图4所示，充气座10可应用于一供分层收纳光罩传送盒50的框体60，该框体60内利用系列纵横设置的架杆65分层固设各充气座10的承载板11，当该等光罩传送盒50分别置于对应的充气座10的承载板11上时，可利用承载板11边缘的定位框12限制光罩传送盒50，且令光罩传送盒50底面进、排气用的气阀55分别对应承载板11上的进气阀件20与排气阀件25，同时通过承载板11上的定位感测件19，进一步检知光罩传送盒50是否平整设置，由于充气座10承载板11的进气接头15与排气接头18分别连接供气模块与排气模块，如此即可供选择性对光罩传送盒50内部进行循环充气，以保持光罩传送盒50内部环境的洁净度。

且使用过程中，可通过各充气座10的流量调整阀20、压力流量计25与检知元件等，让工作人员可依实际状况进行流量操作，以提高充气速率，确保光罩传送盒50内部气体的循环稳定性，以达到节省惰性气体之效，进一步可控制光罩传送盒50内部的环境条件，如湿度、温度等。

经由前述技术手段的实现，由于本实用新型光罩传送盒的充气座10的进气通孔14、排气通孔17分别形成于承载板11内部，可有效避免其因外在因素而破裂漏气，且让进气接头15、排气接头18可横向接设于承载板侧边，再加上相邻的充气座10的承载板11间无零件或管路等设置，如此可有效节省空间，大幅增加同一收纳柜框体60的光罩传送盒50的存放容量，再者由于零件、尺寸及锁接位置可以一致化及简单化，而能节省后制加工时间及缩短交期，也不会造成机械手臂进出抓取光罩传送盒50的不便，确保工作进行的顺畅与效率，且避免造成管路因破损而漏气，以防止气体的浪费。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并非用以限定本实用新型的专利保护范围，其它运用本实用新型专利精神所作的等效变化等，均应同理属于本实用新型的专利保护范围。

Claims (9)

1.一种光罩传送盒的充气座结构，其特征在于，其摆置有一光罩传送盒，且所述光罩传送盒上分别设有至少一进气用的气阀及至少一排气用的气阀；

所述充气座结构由一承载板构成，所述承载板上形成有多个对应所述进气用的气阀的嵌槽，所述嵌槽内锁设有一进气阀件，且所述嵌槽的底面中心形成有一凹陷的进气槽，所述嵌槽的进气槽间形成有相互连通的进气通孔，所述进气通孔的出口端接设有一进气接头；

且所述承载板上形成有多个对应所述排气用的气阀的嵌槽，所述嵌槽内锁设有一排气阀件，且所述嵌槽的底面中心形成有一凹陷的排气槽，所述嵌槽的进气槽间形成有相互连通的排气通孔，所述排气通孔的出口端接设有一排气接头。

2.如权利要求1所述光罩传送盒的充气座结构，其特征在于，所述承载板的周缘分别设有多个定位框，所述定位框对应限制所述光罩传送盒的位置。

3.如权利要求1所述光罩传送盒的充气座结构，其特征在于，所述嵌槽的内底面于进气槽、排气槽外围具有一环槽，所述环槽内容设有一环状密封件。

4.如权利要求1所述光罩传送盒的充气座结构，其特征在于，所述进气通孔、排气通孔的出口端位于所述承载板的壁面。

5.如权利要求1所述光罩传送盒的充气座结构，其特征在于，所述承载板表面设有多个定位感测件，且所述定位感测件连接有一用于检知光罩传送盒是否在充气位置的处理模块。

6.如权利要求1所述光罩传送盒的充气座结构，其特征在于，所述承载板上设有一无线射频识别系统的无线射频读取元件，且所述无线射频读取元件连接有一处理模块，而所述光罩传送盒上设有对应的无线射频标签。

7.如权利要求1所述光罩传送盒的充气座结构，其特征在于，所述充气座结构于所述进气接头上设有一流量调整阀及一压力流量计。

8.如权利要求1所述光罩传送盒的充气座结构，其特征在于，所述充气座于所述排气接头上设有一用于检知排气流量的检知元件。

9.一种充气座结构，其特征在于，其摆置有一光罩传送盒，所述光罩传送盒上设有多个气阀，所述充气座结构包含：

一承载板，其具有至少一水平壁面及至少一垂直壁面，所述水平壁面摆置有所述光罩传送盒，并与所述气阀呈气体连接，所述承载板更具有：

一进气通孔，其埋设于所述承载板内，并当所述光罩传送盒摆置于所述水平壁面上时气体连接至所述气阀的其中之一；

一进气接头，其设置于所述垂直壁面上，并与所述进气通孔呈气体连接；

一排气通孔，其埋设于所述承载板内，并当所述光罩传送盒摆置于所述水平壁面上时气体连接至所述气阀的其中之一；

一排气接头，其设置于所述垂直壁面上，并与所述排气通孔呈气体连接。

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