CN203140244U - 一种涂布系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种涂布系统，所述涂布系统包括喷头和依次排列的预涂布平台、废液池和涂布平台，所述喷头能够从所述预涂布平台的上方移动至所述涂布平台的上方，所述预涂布平台包括安装平台、设置在所述安装平台上表面上的预涂布板和能够从所述预涂布板的一端移动至另一端的刮刀，其中，所述预涂布板的另一端设置有向上延伸的第一挡板。通过在预涂布板上设置第一挡板可以防止利用刮刀刮出预涂布板上的光刻胶时光刻胶残留在预涂布板的边缘上，从而可以防止光刻胶被吸入抽真空系统的真空管路中。

Description

一种涂布系统

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器中彩膜的制造设备，特别地，涉及所述制造设备中所用到的涂布系统。

背景技术

图1和图2中所示的是生产液晶显示器中的彩膜（即，ColorFilter，CF）时所用到的涂布系统的示意图。其中，图1是涂布系统的主视图示意图，图2是图1中所示的涂布系统的俯视图。该涂布系统包括喷头10和依次排列的预涂布平台20、废液池30和涂布平台50，喷头10可以从预涂布平台20的上方移动至所述涂布平台的上方，预涂布平台20包括安装平台21、设置在该安装平台21上表面上的预涂布板22和可以从该预涂布板22的一端移动至另一端的刮刀（未示出）。

在喷涂光刻胶时，喷头10从预涂布平台20的一侧开始移动并向预涂布板22上喷涂光刻胶。随后喷头10移动经过废液池30，到达所述涂布平台时，喷头10喷涂的光刻胶比较均匀。

向预涂布板22上喷涂光刻胶的过程称为预涂布。预涂布完成后，所述刮刀从预涂布板22的一端移动至该预涂布板22的另一端，将预涂布板22上的废液刮除，并将该废液导流至废液池30内。废液池30底部设置有排液孔，该排液孔和排液管连通，以将废液引导至废液池30外部。

通常，预涂布板22是通过安装平台21上的真空吸附孔吸附在安装平台21上的，可是在利用所述刮刀刮除预涂布板22上的废液的过程中，废液非常容易残留在预涂布板22的边缘上，从而被抽真空系统吸入抽真空管路中或者粘附在预涂布板22的背面，并因此导致预涂布板松动或者高低不平，需频繁进行水平度校准。

因此，如何防止光刻胶废液被抽真空系统吸入真空管路中成为本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种涂布系统，利用该涂布系统进行预涂布的过程时，光刻胶不会残留在预涂布板的边缘上，从而不会被吸入抽真空系统的真空管路中。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种涂布系统，所述涂布系统包括喷头和依次排列的预涂布平台、废液池和涂布平台，所述喷头能够从所述预涂布平台的上方移动至所述涂布平台的上方，所述预涂布平台包括安装平台、设置在所述安装平台上表面上的预涂布板和能够从所述预涂布板的第一端移动至第二端的刮刀，其中，所述预涂布板的第二端设置有向上延伸的第一挡板。

优选地，所述预涂布板的两侧分别延伸超过所述安装平台的两个侧面，且所述预涂布板的两侧中的至少一侧设置有向下延伸的第二挡板。

优选地，所述预涂布板的两侧中靠近所述废液池的一侧延伸至所述废液池的上方，所述预涂布板的两侧中的另一侧设置有所述第二挡板。

优选地，所述废液池的深度从一端至另一端逐渐增加，所述废液池的较深的一端的侧壁底部设置有与所述废液池外部相通的排液孔。

优选地，所述排液孔为多个，多个所述排液孔沿所述废液池的宽度方向均匀分布。

优选地，所述涂布系统还包括能够提供清洗液的清洗装置，所述废液池的较浅的一端的侧壁上设置有进液孔，所述清洗液通过所述进液孔进入所述废液池中。

优选地，所述清洗装置包括与所述进液孔连通的清洗液供应管，所述清洗液供应管上设置有第一开关阀。

优选地，所述进液孔为多个，多个所述进液孔沿所述废液池的宽度方向均匀分布。

优选地，所述清洗液供应管包括进液管和与该进液管连通的多个分配管，所述分配管与所述进液孔一一对应，且所述第一开关阀连接在所述进液管和所述分配管之间。

优选地，所述清洗装置还包括第二开关阀和控制空气供应管，所述第一开关阀为气动阀，所述第一开关阀的控制口与所述控制空气供应管相连，所述第二开关阀设置在所述控制空气供应管上，以控制所述空气供应管的通断。

通过在预涂布板上设置第一挡板可以防止利用刮刀刮出预涂布板上的光刻胶时，光刻胶不会残留在预涂布板的边缘上，从而可以防止光刻胶被吸入抽真空系统的真空管路中。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是现有的涂布系统的一部分的主视图示意图；

图2是图1中所示的涂布系统的一部分的俯视图示意图；

图3是本实用新型所提供的涂布系统的一部分的主视图示意图；

图4是图3中所示的涂布系统的c-c剖视图；

图5是图3中所示的涂布系统的一部分的俯视图示意图；

图6是图3中所示的涂布系统的一部分的A-A剖视图；

图7是图3中所示的涂布系统的一部分的B向视图。

附图标记说明

10：喷头      20：预涂布平台

21：安装平台  22：预涂布板

23：第一挡板  24：第二挡板

30：废液池    31：排液孔

32：进液孔    40：清洗装置

41：清洗液供应管  42：第一开关阀

43：第二开关阀    44：控制空气供应管

45：控制器      50：涂布平台

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

如图3至图7中所示，本实用新型提供一种涂布系统，所述涂布系统包括喷头10和依次排列的预涂布平台20、废液池30和涂布平台50，喷头10能够从预涂布平台20的上方移动至所述涂布平台的上方，喷头10呈长条状，长度方向与该喷头10的移动方向相垂直。预涂布平台20包括安装平台21、设置在安装平台21上表面上的预涂布板22和能够从预涂布板22的第一端移动至第二端的刮刀，其中，预涂布板22的第二端设置有向上延伸的第一挡板23。应当理解的是，此处所述的“第一端、第二端”分别位于预涂布板22长度方向上的两端（即，图3和图5中的左右方向，同时也是预涂布板22的长度方向），此处所述的预涂布板22的长度方向垂直于喷头10的移动方向。

由于预涂布板22的第二端上设置了向上延伸的第一挡板23，因此，在所述刮刀从预涂布板22的第一端移动到预涂布板22的第二端时，第一挡板23挡住被所述刮刀甩出的光刻胶，进而可以防止被所述刮刀刮除的光刻胶废液因惯性作用而被甩到预涂布板22的外部，并残留在预涂布板22的第二端的边缘上，从而降低了光刻胶废液被抽真空系统吸入真空管路中的机率，并因此可以降低出现预涂布板22吸附不良的机率。

此外，由于设置第一挡板23可以防止所述刮刀将光刻胶废液从预涂布板22的第二端甩出，因此，第一挡板23还可以避免光刻胶废液污染周围环境。

为了保证喷头10均匀地喷出光刻胶，优选地看，可以利用两块高精密的钢片拼合形成喷头10，如图4所示，这样，在喷涂时，光刻胶从两片钢片之间的缝隙中喷出。从图4中可以看出两片钢片以及两片钢片之间的缝隙。

如图5和图7所示，预涂布板22的两侧可以分别延伸超过安装平台21的两个侧面。在本实用新型中，可以在预涂布板22的至少一侧设置有向下延伸的第二挡板。应当理解的是，预涂布板22的两侧是指该预涂布板22宽度方向的两侧（即，图5中的上下方向），此处所述的预涂布板22的宽度方向与喷头10的移动方向一致。

如图7中所示，预涂布板22的两侧中靠近废液池30的一侧延伸至废液池30的上方，预涂布板22的两侧中的一另侧设置有向下延伸的第二挡板24。

预涂布板22设置为上述结构的优点在于：其一，第二挡板24可以引导由所述刮刀刮除的光刻胶废液向下流动，防止所述光刻胶废液进入预涂布板22和安装平台21之间的间隙，从而可以防止光刻胶废液被抽真空系统吸入真空管路中；其二，预涂布板22的另一侧延伸至废液池30的上方，可以确保光刻胶废液全部流入废液池30中，而非流入废液池30和安装平台21之间的间隙。

当然，可以在预涂布板22的两侧都设置第二挡板，这样可以防止光刻胶废液从预涂布板22任意一侧的边缘流向预涂布板22的底面，从而防止光刻胶废液被抽吸进入真空管道中。

在本实用新型中，对废液池30的具体结构没有特殊的要求，只要能够储存由所述刮刀从预涂布板22上刮除的光刻胶废液并将该光刻胶废液排出即可。例如，本实用新型所提供的涂布系统可以利用图2中所示的废液池30。

优选地，废液池30可以设置为该废液池30的深度从一端至另一端逐渐增加（即，废液池30的底表面是倾斜的），废液池30的较深的一端的侧壁底部设置有与废液池30外部相通的排液孔31（如图6所示），这样可以防止光刻胶废液在废液池30中沉积凝固。所述刮刀将光刻胶废液从预涂布板22上刮除进入废液池30之后，所述光刻胶废液可沿废液池30的底表面从较浅的一端流动至该废液池30较深的一端，并通过排液孔31流出废液池30。应当理解的是，此处所述的废液池30的“一端、另一端”分别位于废液池30长度方向上的两端（即，图3和图5中的左右方向，同时也是废液池30长度方向），此处所述的废液池30的长度方向垂直于喷头10的移动方向。

虽然图5和图6中仅示出了设置一个排液孔31的情况，但是应当理解的是，为了将废液池30中的光刻胶废液彻底排出，优选地，可以在废液池30上设置多个排液孔31。进一步优选地，多个排液孔31沿废液池30的宽度方向（即图5中的上下方向）均匀分布。此处，废液池30的宽度方向与喷头10的移动方向一致，垂直于刮刀的移动方向。

为了防止所述光刻胶废液在废液池30中凝固，优选地，如图5和图6所示，所述涂布系统还可以包括能够提供清洗液的清洗装置40，此时，可以在废液池30的较浅的一端的侧壁上设置进液孔32，所述清洗液通过进液孔32进入所述废液池30中。

为了节约清洗液，可以定时对废液池30进行清洗。例如，可以在进行完一次喷涂工序后再对废液池30进行清洗。为了便于控制，优选地，清洗装置40可以包括与进液孔32连通的清洗液供应管41，清洗液供应管41上设置有第一开关阀42。可以通过控制第一开关阀42的开关来控制清洗废液池30的时间间隔。可以人工地控制第一开关阀42的开关，也可以通过自动控制装置来控制第一开关阀42的开关，具体在下文中进行介绍。

虽然图5和图6中仅示出了设置一个进液孔32的情况，但是应当理解的是，为了使清洗液均匀地覆盖废液池30的底表面，优选地，可以设置多个进液孔32。进一步优选地，多个进液孔32沿废液池30的宽度方向均匀分布。

可以在每个进液孔32上都设置一根清洗液供应管41，并且在每根清洗液供应管41上都设置一个第一开关阀42。为了简化结构，优选地，清洗液供应管41可以包括进液管和与该进液管连通的多个分配管（未示出），所述分配管与所述进液孔一一对应，且第一开关阀42连接在所述进液管和所述分配管之间。清洗液通过所述进液管流入，并通过第一开关阀42分配给多个分配管，然后由该多个分配管进入废液池30中。

通常，操作第一开关阀42都需要较大的力。为了便于控制第一开关阀42，优选地，清洗装置40还可以包括第二开关阀43和控制空气供应管44，此时，第一开关阀42为气动阀，第一开关阀42的控制口与控制空气供应管44相连，第二开关阀43设置在控制空气供应管44上，以控制空气供应管44的通断。

当第二开关阀43打开时，控制空气供应管44中的控制空气流向第一开关阀42的控制口，第一开关阀42被控制空气打开，从而允许清洗液流入废液池30中。当第二开关阀43关闭时，控制空气供应管44被切断，第一开关阀42也关闭，清洗液不会流入废液池30中。

为了控制清洗废液池30的间隔时间和持续时间，优选地，所述涂布系统还可以包括控制器45，第二开关阀43为电磁阀，控制器45与所述第二开关阀43电连接。

控制器45间隔预定时间后控制第二开关阀43打开，从而允许第一开关阀42打开，并允许清洗液进入废液池30中。

优选地，控制器45可以为PLC控制器。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种涂布系统，所述涂布系统包括喷头和依次排列的预涂布平台、废液池和涂布平台，所述喷头能够从所述预涂布平台的上方移动至所述涂布平台的上方，所述预涂布平台包括安装平台、设置在所述安装平台上表面上的预涂布板和能够从所述预涂布板的第一端移动至第二端的刮刀，其特征在于，所述预涂布板的第二端设置有向上延伸的第一挡板。

2.根据权利要求1所述的涂布系统，其特征在于，所述预涂布板的两侧分别延伸超过所述安装平台的两个侧面，且所述预涂布板的两侧中的至少一侧设置有向下延伸的第二挡板。

3.根据权利要求2所述的涂布系统，其特征在于，所述预涂布板的两侧中靠近所述废液池的一侧延伸至所述废液池的上方，所述预涂布板的两侧中的另一侧设置有所述第二挡板。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的涂布系统，其特征在于，所述废液池的深度从一端至另一端逐渐增加，所述废液池的较深的一端的侧壁底部设置有与所述废液池外部相通的排液孔。

5.根据权利要求4所述的涂布系统，其特征在于，所述排液孔为多个，多个所述排液孔沿所述废液池的宽度方向均匀分布。

6.根据权利要求4所述的涂布系统，其特征在于，所述涂布系统还包括能够提供清洗液的清洗装置，所述废液池的较浅的一端的侧壁上设置有进液孔，所述清洗液通过所述进液孔进入所述废液池中。

7.根据权利要求6所述的涂布系统，其特征在于，所述清洗装置包括与所述进液孔连通的清洗液供应管，所述清洗液供应管上设置有第一开关阀。

8.根据权利要求7所述的涂布系统，其特征在于，所述进液孔为多个，多个所述进液孔沿所述废液池的宽度方向均匀分布。

9.根据权利要求8所述的涂布系统，其特征在于，所述清洗液供应管包括进液管和与该进液管连通的多个分配管，所述分配管与所述进液孔一一对应，且所述第一开关阀连接在所述进液管和所述分配管之间。

10.根据权利要求7所述的涂布系统，其特征在于，所述清洗装置还包括第二开关阀和控制空气供应管，所述第一开关阀为气动阀，所述第一开关阀的控制口与所述控制空气供应管相连，所述第二开关阀设置在所述控制空气供应管上，以控制所述空气供应管的通断。

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