CN203112508U - 通过磷化铝水解制备磷烷的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种化工产品的制备装置，特别是一种通过磷化铝水解制备磷烷的装置。通过磷化铝水解制备磷烷的装置，包括箱体，所述箱体一侧壁上部设有出气口，另一侧壁底部设有出气口，所述箱体内侧底部连接有气体分配板，在所述箱体上方设有至少一个药筒，所述药筒内连接有活塞，所述药筒底部设有出液口。本实用新型用于电子特种气体的过程中。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种化工产品的制备装置，特别是一种通过磷化铝水解制备磷烷的装置。
背景技术
目前，微电子工业是现代信息工业和军事工业的主要基石，是推动科技进步、产业发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子工业的核心，其发展水平和产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体，如磷烷，尤其是高纯度的电子特种气体作为电子化工材料，是影响集成电路可靠性和成品率的重要因素，随着电子信息装置的飞速发展，集成度越来越高，对作为基础原材料的电子特种气体（如磷烷）的纯度要求已经提高到了5N级（99.999%），甚至7N（99.99999%）以上，然而，现有制备磷烷的制备装置尚未完善，制备装置结构复杂，操作繁琐，生产出的磷烷纯度不够高。
发明内容
本实用新型旨在克服现有技术缺陷，提供一种通过磷化铝水解制备磷烷的装置。
通过磷化铝水解制备磷烷的装置，包括箱体，所述箱体一侧壁上部设有出气口，另一侧壁底部设有出气口，所述箱体内侧底部连接有气体分配板，在所述箱体上方设有至少一个药筒，所述药筒内连接有活塞，所述药筒底部设有出液口。
本实用新型的有益效果是，装置结构简单，方便操作，生产出的磷烷产品纯度高。此外，解决了磷烷的环境污染问题。
附图说明
图1为本实用新型具有三个药筒的使用状态示意图，其中，1、箱体，2、入气口，3、出气口，4、水，5、导管，6、熏蒸剂转移管，7、风机，8、气体分配板，9、搅拌器，10、药筒，11、磷化物混合物，12、活塞，13、限流管，14、磷化物小滴，15、驱动板。
具体实施方式
下面结合图1对本实用新型进一步说明，通过磷化铝水解制备磷烷的装置，包括箱体1，所述箱体1密封，所述箱体一侧壁上部设有出气口3，另一侧壁底部设有入气口2，所述箱体内侧底部连接有气体分配板8，在所述箱体上方设有至少一个药筒10，所述药筒内连接有活塞12，所述药筒底部设有出液口。
所述气体分配板由分配板主体和其上均匀分布的至少一个筛孔组成。
所箱体内部安装有搅拌器9。
所述活塞与所述药筒内壁滑动连接。
所述出液口连接有限流管13。
所述限流管内壁直径为0.5-10mm。
所述药筒内的活塞与所述药筒上方的驱动板15相连。
所述药筒有2-5个。
使用时，在箱体1内添加适量的水4，在至少一个药筒10内装入磷化物混合物11，下压驱动板15，使磷化物混合物11以磷化物小滴14状滴入箱体1内的水4中，同时启动搅拌器9，反应制备磷烷。磷烷气体产生后，从出气口3装瓶入库。
此外，当用于熏蒸时，气体出口3直接连接导管5，与熏蒸剂转移管6连接，熏蒸剂转移管6下部连接安装风机7，启动熏蒸系统即可。
本实用新型的有益效果是，装置结构简单，方便操作，生产出的磷烷产品纯度高。此外，解决了磷烷的环境污染问题。
Claims (8)
1.通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：包括箱体，所述箱体一侧壁上部设有出气口，另一侧壁底部设有出气口，所述箱体内侧底部连接有气体分配板，在所述箱体上方设有至少一个药筒，所述药筒内连接有活塞，所述药筒底部设有出液口。
2.根据权利要求1所述的通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：所述气体分配板由分配板主体和其上均匀分布的至少一个筛孔组成。
3.根据权利要求1所述的通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：所箱体内部安装有搅拌器。
4.根据权利要求1所述的通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：所述活塞与所述药筒内壁滑动连接。
5.根据权利要求1所述的通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：所述出液口连接有限流管。
6.根据权利要求5所述的通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：所述限流管内壁直径为0.5-10mm。
7.根据权利要求1所述的通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：所述药筒内的活塞与所述药筒上方的驱动板相连。
8.根据权利要求1所述的通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：所述药筒有2-5个。
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