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CN203013706U - 具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构 - Google Patents

具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构 Download PDF

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CN203013706U CN 201220742104 CN201220742104U CN203013706U CN 203013706 U CN203013706 U CN 203013706U CN 201220742104 CN201220742104 CN 201220742104 CN 201220742104 U CN201220742104 U CN 201220742104U CN 203013706 U CN203013706 U CN 203013706U
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吕致纬
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SEGO TECHNOLOGY (WUXI) Co Ltd
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SEGO TECHNOLOGY (WUXI) Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及一种具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构,包括基板,在基板的表面设有若干连接层,在连接层上设置导电锡凸块;其特征是:在每个导电锡凸块的上表面设置预成型焊锡凹洞。所述预成型焊锡凹洞与芯片上的锡凸块的表面相配合。本实用新型所述的具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构,由于在芯片未粘着前,即在导电锡凸块的表面设置了预成型焊锡凹洞,从而在覆晶接合过程中,保证了制作过程的精准度,并且不需要使用专用的覆晶粘着机,可以使用一般的表面装著机即能达到此需求。

Description

具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构
技术领域
本实用新型涉及一种基板结构,尤其是一种具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构。
背景技术
现有技术中覆晶接合(Flip chip bond)采用的一般为IBM公司提出的C4方式,如图1、图2所示,在基板1a上电镀镍/金(Ni/Au)2a或电镀镍/钯/金(Ni/Pd/Au)2a,或者预先涂布焊锡(Solder Pre-coating)3a;如图3所示,芯片4a上设有凸点下金属层(under bump metallization/metallurgy,UBM)和焊锡凸块(Solder Bump);如图4所示,再使用专用覆晶粘着机(Flip Chip Bonder)5a来实现覆晶粘着。
在现有的覆晶接合方式中,由于芯片上的焊锡凸块表面为圆弧形,该焊锡凸块和基板进行覆晶接合时,制作精度不高,并且需要使用专用的覆晶粘着机才能完成,制约了覆晶的加工。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构,提高了覆晶的制作精准度。
按照本实用新型提供的技术方案,所述具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构,包括基板,在基板的表面设有若干连接层,在连接层上设置导电锡凸块;其特征是:在每个导电锡凸块的上表面设置预成型焊锡凹洞。
所述预成型焊锡凹洞与芯片上的锡凸块的表面相配合。
本实用新型所述的具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构,由于在芯片未粘着前,即在导电锡凸块的表面设置了预成型焊锡凹洞,从而在覆晶接合过程中,保证了制作过程的精准度,并且不需要使用专用的覆晶粘着机,可以使用一般的表面装著机(SMT machine)即能达到此需求。
附图说明
图1为现有技术中覆晶接合方式中基板电镀后的结构示意图。
图2为现有技术中覆晶接合方式中基板预先涂布焊锡后的结构示意图。
图3为现有技术中覆晶接合方式中芯片的示意图。
图4为现有技术中覆晶接合过程示意图。
图5为本实用新型的结构示意图。
图6~图12为采用本实用新型所述基板结构制作覆晶的过程图,其中:
图6为在基板上印刷锡膏得到导电锡凸块后的示意图。
图7为在不锈钢治具的成型面镀类钻碳膜后的示意图。
图8为采用不锈钢治具在导电锡凸块表面形成预成型焊锡凹洞的示意图。
图9为得到预成型焊锡凹洞后的示意图。
图10为对基板喷洒助焊剂的示意图。
图11为进行覆晶接着的示意图。
图12为得到覆晶后的示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。
如图6所示:本实用新型所述具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构包括基板1,在基板1的表面设有若干连接层2,在连接层2上设置导电锡凸块3,在每个导电锡凸块3的上表面设置预成型焊锡凹洞4;由于在芯片未粘着前,即在导电锡凸块3的表面设置了预成型焊锡凹洞4,从而在覆晶接合过程中,保证了制作过程的精准度,并且不需要使用专用的覆晶粘着机,可以使用一般的表面装著机(SMT machine)即能达到此需求。
采用本实用新型所述基板结构制作覆晶的过程为:
(1)如图6所示,在基板1的表面以网板印刷锡膏于基板的焊垫区,形成导电锡凸块3,导电锡凸块3与基板1之间由连接层2连接,连接层2为电镀镍/金;
(2)如图7所示,在SUS304不锈钢治具5的成型面上镀类钻碳膜6;如图8所示,采用该治具对基板的上表面进行回焊和加热;脱模后,在导电锡凸块3的表面形成预成型焊锡凹洞4,如图9所示;
(3)如图10所示,在基板1的上表面喷洒助焊剂;
(4)如图11所示,接着采用表面装着机进行覆晶贴片,因为基板1上的导电锡凸块3表面设有预成型焊锡凹洞4,从而制作过程精准度高,得到覆晶,如图12所示;
(5)进行回焊、清洗后,进行常规作业。

Claims (2)

1.一种具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构,包括基板(1),在基板(1)的表面设有若干连接层(2),在连接层(2)上设置导电锡凸块(3);其特征是:在每个导电锡凸块(3)的上表面设置预成型焊锡凹洞(4)。
2.如权利要求1所述的具有预成型焊锡凹洞的覆晶接合结构,其特征是:所述预成型焊锡凹洞(4)与芯片上的锡凸块的表面相配合。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111584368A (zh) * 2020-04-23 2020-08-25 中国科学院上海技术物理研究所 红外焦平面器件用高密度微细铟柱阵列顶端凹点成型方法

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CN111584368B (zh) * 2020-04-23 2022-12-30 中国科学院上海技术物理研究所 红外焦平面器件用高密度微细铟柱阵列顶端凹点成型方法

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