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CN202189822U - 一种太阳能硅片的裂片工具 - Google Patents

一种太阳能硅片的裂片工具 Download PDF

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CN202189822U
CN202189822U CN2011202631734U CN201120263173U CN202189822U CN 202189822 U CN202189822 U CN 202189822U CN 2011202631734 U CN2011202631734 U CN 2011202631734U CN 201120263173 U CN201120263173 U CN 201120263173U CN 202189822 U CN202189822 U CN 202189822U
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CN
China
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silicon
silicon chip
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silicon wafer
wafer
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CN2011202631734U
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English (en)
Inventor
沈彪
李向清
胡德良
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JIANGYIN AIDUO PV TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
JIANGYIN AIDUO PV TECHNOLOGY Co Ltd
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Publication date
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    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种太阳能硅片的裂片工具,所述裂片工具包括一弹性的硅片承托板,以及滚碾硅片使硅片分裂为若干晶粒的硬质胶棒,所述硅片承托板上设置有若干个呈阵列排布的容纳硅片的凹槽,所述凹槽的深度小于硅片厚度;在所述硅片承托板下还设有衬板。由于太阳能硅片的裂片工具在晶片承托板上设置了若干个浅凹槽,相当于给硅片整体的边缘设置了一个定位阻拦台阶。这样,无论从那个方向对晶片进行碾压,也不会造成晶粒的串动、错位。在硅片承托板下部设置衬板,是为便于操作者转动硅片承托板,按90°角度转动,适应纵横交错的沟槽,也更符合操作者用力习惯。

Description

一种太阳能硅片的裂片工具
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片加工工具,具体涉及一种太阳能硅片的裂片工具。
背景技术
随着太阳能电池行业的迅速发展,拥有一种能够保证良好的晶粒外观的作业方式,是去除影响产量提高的贫瘠,保证产品的信赖性,增加企业形象,增强企业竞争力不可或缺的技术攻关。
硅片采用刀片切剖,在保证切割外观良好的前提下,切割的最大速度为50mm/s。对于大晶粒尺寸的硅片例如140mil,切割速度为20mm/s,切割效率偏低。而采用激光半切透,激光切割的速度为160mm/s。其二,对于O/J的硅片若采用刀片切割完全切透的方式,由于刀片刀刃处呈现梯形的坡度,造成晶粒侧面P/N结呈现波度,影响晶粒电压以及电性的稳定性。其三,采用刀片切割造成兰膜的浪费,水、气的浪费。
在太阳能电池的硅片制程中,对于O/J硅片(没有沟槽的类型硅片)采用刀片半切透状态后,或硅片(具有玻璃钝化保护P/N结的类型硅片)在激光切割硅片后,对呈现半切透状态的硅片采用被切剖面朝下,在相反的一面施加垂直于硅片均匀的力进行裂片,以达到将整个硅片分割成符合要求的单个小晶粒的目的。为此,我们将硅片放置在弹性承托板上,再将晶片上覆盖一层膜,然后,用胶棒对晶片来回碾压,着力点对准晶片上沟槽部位。但使用中,我们发现硅片在胶棒往复碾压过程中,分裂下来的晶粒会出现水平位移,造成错位。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷,提供一种可避免晶粒出现水平位移的太阳能硅片的裂片工具。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案是设计一种太阳能硅片的裂片工具,所述裂片工具包括一弹性的硅片承托板,以及滚碾硅片使硅片分裂为若干晶粒的硬质胶棒,其特征在于,所述硅片承托板上设置有若干个呈阵列排布的容纳硅片的的凹槽,所述凹槽的深度小于硅片厚度。
作为优选的技术方案,在所述硅片承托板下还设有衬板。
本实用新型的优点和有益效果在于:由于太阳能硅片的裂片工具在晶片承托板上设置了若干个浅凹槽,相当于给硅片整体的边缘设置了一个定位阻拦台阶。这样,无论从那个方向对晶片进行碾压,也不会造成晶粒的串动、错位。在硅片承托板下部设置衬板,是为便于操作者转动硅片承托板,按90°角度转动,适应纵横交错的沟槽,也更符合操作者用力习惯。
附图说明
图1是本实用新型太阳能硅片的裂片工具的结构示意图;
图2是图1的俯视图。
图中:1:晶片承托板;2、凹槽;3、沟槽;4、晶粒;5、胶棒;6、硅片;7、底板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
本实用新型如图1、2所示,包括一弹性的硅片承托板1,以及滚碾硅片6使硅片6分裂为若干晶粒4的硬质胶棒5,所述硅片承托板1上设有容纳硅片6的凹槽2,所述凹槽的深度小于硅片6厚度。在所述晶片承托板1下还设有衬板7。
本实用新型使用方法如下:
1)、将硅片6置入凹槽2内,再施加其它工艺手段;
2)、采用胶棒5沿硅片6上的沟槽3进行滚碾,横向沟槽3滚碾完毕后,转动晶片承托板1,对纵向沟槽再进行滚碾,直至硅片6沿沟槽3分裂为若干晶粒4。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (2)

1.一种太阳能硅片的裂片工具,所述裂片工具包括一弹性的硅片承托板,以及滚碾硅片使硅片分裂为若干晶粒的硬质胶棒,其特征在于,所述硅片承托板上设置有若干个呈阵列排布的容纳硅片的的凹槽,所述凹槽的深度小于硅片厚度。
2.如权利要求1所述的太阳能硅片的裂片工具,其特征在于,在所述硅片承托板下还设有衬板。
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C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

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