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CN201287408Y - 一种单晶棒切断机的冷却供水装置 - Google Patents

一种单晶棒切断机的冷却供水装置 Download PDF

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CN201287408Y
CN201287408Y CNU2008203027650U CN200820302765U CN201287408Y CN 201287408 Y CN201287408 Y CN 201287408Y CN U2008203027650 U CNU2008203027650 U CN U2008203027650U CN 200820302765 U CN200820302765 U CN 200820302765U CN 201287408 Y CN201287408 Y CN 201287408Y
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CN
China
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water
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single crystal
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supply facility
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English (en)
Inventor
何紫平
胥敬东
丁宇翔
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Huzhou Xinyuantai Microelectronics Co Ltd
Original Assignee
Huzhou Xinyuantai Microelectronics Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种单晶棒切断机的冷却供水装置。它包括水箱(1)，水箱(1)中有水(2)，水箱(1)的底部经管道与水泵(3)的入口连接，水泵(3)的出口经管道与喷头(4)连接，喷头(4)的下方设有接水盘(5)，接水盘(5)经管道与水箱(1)连接；水(2)为纯净水。本实用新型采用纯净水循环为单晶棒切断机的冷却供水，并增加水泵，提高了冷却水压力的稳定性，可以提高单晶片切割端面的平整度，由于纯净水对切割刀片的腐蚀作用小，因此可大大延长切割刀片的使用寿命。

Description

一种单晶棒切断机的冷却供水装置
技术领域
本实用新型涉及一种供水装置，特别是一种单晶棒切断机的冷却供水装置。
背景技术
在单晶棒的切断及切片过程中，为了防止温度过高，需要对刀片和单晶棒进行冷却。现有技术是直接用自来水进行冷却降温，由于自来水的压力不稳定，必然使得流经刀片时的流量发生变化，由于切割刀片厚度极薄，容易使刀片发生变形，使得切下来的单晶片端面平整度变差，且自来水对不锈钢切割刀片的腐蚀作用，刀片的使用寿命短。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，提供一种单晶棒切断机的冷却供水装置，以提高单晶片切割端面的平整度，减小自来水对切割刀片的腐蚀作用，延长刀片的使用寿命。
本实用新型的技术方案：一种单晶棒切断机的冷却供水装置。它包括水箱，水箱中有水，水箱的底部经管道与水泵的入口连接，水泵的出口经管道与喷头连接，喷头的下方设有接水盘，接水盘经管道与水箱连接。
上述的单晶棒切断机的冷却供水装置中，所述的水为纯净水。
与现有技术相比，由于增加了水泵3可以保证冷却水的压力稳定，所以保证了切割温度的稳定，使单晶片切割端面的平整度得到提高。另外使用纯净水进行冷却对切割刀片的腐蚀作用小，因此可大大延长切割刀片的使用寿命。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
附图中的标记为：1-水箱，2-水，3-水泵，4-喷头，5-接水盘，6-单晶棒，7-刀片。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的单晶棒切断机的冷却供水装置作进一步的详细说明，但并不作为对本实用新型作任何限制的依据。
本实用新型管路如图1所示，它包括水箱1，水箱1中有水2，水箱1的底部经管道与水泵3的入口连接，水泵3的出口经管道与喷头4连接，喷头4对着切割单晶片6的刀片7，在切割口的下方设有接水盘5，接水盘5经管道与水箱1连接，所述的水采用纯净水。
本实用新型的工作原理：
由于增加了水泵3可以保证冷却水的压力稳定，所以保证了切割温度的稳定，使单晶片切割端面的平整度得到提高。由于将现有技术中使用的自来水改为纯净水，减小了自来水对切割刀片的腐蚀作用，因此可大大延长切割刀片的使用寿命。

Claims (2)

  1. 【权利要求1】一种单晶棒切断机的冷却供水装置，其特征在于：它包括水箱(1)，水箱(1)中有水(2)，水箱(1)的底部经管道与水泵(3)的入口连接，水泵(3)的出口经管道与喷头(4)连接，喷头(4)的下方设有接水盘(5)，接水盘(5)经管道与水箱(1)连接。
  2. 【权利要求2】根据权利要求1所述的单晶棒切断机的冷却供水装置，其特征在于：所述的水(2)为纯净水。
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