CN201236994Y - 止回流反应阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种止回流反应阀，包括阀管道、电磁阀、气缸、活塞以及通气挡板；其特征在于所述通气挡板安装在阀管道上，所述电磁阀连接气缸，活塞一端设置于气缸内，另一端对准通气挡板的通气孔。当真空设备异常，管道内可能发生气体回流时，电磁阀接收回流信号，然后往气缸充气，从而推动活塞迅速顶住通气挡板，堵塞通气孔，实现止回流反应阀的关闭。本实用新型结构简单，反应灵敏迅速，杜绝管道内的气体回流造成事故。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及管道阀门控制领域，尤其涉及一种止回流反应阀。
【背景技术】
在半导体芯片生产制造过程中，有很多真空环境的管道，如图1所示，这是一个低压炉管机台的工作系统，炉管机台1中放置有很多待加工硅片，机台有进气管道和出气管道3，出气管道3连接真空泵2，在正常工作时，真空泵保持整个炉管机台内的工作环境为低压真空状态，只允许工作气体通过进气管道进入炉管与硅片表面充分接触反应，再从出气管道3排出。
当机台发生非正常断电时，真空泵2将停止工作，由于真空环境的破坏，气流将很容易通过出气管道3回流倒灌进炉管机台1，而影响产品及机台的正常运行，严重时将导致机台内硅片的报废。
这样就迫切需要一种止回流机构来应对可能发生的炉管机台气体倒灌事故。
【实用新型内容】
本实用新型要解决的技术问题是提供一种止回流反应阀，以解决低压真空环境下工作的机台因为非正常断电，真空被破坏而发生气流回流倒灌的问题。
本实用新型所述的止回流反应阀安装在真空泵和工作机台之间的通气管道上，包括阀管道、电磁阀、气缸、活塞以及通气挡板；其中阀管道呈管状，两端连接通气管，所述通气挡板安装在阀管道上，气缸通过支架与阀管道内壁连接，固定安装在阀管道内；所述电磁阀连接气缸，并设有一回流信号输入端；所述活塞包括气缸塞、连杆、阀塞；气缸塞设置于气缸内，阀塞通过连杆与气缸塞固定连接，并对准通气挡板的通气孔，活塞上还设有一压缩弹簧，弹簧一端连接阀塞，另一端连接气缸的缸体。
当真空泵断电，管道内真空被破坏，并发生气体回流现象时，电磁阀收管道系统的断电信号，立刻开启气缸，往气缸内充气。此时气缸内与止回流阀的阀管道内产生气压差，由此推动气缸塞，从而使整个活塞外移，而此时活塞另一端的阀塞在压缩弹簧以及气缸内外的气压差双重作用下，将迅速的顶住通气挡板的通气孔，从而使整个阀管道封闭，实现止回流反应阀的止回流自关闭功能。
为了提高止回流反应阀在关闭时的密封性能，可在通气挡板的通气孔周围设一橡胶密封圈。
本实用新型所述的止回流反应阀，其结构简单、反应灵敏，在真空设备异常、回流现象可能发生时，通过气缸内外的气压差以及压缩弹簧的双重作用下，可迅速关闭，从而杜绝了气体倒灌的事故发生。
【附图说明】
图1为现有的炉管机台管道系统示意图；
图2为本实用新型所述的一种止回流反应阀结构示意图。
【具体实施方式】
下面结合说明书附图对本实用新型的一个具体实施例作详细说明。
如图2所示，本实用新型所述的止回流反应阀门，包括阀管道4、电磁阀5、气缸6、活塞以及通气挡板8，通气挡板8安装在阀管道4上，气缸6通过支架9与阀管道的内壁连接，固定安装在阀管道内；电磁阀5连接气缸6，设有一回流信号输入端；所述活塞包括气缸塞7-1、连杆7-2、阀塞7-3；气缸塞7-1设置于气缸6内，阀塞7-3通过连杆7-2与气缸塞7-1固定连接，并对准通气挡板8的通气孔10，活塞上还设有一压缩弹簧7-4，弹簧7-4一端连接阀塞7-3，另一端连接气缸6的缸体。
当真空泵断电时，管道内真空被破坏，阀管道4内的气体可能发生回流现象，气体将通过通气挡板8上的通气孔10回溯。因为真空泵断电，连接气缸6的电磁阀5可以收到断电信号，此时电磁阀5使气缸6迅速充气。此时气缸6与阀管道4将产生气压差，气压会推动气缸塞7-1，从而推动整个活塞，而此时活塞另一端的阀塞7-3向通气孔10移动，另一方面压缩弹簧7-4的自恢复弹力也会促进阀塞7-3的运动，在气压差以及压缩弹簧的双重作用下，阀塞7-3将迅速的顶住通气挡板8，堵塞通气孔10，从而使整个阀管道封闭，实现止回流反应阀的止回流自关闭功能，为了提高密封性能，还可以在通气孔10周围设置一个橡胶密封圈11，这样阀塞7-3堵塞通气孔10时，杜绝因为接触面的不平整而发生气体泄漏的情况。
以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案。不脱离本实用新型精神和范围的任何修改或局部替换，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (7)
1、一种止回流反应阀，包括阀管道、电磁阀、气缸、活塞以及通气挡板；其特征在于所述阀管道呈管状，两端连接通气管，所述通气挡板安装在阀管道上，电磁阀连接气缸，活塞一端设置于气缸内，另一端对准通气挡板的通气孔。
2、如权利要求1所述的止回流反应阀，其特征在于所述活塞包括气缸塞、连杆、阀塞；气缸塞设置于气缸内，阀塞通过连杆与气缸塞固定连接，并对准通气挡板的通气孔。
3、如权利要求2所述的止回流反应阀，其特征在于所述活塞包括压缩弹簧，弹簧一端连接阀塞，另一端连接气缸的缸体。
4、如权利要求1所述的止回流反应阀，其特征在于所述电磁阀设有回流信号输入端。
5、如权利要求1所述的止回流反应阀，其特征在于所述气缸安装在阀管道内，通过支架与阀管道内壁固定连接。
6、如权利要求1所述的止回流反应阀，其特征在于所述通气挡板在通气孔周围还设有橡胶密封圈。
7、如权利要求4所述的止回流反应阀，其特征在于所述回流信号输入端接收到的信号为管道系统的断电信号。
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