CN201180113Y - 一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 16
- 239000007888 film coating Substances 0.000 title 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 title 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 42
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 5
- MEYZYGMYMLNUHJ-UHFFFAOYSA-N tunicamycin Natural products CC(C)CCCCCCCCCC=CC(=O)NC1C(O)C(O)C(CC(O)C2OC(C(O)C2O)N3C=CC(=O)NC3=O)OC1OC4OC(CO)C(O)C(O)C4NC(=O)C MEYZYGMYMLNUHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 abstract 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，在玻璃基片(1)表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层(2)、银膜层(3)、镍铬膜层(4)，在镍铬膜层(4)表面镀有一层氧化锡膜层(5)，在氧化锡膜层(5)表面镀有一层氮化硅膜层(6)，从而构成五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。采用上述结构，既可以利用氧化锡膜沉积效率高，价格便宜的优点，又可以利用氮化硅膜结构紧密，耐磨、耐腐蚀性能好的优点。
Description
技术领域
本实用新型属于一种镀膜玻璃，主要涉及一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。
背景技术
低辐射镀膜玻璃是指在玻璃表面沉积一层高红外线反射材料(金属银)，使玻璃吸收太阳光光谱中的红外线和其它物体发出的红外线非常少，玻璃自身又不存储能量，因此镀膜玻璃向外辐射的红外线也非常少，称为低辐射镀膜玻璃。该玻璃用于窗户上，可有效地阻挡太阳光中的红外线进入室内，降低夏天室内温度，节约空调制冷费用，冬天可以阻挡室内物体发出的红外线被玻璃吸收，散发到室外，提高室内温度，节约取暖费用。
现在市场上已经有很多种低辐射镀膜玻璃产品，第一层膜有用氧化锡的，也有用氧化锌的，第二层膜都是银膜，也有前面加一层镍铬膜的结构，第三层都用镍铬层，第四层主要为保护膜，一般采用氧化锡或氧化锌作保护膜，虽然氧化锡或氧化锌沉积效率高、价格便宜，但其保护作用差，耐磨、耐腐蚀性能不好。
发明内容
本实用新型目的是提供一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃，使其具有成本低，耐磨、耐腐蚀性能好的优点。
本实用新型的目的可采用如下技术方案来实现：其具有玻璃基片，在玻璃基片表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层、银膜层、镍铬膜层，在镍铬膜层表面镀有一层氧化锡膜层，在氧化锡膜层表面镀有一层氮化硅膜层，从而构成五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。
采用上述结构，即可以利用氧化锡膜沉积效率高，价格便宜的优点，又可以利用氮化硅膜结构紧密，耐磨、耐腐蚀性能好的优点。
附图说明
附图1为本实用新型的具体结构示意图。
图中：1、玻璃基片，2、氧化锡膜层，3、银膜层，4、镍铬膜层，5、氧化锡膜层，6、氮化硅膜层。
具体实施方式
结合附图，说明本实用新型的具体实施例。
如附图1所示：其具有玻璃基片1，在玻璃基片表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层2、银膜层3、镍铬膜层4，在镍铬膜层表面镀有一层氧化锡膜层5，在氧化锡膜层表面镀有一层氮化硅膜层6，从而构成五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。
本实用新型是在真空环境下，通过磁控溅射在玻璃表面沉积五层膜的方法，生产一种红外线辐射率很低的镀膜玻璃。所述的低辐射镀膜玻璃是在镀膜室抽真空至1.1×10-4Pa以下，充入工艺气体(氧气或氮气或氩气)，使镀膜室压力稳定在0.3Pa左右，将溅射源送电，靶材开始溅射，送入玻璃将靶材原子或其化合物沉积到玻璃表面。第一个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，将氧化锡膜沉积到玻璃表面为第一层膜，厚度20至60纳米，第二个镀膜室充入氩气，靶材为银靶，在氧化锡上面沉积第二层银膜，厚度8至20纳米；第三个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶，在银膜上沉积第三层镍铬膜，厚度3至10纳米；第四个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，在镍铬膜上沉积第四层氧化锡膜，厚度15至30纳米；第五个镀膜室充入氮气，靶材为硅靶，在氧化锡膜上沉积第五层氮化硅膜，厚度15～30纳米。
第四层氧化锡膜和第五层氮化硅膜都起保护银膜和镍铬膜的作用，提高膜层的耐磨性能和耐氧化、耐腐蚀性能。采用该结构，即可以利用氧化锡膜沉积效率高，价格便宜的优点，又可以利用氮化硅膜结构紧密，耐磨、耐腐蚀性能好的优点。
Claims (1)
1、一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，在玻璃基片(1)表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层(2)、银膜层(3)、镍铬膜层(4)，其特征是：在镍铬膜层(4)表面镀有一层氧化锡膜层(5)，在氧化锡膜层(5)表面镀有一层氮化硅膜层(6)，从而构成五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008200695439U CN201180113Y (zh) | 2008-03-11 | 2008-03-11 | 一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008200695439U CN201180113Y (zh) | 2008-03-11 | 2008-03-11 | 一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201180113Y true CN201180113Y (zh) | 2009-01-14 |
Family
ID=40249612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2008200695439U Expired - Fee Related CN201180113Y (zh) | 2008-03-11 | 2008-03-11 | 一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201180113Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109690365A (zh) * | 2015-10-19 | 2019-04-26 | 美题隆公司 | 耐蚀光学装置 |
-
2008
- 2008-03-11 CN CNU2008200695439U patent/CN201180113Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109690365A (zh) * | 2015-10-19 | 2019-04-26 | 美题隆公司 | 耐蚀光学装置 |
| CN109690365B (zh) * | 2015-10-19 | 2022-08-23 | 美题隆公司 | 耐蚀光学装置 |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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