CN201071335Y - 一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，包括炉体、炉盖、芯杆、加热电极和钨钼坩锅，芯杆的底部设有成型器，其特点是，所述的成型器底端的内径d为200－220mm，外径d’为280－300mm，成型器端部高度a为25－35mm。本实用新型通过对成型器的内外径及底端高度的合理设计，可以生产出符合相关质量要求的直径在150mm左右的大规格石英玻璃棒，解决了现有技术中的技术难题。通过进一步的设计，可以进一步的提高产品的质量，提高生产效率，所生产的大直径石英玻璃棒表面无可见裂纹，羟基含量低，产品无气线气泡，可以满足半导体及其它高新技术行业的应用要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种连熔炉，特别是一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉。
背景技术
目前，石英玻璃工业一般利用气炼法或电熔法生产石英玻璃棒产品，所产石英玻璃棒的直径为20mm左右，最大一般不超过100mm。由于受传统产业技术与生产设备的限制和影响，造成生产的多种石英玻璃棒直径不好控制、气泡气线多、羟基含量高，应用范围窄，不能用于半导体及其它高新技术产品的配套石英基础材料，直接影响和限制了半导体、光通讯等高新技术的快速发展。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构简单合理、在保证产品质量的前提下能生产大直径石英玻璃棒的连熔炉。
本实用新型所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本实用新型是一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，包括炉体、炉盖、芯杆、加热电极和钨钼坩锅，芯杆的底部设有成型器，其特点是，所述的成型器底端的内径d为200-220mm，外径d’为280-300mm，成型器端部高度a为25-35mm。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，其特点是，所述的成型器底端的内径d为210mm，外径d’为290mm，成型器端部高度a为30mm。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，其特点是，所述的加热电极为9个，均匀设置。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，其特点是，所述的钨钼坩锅的内径为500-520mm。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，其特点是，所述的钨钼坩锅的内径为515mm。
与现有技术相比，本实用新型通过对成型器的内外径及底端高度的合理设计，可以生产出符合相关质量要求的直径在150mm左右的大规格石英玻璃棒，解决了现有技术中的技术难题。通过进一步的设计，可以进一步的提高产品的质量，提高生产效率，所生产的大直径石英玻璃棒表面无可见裂纹，羟基含量低，产品无气线气泡，可以满足半导体及其它高新技术行业的应用要求。
附图说明
图1为本成型器的一种结构示意图。
具体实施方式
实施例1。参照图1。一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，包括炉体、炉盖、芯杆、加热电极和钨钼坩锅，芯杆的底部设有成型器1，所述的成型器1底端的内径d为200mm，外径d’为280mm，成型器1端部高度a为25mm。
实施例2。参照图1。一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，包括炉体、炉盖、芯杆、加热电极和钨钼坩锅，芯杆的底部设有成型器1，所述的成型器1底端的内径d为220mm，外径d’为300mm，成型器1端部高度a为35mm。
实施例3。参照图1。一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，包括炉体、炉盖、芯杆、加热电极和钨钼坩锅，芯杆的底部设有成型器1，所述的成型器1底端的内径d为210mm，外径d’为290mm，成型器1端部高度a为30mm。
实施例4。在实施例1或2或3中，所述的加热电极为9个，均匀设置。
实施例5。在实施例1中，所述的钨钼坩锅的内径为500mm。
实施例6。在实施例2中，所述的钨钼坩锅的内径为520mm。
实施例7。在实施例3中，所述的钨钼坩锅的内径为515mm。
实施例8。在实施例4中，所述的钨钼坩锅的内径为510mm。
Claims (5)
1.一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，包括炉体、炉盖、芯杆、加热电极和钨钼坩锅，芯杆的底部设有成型器(1)，其特征在于，所述的成型器(1)底端的内径d为200-220mm，外径d’为280-300mm，成型器(1)端部高度a为25-35mm。
2.根据权利要求1所述的一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，其特征在于，所述的成型器(1)底端的内径d为210mm，外径d’为290mm，成型器(1)端部高度a为30mm。
3.根据权利要求1所述的一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，其特征在于，所述的加热电极为9个，均匀设置。
4.根据权利要求1所述的一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，其特征在于，所述的钨钼坩锅的内径为500-520mm。
5.根据权利要求4所述的一种产大直径石英玻璃棒的连熔炉，其特征在于，所述的钨钼坩锅的内径为515mm。
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|---|---|---|---|---|
| EP4276076A1 (en) * | 2022-05-12 | 2023-11-15 | Schott Ag | Device for producing glass tubes by a vello or down-draw method, method for producing glass tubes by a vello or down-draw method and glass tubes |
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2007
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