CN207226055U - 运载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种运载装置，可容纳至少一片状物且包括一盒体及一盖体。片状物可通过盒体的开口进入盒体的内部，盒体的内部具有至少一顶推结构。盖体具有相对的一外侧及一内侧，且可覆盖开口而使内侧朝向盒体的内部。盖体在内侧具有一固持组件及一对应盒体的顶推结构的连动机构，连动机构连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，顶推结构顶推连动机构，以通过连动机构带动固持组件从盖体的内侧往盒体的内部移动或凸伸而固持位于盒体内的片状物。当盖体分离于盒体时，顶推结构分离于连动机构，且连动机构复位并带动固持组件往盖体的内侧移动或收缩而收合于盖体。

Description

运载装置

技术领域

本实用新型涉及一种运载装置，尤其涉及一种用以运载片状物的运载装置。

背景技术

一般易碎型片状物，例如半导体或光电产业所使用的晶圆、光罩、玻璃基板等，若要由甲地运送至乙地，必须避免片状物受到碰撞，否则容易产生碎裂。而且像是晶圆、光罩等容易因为微粒污染而影响品质的物品，还需要避免在运送过程中附着灰尘，因此包装该等物品通常不能使用纸类或泡棉类等容易产生细屑的缓冲材料。

以晶圆为例说明，目前业界常见用以装载多片晶圆的前开式晶圆容器(FrontOpening Unified Pod,FOUP)通常包含一盒体及一可重置地盖合于盒体的盖体，两者共同形成一容置空间，并在盒体内设有承载组件用以承载多片晶圆，其中盖体的内侧设有固持组件，用以固持盒体内的晶圆。若晶圆为圆形，则固持组件可内嵌于盖体内侧的凹陷部内而不需凸露出凹陷部之外，只要使晶圆的凸弧状边缘伸入凹陷部内至固持组件处就可被固持组件固持。然而，若欲承装的片状物为方形，如方形的硅晶片等，则会因为方形片状物不具有可伸至内嵌于盖体内侧凹陷部内的固持组件处的凸弧状边缘，导致固持组件无法对该方形片状物进行固持。

实用新型内容

本实用新型提供一种运载装置，其盖体的固持组件可有效对盒体内的片状物进行固持。

本实用新型的运载装置适于容纳至少一片状物且包括一盒体及一盖体。盒体具有一开口，其中片状物适于通过开口而进入盒体的内部，盒体的内部具有至少一顶推结构。盖体具有相对的一外侧及一内侧，且适于覆盖开口而使内侧朝向盒体的内部，其中盖体在内侧具有一固持组件及一对应盒体的顶推结构的连动机构，连动机构连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，顶推结构顶推连动机构，以通过连动机构带动固持组件从盖体的内侧往盒体的内部移动或凸伸而固持位于盒体内的片状物。当盖体分离于盒体时，顶推结构分离于连动机构，且连动机构复位并带动固持组件往盖体的内侧移动或收缩而收合于盖体。

在本实用新型的一实施例中，上述的顶推结构包括多个凸缘，这些凸缘设置或形成于盒体的内壁且邻近开口。

在本实用新型的一实施例中，上述的盒体的内部具有一承载组件，承载组件适于承载片状物，顶推结构位于承载组件与开口之间且不干涉片状物进出盒体处。

在本实用新型的一实施例中，上述的连动机构包括至少一连动杆，连动杆具有一第一端、一第二端及一枢接部，枢接部位于第一端与第二端之间且枢接于盖体的内侧，第一端连接于固持组件，顶推结构适于顶推第二端以带动连动杆枢转。

在本实用新型的一实施例中，上述的固持组件适于沿一移动方向从盖体的内侧往盒体的内部移动或凸伸，连动杆沿一枢转轴线枢接于盖体的内侧，枢转轴线垂直于移动方向。

在本实用新型的一实施例中，上述的至少一连动杆的数量为多个，且这些连动杆对称设置于固持组件的相对两侧。

在本实用新型的一实施例中，上述的盖体具有一闩锁机构，闩锁机构包括一操作部，操作部适于由盖体的外侧进行操作，当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而使闩锁机构成为干涉于盒体的一闩锁状态，且适于旋转而使闩锁机构成为分离于盒体的一解锁状态。

在本实用新型的一实施例中，上述的闩锁机构包括至少一插销，操作部连接插销，当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而带动插销从盖体的外缘突伸出以干涉于盒体，且适于旋转而带动插销移至盖体内以分离于盒体。

在本实用新型的一实施例中，上述的闩锁机构不连接于连动机构及固持组件。

基于上述，在本实用新型的运载结构中，盒体的内部具有顶推结构，用以顶推盖体的内侧的连动机构，使盖体的内侧的固持组件可被连动机构带动而往盒体的内部移动或凸伸。藉此，固持组件可有效地对盒体内的片状物进行固持。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的运载装置的立体图。

图2是图1的盒体的立体图。

图3是图1的盖体的立体图。

图4是图3的盖体于另一视角的立体图。

图5是图3的盖体的部分结构立体图。

图6A示出图4的固持组件收合于盖体的内侧。

图6B示出图4的固持组件移动。

图7是图4的盖体的部分结构立体图。

图8是图7的连动杆的立体图。

附图标号说明

100：运载装置

110：盒体

110a：开口

110b：插槽

112：顶推结构

112a：凸缘

114：承载组件

120：盖体

120a：外侧

120b：内侧

122：闩锁机构

122a：操作部

122b：插销

124：固持组件

124a：固持件

126：连动机构

126a：连动杆

A：枢转轴线

D：移动方向

E1：第一端

E2：第二端

H：勾合部

P：枢接部

具体实施方式

图1是本实用新型一实施例的运载装置的立体图。图2是图1的盒体的立体图。图3是图1的盖体的立体图。请参考图1至图3，本实施例的运载装置100包括一盒体110及一盖体120。盒体110具有一开口110a，片状物(如晶圆)适于通过开口110a而进入盒体110的内部。盒体110的内部具有一承载组件114，承载组件114适于承载这些片状物。

图4是图3的盖体于另一视角的立体图。请参考图3及图4，盖体120具有相对的一外侧120a及一内侧120b，且适于覆盖图2所示的盒体110的开口110a而使内侧120b朝向盒体110的内部。盖体120在内侧120b如图4所示具有一固持组件124，用以藉其上的多个固持件124a分别固持盒体110内的多个片状物。

请参考图1及图3，盖体120具有至少一闩锁机构122(示出为两个)，各闩锁机构122包括一操作部122a及至少一插销122b(示出为两个)，操作部122a适于由盖体120的外侧120a进行操作且连接插销122b。当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，操作部122a适于通过制程系统中的机械手臂或其他驱动单元的驱动而旋转，以带动插销122b从盖体120的外缘突伸出(如图3所示)而干涉于盒体110的插槽110b，使闩锁机构122成为干涉于盒体110的闩锁状态。此外，当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，操作部122a适于通过制程系统中的机械手臂或其他驱动单元的驱动而反向旋转，以带动插销122b移至盖体120内而分离于盒体110，使闩锁机构122成为分离于盒体110的解锁状态。

图5是图3的盖体的部分结构立体图。请参考图5，在本实施例中，操作部122a例如可通过设置于操作部122a与插销122b之间的连动机构126或其他适当种类的连动机构来将操作部122a的旋转量转化为插销122b的平移量，本实用新型不对此加以限制。

请参考图2，盒体110的内部具有至少一顶推结构112，顶推结构112位于承载组件114与开口110a之间且不干涉所述片状物进出盒体110处，且包括多个凸缘112a，这些凸缘112a设置或形成于盒体110的内壁且邻近开口110a。请参考图4，盖体120在内侧120b具有一对应盒体110的顶推结构112的连动机构126，连动机构126包括至少一连动杆126a(示出为四个)，这些连动杆126a对称设置于固持组件124的相对两侧，各连动杆126a具有一第一端E1、一第二端E2及一枢接部P。枢接部P位于第一端E1与第二端E2之间且枢接于盖体120的内侧，第一端E1连接于固持组件124。

图6A示出图4的固持组件收合于盖体的内侧。图6B示出图4的固持组件移动。当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，顶推结构112顶推连动机构126的各连动杆126a的第二端E2以带动连动杆126a枢转，以通过连动机构126的各连动杆126a带动固持组件124从盖体120的内侧120b往盒体110的内部移动或凸伸而固持位于盒体110内的片状物，此时盖体120及其固持组件124为图6B所示状态。当盖体120分离于盒体110时，顶推结构112随之分离于连动机构126的各连动杆126a，且连动机构126的各连动杆126a例如通过配置于其枢接部P处的弹性件(如扭簧)的弹力复位并带动固持组件124往盖体120的内侧120b移动或收缩而收合于盖体120，此时盖体120及其固持组件124为图6A所示状态。

通过上述配置与作动方式，固持组件124可有效地对盒体110内的片状物进行固持。另一方面，当盖体120分离于盒体110时，固持组件124如上述般收合于盖体120，如此可降低盖体120的整体厚度，以减少盖体120在制程系统中所占据的空间，从而节省制程系统的空间成本。

详细而言，本实施例的固持组件124适于沿移动方向D(标示于图2)从盖体120的内侧120b往盒体110的内部移动或凸伸，而各连动杆126a沿垂直于移动方向D的枢转轴线A(标示于图4)枢接于盖体120的内侧120b。此外，第一端E1与枢接部P之间的距离如图4所示大于第二端E2与枢接部P之间的距离，如此则顶推结构112推动第二端E2时可带动第一端E1移动较大距离，以带动固持组件124移动足够距离来固持所述片状物。

在本实施例中，连动机构126及固持组件124并非由闩锁机构122来驱动。因此，位于盖体120的外侧120a的闩锁机构122的操作部122a不需连接于位于盖体120的内侧120b的连动机构126及固持组件124。从而，不需使盖体120的内侧120a与外侧120b连通，而可符合制程上的气密需求。

图7是图4的盖体的部分结构立体图。图8是图7的连动杆的立体图。请参考图7及图8，本实施例的连动杆126a在其第一端E1具有勾合部H，用以勾合于图4所示的固持组件124。在其他实施例中，连动杆126a可通过其他适当种类的结构来连接固持组件124，本实用新型不对此加以限制。

虽然本实用新型已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本实用新型的保护范围当视权利要求所界定者为准。

Claims (9)

1.一种运载装置，适于容纳至少一片状物且包括：

盒体，具有开口，其中所述片状物适于通过所述开口而进入所述盒体的内部，所述盒体的内部具有至少一顶推结构；以及

盖体，具有相对的外侧及内侧，且适于覆盖所述开口而使所述内侧朝向所述盒体的内部，其中所述盖体在所述内侧具有固持组件及对应所述盒体的所述顶推结构的连动机构，所述连动机构连接于所述固持组件，

其中当所述盖体覆盖所述开口时，所述顶推结构顶推所述连动机构，以通过所述连动机构带动所述固持组件从所述盖体的所述内侧往所述盒体的内部移动或凸伸而固持位于所述盒体内的所述片状物，

当所述盖体分离于所述盒体时，所述顶推结构分离于所述连动机构，且所述连动机构复位并带动所述固持组件往所述盖体的所述内侧移动或收缩而收合于所述盖体。

2.根据权利要求1所述的运载装置，其中所述顶推结构包括多个凸缘，所述多个凸缘设置或形成于所述盒体的内壁且邻近所述开口。

3.根据权利要求1所述的运载装置，其中所述盒体的内部具有承载组件，所述承载组件适于承载所述片状物，所述顶推结构位于所述承载组件与所述开口之间且不干涉所述片状物进出所述盒体处。

4.根据权利要求1所述的运载装置，其中所述连动机构包括至少一连动杆，所述连动杆具有第一端、第二端及枢接部，所述枢接部位于所述第一端与所述第二端之间且枢接于所述盖体的所述内侧，所述第一端连接于所述固持组件，所述顶推结构适于顶推所述第二端以带动所述连动杆枢转。

5.根据权利要求4所述的运载装置，其中所述固持组件适于沿移动方向从所述盖体的所述内侧往所述盒体的内部移动或凸伸，所述连动杆沿枢转轴线枢接于所述盖体的所述内侧，所述枢转轴线垂直于所述移动方向。

6.根据权利要求4所述的运载装置，其中所述至少一连动杆的数量为多个，且所述多个连动杆对称设置于所述固持组件的相对两侧。

7.根据权利要求1所述的运载装置，其中所述盖体具有闩锁机构，所述闩锁机构包括一操作部，所述操作部适于由所述盖体的所述外侧进行操作，当所述盖体覆盖所述开口时，所述操作部适于旋转而使所述闩锁机构成为干涉于所述盒体的闩锁状态，且适于旋转而使所述闩锁机构成为分离于所述盒体的解锁状态。

8.根据权利要求7所述的运载装置，其中所述闩锁机构包括至少一插销，所述操作部连接所述插销，当所述盖体覆盖所述开口时，所述操作部适于旋转而带动所述插销从所述盖体的外缘突伸出以干涉于所述盒体，且适于旋转而带动所述插销移至所述盖体内以分离于所述盒体。

9.根据权利要求7所述的运载装置，其中所述闩锁机构不连接于所述连动机构及所述固持组件。