CN207111346U - 低温泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种低温泵，包括：泵壳，泵壳包括抽吸口；冷头，冷头设在泵壳内；屏蔽件，屏蔽件设在泵壳内且外罩在冷头上；挡板，挡板设在抽吸口处，挡板包括气体通道，气体通道具有入口和出口，在泵壳的横截面上，挡板的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影，气体通道包括相交的第一部分和第二部分，第一部分的一端限定出入口，第二部分的一端限定出出口。根据本实用新型的低温泵，通过设置挡板使在泵壳的横截面上挡板的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影、挡板上的气体通道包括相交的第一部分和第二部分，从而避免真空腔室的热辐射直接穿过挡板，保持了低温泵内的低温状态，提升了低温泵的抽吸能力。

Description

低温泵

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，尤其是涉及一种低温泵。

背景技术

在实际生产中，一些产品需要在真空环境中制作及使用，例如显示屏，而制作这些产品所需的真空环境需要借助低温泵来实现。

低温泵是通过抽取真空腔室内的气体并将气体冷却吸附在低温泵内，以使真空腔室内达到所需的真空状态。因此，低温泵的主要部件是其内部的冷头，冷头温度低于15K才能将H₂、He等气体固定在冷头外的冷伞上，以保持真空腔室的真空环境。由于真空腔室的热辐射会影响冷头的温度，热辐射越大(尤其是温度较高的有机材料的蒸镀)，冷头的温度越难保持，如果冷头的温度上升到15K，冷头就会失效，无法保持真空腔室的真空状态。

相关技术中，例如，如图1所示，低温泵200’的挡板1’(即80K挡板)的纵截面大致成斜线形，挡板1’设在泵壳2’的抽吸口处，而挡板1’间隔设置，真空腔室的热辐射可以自上向下直接穿过挡板1’之间的缝隙通过抽吸口进入低温泵200’内，导致屏蔽件4’内的冷头3’的温度上升，使得低温泵200’无法冷凝气体，真空腔室达不到所需的真空度。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种低温泵，所述低温泵的抽吸能力较高。

根据本实用新型实施例的低温泵，包括：泵壳，所述泵壳包括抽吸口；冷头，所述冷头设在所述泵壳内；屏蔽件，所述屏蔽件设在所述泵壳内且外罩在所述冷头上；挡板，所述挡板设在所述抽吸口处，所述挡板包括气体通道，所述气体通道具有入口和出口，在所述泵壳的横截面上，所述挡板的正投影面完全覆盖所述抽吸口的正投影，所述气体通道包括相交的第一部分和第二部分，所述第一部分的一端限定出所述入口，所述第二部分的一端限定出所述出口。

根据本实用新型实施例的低温泵，通过设置挡板使在泵壳的横截面上挡板的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影、挡板上的气体通道包括相交的第一部分和第二部分，从而避免真空腔室的热辐射直接通过气体通道而穿过挡板，保持了低温泵内的低温状态，提升了低温泵的抽吸能力。

根据本实用新型的一些实施例，所述挡板包括：多个第一挡板件，所述多个第一挡板件设在所述泵壳上；多个第二挡板件，所述多个第二挡板件设在所述泵壳上，所述多个第一挡板件和所述多个第二挡板件交错设置，每个所述第一挡板件与与其相邻的一个所述第二挡板件限定出一个所述气体通道。由此，简化了第一挡板件和第二挡板件的结构，便于加工，同时可以通过调整第一挡板件与第二挡板件之间的间隔距离，以进一步提高低温泵的抽吸能力。

根据本实用新型的一些实施例，所述气体通道进一步包括：过渡部分，所述第一部分的另一端与所述第二部分的另一端通过所述过渡部分相连，以使气流更加平稳，减小低温泵的振动。

根据本实用新型的一些实施例，所述多个第一挡板件和所述多个第二挡板件分别为环形结构，结构简单、容易实现。

根据本实用新型的一些实施例，所述多个第一挡板件和所述多个第二挡板件分别为条状结构，结构简单、容易实现。

根据本实用新型的一些实施例，所述挡板包括多个间隔设置的通道组，每个所述通道组包括两个所述气体通道，每个所述通道组的两个所述气体通道的所述第一部分之间通过所述第二挡板件间隔设置，每个所述通道组的两个所述气体通道的所述第二部分相连通。由此，可以节省第二挡板件的用材量，降低成本。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二挡板件的高度小于或等于所述第一挡板件的高度，以减少第二挡板件的占用空间。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二挡板件的一端与所述第一挡板件的一端平齐设置，以便于第一挡板件和第二挡板件的安装。

根据本实用新型的一些实施例，在所述泵壳的纵截面上，所述第一挡板件包括相连的两个子挡部，所述两个子挡部的横截面积在朝向彼此的方向逐渐减小，从而气体通道的延伸方向可以在两个子挡部的连接处发生改变，减少真空腔室热量的直接辐射。

根据本实用新型的一些实施例，每个所述子挡部的纵截面形成为三角形，所述第二挡板件的纵截面形成为三角形或者四边形，结构简单、便于加工。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是现有技术的低温泵的纵截面示意图；

图2是根据本实用新型实施例一的低温泵的挡板的纵截面局部示意图；

图3是根据本实用新型实施例二的低温泵的挡板的纵截面局部示意图；

图4是根据本实用新型实施例三的低温泵的挡板的纵截面局部示意图；

图5是根据本实用新型实施例四的低温泵的挡板的纵截面局部示意图；

图6是根据本实用新型实施例五的低温泵的挡板的纵截面局部示意图；

图7是根据本实用新型实施例的低温泵的挡板的俯视图；

图8是根据本实用新型另一个实施例的低温泵的挡板的俯视图。

附图标记：

低温泵200’、挡板1’、泵壳2’、冷头3’、屏蔽件4’、

挡板1、

气体通道10、通道组100、第一部分101、入口101a、第二部分102、出口102a、

第一挡板件11、子挡部111、第二挡板件12。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“高度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图2-图8描述根据本实用新型实施例的低温泵。

如图2-图8所示，根据本实用新型实施例的低温泵，包括泵壳、冷头、屏蔽件和挡板1。

泵壳包括抽吸口，冷头设在泵壳内，屏蔽件设在泵壳内且外罩在冷头上。挡板1设在抽吸口处，挡板1包括气体通道10，气体通道10具有入口101a和出口102a，在泵壳的横截面上，挡板1的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影，气体通道10包括相交的第一部分101和第二部分102，第一部分101的一端限定出入口101a，第二部分102的一端限定出出口102a。

具体而言，低温泵可以具有两级冷却，一级冷却可以包括屏蔽件和挡板1，二级冷却可以包括冷头和冷伞组件。泵壳内限定出容纳空间，抽吸口可以形成在泵壳的上部，抽吸口可以形成为圆形，冷头和屏蔽件均设在上述容纳空间内，冷头上可以设有冷伞组件以冷凝、吸附气体，屏蔽件可以大致形成为上方敞开的圆筒形，挡板1设在屏蔽件的上方以覆盖抽吸口，使得气体只能通过气体通道10依次经过第一部分101和第二部分102流入泵壳内。

真空腔室通过气体通道10与泵壳内连通，低温泵运行时，屏蔽件、挡板1、冷头和冷伞组件均保持在低温状态。气体从真空腔室通过气体通道10流入低温泵内，首先经一级冷却，一级冷却可以凝缩排除气体内的水蒸气等气体分子，然后，气体经二级冷却以进一步冷凝H₂、He等气体，从而在真空腔室内形成真空状态。

由于真空腔室的温度较高，真空腔室产生有热辐射，而在泵壳的横截面上，挡板1的正投影完全覆盖抽吸口的正投影、且气体通道10包括相交的第一部分101和第二部分102，热辐射无法直接通过气体通道10穿过挡板1进入低温泵内，热辐射将被挡板1至少反射一次，从而减少了真空腔室热量对低温泵内的直接辐射，使低温泵内尤其是冷头保持在低温状态，提升了低温泵的抽吸能力，同时低温泵得到了良好的维护，延长了低温泵的使用寿命。

其中，挡板1可选为表面光滑的不锈钢件，使得挡板1可以更好地反射真空腔室的热辐射，保持低温泵内的低温状态，避免由于挡板1的表面不光滑而容易吸收热辐射使得挡板1的温度升高，影响低温泵的正常运行，从而确保了低温泵的抽吸能力。

根据本实用新型实施例的低温泵，通过设置挡板1使在泵壳的横截面上挡板1的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影、挡板1上的气体通道10包括相交的第一部分101和第二部分102，从而避免真空腔室的热辐射直接通过气体通道10而穿过挡板1，保持了低温泵内的低温状态，提升了低温泵的抽吸能力，同时使得低温泵得到良好的维护，延长了低温泵的使用寿命。

如图2-图6所示，第一部分101可以为气体通道10的上部，第一部分101可以自上向下倾斜延伸，入口101a位于第一部分101的上端，第二部分102为气体通道10的下部，第二部分102也可以自上向下倾斜延伸，出口102a位于第二部分102的下端，第一部分101的下端与第二部分102的上端相交、且连通，由此，气体通道10的结构简单，便于加工。当然，气体通道10的结构还可以为其他规则或不规则的形状，但不限于此。

在本实用新型的进一步实施例中，挡板1包括多个第一挡板件11和多个第二挡板件12，多个第一挡板件11设在泵壳上，多个第二挡板件12设在泵壳上，多个第一挡板件11和多个第二挡板件12交错设置，每个第一挡板件11与与其相邻的一个第二挡板件12限定出一个气体通道10。例如，如图2-图8所示，相邻两个第一挡板件11之间均设有一个第二挡板件12，相邻两个第二挡板件12之间均设有一个第一挡板件11，每个第一挡板件11和与其相邻的第二挡板件12之间间隔设置，使得每个第一挡板件11和与其相邻的一个第二挡板件12之间限定出一个气体通道10。由此，通过将挡板1设置为交错设置的多个第一挡板件11和多个第二挡板件12，可以简化第一挡板件11和第二挡板件12的结构，便于加工；同时，方便调整第一挡板件11和与其相邻的第二挡板件12之间的间隔距离，通过调整上述间隔距离可以调整气体通道10的横截面积，从而提高低温泵的有效抽吸面积，进而提高低温泵的抽吸能力。

具体而言，调整第一挡板件11和第二挡板件12之间的间隔距离至使得第二挡板件12的一端(例如，图2-图6中的左端)和与第二挡板件12的上述一端相邻的第一挡板件11的一端(例如，图2-图6中的右端)在左右方向上平齐、第二挡板件12的另一端(例如，图2-图6中的右端)和与第二挡板件12的上述另一端相邻的第一挡板件11的一端(例如，图2-图6中的左端)在左右方向上平齐，使得挡板1的横截面恰好完全覆盖住抽吸口，此时，第一挡板件11和与其相邻的第二挡板件12之间的间隔距离最大，气体通道10的横截面积最大，即低温泵的有效抽吸面积最大，大大提高了低温泵的抽吸能力。

可以理解的是，第一挡板件11和第二挡板件12的个数可以根据实际情况具体设置，同时多个第一挡板件11和多个第二挡板件12也可以设在屏蔽件上。当然，挡板1还可以为一体成型件，以减少零件的数量。

在本实用新型的一些实施例中，气体通道10进一步包括过渡部分(图未示出)，第一部分101的另一端与第二部分102的另一端通过过渡部分相连。当入口101a位于第一部分101的上端、出口102a位于第二部分102的下端时，第一部分101的下端可以通过过渡部分与第二部分102的上端相连通，使得气体流动更加平稳，减小低温泵的振动。

在本实用新型的一些可选实施例中，多个第一挡板件11和多个第二挡板件12分别为环形结构，结构简单、容易实现。例如，在图7的示例中，挡板1可以大致为与抽吸口的形状相适配的圆形结构，多个第一挡板件11分别为半径不同的同心圆环形结构，多个第二挡板件12分别为半径不同的同心圆环形结构，将多个第一挡板件11和多个第二挡板件12从内向外依次交错设置在抽吸口处，确保在泵壳的横截面上、挡板1的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影。

这里，需要说明的是，方向“内”是指靠近低温泵的中心轴线的方向，其相反方向被定义为“外”。可以理解的是，多个第一挡板件11可以为形状不完全相同的环形结构，多个第二挡板件12也可以为形状不完全相同的环形结构。当挡板1为其他形状时，多个第一挡板件11和多个第二挡板件12可以分别为其他形状的环形结构。

在本实用新型的另一些可选实施例中，多个第一挡板件11和多个第二挡板件12分别为条状结构，同样结构简单、容易实现。例如，在图8的示例中，抽吸口也为圆形结构，多个第一挡板件11分别为大小不一的条状结构，多个第二挡板件12分别为大小不一的条状结构，将多个第一挡板件11和多个第二挡板件12从抽吸口的一侧(例如，图8中的左侧)到抽吸口的另一侧(例如，图8中的右侧)依次交错设置在抽吸口处，确保在泵壳的横截面上、挡板1的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影。

可以理解的是，多个第一挡板件11和多个第二挡板件12还可以为其他规则或不规则的结构，只需保证在泵壳的横截面上、交错设置的多个第一挡板件11和多个第二挡板件12的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影即可，当然，多个第一挡板件11的形状可以互不相同，多个第二挡板件12的形状也可以互不相同。

在本实用新型的一些实施例中，挡板1包括多个间隔设置的通道组100，每组通道组100包括两个气体通道10，每组通道组100的两个气体通道10的第一部分101之间通过第二挡板件12间隔设置，每组通道组100的两个气体通道10的第二部分102相连通。例如，如图2-图4、图6所示，一组通道组100可以包括相邻两个第一挡板件11之间的两个气体通道10，由于第二挡板件12向上偏离挡板1的中心横截面，使得上述两个气体通道10的第一部分101之间通过第二挡板件12间隔设置、上述两个气体通道10的第二部分102之间相连通，从而可以节省第二挡板件12的用材量，降低成本。

可选地，第二挡板件12的高度小于或等于第一挡板件11的高度，以减少第二挡板件12的占用空间。例如，如图5所示，在上下方向上，第二挡板件12的高度等于第一挡板件11的高度；在图2-图4、图6的示例中，在上下方向上，第二挡板件12的高度小于第一挡板件11的高度。当然，第二挡板件12的高度还可以大于第一挡板件11的高度。

具体而言，如图2和图3所示，在上下方向上，第二挡板件12的高度可以为第一挡板件11高度的1/2；如图4所示，在上下方向上，第二挡板件12的高度可以为第一挡板件11高度的1/4。但不限于此。由此，保证在泵壳的横截面上、挡板1的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影的前提下，节省了第二挡板件12的用材料，减少了第二挡板件12的占用空间，从而有效提高了低温泵的有效抽吸面积，提高了抽速，进而提高了低温泵的抽吸效率。

进一步可选地，第二挡板件12的一端与第一挡板件11的一端平齐设置，以便于第一挡板件11和第二挡板件12的安装。例如，在图2、图3的示例中，第二挡板件12的上端与第一挡板件11的上端平齐设置、第二挡板件12的下端与第一挡板件11的下端错开设置，在图5的示例中，第二挡板件12的上、下两端分别与第一挡板件11的上、下两端平齐设置。当然，还可以为第二挡板件12的下端与第一挡板件11的下端平齐设置、第二挡板件12的上端与第一挡板件11的上端错开设置。

在实用新型的一些示例中，第二挡板件12的两端中任意一端与第一挡板件11的两端中的任意一端均错开设置。例如，如图4和图6所示，第二挡板件12的上、下两端与第一挡板件11的上、下两端均错开设置，确保第二挡板件12的高于小于第一挡板件11的高度，从而进一步节省了第二挡板件12的用材料，减少了第二挡板件12的占用空间，从而有效提高了低温泵的有效抽吸面积，提高了抽速，进而提高了低温泵的抽吸效率。

进一步地，在图2-图6的示例中，在泵壳的纵截面上，第二挡板件12的横截面积最大之处与第一挡板件11的横截面积最小之处平齐，保证在泵壳的横截面上、挡板1的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影的前提下，增大气体通道10的横截面积，提高低温泵的有效抽吸面积。如图2-图4、图6所示，第二挡板件12的横截面积的最大之处位于第二挡板件12的下端，第一挡板件11的横截面积的最小之处位于第一挡板件11的中部，将第二挡板件12的下端与第一挡板件11的中部平齐，可以提高低温泵的有效抽吸面积。如图5所示，第二挡板件12的横截面积的最大之处位于第二挡板件12的中部，第一挡板件11的横截面积的最小之处位于第一挡板件11的中部，将第二挡板件12的中部与第一挡板件11的中部平齐，同样可以提高低温泵的有效抽吸面积。

在本实用新型的具体实施例中，在泵壳的纵截面上，第一挡板件11包括相连的两个子挡部111，两个子挡部111的横截面积在朝向彼此的方向逐渐减小。例如，如图2-图6所示，两个子挡部111上下相连，两个子挡部111的横截面积在朝向彼此的方向逐渐减小，也就是说，第一挡板件11的横截面积自上向下先逐渐减小、再逐渐增大，从而第一挡板件11与第二挡板件12之间限定出的气体通道10的延伸方向可以在两个子挡部111的连接处发生改变，以避免真空腔室的热辐射直接通过气体通道10而直接穿过挡板1影响低温泵内尤其是冷头的温度，减少了真空腔室对低温泵内的直接辐射。

如图2-图6所示，每个子挡部111的纵截面形成为三角形，第二挡板件12的纵截面形成为三角形或者四边形。进一步地，每个子挡部111的纵截面可以均形成为等腰三角形，第二挡板件12的纵截面形成为等腰三角形或平行四边形。当然，每个子挡部111的纵截面还可以包括其他形状的三角形，例如直角三角形等，同时多个子挡部111的纵截面形状、大小还可以不完全相同，而第二挡板件12的纵截面还可以形成其他形状的四边形，例如梯形等。由此，子挡部111和第二挡板件12的纵截面形状规则，即子挡部111和第二挡板件12的形状规则，便于加工。

可以理解的是，每个子挡部111的纵截面还可以形成为其他规则或不规则的形状，第二挡板件12的纵截面同样也可以形成为其他规则或不规则的形状。由此，子挡部111和第二挡板件12的形状多样，提升了挡板1的多样性，使得挡板1具有良好的适用性以更好地满足实际应用。

下面参考图2-图8详细描述根据本实用新型实施例的低温泵的挡板1的五个具体实施例。可以理解的是，下述描述仅是示例性说明，而不能理解为对实用新型的具体限制。

实施例一

在本实施例中，如图2所示，挡板1包括交错设置的多个第一挡板件11和多个第二挡板件12，第二挡板件12的上端与第一挡板件11的上端平齐设置，每个第一挡板件11和与其相邻的一个第二挡板件12限定出一个气体通道10，每个气体通道10包括相交的第一部分101和第二部分102，气体通道10的入口101a位于第一部分101的上端，气体通道10的出口102a位于第二部分102的下端。其中，每个第一挡板件11包括相连的两个子挡部111，上方的子挡部111与第二挡板件12之间限定出第一部分101。

进一步而言，每个子挡部111的纵截面为大小相同的等边三角形，每个第一挡板件11的两个子挡部111上下相对设置，使得上方子挡部111的上边缘、下方子挡部111的下边缘互相平行、且均位于水平面内。第二挡板件12的纵截面为等边三角形，且第二挡板件12的纵截面与下方子挡部111的纵截面大小相同，即在上下方向上，第二挡板件12的高度为第一挡板件11高度的1/2，使得相邻两个第一挡板件11之间的两个气体通道10的第二部分102相连通，同时，上方子挡部111、下方子挡部111之间的连接处与第二挡板件12的下端边缘在上下方向上平齐，即第一挡板件11的横截面积最小之处与第二挡板件12的横截面积最大之处在上下方向上平齐，从而提高了低温泵的有效抽吸面积，提高了低温泵的抽吸能力。

调整第一挡板件11和第二挡板件12之间的间隔距离至使得第二挡板件12的左端和与第二挡板件12左端相邻的第一挡板件11的右端在左右方向上平齐、第二挡板件12的右端和与第二挡板件12右端相邻的第一挡板件11的左端在左右方向上平齐，此时在泵壳的横截面上、挡板1的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影，从在避免真空腔室的热辐射直接穿过挡板1的前提下，增大了气体通道10的横截面积，从而提高了低温泵的抽吸能力。

在本实施例中，多个第一挡板件11和多个第二挡板件12可以均为环状结构(例如，如图7所示)，此时多个第一挡板件11和多个第二挡板件12从内向外依次交错布置，以覆盖抽吸口；或者多个第一挡板件11和多个第二挡板件12可以均为条状结构(例如，如图8所示)，此时多个第一挡板件11和多个第二挡板件12从抽吸口的一侧到抽吸口的另一侧依次交错布置，使得在泵壳的横截面上、挡板1的正投影面覆盖抽吸口。但不限于此。

实施例二

如图3所示，本实施例与实施例一的结构大致相同，其中相同的部件采用相同的附图标记，不同之处在于：每个子挡部111的纵截面为大小相同的等腰三角形(不包括等边三角形)，第二挡板件12的纵截面为与下方子挡部111的纵截面大小相同的等腰三角形，上述等腰三角形可以通过减小实施例一中等边三角形的高度、增大实施例一中等边三角形的顶角得到，从而在抽吸口不变的前提下，可以节省第二挡板件12的用材量，减少第二挡板件12的占用空间，从而进一步提高了低温泵的有效抽吸面积。

本实施例的第一挡板件11、第二挡板件12之间的布置方式与实施例一的第一挡板件11、第二挡板件12之间的布置方式类似，故不再此详细描述。

实施例三

如图4所示，本实施例与实施例二的结构大致相同，其中相同的部件采用相同的附图标记，不同之处在于：在上方子挡部111、下方子挡部111之间的连接处与第二挡板件12的下端边缘平齐，即第一挡板件11的横截面积最小之处与第二挡板件12的横截面积最大之处在上下方向上平齐的前提下，第二挡板件12的高度为第一挡板件11高度的1/4，从而保证第二挡板件12强度的前提下，节省第二挡板件12的用材量，减少第二挡板件12的占用空间，进而提高低温泵的抽吸能力。

本实施例的第一挡板件11、第二挡板件12之间的布置方式与实施例一的第一挡板件11、第二挡板件12之间的布置方式类似，故不再此详细描述。

实施例四

如图5所示，本实施例与实施例二的结构大致相同，其中相同的部件采用相同的附图标记，不同之处在于：第二挡板件12的纵截面为菱形，从而第二挡板件12与下方子挡部111之间限定出第二部分102，且相邻两个第一挡板件11之间的两个气体通道10的第二部分102之间通过第二挡板件12间隔设置。

在图5的示例中，第二挡板件12的高度与第一挡板件11的高度相等，且第二挡板件12的上、下两端分别与第一挡板件11的上、下两端平齐设置。

当然，第二挡板件12的高度还可以小于第一挡板件11的高度，此时第二挡板件12其中一端可以与第一挡板件11的其中一端平齐设置，或者第二挡板件12的上、下两端与第一挡板件11的上、下两端均错开设置。

本实施例的第一挡板件11、第二挡板件12之间的布置方式与实施例一的第一挡板件11、第二挡板件12之间的布置方式类似，故不再此详细描述。

实施例五

如图6所示，本实施例与实施例二的结构大致相同，其中相同的部件采用相同的附图标记，不同之处在于：上方子挡部111与下方子挡部111的大小不相同，上方子挡部111的纵截面尺寸比下方子挡部111的纵截面尺寸大，此时，第二挡板件12的左端和与第二挡板件12左端相邻的下方子挡部111的右端在左右方向上平齐、第二挡板件12的右端和与第二挡板件12右端相邻的下方子挡部111的左端在左右方向上平齐，以保证在泵壳的横截面上、挡板1的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影，同时增大低温泵的有效抽吸面积；第一挡板件11的横截面积最小之处与第二挡板件12的横截面积最大之处在上下方向上平齐，以进一步增大低温泵的有效抽吸面积。

本实施例的第一挡板件11、第二挡板件12之间的布置方式与实施例一的第一挡板件11、第二挡板件12之间的布置方式类似，故不再此详细描述。

根据本实用新型实施例的低温泵的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种低温泵，其特征在于，包括：

泵壳，所述泵壳包括抽吸口；

冷头，所述冷头设在所述泵壳内；

屏蔽件，所述屏蔽件设在所述泵壳内且外罩在所述冷头上；

挡板，所述挡板设在所述抽吸口处，所述挡板包括气体通道，所述气体通道具有入口和出口，在所述泵壳的横截面上，所述挡板的正投影面完全覆盖所述抽吸口的正投影，所述气体通道包括相交的第一部分和第二部分，所述第一部分的一端限定出所述入口，所述第二部分的一端限定出所述出口。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述挡板包括：

多个第一挡板件，所述多个第一挡板件设在所述泵壳上；

多个第二挡板件，所述多个第二挡板件设在所述泵壳上，所述多个第一挡板件和所述多个第二挡板件交错设置，每个所述第一挡板件和与其相邻的一个所述第二挡板件限定出一个所述气体通道。

3.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述气体通道进一步包括：

过渡部分，所述第一部分的另一端与所述第二部分的另一端通过所述过渡部分相连通。

4.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，所述多个第一挡板件和所述多个第二挡板件分别为环形结构。

5.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，所述多个第一挡板件和所述多个第二挡板件分别为条状结构。

6.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，所述挡板包括多个间隔设置的通道组，每个所述通道组包括两个所述气体通道，每个所述通道组的两个所述气体通道的所述第一部分之间通过所述第二挡板件间隔设置，每个所述通道组的两个所述气体通道的所述第二部分相连通。

7.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，所述第二挡板件的高度小于或等于所述第一挡板件的高度。

8.根据权利要求7所述的低温泵，其特征在于，所述第二挡板件的一端与所述第一挡板件的一端平齐设置。

9.根据权利要求2、4-8中任一项所述的低温泵，其特征在于，在所述泵壳的纵截 面上，所述第一挡板件包括相连的两个子挡部，所述两个子挡部的横截面积在朝向彼此的方向逐渐减小。

10.根据权利要求9所述的低温泵，其特征在于，每个所述子挡部的纵截面形成为三角形，所述第二挡板件的纵截面形成为三角形或者四边形。