CN205347200U - 熔融机水冷熔融室 - Google Patents
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Abstract
一种熔融机水冷熔融室，包括：框架、设置于框架上的平台结构、四周隔热板、上部隔热板、后隔热板和模具进出开闭机构，其中：四周隔热板设置于平台结构的四周，上部隔热板设置于四周隔热板的上部，本实用新型将熔融机与熔融室分离设计，并且增加了熔融室的冷却，降低了熔融室温度，减少金属或其他物质对石英坩埚的纯度影响，从而提高的产品的品质，也为后道工序生产更高精度的半导体晶棒提供好的条件。
Description
技术领域
本实用新型涉及熔融机，特别是一种熔融机水冷熔融室。
背景技术
现在市场上石英坩埚熔融机熔融室全部采用是熔融机与熔融室一体结构，造成对坩埚生产金属或其他物质污染问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种熔融机水冷熔融室,将熔融机与熔融室分离设计，并且增加了熔融室的冷却，降低了熔融室温度，减少金属或其他物质对石英坩埚的纯度影响，从而提高的产品的品质，也为后道工序生产更高精度的半导体晶棒提供好的条件。
为解决上述技术问题，本实用新型包括：框架、设置于框架上的平台结构、四周隔热板、上部隔热板、后隔热板和模具进出开闭机构，其中：四周隔热板设置于平台结构的四周，上部隔热板设置于四周隔热板的上部，后隔热板设置于熔融室后部，模具进出开闭机构设置于熔融室底部，方便模具进出后关闭使用。
所述的模具进出开闭机构包括：左、右移动板及其移动气缸和气缸支架。
所述的四周隔热板的前侧设有前门，后侧设有后门，前门和后门均为水冷隔热板。
所述的四周隔热板上设有后部视窗。
本实用新型对熔融机本体与熔融环境进行了隔离，从而保证加工石英坩埚的品质。熔融室采用水冷结构，减少熔融室内的温度，也减少对环境的污染。
附图说明
图1为本实用新型的立体图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
如图1所示，本实施例包括：框架1、设置于框架1上的平台结构2、四周隔热板3、上部隔热板4、后隔热板5和模具进出开闭机构7，其中：四周隔热板3设置于平台结构2的四周，上部隔热板4设置于四周隔热板3的上部，后隔热板5设置于熔融室后部，模具进出开闭机构7设置于熔融室底部。
所述的模具进出开闭机构7包括：左、右移动板及其移动气缸和气缸支架。
所述的四周隔热板3的前侧设有前门8，后侧设有后门9，前门8和后门9均为水冷隔热板，从而保证熔融室温度正常，防止人员操作时烫伤。
所述的四周隔热板3上设有后部视窗6，以便通过监视系统，对熔融室内部熔融情况进行确认。
实施怀况：熔融时从模具进出开闭机构7中进入隔热环境中工作，完成熔融后从模具进出开闭机构7出来即可。
以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (4)
1.一种熔融机水冷熔融室，其特征在于，包括：框架、设置于框架上的平台结构、四周隔热板、上部隔热板、后隔热板和模具进出开闭机构，其中：四周隔热板设置于平台结构的四周，上部隔热板设置于四周隔热板的上部，后隔热板设置于熔融室后部，模具进出开闭机构设置于熔融室底部。
2.根据权利要求1所述的熔融机水冷熔融室，其特征在于，所述的模具进出开闭机构包括：左、右移动板及其移动气缸和气缸支架。
3.根据权利要求1或2所述的熔融机水冷熔融室，其特征在于，所述的四周隔热板的前侧设有前门，后侧设有后门，前门和后门均为水冷隔热板。
4.根据权利要求3所述的熔融机水冷熔融室，其特征在于，所述的四周隔热板上设有后部视窗。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201521011389.6U CN205347200U (zh) | 2015-12-08 | 2015-12-08 | 熔融机水冷熔融室 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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| CN201521011389.6U Expired - Lifetime CN205347200U (zh) | 2015-12-08 | 2015-12-08 | 熔融机水冷熔融室 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN205347200U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114413622A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-04-29 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种密闭式熔融机水冷熔融室 |
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2015
- 2015-12-08 CN CN201521011389.6U patent/CN205347200U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114413622A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-04-29 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种密闭式熔融机水冷熔融室 |
| CN114413622B (zh) * | 2021-11-26 | 2023-12-26 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种密闭式熔融机水冷熔融室 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20160629 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |