CN204768008U - 一种水封箱 - Google Patents
一种水封箱 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204768008U CN204768008U CN201520404717.2U CN201520404717U CN204768008U CN 204768008 U CN204768008 U CN 204768008U CN 201520404717 U CN201520404717 U CN 201520404717U CN 204768008 U CN204768008 U CN 204768008U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- box
- flashback tank
- overflow
- upper box
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 35
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000003020 moisturizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 3
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 3
- 238000004887 air purification Methods 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种水封箱，包括箱体，所述箱体顶部设有溢流对接口及负压补气口，所述负压补气口上设有一补气管；所述箱体内置有一隔板将所述箱体分割为上箱体和下箱体，所述上箱体和所述下箱体通过至少一个连通管连接；所述箱体底部设有用于溢流及出气的输出管。采用本实用新型设置的补水管可以为水封箱补充溢流损失的液体，同时配合液位阀可以更好的控制液体的溢流。
Description
技术领域
本实用新型涉及超纯水制作领域，尤其涉及的是一种水封箱。
背景技术
随着半导体技术不断地蓬勃发展，各类产品的元件趋于微型化。然而，随着元件复杂度与集成度的升高，晶片表面的微小缺陷(minutedefects)和微量杂质(traceimpurities)对元件性能的影响就会越显严重。晶片表面的微小缺陷和微量杂质不但会劣化元件的特性和可靠度，甚者还会降低晶片的成品率。因此，在半导体工艺中，用以清洗晶片以移除附着于晶片表面上无用物质的洗净工艺便显得相当重要。
超洁净技术(ultracleantechnology)是一种利用超纯水以洗净晶片的技术。若使用原水(rawwater)清洗晶片，由于原水内含有各类形式的杂质，杂质容易沉淀于晶片表面上反而造成晶片元件的劣化，因此，使用于晶片洗净步骤的水，须为经过净化后的超纯水。
现有技术的水封箱只是插入存储塔溢流管的封闭箱体结构，当水封箱内的水位到达溢流水位时，水封箱内的超纯水通过水封箱溢流管流出。现有技术的水封箱净化效果和溢流控制不佳。
因此，现有技术还有待于改进和发展。
实用新型内容
鉴于上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种水封箱，可提高净化效果及溢流控制。
本实用新型的技术方案如下：
一种水封箱，包括箱体，所述箱体顶部设有溢流对接口及负压补气口，所述负压补气口上设有一补气管；所述箱体内置有一隔板将所述箱体分割为上箱体和下箱体，所述上箱体和所述下箱体通过至少一个连通管连接；所述箱体底部设有用于溢流及出气的输出管。
所述的水封箱，其中，所述箱体顶部还设有一补水管，所述补水管底端沉入所述上箱体的液体内部。
所述的水封箱，其中，所述连通管顶端与所述上箱体内液位平齐，所述连通管底端沉入所述下箱体的液体内部。
所述的水封箱，其中，所述溢流对接口、所述补气管和所述输出管端部均设有连接法兰。
所述的水封箱，其中，所述上箱体和下箱体内部均设有液位阀。
所述的水封箱，其中，所述水封箱整体均由亚力克材质制成。
本实用新型所提供的水封箱，由于采用了双层溢流箱体，提高了空气净化效果。设置的补水管可以为水封箱补充溢流损失的液体，同时配合液位阀可以更好的控制液体的溢流。
附图说明
图1是本实用新型中水封箱较佳实施例的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提供一种水封箱，为使本实用新型的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1所示，本实用新型提供的水封箱，包括箱体10，所述箱体10顶部设有溢流对接口2及负压补气口。所示负压补气口连通外部空气，较佳的在所述负压补气口上设一补气管1，所述补气管1底端沉入箱体10内的液体中，保证补充的气体经过液体过滤。所述箱体10内置有一隔板6将所述箱体10分割为上箱体8和下箱体5。所述上箱体8和所述下箱体5通过至少一个连通管4连接。所述隔板6为圆形板，其上开有若干安装孔。所述安装孔用于安装所述连通管4，所述连通管4将上箱体8内净化后的空气输入到下箱体5中再次净化。所述箱体10底部设有用于溢流及出气的输出管9。二次净化后的空气通过输出管9输入到存储塔中，而多余的液体则通过输出管9输出到与所述输出管9连接的废液管中，从而排出废液。
本实用新型中负压补气口的空气进入是受存储塔内压力控制，当存储塔内气体压力不足需要补充空气时，下箱体5液位上的空气进入存储塔中，此时下箱体5内空气欠压，上箱体8中的空气将补入下箱体5中，负压补气口启动并补充空气到上箱体8内。
进一步地，所述箱体10顶部还设有一补水管3，所述补水管3底端沉入所述上箱体8的液体内部。所述上箱体8和下箱体5内部均设有液位阀。当液位阀检测到上箱体8或下箱体5内液体不足时，补水管3注入液体至上箱体8中，若下箱体5液体不足，则注满上箱体8使液体通过连通管4溢流至下箱体5中，保证上、下箱体5中的液体均衡。所要说明的是，上箱体8中的液位高度低于下箱体5中的液位高度。其中的所述连通管4顶端与所述上箱体8内液位平齐，所述连通管4底端沉入所述下箱体5的液体内部。
所述溢流对接口2、所述补气管1和所述输出管9端部均设有连接法兰。所述水封箱整体均由亚力克材质制成，减轻了水封箱的整体重量。
作为本实用新型的一个较佳实施例，所述箱体10的直径为900mm，高度为950mm。其中下箱体5液位高为480mm，液位以上110mm为空气层；所述上箱体8液位高为205mm，液位以上105mm为空气层。连通上、下箱体5的连通管4直径为90mm。
综上所述，本实用新型所提供的水封箱，由于采用了双层溢流箱体，提高了空气净化效果。设置的补水管可以为水封箱补充溢流损失的液体，同时配合液位阀可以更好的控制液体的溢流。
应当理解的是，本实用新型的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，例如，所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
Claims (6)
1.一种水封箱，其特征在于，包括箱体，所述箱体顶部设有溢流对接口及负压补气口，所述负压补气口上设有一补气管；所述箱体内置有一隔板将所述箱体分割为上箱体和下箱体，所述上箱体和所述下箱体通过至少一个连通管连接；所述箱体底部设有用于溢流及出气的输出管。
2.根据权利要求1所述的水封箱，其特征在于，所述箱体顶部还设有一补水管，所述补水管底端沉入所述上箱体的液体内部。
3.根据权利要求1所述的水封箱，其特征在于，所述连通管顶端与所述上箱体内液位平齐，所述连通管底端沉入所述下箱体的液体内部。
4.根据权利要求1所述的水封箱，其特征在于，所述溢流对接口、所述补气管和所述输出管端部均设有连接法兰。
5.根据权利要求1所述的水封箱，其特征在于，所述上箱体和下箱体内部均设有液位阀。
6.根据权利要求1所述的水封箱，其特征在于，所述水封箱整体均由亚力克材质制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520404717.2U CN204768008U (zh) | 2015-06-12 | 2015-06-12 | 一种水封箱 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520404717.2U CN204768008U (zh) | 2015-06-12 | 2015-06-12 | 一种水封箱 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204768008U true CN204768008U (zh) | 2015-11-18 |
Family
ID=54508140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520404717.2U Expired - Fee Related CN204768008U (zh) | 2015-06-12 | 2015-06-12 | 一种水封箱 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204768008U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105435569A (zh) * | 2015-12-07 | 2016-03-30 | 天津中环半导体股份有限公司 | 用于直拉炉与真空泵之间的双层油滤式空气过滤器及过滤方法 |
| CN108528938A (zh) * | 2018-05-21 | 2018-09-14 | 兆德（南通）电子科技有限公司 | 一种水封桶 |
-
2015
- 2015-06-12 CN CN201520404717.2U patent/CN204768008U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105435569A (zh) * | 2015-12-07 | 2016-03-30 | 天津中环半导体股份有限公司 | 用于直拉炉与真空泵之间的双层油滤式空气过滤器及过滤方法 |
| CN108528938A (zh) * | 2018-05-21 | 2018-09-14 | 兆德（南通）电子科技有限公司 | 一种水封桶 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204768008U (zh) | 一种水封箱 | |
| CN204981391U (zh) | 气浮式振动过滤结构 | |
| CN209099446U (zh) | 设有防掺气结构的高位水池 | |
| CN203926162U (zh) | 真空罐引水装置 | |
| CN201684529U (zh) | 一种气体洗涤罐 | |
| CN201250431Y (zh) | 一种防虹吸进水阀 | |
| CN203252450U (zh) | 防空气污染的桶装饮水机 | |
| CN204916554U (zh) | 一种酱油瓶、食用油瓶、醋瓶的瓶塞 | |
| CN203321840U (zh) | 一种泵用自吸装置 | |
| CN201873540U (zh) | 一种水箱的防虹吸结构 | |
| CN202801247U (zh) | 多瓶饮水机的水位和进气控制装置及多瓶饮水机 | |
| CN204238342U (zh) | 一种雨水收集池用防倒流装置 | |
| CN204865102U (zh) | 一种新型沉淀装置 | |
| CN203812898U (zh) | 一种内循环型石墨舟清洗装置 | |
| CN211774273U (zh) | 一种溢流装置 | |
| CN210286839U (zh) | 一种发电站含油废水的污油回收系统 | |
| CN202252807U (zh) | 一种新型疏水器 | |
| CN202098745U (zh) | 一种沼气工程使用的水封集水器 | |
| CN203307183U (zh) | 地埋式污水处理装置 | |
| CN101481173B (zh) | 废水生物接触氧化池 | |
| CN205759943U (zh) | 一种新型活性砂过滤器 | |
| CN106277144A (zh) | 一种气液分离罐 | |
| CN205171614U (zh) | 防回流马桶进水阀 | |
| CN102894881A (zh) | 多瓶饮水机的水位和进气控制装置及多瓶饮水机 | |
| CN203112550U (zh) | 节能环保油泥水液蜡磁气浮处理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 518034, 9 floor, Sunshine Golf tower, No. 7008 Shennan Avenue, Shenzhen, Guangdong, Futian District Patentee after: Shenzhen first environmental protection Limited by Share Ltd Address before: 518034, 9 floor, Sunshine Golf tower, No. 7008 Shennan Avenue, Shenzhen, Guangdong, Futian District Patentee before: SHENZHEN HDN WATER TREATMENT EQUIPMENT CO., LTD. |
|
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 518034, 9 floor, Sunshine Golf tower, No. 7008 Shennan Avenue, Shenzhen, Guangdong, Futian District Patentee after: First, environmental protection (Shenzhen) Limited by Share Ltd Address before: 518034, 9 floor, Sunshine Golf tower, No. 7008 Shennan Avenue, Shenzhen, Guangdong, Futian District Patentee before: Shenzhen first environmental protection Limited by Share Ltd |
|
| CP02 | Change in the address of a patent holder |
Address after: 518000, six, Guoxin Securities Building, 1012 Hongling Middle Road, Guiyuan Road, Luohu District, Shenzhen, Guangdong. Patentee after: First, environmental protection (Shenzhen) Limited by Share Ltd Address before: 518034, 9 floor, Sunshine Golf building, 7008 Shennan Road, Futian District, Shenzhen, Guangdong. Patentee before: First, environmental protection (Shenzhen) Limited by Share Ltd |
|
| CP02 | Change in the address of a patent holder | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151118 Termination date: 20200612 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |