CN1787097A - 用于制造dvd光盘的粘合方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用来制造光学数据载体如DVD9盘片等高密度光盘的粘合方法和装置。本发明的特征在于，为了提供一个有效的粘合过程，粘合站使用一种被称为动态平衡粘合技术和/或脉冲粘合技术。使用动态平衡粘合技术确保当两个基片粘合在一起时，基片的不平整度能够得到有效的弥补，这样减少某个可能产生的动态不平衡度。使用脉冲粘合技术消除一种用来粘合两个基片的胶水中的气泡，其中，用来产生电磁场脉冲的高压会根据基片和胶水的性质设置好。在粘合后固化前的碟片传输过程中，采用卡盘机构始终保证两个基片的同心，减少两个基片的相对滑动错位在下胶工位。

Description

用于制造DVD光盘的粘合方法和装置

技术领域

本发明涉及一种用来制造粘合盘片的方法和装置，特别是用来制造光学数据载体如DVD盘(DVD-ROM、DVD9、DVD-R/RW、DVD+R/RW和其他DVD格式)、AOD(高级光盘)、HD DVD蓝光光盘或其他光学数据载体的方法和装置。

背景技术

在制造DVD、AOD或蓝光盘时要求将两个或多个基片相互粘合，以得到完整的光学数据载体，因此粘合是必要的工艺，它也是DVD等盘片生产过程中最困难的部分之一。已经开发了很多可能的方案。

DVD(Data Versatile Disc)光盘由于具有存储密度高、体积小、存储期限长、成本低廉、兼容性高以及错误率低等优点，已成为目前光学信息存储介质的主流，是最受欢迎的光存储媒体之一。从技术上来说，DVD是比较新的一代光盘存储技术。它比CD在数字容量上大得多，且读写速度快得多，能够容纳比CD音频，图片和计算机数据更好的电影类的视频。DVD意在以一种单一的数字格式覆盖家庭娱乐，电脑和商务情报。它已经取代了激光碟片，有望能取代录像带和视频游戏电视，并有可能最终取代audio CD和CD-ROM。DVD已经得到了来自所有电子企业和计算机硬件企业，电影和音乐演播室的支持，DVD已经成为光盘存储技术史上最成功的存储介质。随着多媒体(Multimedia)技术的普及，许多影音文件数据量越来越大，容量为4.7G(Gigabyte)的单面DVD5已经面临局限。单面双层容量为8.5G的DVD9应声而起，开始在市场上占有一席之地。DVD-Video格式是九十年代中期面世的，在它面世后的短短几年内，DVD9格式已经形成了规模市场，在世界上许多地区在数量上超过家用录像带。今天DVD9在光盘行业中仍以较大的优势继续保持领先的增长率。

虽然空白或有内容的DVD与CD生产在控制、模具形成(成模)、注塑、金属化、印刷和要求的测试上相似，但在某些方面还是有很大的不同，包括：将两个基片粘合在一起，附加的测试和小得多的物理特性及规格的处理。为了增加产量和制造速度，同时，也为了降低制造成本，生产DVD的每一步都要求需要高度的注意。

DVD盘基，通常称为透明盘基或白片，厚度为0.6毫米，必须符合十分严格的要求和微米级的公差。与CD相比，DVD播放机光学头的激光波长更短，能够读出更小的凹坑结构和信息轨道。同时，盘片从内径到外径要求复制绝对一致而且均匀的凹坑以得到高的信号性能。预录格式的DVD9要求分别溅镀沉积两个反射层：半反射层L0和全反射层L1。用于这两层的溅镀材料包括：金、铝、硅、银和银合金等。

溅镀完金属反射层的L0和L1基片在一个所谓的粘合站中通过粘合胶粘接在一起，粘合胶固化以后成为一个完整的DVD9盘片。两个半盘片之间的粘合层厚度要非常一致，同时控制粘合层内没有气泡。

粘合是DVD生产中最关键的一步，这一步的重要性不可忽视。粘合得不恰当会使碟片产生弯曲、不平衡、错误的排列、粘合层出现气泡等等缺陷。所有这些将会导致不符合规格的碟片，这些碟片不能以所要求的许多诸如电影和视频游戏的应有速度播放。至少，这种区域的缺陷会导致较慢的传输速度，在生产中也会造成较低的产量和最终的较高的成本。

当需要粘合的基片经过注塑、溅镀金属反射层等工序处理后，直接或经过中间存储以后进入一个所谓的粘合组件。到达粘合组件后，首先通过一个紫外固化粘合胶(UV粘合胶)下胶组件，在该下胶组件中，两种待相互粘合基片之一或两者上涂覆合适的UV粘合胶。接着将这样预处理的两个基片输送给下一个或几个合并组件，在该组件内将两个基片相互叠设，并相互粘合，其中，要保证两个基片L0和L1之间完全同心，不能有相互错位。然后利用UV紫外灯照射，使UV胶固化，从而将两个基片合并到一起。这样一个完整的盘片就制作出来了，可以送到下一个检测组件进行盘片分级存放。

现在使用的DVD9粘合方法有许多不同的方式，一种方法是在DVD的两半片之间，在离光盘中心点一定距离的半径，用细长的针头注入粘合胶水，再施以压力将两面粘合，于是粘合胶会向内外扩张，进而粘合DVD的两张0.6mm厚的盘片。但这种粘合的方式的成品率不高，在针对翘曲度与信号好坏的评估下，成品率无法维持在较高水平，再加上内外圈容易溢胶或缺胶而不圆，外圈也常有胶水而造成凹凸的外边，因此很容易造成外观上的瑕疵，造成盘片因为此外观瑕疵而被降级。

专利EP0735530B1介绍了一种粘合方法，已知一种粘合工位，其中两种DVD基质相互并排地输送给一热熔型粘接剂涂抹工位。在涂抹热熔型粘接剂后，首先将一种基质(基质A)输送到一工位，在此工位内将紫外线硬化粘接剂灌入基质的槽内，第二种基质(基质B)由一基质转交装置转交给一翻转装置。在那里第二种基质(基质B)翻转180°，使它以涂有热熔型粘接剂的一侧朝下。接着由翻转装置将这种基质移动到第一种基质A上并放在它上面。这种并合的DVD基质A和B被另一捡拾-安放器抓住并放在一压力机内，在那里两种并合的DVD-基质AB在压力作用下压制成一完工DVD。DVD基质的压制在真空室内进行，在其底部上有一能透过紫外线的玻璃件，紫外线通过它照射DVD，以使在槽内的紫外线硬化的粘接剂硬化。这种粘合方法的缺点是，在基质A和B上都需要涂抹粘接剂，在刮板的中部压力大于边缘，这导致将有可能在A和B上涂抹的粘接剂厚度不均匀，因此在粘合基质时造成不平衡。

专利CN03158597.3介绍的粘合方法是基片以及合并的盘片操作都以圆弧形进行，两个基片在不同半径的同心圆上输送。加工工位也以圆弧形设置，设有一旋转装置作为中央操作装置，具有配备夹持元件的夹持臂，夹持臂可以借助于旋转装置沿水平方向或垂直方向运动，至少一个夹持臂具有两个沿径向前后顺次设置的夹持元件，当夹持臂沿圆周方向运动时，夹持元件可以划出两个不同真径的同心圆。夹持臂在半径方向可伸缩移动。具有一用于粘接剂涂抹工位，以及转交工位、并合工位和质量检验工位。

也有一些粘合方法以强制翘曲的方式，造成向上碗形的凹面，以降低粘合面产生气泡或溢胶的方法，这种解决缺陷的方法又很容易引入应力与形变到DVD的上半片中，进而影响到粘合层的内外厚度。另外有采用丝网印刷的方式将胶水先行涂布在DVD光盘两半片上，再加以粘合的方法，但这种方式也很容易造成气泡与脏点，丝网刮刀的痕迹也会残留在胶合面上，也会造成许多外观的缺陷。

还有一种中央下胶粘合工艺技术，采用一个载有伸缩胶环的中央柱，当DVD光盘下半面置入中央柱后，胶环会做适度的膨胀，将下半片扣在底座，此时胶水由中央柱的侧面顶向下注料，底座在下料时边注料边旋转，将胶液旋转一圈在中央柱的周围，此时再将DVD光盘的上半片置入中央柱上顺势滑下，再经由一个圆筒柱套在上半片的中央给予一个轻微的压力将上半片下压与下半片结合，如此胶水会由DVD光盘的中央向外扩散，确保没有气泡的产生，除了能粘合中央内圈之外，胶水也不会因一般高速旋转所造成内外厚度不均匀的现象而造成粘合片的翘曲。

在专利US006261403介绍的粘合方法中，为了减少气泡，尤其是小气泡，在粘合时，在两个基片中的一个，尤其是涂有胶水的基片上加一个静电场或者在胶水表面喷射电荷以使胶水层带有静电，这样带有静电的胶水层在和另外一个半片粘合时，可以快速的吸附粘合在一起，从而减少气泡尤其是小气泡的产生。但缺点是静电场不稳定，喷射的电荷不均匀，在粘合过程中并不能完全防止气泡的产生。

发明内容

本发明的目的是提供一种用来制造粘合盘片的方法和装置，该方法能够在较小的空间和较短的循环时间内粘合DVD基片，尤其是DVD9基片，制造出粘合层厚度均匀一致，没有气泡的DVD9碟片。

对于DVD9盘片，L0信息层和L1信息层要精确地粘合在一起，中间粘合层厚度要均匀一致，没有气泡；两个信息层要精确同心，尽量减少偏心。由注塑机注塑成型的两个L0和L1基片厚度、密度不可能完全一致，总会存在一定量的偏心(重量上)，为此在基片粘合过程采用了动态平衡粘合方法(Index Bonding)。该方法主要设计思想是，根据需要粘合的两个基片不同的重量偏心，调整两个基片叠放的角度，使两个基片的重心关于盘片中心相互对称叠放，从而减小粘合后碟片的重量偏心。具体来说就是分别测量注塑基片L0和L1的重量偏心方位，在传送基片过程中，保证基片不发生转动；精确控制L1基片旋转，涂布完粘合胶水后，托盘带动L1基片转动，调整基片角度，使之与L0基片对位粘合后，能够抵消两个基片的部分重量偏心，使粘合后碟片的重量偏心降到最低，以减少粘合后成品碟片的动态不平衡度。

动态平衡粘合技术(Index Bonding)和传统粘合的区别如图2所示，可以看到Index Bonding粘合可以有效改善由于两个基片重量偏心不对称带来的盘片动态不平衡度。

粘合时，为了快速精确在L0和L1基片之间形成均匀的粘合胶水层，尽量减少气泡，发明了静电脉冲粘合(Pulse Bonding)的方法。静电脉冲能够克服胶水表面张力，压制二次气泡(胶水中原来存在的气泡称为一次气泡)的产生；能使两个基片的结合面同时接触，以排开空气，减少气泡产生的可能。即在粘合盘片时，下胶转盘一侧的粘合机械手带动L1基片升起，当L1的胶水与L0基片刚刚要接触时，施加一个时间非常短的可以控制脉冲时间和电压的高压静电脉冲给两个基片，让两个基片快速的吸附在一起，L0基片和L1基片胶水层接触后静电脉冲即停止。之后在没有静电的情况下，两个基片L0和L1在浸润作用和加压的条件下粘合在一起，两个基片通过粘合机械手的中心定位销进行中心孔定位。

根据本发明，一种用来制造粘合盘片的装置，尤其是用来制造光学数据载体如数据存储量为8.5G的单面双层DVD9等光盘的粘合装置，包括：L0基片翻转组件；用于在L1基片上涂布粘结剂的涂布组件；一个或多个用于粘合两个基片的并合组件；以及粘合胶固化组件；其特征在于还包括：两个具有三个夹持臂可以360°转动的传送机械手，该传送机械手可以通过旋转机构进行转动或垂直运动；180°传送机械手；下胶组件，其具有自动调整碟片动态不平衡度的功能，该下胶组件包括下胶托盘；粘合组件，其具有施加高压静电的装置，用于在粘合时施加高压静电；其中，所述粘合装置的各组成部分在同一平面内操作。

根据本发明，提供了一种应用上述粘合装置制造盘片的粘合方法，尤其是用来制造光学数据载体如数据存储量为8.5G的单面双层DVD9等高密度光盘的粘合方法，包括以下步骤：

(1)用一个注塑设备制造DVD9的L0基片，用另一个注塑设备制造DVD9的L1基片；

(2)将所述L0基片和L1基片经传输带送到相应溅镀站；

(3)在一个溅镀站中，L0被溅镀半反射层，在另一个溅镀站中，L1被溅镀全反射层；

(4)在翻碟工位，L0基片被翻转；

(5)在两个粘合剂涂布工位，L1基片被涂布上UV粘合胶；

(6)在粘合工位，两个基片L0和L1被粘合在一起；

(7)在甩干工位，胶水被离心旋转甩干，多余的胶水被甩掉；

(8)在UV灯固化站，碟片在UV紫外灯下被照射，粘合胶被固化，两个基片被粘结为一个完整的DVD9碟片。

本发明还涉及一种用来制造粘合盘片的装置，其包括权利要求1-9中任一项所述的粘合装置。

附图说明

图1所示为本发明实施例的DVD9粘合装置结构图；

图2(a)-(b)所示为本发明实施例的动态粘合(Index Bonding)和传统粘合(b)的区别示意图，其中图2(a)为动态粘合，图2(b)为传统粘合；

图3(a)-3(i)所示为本发明实施例的DVD9粘合工序流程图。

附图标示说明：

1  L0基片给碟组件                  2  L1基片给碟组件

3  第一翻碟手                      4  第二翻碟手

5  第一360°传送机械手             6  第一基片缓冲转盘

7  第二基片缓冲转盘                8  第一180°传送机械手

9  第二180°传送机械手             10 180°交换转盘

11 第一粘合机械手                  12 第二粘合机械手

13 第一下胶转盘                    14 第二下胶转盘

15 第一下胶机械手                  16 第二下胶机械手

17 第一下胶托盘                    18 第二下胶托盘

19 第二360°传送机械手             20 第一甩胶组件

21 第二甩胶组件                    22 粘合胶水固化组件

23 粘合胶水固化组件缓冲转盘        24 静电装置

具体实施方式

图1所示的本发明的实施例的制造DVD9盘片的粘合装置包括：两个有三个存储位置的基片缓冲转盘、两个翻碟手、两个具有三个夹持臂的传送机械手、一个180°交换转盘、两个具有两个夹持臂180°传送机械手、两个下UV粘合胶转盘、两个下胶机械手、两个粘合机械手、两个甩胶组件、一个圆形具有四个存储组件的碟片粘合胶水固化缓冲转盘、一个胶水固化组件。

具有三个夹持臂的传送机械手5的三个夹持臂可以独立作垂直运动抓起或放下碟片，使传送碟片更具灵活性，各个取碟和接碟组件均匀布置在同一圆周上，且在同一水平面上。三个夹持臂之间的夹角为360°/n(n为取碟和接碟的组件总数)，在本实施例中，n＝5，所以夹持臂之间的夹角为72°。

第一和第二180°传送机械手8和9在垂直方向上固定，只在水平方向做旋转运动，以减少操作时间，在该第一和第二180°传送机械手8和9的夹持臂上设有弹性装置，可以更稳定地给粘合碟片施加压力，保证加压平稳。第一和第二180°传送机械手8和9的夹持臂下方的给碟组件下的托盘可以做升降运动，位于碟片缓冲转盘6和7一侧的托盘升起将L0基片送到180°传送机械手8和9的吸碟部位，180°传送机械手8和9抓到碟片后转动180°到基片粘合位置等待涂有胶水层的L1基片配对粘合。

位于下胶转盘13和14一侧的粘合机械手11和12可以升起，与第一和第二180°传送机械手8和9的夹持臂合作将两个基片L0和L1加压粘合在一起。粘合机械手11和12具有定位基片中心的定位销，以保证L0和L1基片完全重叠，防止错位。

第一和第二下胶托盘17和18可以做垂直升降运动，在下胶时，两个托盘升起将碟片托起到指定位置，实现下胶系统的顺利下胶。而下胶机械手15和16只需做水平旋转运动，不必做垂直升降运动，从而减少下胶组件操作时间，提高了下胶组件的可靠性和稳定性。

在高速甩胶组件20和21，两个通过UV粘合胶初步粘接在一起的基片在中心定位后高速旋转，从而将两个基片之间的UV粘合胶通过离心力和浸润作用快速铺开，形成一层厚度均匀一致的粘合胶水层。通过对甩胶工艺参数的合理设置，可以得到粘合DVD9所需的精确的胶水层厚度。

借助图1和图3可以说明DVD9两个基片的粘合过程。为了简化叙述，先确定一个前提，即：为了抓取和放下基片或碟片，机械手在旋转装置上借助于气缸作一垂直运动，这个运动过程在各个工序中就不再叙述。

如图1所示，360°传送机械手5和6可以360°旋转，从基片L0和L1传输带上的给碟组件1和2位置抓取溅镀后的L0和L1基片。其中L0基片在碟片缓冲转盘6和7上被翻碟机械手3和4翻转，然后被第一和第二180°传送机械手8和9抓取，旋转180°后在粘合组件的粘合机械手11和12的上方等待与L1基片粘合。

L1基片被送到180°交换转盘10上，旋转180°后被传送机械手19送到下胶转盘13和14。下胶转盘13和14旋转把L1基片送到下胶位置，下胶组件在下胶机械手15和16的带动下转动到下胶位置，如图3(a)、(a′)所示，下胶托盘17和18上升托起L1基片并旋转，UV粘合胶通过一个定量的下胶针头涂布在L1基片上，完成下胶，如图3(b)、(b′)所示，之后在操作程序控制下进行动态调整角度，实现动态平衡调整操作，以与L0基片配合减少碟片动态不平衡度，如图3(c)、(c′)所示，实现动态粘合(Index Bonding)。

随后如图3(d)所示，L1基片在下胶转盘上继续旋转到粘合位置；粘合机械手11和12上升托起涂布完UV粘合胶的L1基片，如图3(e)所示，与等在这里的L0基片相互叠放；通过高压静电脉冲发生装置24施加一个脉冲极短的可控的高压静电给两个基片，使两个基片快速粘贴在一起，如图3(f)所示，实现脉冲粘合(Pulse Bonding)；随后如图3(g)所示，高压静电脉冲停止；由180°传送机械手8和9以及粘合机械手继续加压粘合，如图3(h)所示。粘合后的碟片随粘合机械手下降落回下胶转盘上，如图3(i)所示；随后在下胶托盘上继续旋转到第二360°传送机械手19的接碟位置，传送机械手19将粘合的碟片送到甩胶组件20和21。

在甩胶组件中，碟片进行高速旋转甩胶处理，使粘合胶水通过离心力和浸润作用在两个基片之间迅速平稳铺开，在两个基片之间形成一厚度均匀一致的粘合胶水层，多余的胶水被甩掉，回流到胶水回收装置循环使用。甩胶后，同样由第二360°传送机械手19将甩干后的碟片送到UV粘合胶水固化组件缓冲转盘23，转盘23内碟片存放组件的中心定位销具有图2所述的弹性卡盘机构以卡紧碟片。转盘23逆时针转动，将碟片送到UV胶水固化组件22，用UV紫外灯照射UV粘合胶，使之固化。至此DVD9盘片的粘合操作就完成了。

本发明还提供了一种用来制造粘合盘片的装置，其包括本发明的上述粘合装置。

以上对本发明做了示例性的描述，应该理解到的是，在不脱离本发明的精神和附属权利要求保护的范围的情况下，任何变型、修改或等同替换均落入本发明的保护范围之内。

Claims (17)

1.一种用来制造粘合盘片的粘合装置，尤其是用来制造光学数据载体如数据存储量为8.5G的单面双层DVD9等光盘的粘合装置，包括：

L0基片翻转组件；

用于在L1基片上涂布粘结剂的涂布组件；

一个或多个用于粘合两个基片的并合组件；以及

粘合胶固化组件；

其特征在于，还包括：

两个可旋转的360°传送机械手，该传送机械手可以通过旋转机构进行转动或垂直运动；

180°传送机械手；

下胶组件，其具有自动调整碟片动态不平衡度的功能，该下胶组件包括下胶托盘；

粘合组件，其具有施加高压静电的装置，用于在粘合时施加高压静电；以及

用于在传输过程中确保粘合后的两个粘在一起的碟片同心的装置；

其中，所述粘合装置的各组成部分在同一平面内操作。

2.如权利要求1所述的粘合装置，其特征在于：

所述360°传送机械手具有三个夹持臂，该三个夹持臂可以独立地作垂直运动以抓起或放下碟片。

3.如权利要求2所述的粘合装置，其特征在于：

所述夹持臂通过气缸在压缩空气的作用下垂直运动，在真空作用下抓取或放下碟片。

4.如权利要求1-3中任一项所述的粘合装置，其特征在于：

所述180°传送机械手在垂直方向上固定，在水平方向可进行旋转运动。

5.如权利要求1-3中任一项所述的粘合装置，其特征在于：

所述下胶托盘可以做垂直升降运动，在下胶时，该下胶托盘升起将碟片托起到指定位置，在驱动机构带动下作旋转运动，实现下胶，下胶后，该下胶托盘可以带动L1基片旋转以调整角度，从而与即将配对粘合的L0基片配合，减少碟片动态不平衡度，其中L0基片在所有的传送过程中不转动。

6.如权利要求1-3中任一项所述的粘合装置，其特征在于：

所述粘合组件包括下胶转盘，粘合盘片时，该下胶转盘一侧的粘合机械手带动L1基片升起，当L1基片的胶水层与等待在此的L0基片刚刚要接触时，所述施加高压静电的装置施加一个时间非常短的高压静电脉冲给两个基片，从而使两个基片快速地吸附在一起，所述施加的高压静电脉冲时间设置成使L0基片和L1基片胶水层接触后即停止；在没有静电的情况下，所述粘合机械手与180°传送机械手共同作用将两个基片L0和L1加压粘合在一起，两个基片通过所述粘合机械手的中心定位销进行中心孔定位。

7.如权利要求2-3中任一项所述的粘合装置，其特征在于：

所述360°传送机械手的夹持臂具有三爪卡盘机构。

8.如权利要求1-3中任一项所述的粘合装置，其特征在于：

还包括高速甩胶系统，在该高速甩胶系统中，两个通过UV粘合胶初步粘接在一起的基片在中心定位后，进行高速旋转，从而使两个基片之间的UV粘合胶在离心力的作用下铺开，形成一厚度均匀一致的粘合胶水层。

9.如权利要求1-3中任一项所述的粘合装置，其特征在于：

所述粘合胶固化组件包括暂存组件，该暂存组件具有中心定位销，该定位销具有用于固定盘片的弹性卡盘张紧机构。

10.一种应用权利要求1-9中任一项所述的粘合装置制造盘片的粘合方法，尤其是用来制造光学数据载体如数据存储量为8.5G的单面双层DVD9等高密度光盘的粘合方法，包括以下步骤：

(1)用一个注塑设备制造DVD9的L0基片，用另一个注塑设备制造DVD9的L1基片；

(2)将所述L0基片和L1基片经传输带送到相应溅镀站；

(3)在一个溅镀站中，L0被溅镀半反射层，在另一个溅镀站中，L1被溅镀全反射层；

(4)在翻碟工位，L0基片被翻转；

(5)在两个粘合剂涂布工位，L1基片被涂布上UV粘合胶；

(6)在粘合工位，两个基片L0和L1被粘合在一起；

(7)在甩干工位，胶水被离心旋转甩干，多余的胶水被甩掉；

(8)在UV灯固化站，碟片在UV紫外灯下被照射，粘合胶被固化，两个基片被粘结为一个完整的DVD9碟片。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于：

在步骤(5)中，在下胶时，下胶托盘升起将碟片托起到指定位置，在驱动机构带动下作旋转运动，实现下胶，下胶机械手只需做水平旋转运动。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于：

所述下胶托盘具有调整碟片动态平衡的功能，下完胶水后，下胶托盘带动L1基片可以旋转调整角度，与即将配对粘合的L0基片配合，从而减少动态不平衡度。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于：

所述角度是从至少有两个注塑站生产出来的大多数碟片测量出来的，角度的测定是用来降低由第一和第二个基片组成的碟片可能产生的动态不平衡度。

14.如权利要求10-13中任一项所述的方法，其特征在于：

在步骤(6)中，粘合盘片时，下胶转盘一侧的粘合机械手带动L1基片升起，当L1的胶水与等待在此的L0刚刚要接触时，施加一个时间非常短的高压静电脉冲给两个基片，让两个基片快速的吸附在一起，所施加的高压静电脉冲时间非常短，L0基片和L1基片胶水接触后即停止，在没有静电的情况下，粘合机械手与180°传送机械手的夹持臂共同作用将两个基片L0和L1加压粘合在一起，两个基片通过粘合机械手的中心定位销进行中心孔定位。

15.如权利要求10-13中任一项所述的方法，其特征在于：

粘合工位具有加高压短脉冲静电装置，在粘合时施加可控脉冲高压静电。

16.如权利要求10-13中任一项所述的方法，其特征在于：

在步骤(7)中，在高速甩胶系统，两个通过UV粘合胶初步粘接在一起的基片，在中心定位后，高速旋转，将两个基片之间的UV粘合胶铺开，形成一厚度均匀一致的粘合胶水层。

17.一种用来制造粘合盘片的装置，其包括权利要求1-9中任一项所述的粘合装置。

Images