CN1451998A - 基板浮置装置及用以制造液晶显示装置的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基板浮置装置，当浮置与输送玻璃基板时，避免浮板与玻璃基板撞击，本发明并提供一种使用此基板浮置装置来制造液晶显示装置的方法。此基板浮置装置包括：本体，浮液被供给至其中且于其中储存浮液；浮板，其放置于本体的顶部，且其通过喷洒浮液以浮置基板于预定高度上；以及固定构件，其机械式地固定浮板于本体的顶部。既定程序在基板被浮置时执行。
Description
技术领域
本发明是有关于一种用以制造液晶显示(LCD)装置的方法与装置，且特别是有关于一种基板浮置装置及使用此基板浮置装置来制造液晶显示装置的方法。
背景技术
一般而言，液晶显示装置的玻璃基板是使用包括有滚筒的输送装置来加载，以送经一定的程序，例如：清洗程序。此输送装置包括用以输送玻璃基板的多个输送滚筒以及用以驱动输送滚筒的驱动滚筒。基板的传送归功于滚筒的滚动磨擦。
但是，因为输送滚筒的放置有一定的间距，且由于基板本身的重量，在输送时不由输送滚筒支撑的部分基板会陷下(降低)。更甚者，因为在清洗或蚀刻时清洗或蚀刻液被以一定的力道喷洒，故在输送时基板相对隆起的另一边可能造成毁损。
为了避免玻璃基板的陷下或毁损，在传统的输送装置中使用如图1所示的基板浮置装置。请参照图1，传统的基板浮置装置100包括用于在其中储存浮液(floating fluid)的本体110以及放置于本体110之上的浮板(floating board)120，其通过喷洒浮液以浮置基板。
本体(body)110包括液体通道(inlet)112以及槽(tank)114，液体经此通道112由外面提供，而流经液体通道112的液体储存于槽114。浮板120使用接合剂(adhesive)黏附于本体110之上。通过槽114中浮液的压力与经由浮板120喷洒的液体的压力，来实质上浮置并输送基板。
因为浮板120使用接合剂黏附于本体，经过高温与高压的工艺或是工艺持续一段很久的时间，则接合剂的力量可能减低。如果在浮板120与本体110之间的接合剂力量变弱，偶而浮板120会与本体110分离，因而撞击到正在输送的玻璃基板。据此，玻璃基板可能毁损且液晶显示装置的生产合格率可能剧降。
同时，液晶显示装置的生产工艺不只包括当输送此基板时所做的程序，也包括支撑此基板于固定地点时所做的程序。在晚近的例子中，能支撑基板于一准确的位置上以执行工艺，对避免此基板的毁损是非常重要的。
图2至图4是用于液晶显示装置生产设备的传统基板支撑装置，其能在一工艺中，例如是：互相附加薄膜晶体管与彩色滤光基板两者、涂布对准薄膜层、或是附加偏光镜(polarizer)时，支撑一基板，例如是：薄膜晶体管(简称TFT)基板、彩色滤光(简称CF)基板、或是薄膜晶体管与彩色滤光基板之组合体。图2是透视图，图3是平视图(planeview)，图4是此传统基板支撑装置的前视图。特别地，图4绘示与此基板支撑装置一起的薄膜晶体管与彩色滤光基板的组合体，以绘出当工艺执行时的状态。
如图2与图3所示，传统基板支撑装置150包括平台152以及依序附在平台152上的多个支撑构件154。支撑构件154具有长且薄的形状，支撑构件154的终端被塑造成可使接触到基板的面积为最小，以便不会造成基板上的瑕疵，且便于调整基板的位置。
使用此传统基板支撑装置来制造液晶显示装置的方法现将参考图4简略地来描述。在实施基板的单元胞(cell)工艺或其它工艺时的例子中，薄膜晶体管与彩色滤光基板的组合体被放置于此支撑构件154上且执行必须的工艺。因为基板组合体的重量集中在支撑构件154的上面区部，接触支撑构件154的薄膜晶体管基板的表面就像是被抓伤一般。更甚者，如果由基板组合体的上方施加任何压力，像抓伤一样的类似者就增加。
另外，因为支撑构件的终端接触到基板组合体的表面，故由于接触点的磨擦力，使得调整基板组合体的位置相当困难。更甚者，调整位置的行为使得像抓伤一样的类似者增加。
发明内容
本发明提供一种浮置基板的装置，其避免浮板与正输送的基板撞击，且不管持续一段很久时间的高温与高压工艺，其中的浮板不会与输送装置的本体分离。
更甚者，本发明提供一种使用此基板浮置装置来制造液晶显示装置的方法，其可避免基板被抓伤及部分陷下，且其中基板的位置可以容易调整。
根据本发明的一种观点，本发明提出一种用以浮置基板于预定高度的装置，其包括：本体，浮液被供给至其中且于其中储存浮液；浮板，其放置于本体的顶部，且其通过喷洒浮液以浮置基板于预定高度上；以及固定构件，其机械式地固定浮板子本体的顶部。
较佳地，此浮板的外围包括一凹槽，且此固定构件包括：护盖，其被放置在围绕浮板的外围，且具有固定地插入凹槽的突出部；以及连接构件，用以连接护盖与本体。
较佳地，上述固定构件为用以连接护盖与本体的连接构件，且其系被提供于本体周围的一或多个位置。更甚者，以连接构件是螺丝钉为较佳。
根据本发明的另一种观点，本发明提出一种用以浮置基板于预定高度的装置，其包括：本体，浮液被提供至其中且于其中储存浮液；浮板，其放置于本体的顶部，且其通过喷洒浮液以浮置基板于预定高度上，且其外围具有凹槽；护盖，其被放置成与浮板的表面具有同一平面，且围绕浮板的外围，其并具有固定地插入凹槽的突出部；以及连接构件，其被提供于本体周围的一或多个位置且其连接护盖与本体。
根据本发明的另一种观点，本发明提出一种用以浮置基板于预定高度的装置，其包括：本体，浮液被提供至其中且于其中储存浮液；浮板，其放置于本体的顶部，且其通过喷洒浮液以浮置基板于预定高度上，且其外围具有凹槽；护盖，其被放置成与浮板的表面具有同一平面，且围绕浮板的外围，其并具有支撑突出部，用以当施压且弯曲浮板的周围时支撑浮板；以及连接构件，其被提供于本体周围的一或多个位置且其连接护盖与本体。
根据本发明的另一种观点，本发明提出一种用以浮置基板于预定高度的装置，其包括：本体，浮液被提供至其中且于其中储存浮液；浮板，其放置于本体的顶部，且其通过喷洒浮液以浮置基板于预定高度上；以及连接构件，其被提供于本体周围的一或多个位置且其连接护盖与本体。
根据本发明的另一种观点，本发明提出一种制造液晶显示装置的方法，其包括下列步骤：加载基板以放置此基板于基板浮置装置的顶部；通过从基板浮置装置喷洒液体到基板上，以浮置基板至预定高度；以及为被浮置的基板执行预定程序。
较佳地，在加载基板的步骤中，液体的喷洒是经由基板浮置装置的浮板，其包括有多孔片。更甚者，浮板是机械式地固定于基板浮置装置为较佳。另外，二或多个浮板以一固定间距机械式地固定于基板浮置装置为较佳。
较佳地，上述方法更包括在执行预定程序之前，调整被浮置的基板的位置。
附图说明
图1是传统基板浮置装置的剖视图；
图2是液晶显示装置生产设备的传统基板支撑装置的透视图；
图3是图2的平视图；
图4是图2的前视图，其中与基板支撑装置一起绘示薄膜晶体管与彩色滤光基板的组合体；
图5为根据本发明第一实施例的一种基板浮置装置的剖视图；
图6是图5的平视图；
图7是图5A部分的部分放大剖视图；
图8为根据本发明第二实施例的一种基板浮置装置的剖视图；
图9是图8的平视图；
图10是图8B部分的部分放大剖视图；
图11为根据本发明第三实施例的一种基板浮置装置的剖视图；
图12是图11C部分的部分放大剖视图；
图13为根据本发明第四实施例的一种基板浮置装置的剖视图；
图14是根据本发明较佳实施例的一种制造液晶显示装置的方法的流程图；
图15为根据本发明另一实施例的一种基板浮置装置的透视图；
图16是图15的平视图；
图17是图15的前视图，其中与基板支撑装置一起绘示薄膜晶体管与彩色滤光基板的组合体；以及
图18是图17D部分的部分放大剖视图。
100，200，300，400，500基板浮置装置
110，210，310，410，510本体
112，220，320，520液体通道
114，225，325，525槽
120，230，330，430，530浮板
150基板支撑装置
152，252平台
154支撑构件
235，335凹槽
240，340，440护盖
245，345突出部
250，350，450，550连接构件
256液体喷洒单元
445支撑突出部
具体实施方式
以下将参考伴随的图式，对本发明更完整说明，其中并揭露本发明的较佳实施例。但是本发明可能以很多不同的方式来实施，故不能解读成限制在如下的实施例。更精确来说，提供这些实施例以使揭露的内容可被了解且完成，且能完整传达本发明的保护范围给公知此艺者。在图式中，为了清楚明确，元件的形状被放大，而为了便于了解，只要可能，就使用相同的参考号码，来指定给对于图式中共通有的相同元件。
第一实施例
图5绘示根据本发明第一实施例的一种基板浮置装置的剖视图，图6是图5的平视图，而图7是图5中A部分的部分放大剖视图。
请参照图5，根据本发明第一实施例的基板浮置装置200包括本体210以及浮板230，浮液被提供至本体210并储存于其中，浮板230放置于本体210的顶部，其通过喷洒浮液以浮置玻璃基板于预定高度上。另外，此基板浮置装置200包括有用于机械式地固定浮板230于本体210的护盖240以及连接此护盖240与本体210的连接构件250。
本体210包括有液体通道(fluid inlet)220以及槽(tank)225，液体通道220位于本体210下侧，液体经由其供给，而槽225连接至液体通道220，流经液体通道220的被供给液体储存于此。在此，浮置液体(简称浮液)可以是CDA、去离子水(deionized water)等等。液体通道220以及槽225互相连接，所以此浮置液体可以被提供至槽225。
浮板230被机械式地固定在本体210的顶部，特别地，如同图6与图7所示，浮板230的外围具有预定深度的凹槽(groove)235，且护盖240具有突出部(protrusion)245，其固定地插入浮板230的凹槽235。因为护盖240的突出部245固定在浮板230的凹槽235中，浮板230是不可能被推出本体210的表面之外，也就是说，浮板230是被放置在护盖240的同一平面上。浮板230为多孔片，所以浮液可以经由浮板230上的开孔喷出，而由于喷出的力量，也就是浮液的压力，使玻璃基板(未绘出)可以浮置。
护盖240与本体210使用类似螺丝钉(bolt)的连接构件250来互相连接，在此，槽225被放置在距离本体210的侧边端有一预定的空间，而提供的连接构件250位于本体210与槽225之间的空间内一或多个位置上。
当经由液体通道220供给浮液，此浮液被收集在槽225中，则根据在槽225内的浮液的压力与数量，放置在浮板230上的玻璃基板(未绘示)就浮在一个特定高度。因为浮板230不使用接合剂，而经由护盖240以及连接构件250，来机械式地固定在本体210之上，故不管是否长时间执行高压的程序，可以避免浮板230从本体210分离。据此，可以避免传统在输送的基板与分离的浮板间的撞击问题，且因此，提高显示装置的生产合格率。
第二实施例
图8绘示根据本发明第二实施例的一种基板浮置装置的剖视图，
图9是图8的平视图，而图10是图8B部分的部分放大剖视图。
请参照图8，根据本发明第二实施例的基板浮置装置300包括本体310以及浮板330，浮液被提供至本体310并储存于其中，浮板330放置于本体310的顶部，其通过喷洒浮液以浮置玻璃基板于预定高度上。另外，此基板浮置装置300包括有用于机械式地固定浮板330于本体310的护盖340以及连接此护盖340与本体310的连接构件350。
本体310包括有液体通道320以及槽325，液体通道320位于本体310下侧，液体经由其供给，而槽325连接至液体通道320，流经液体通道320的被供给液体储存于此。本体310内部的形状可以自由的改变。在此，浮液可以是CDA、去离子水等等。
浮板330被机械式地固定在本体310的顶部，特别地，如同图9与图10所示，浮板330的外围有具有预定空间的凹槽335，且护盖340有具有预定空间的突出部345，其固定地插入浮板330的凹槽335，也就是说，护盖340被做成可围绕浮板330与本体。更佳地，槽325的外围以及护盖340的突出部345固定地插入形成于浮板330外围的凹槽。更甚者，护盖340的横断面可具有比直角三角形更小的形状。
护盖340与本体310使用类似螺丝钉的连接构件350来互相连接，而提供的连接构件350位于本体周边区域内一或多个位置上。
第二实施例也提供如上所述第一实施例的优点与功效。
第三实施例
图11绘示根据本发明第三实施例的一种基板浮置装置的剖视图，图12是图11C部分的部分放大剖视图。
请参照图11，根据本发明第三实施例的基板浮置装置400包括本体410以及浮板430，浮液被提供至本体410并储存于其中，浮板430放置于本体410的顶部，其通过喷洒浮液以浮置玻璃基板于预定高度上。另外，此基板浮置装置400包括具有支撑突出部(supportingprojection)445的护盖440以及连接此护盖440与本体410的连接构件450，当向本体410的方向来施压且弯曲浮板430的周围时，此支撑突出部支撑浮板430。
浮板430并没有包括如以上实施例所述的凹槽，但却利用浮板430的周围由护盖440的支撑突出部445来加压并弯曲以固定住。浮板430是具有弹性的，主要是因为浮板具有可喷洒浮液的多个孔洞，并希望支撑突出部445的表面与浮板的主要表面是在同一平面。更甚者，浮板430的侧边可接触到护盖440的侧边。
本体410与连接构件450可具有如第一实施例相同的结构。
根据第三实施例，因为利用浮板430的周围由护盖440的支撑突出部445来加压并弯曲，使得浮板430被固定至护盖440，且护盖440利用连接构件450而固定至本体410，故不用接合剂将浮板430固定于本体410将成为可能。
第四实施例
图13绘示根据本发明第四实施例的一种基板浮置装置的剖视图。
请参照图13，根据本发明第四实施例的基板浮置装置500包括本体510、浮板530以及连接构件550，浮液被提供至本体510并储存于其中，浮板530放置于本体510的顶部，其通过喷洒浮液以浮置玻璃基板于预定高度上，连接构件550直接连接浮板530与本体510。
本体510包括有：液体通道520，液体经由其供给，以及槽525，流经液体通道520的被供给液体储存于此。
浮板530放置于本体510的顶部。较佳地，浮板530具有与本体510相同的宽度。更甚者，槽525的宽度小于浮板530以使槽525是由本体510侧边的空间形成。
连接构件550，例如螺丝钉，机械式地连接浮板530与本体510，在此，提供的连接构件550位于本体510与槽525侧边之间的空间内。
根据本发明的第四实施例，因为本体510与浮板530使用连接构件550来直接连接，故不管是否长时间执行高压与高温的程序，可以避免浮板530从本体510分离。
现在，将描述根据本发明另一实施例的一种使用基板浮置装置以制造液晶显示装置的方法。
图14是根据本发明较佳实施例的一种用以解释液晶显示装置的一个单元程序的制造方法之流程图。图15绘示根据本发明另一实施例的一种基板浮置装置的透视图，及图16是图15的平视图，再者，图17是图15的前视图，其中一起绘示薄膜晶体管与彩色滤光基板的组合体，以及图18是图17D部分的部分放大剖视图。
请参照图14及图15至图18，将一个基板，其将经某一特定工艺，放置于基板浮置装置之上(S1)。此基板可以是的组合体。此基板浮置装置包括有平台252以及附在此平台252上的液体喷洒单元256。当液体喷洒单元256的尺寸大小能够喷洒足够的液体以浮置此基板时，可以只使用一个液体喷洒单元256，但考虑喷洒液体的压力、基板的重量等等，较佳地是使用多个液体喷洒单元256。在使用多个液体喷洒单元256的例子中，他们以一固定间距来放置，以使基板能受到统一均匀的压力。传统的做法，基板的表面就像是被抓伤一般，因为基板由多个薄且长的支撑构件来接触并支撑。但是，根据本发明，因为基板使用喷洒液体的压力来支撑，并没有机械接触，故可解决抓伤问题。更甚者，甚至是因为如上所述的压力使液体喷洒单元256顶部与基板之间的空间窄小，但液体喷洒单元256顶部与基板就是不会互相接触，因为压力的增加反比于空间变窄。
有时候，在程序的途中基板的位置应该要调整。例如：在组合薄膜晶体管基板与彩色滤光基板时，基板位置的调整需要精确对准两基板上做标记的位置，且正确地组合两基板。在使用传统支撑构件的例子中，因为抓伤问题等而不太容易调整基板的位置。但是，根据本发明，因为基板并没有直接接触硬的材料，可以在没有抓伤问题下容易地调整基板的位置。
实施例中的基板浮置装置250可以是如上所述根据第一到第四实施例中的基板浮置装置200，300，400及500的任一种型式。也就是说，上述的基板浮置装置200，300，400及500不只可以被使用在输送基板，也可像基板浮置装置250般用于支撑基板。
Claims (13)
1.一种基板浮置装置，用以浮置一基板于一预定高度，其特征是，该装置包括：
一本体，浮液被提供至其中且于其中储存该浮液；
一浮板，其放置于该本体的顶部，且其通过喷洒该浮液以浮置该基板于该预定高度上；以及
一固定构件，其机械式地固定该浮板于该本体的顶部。
2.如权利要求1所述的基板浮置装置，其特征是，该浮板的外围包括一凹槽，该固定构件包括：
一护盖，其被放置在围绕该浮板的外围，且其具有固定地插入该凹槽的一突出部；以及
一连接构件，将连接该护盖与该本体。
3.如权利要求1所述的基板浮置装置，其特征是，该固定构件为用以连接一护盖与该本体的一连接构件。
4.如权利要求3所述的基板浮置装置，其特征是，该连接构件被提供于该本体周围的一或多个位置。
5.如权利要求3所述的基板浮置装置，其特征是，该连接构件为一螺丝钉。
6.一种基板浮置装置，用以浮置一基板于一预定高度，其特征是，该装置包括：
一本体，浮液被提供至其中且于其中储存该浮液；
一浮板，其放置于该本体的顶部，且其通过喷洒该浮液以浮置该基板于该预定高度上，且其外围具有一凹槽；
一护盖，其被放置成与该浮板的表面具有同一平面，且围绕该浮板的外围，其并具有固定地插入该凹槽的一突出部；以及
一连接构件，其被提供于该本体周围的一或多个位置且其连接该护盖与该本体。
7.一种基板浮置装置，用以浮置一基板于一预定高度，其特征是，该装置包括：
一本体，浮液被提供至其中且于其中储存该浮液；
一浮板，其放置于该本体的顶部，且其通过喷洒该浮液以浮置该基板于该预定高度上，且其外围具有一凹槽；
一护盖，其被放置成以使与该浮板的表面具有同一平面，以围绕该浮板的外围，且其具有一支撑突出部，用以当施压且弯曲该浮板的周围时支撑该浮板；以及
一连接构件，其被提供于该本体周围的一或多个位置且其连接该护盖与该本体。
8.一种基板浮置装置，用以浮置一基板于一预定高度，其特征是，该装置包括：
一本体，浮液被提供至其中且于其中储存该浮液；
一浮板，其放置于该本体的顶部，且其通过喷洒该浮液以浮置该基板于该预定高度上；以及
一连接构件，其被提供于该本体周围的一或多个位置且其连接一护盖与该本体。
9.一种制造液晶显示装置的方法，其特征是，该方法包括下列步骤：
加载一基板以放置该基板于一基板浮置装置的顶部；
通过从该基板浮置装置喷洒液体到该基板上，以浮置该基板至一预定高度；以及
为该被浮置的基板执行一预定程序。
10.如权利要求9所述的方法，其特征是，在浮置该基板的步骤中，该液体的喷洒是经由该基板浮置装置的一浮板，其包括一多孔片。
11.如权利要求10所述的方法，其特征是，该浮板为机械式地固定于该基板浮置装置。
12.如权利要求10所述的方法，其特征是，二或多个浮板以一固定间距被机械式地固定于该基板浮置装置。
13.如权利要求9所述的方法更包括：在执行该预定程序之前，调整被浮置的该基板的位置。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100480783C (zh) * | 2004-12-30 | 2009-04-22 | Z.Tec有限公司 | 玻璃面板的漂浮和输送设备 |
| CN103317510A (zh) * | 2013-05-09 | 2013-09-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种机械手设备 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT501192B1 (de) * | 2004-12-23 | 2007-04-15 | Lisec Peter | Vorrichtung zum transportieren und stützen tafelförmiger gegenstände, insbesondere glastafeln |
| TWI316503B (en) * | 2005-01-26 | 2009-11-01 | Sfa Engineering Corp | Substrate transferring apparatus |
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Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3865254A (en) * | 1973-05-21 | 1975-02-11 | Kasker Instr Inc | Prealignment system for an optical alignment and exposure instrument |
| US4219110A (en) * | 1977-09-08 | 1980-08-26 | Hirohiko Ubukata | Wafer probe apparatus with pneumatic wafer orienting mechanism |
| US4456406A (en) * | 1980-04-07 | 1984-06-26 | Precision Metal Fabricators, Inc. | Air table system |
| JPS60214340A (ja) * | 1984-04-10 | 1985-10-26 | Stanley Electric Co Ltd | 両面電極基板のラビング方法及び同方法に使用されるワ−ク台装置 |
| US4776745A (en) * | 1987-01-27 | 1988-10-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Substrate handling system |
| US5194406A (en) * | 1988-12-01 | 1993-03-16 | Edward Bok | Installation for transport and processing under a pulsating double-floating condition |
| US5788425A (en) * | 1992-07-15 | 1998-08-04 | Imation Corp. | Flexible system for handling articles |
| US5466096A (en) * | 1993-11-01 | 1995-11-14 | Simplimatic Engineering Company | Pressurized air conveyor |
| JPH07270743A (ja) * | 1994-03-30 | 1995-10-20 | Hiroshi Akashi | フローティング処理装置 |
| US5634636A (en) * | 1996-01-11 | 1997-06-03 | Xerox Corporation | Flexible object handling system using feedback controlled air jets |
| US6086362A (en) * | 1998-05-20 | 2000-07-11 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Multi-function chamber for a substrate processing system |
| JP4275769B2 (ja) * | 1998-06-19 | 2009-06-10 | 株式会社渡辺商行 | 基体の移載装置 |
| JP4274601B2 (ja) * | 1998-07-08 | 2009-06-10 | 昌之 都田 | 基体の移載装置及びその操作方法 |
| JP2000128346A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 浮揚装置、浮揚搬送装置および熱処理装置 |
| US6336775B1 (en) * | 1998-08-20 | 2002-01-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas floating apparatus, gas floating-transporting apparatus, and thermal treatment apparatus |
| JP4358924B2 (ja) * | 1998-11-25 | 2009-11-04 | 株式会社渡辺商行 | 板状基体の収納ユニットおよび収納装置 |
| EP1106545A1 (en) * | 1999-01-20 | 2001-06-13 | Jaime Marti Sala | Pneumatic conveyor for light-weight empty bottles |
| JP2001010724A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-16 | Watanabe Shoko:Kk | 浮上搬送装置 |
| JP2001085496A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Daiichi Shisetsu Kogyo Kk | 板状部材の搬送装置 |
| US6398823B1 (en) * | 1999-12-07 | 2002-06-04 | Tru-Si Technologies, Inc. | Dynamic break for non-contact wafer holder |
| US6676365B2 (en) * | 2001-03-16 | 2004-01-13 | Toda Kogyo Corporation | Air track conveyor system for disk production |
| US6461085B1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-10-08 | Toda Citron Technologies, Inc. | Sputter pallet loader |
| US6969224B2 (en) * | 2003-12-01 | 2005-11-29 | Smc Kabushiki Kaisha | Workpiece levitating device |
-
2003
- 2003-04-02 US US10/404,447 patent/US7037063B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-04-03 TW TW092107606A patent/TW593092B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-04-16 CN CNB031222072A patent/CN1324350C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100480783C (zh) * | 2004-12-30 | 2009-04-22 | Z.Tec有限公司 | 玻璃面板的漂浮和输送设备 |
| CN103317510A (zh) * | 2013-05-09 | 2013-09-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种机械手设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| CN1324350C (zh) | 2007-07-04 |
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