CN1448924A - 用于制造光学传感器的方法 - Google Patents

Abstract

提供了一种用于光学传感器的制造方法，其中带有物镜的可动件由固定件通过一对弹性支撑件组来支撑，使得可动件可在聚焦方向和寻迹方向上移动，各弹性支撑件组由多个平行的弹性支撑件构成。在悬置单元成形步骤中，在弹性支撑件的纵向上通过夹物模压在各各弹性支撑件组的不同位置处形成两个夹持件，从而形成了一对悬置单元。在连接步骤中，使所述这对悬置单元彼此相对地设置且弹性支撑件的设置方向基本上与聚焦方向相同，并将各悬置单元的一个夹持件连接到可动件上，而将另一夹持件连接到固定件上。

Description

用于制造光学传感器的方法

技术领域

本申请基于在日本提交的申请No.2002-101871，其内容通过引用结合于本文中。

本发明涉及用于制造光学传感器的方法。本发明具体地涉及用于这样一种光学传感器的制造方法，其中带有物镜的可动件通过多个弹性支撑件而被固定件可动地支撑。

背景技术

光学传感器用于从光记录媒体如CD(压缩光盘)或DVD(数字多功能光盘)中读取信息(即重放)或将信息写到光记录媒体中(即记录)。这种光学传感器应能可靠地记录/播放信息，不会受到光记录媒体的信息记录面或纹迹的摆动的影响。为此，光学传感器需要有可在垂直方向(聚焦方向)和与物镜光轴正交的方向(寻迹方向)上移动物镜同时保持物镜为水平的机构。这样，可以在光记录媒体的信息记录面的所需位置上设置物镜聚焦深度，并使激光束精确地跟随光记录媒体的纹迹。

下面将说明这种机构的一个例子。通过总共四个弹性支撑件将带有物镜的可动件和固定件彼此相连，即，两个弹性支撑件设置在物镜一侧的垂直方向上，而两个弹性支撑件设置在物镜的另一侧的垂直方向上。利用焊料或粘合剂将这些弹性支撑件连接到可动件和固定件上。

然而，当使用焊料时，熔融焊料所产生的热影响将延伸到连接件上，其将导致可动件或固定件产生热变形。因此，很难保证弹性支撑件的精确连接位置。另一方面，当使用粘合剂时，因硬化而产生的粘合剂收缩较大，其将导致弹性支撑件产生移动。

考虑到这点，提出了通过夹物模压将弹性支撑件连接到可动件和固定件上来制造光学传感器的方法(未审查的日本专利申请No.H10-69655)。根据这种方法，在注射模制可动件和固定件时，各弹性支撑件的两端部均插入到可动件和固定件中。

图1是光学传感器400的透视图。在此光学传感器400中，四个弹性支撑件403a，403b，403c和403d都具有通过夹物模压而插入到物镜托架(可动件)402和固定片(固定件)404中的端部。图2显示了这种夹物模压的制造步骤。

在图2中，将均具有两个弹性支撑件403的两张悬置片板413沿着具有凹陷402c的滑动型芯412a和具有凹陷402d的滑动型芯412b的上下表面插入到模具(未示出)中(步骤1)。然后滑动型芯412a和412b沿着弹性支撑件403相互面对地滑动，直到它们在预定位置处大致相互接触为止(步骤2)。这里，滑动型芯412a的凹陷402c朝向滑动型芯412b的凹陷402d。这样，当滑动型芯412a和412b相互接触时形成了孔412e。随后，从滑动型芯412a和412b的上方和下方(图中步骤3中箭头所指的垂直方向)闭合模具，从而形成了用于模制固定片404和物镜托架402的型腔，同时还用滑动型芯412a和412b以及上下半模夹紧了弹性支撑件403(步骤3)。然后将树脂注入到模具型腔中，进行夹物模压，从而模制出固定片404和物镜托架402，并且弹性支撑件403部分地插入到固定片404和物镜托架402中(步骤4)。之后，打开模具和滑动型芯412a和412b(步骤5)，并将弹性支撑件403从悬置片板413上分离出来(步骤6)。

作为这种夹物模压的结果，固定片404和物镜托架402就通过四个弹性支撑件403而彼此相连。通过将物镜401、聚焦线圈405、寻迹线圈406等安装到这种结构上，就完成了光学传感器400。根据这种方法可以制造出光学传感器，不会出现上述与焊接及粘结有关的问题。

这种光学传感器400设有MC(移动线圈)致动器，其中聚焦线圈405和寻迹线圈406安装在可动件(物镜托架402)上。这样，这四个弹性支撑件403中的两个弹性支撑件403用作为聚焦线圈405供电的导线，剩余两个弹性支撑件403用作为寻迹线圈406供电的导线。

为了满足近来对高性能光学传感器的需求，上述类型的光学传感器通常包括附加的电气/电子元件，如用于对光学象差进行校正的液晶倾斜校正部件和用于改变光学常数的数值孔径改变部件。为了保证较高的光学性能，需要将这些电气/电子元件安装在安装有物镜的可动件上，从而保持它们相对于物镜的位置。在这种情况下，需要为这些电气/电子元件设置附加的导线，即附加的弹性支撑件。

然而根据上述制造方法，在聚焦方向上增设更多的弹性支撑件是不切实际的。可以通过采用更多个悬置片板和更多对滑动型芯来在聚焦方向上在物镜的两侧增设更多个弹性支撑件。然而，这需要非常复杂的模具结构，并使生产率显著下降。因此，在这种情况下不能采用上述制造方法。

另一方面，可以在水平方向(寻迹方向)上在现有弹性支撑件的两侧增设用于布线的弹性支撑件。然而这使得整个光学传感器的尺寸增加。

发明内容

本发明旨在提供一种光学传感器的制造方法，其可使均由三个或更多平行于聚焦方向设置的弹性支撑件组成的一对弹性支撑件组通过夹物模压而连接在可动件和固定件上(即插入在可动件和固定件中)。

所述目的可通过一种用于光学传感器的制造方法来实现，其中，带有物镜的可动件由固定件通过一对弹性支撑件组来支撑，使其可以在聚焦方向和寻迹方向上移动，各弹性支撑件组由多个平行设置的弹性支撑件构成，所述方法包括：悬置单元成形步骤，其中通过夹物模压沿多个弹性支撑件的长度方向在各弹性支撑件组的不同位置处形成两个夹持件，使其可将多个弹性支撑件夹持在一起，从而形成一对悬置单元，夹持件由合成树脂制成；以及连接步骤，其中使这对悬置单元彼此相对地设置且多个弹性支撑件的设置方向基本上与聚焦方向相同，并将各悬置单元的一个夹持件连接到可动件上，将各悬置单元的另一夹持件连接到固定件上。

附图说明

从下面的介绍中并结合说明了本发明的特定实施例的附图，可以清楚本发明的这些及其它目的、优点和特征。

在附图中：

图1是显示了根据传统制造方法的光学传感器的大致结构的透视图；

图2显示了根据传统制造方法的光学传感器的一部分制造步骤；

图3是显示根据本发明第一实施例的光学传感器的大致结构的透视图；

图4是图3所示光学传感器的顶视图；

图5是图3所示光学传感器的分解透视图；

图6是显示了图3所示光学传感器中的光路的纵向剖视图；

图7显示了用于比较的弹性支撑件的不同设置；

图8显示了形成悬置单元的工艺；

图9显示了悬置单元成形工艺中的夹物模压工艺；

图10A是悬置单元的后视图；

图10B是悬置单元的顶视图；

图11显示了用于模制框壳和挡块的夹物模压工艺；

图12显示在图11所示的夹物模压工艺中一对悬置单元安装在模具中的位置，以及带有这些悬置单元作为嵌件的夹物模压制成的框壳和挡块；

图13显示了另一悬置单元成形工艺；

图14显示了使悬置单元弯曲的工艺；

图15显示了一对弯曲的悬置单元，以及带有这些悬置单元作为嵌件的夹物模压制成的框壳和档块；

图16显示了一对弯曲的悬置单元的另一示例，以及带有这些悬置单元作为嵌件的夹物模压制成的框壳和档块；

图17A是显示了根据本发明第二实施例的光学传感器的大致结构的透视图；

图17B是图17A所示的光学传感器的侧视图；

图17C是图17A所示的光学传感器的顶视图；

图18是显示了根据本发明第三实施例的光学传感器的大致结构的透视图；

图19是图18所示光学传感器的分解透视图；

图20是显示了图18所示的光学传感器中的光路的纵向剖视图；知

图21显示了在图18所示的光学传感器中弹性支撑件和安装在框壳上的不同部件之间的连接。

具体实施方式

下面将参考附图来介绍本发明的实施例。(第一实施例)

图3是显示了根据本发明第一实施例的光学传感器2的大致结构的透视图。图4是光学传感器2的顶视图，而图5是光学传感器2的分解透视图。注意在图4中省略了图3中所示的辅助磁轭36。

在本说明书中，聚焦方向指物镜的光轴方向，而寻迹方向指与进行记录/回放的光记录媒体(如CD或DVD)的纹迹相交的方向。在图3所示的XYZ正交坐标系里，Z方向是聚焦方向，而X方向是寻迹方向。

光学传感器2具有可动的框壳6和固定的挡块10。框壳6由树脂制成，并携带有光学部件如物镜4和液晶倾斜校正部件46。挡块10同样由树脂制成，并固定在底座8上。框壳6和挡块10通过多个弹性支撑件(在此示例中为六个弹性支撑件12，14，16，18，20和22)相互连接，这些弹性支撑件也称为悬置线。通过设置这些弹性支撑件12，14，16，18，20和22，框壳6就被挡块10支撑住，使其可以在寻迹方向和聚焦方向上移动。

利用粘合剂将聚焦线圈24和寻迹线圈26及28连接在框壳6上。

底座8由磁性材料制成。该底座8被部分地弯曲以形成磁轭30及32。在磁轭30的朝向另一磁轭32的表面上通过粘结而连接了方板形永磁体34。永磁体34具有设置在厚度方向上的北极和南极。结果，在与聚焦方向及寻迹方向均正交的方向(Y方向)上在永磁体34和磁轭32之间产生了磁通量。

聚焦线圈24为方形管的形状。将聚焦线圈24设置在可将其一个表面和磁通量链接的位置。因此，当激励聚焦线圈24时，在聚焦方向上产生了驱动力。两个寻迹线圈26及28均为方形环的形状。寻迹线圈26和28设置在寻迹方向(X方向)上，其中寻迹线圈26的一个侧面朝向寻迹线圈28的一个侧面，如图5所示，使得相对的侧面与磁通量链接。另外，寻迹线圈26及28电串联地连接，使得电流总是在聚焦方向(Z方向)上沿相同方向流经各个相对的侧面。因此，当激励寻迹线圈26和28时，在寻迹方向上产生了驱动力。

另外，在磁轭30和32上设有辅助磁轭36，如图3所示。辅助磁轭36是用于形成有效磁路的磁性板。

在下文中，光学部件(物镜4及液晶倾斜校正部件46)、聚焦线圈24、寻迹线圈26和28以及框壳6统称为可动件，而底座8和挡块10统称为固定件。应注意底座8固定在光学基底上(未示出)。

图6是显示了光学传感器2中的光路的纵向剖视图。

全息摄影模块38固定在安装有底座8的光学基底上。全息摄影模块38设有光发射/接收元件和衍射光栅(全息光学部件)。从全息摄影模块38中的光发射元件(半导体激光器)中所发出的激光束(由虚线表示)被安装在光学基底上的向上镜(raising mirror)40反射。结果，主要光线基本上与物镜4的光轴同轴地进入物镜4中。此激光束穿过物镜4并聚焦在光记录媒体42的信息记录面44上。此处，固定在框壳6上的液晶倾斜校正部件46位于向上镜40和物镜4之间的光路上。

激光束被信息记录面44反射，所得到的返回光束沿同一光路反向返回。换句话说，返回光束穿过物镜4和液晶倾斜校正部件46，并被向上镜40反射，从而进入全息摄影模块38中。激光束由全息摄影模块38中的多个光接收元件来接收。结果，可以检测到包括有聚焦误差信号和寻迹误差信号的伺服信号以及信息记录信号，并传送到控制电路(未示出)中。

控制电路基于聚焦误差信号和寻迹误差信号来控制提供给聚焦线圈24和寻迹线圈26及28的电流量。控制电路还驱动液晶倾斜校正部件46中的液晶，以改变反射光中的波像差，以便优化信息记录信号。因此波像差处于最佳光学状态。

回到图3到5，在包括了物镜4的光轴并基本上与寻迹方向正交的平面(YZ平面)的一侧平行且等距地设置了三个弹性支撑件12，14和16。同样，在YZ平面的另一侧也平行且等距地设置了三个弹性支撑件18，20和22。这里，三个弹性支撑件12，14及16和三个弹性支撑件18，20及22关于YZ平面对称地设置。另外，三个弹性支撑件12，14及16的设置方向和三个弹性支撑件18，20及22的设置方向与聚焦方向相同，如图3所示。

虽然在此示例中设于YZ平面各侧的弹性支撑件的数量是3，但是也可在各侧设置四个弹性支撑件。如果仅在聚焦方向上设置四个弹性支撑件，如图7A所示，那么与四个弹性支撑件设置在聚焦方向和寻迹方向上的情况相比，可以紧凑地制成整个光学传感器(即减小了寻迹方向上的尺寸)。

同样，如果仅在聚焦方向上设置四个弹性支撑件，在XZ平面上通过将最外部的弹性支撑件加在一起而形成的四边形比四个弹性支撑件设置在聚焦方向和寻迹方向上的情况更接近方形。换句话说，比率B/A更接近1，其中A是弹性支撑件设置在聚焦方向上的尺寸，而B是弹性支撑件设置在寻迹方向上的尺寸。这具有可在聚焦线圈24和寻迹线圈26及28的驱动信号的低频区域内保持不会发生静态倾斜的效果。在这里，倾斜是指可动件围绕平行于Y轴的轴线的圆形运动。

在下文中，三个弹性支撑件12，14和16统称为第一弹性支撑件组48，而三个弹性支撑件18，20和22统称为第二弹性支撑件组50。

构成第一弹性支撑件组48的弹性支撑件12，14和16的端部均由夹持件52和54夹持在一起。同样，构成第二弹性支撑件组50的弹性支撑件18，20和22的端部均由夹持件56和58夹持在一起。这些夹持件52，54，56和58均由合成树脂制成。通过这些夹持件52，54，56和58将第一弹性支撑件组48和第二弹性支撑件组50连接在框壳6和挡块10上。换句话说，夹持件52，54，56和58用作将第一弹性支撑件组48和第二弹性支撑件组50连接在框壳6和挡块10上的连接器。在下文中，由多个弹性支撑件(在此示例中为三个弹性支撑件)构成的弹性支撑件组和用于夹持这些弹性支撑件的一组夹持件(在此示例中为两个夹持件)统称为悬置单元。在图3中，第一弹性支撑件组48以及夹持件52和54构成了悬置单元60，而第二弹性支撑件组50以及夹持件56和58构成了悬置单元62。

各弹性支撑件12，14，16，18，20和22由一种材料形成，这种材料不仅在例如寻迹方向和聚焦方向的方向上具有可动地支撑可动件的适当弹力(弹性)，而且具有导电性。这种材料的例子包括铜合金，例如磷青铜、钛铜和铍铜。弹性支撑件12，14，16，18，20和22应可导电的原因是它们也用作电导线，用于为聚焦线圈24、寻迹线圈26和28以及安装在框壳6中的液晶倾斜校正部件46提供驱动能量。

弹性支撑件12，14，16，18，20和22具有相同形状的截面(矩形)。另外，弹性支撑件12，14，16，18，20和22具有相同的跨度，即从一个夹持件到另一个夹持件的相同长度。假定b为一个弹性支撑件的宽度(即聚焦方向上的长度)，t为一个弹性支撑件的厚度(即寻迹方向上的长度)，L为一个弹性支撑件的跨度，E为杨氏模量，n为弹性支撑件的总数量，M为弹性支撑件所支撑的元件(如框壳6)总质量。由于各弹性支撑件具有相同的截面和相同的跨度，所有弹性支撑件12，14，16，18，20和22的主共振频率f0为

f0＝(1/π)×{(n·E·b·t³)/(M·L³)}^1/2

如果弹性支撑件12，14，16，18，20和22具有不同的截面或不同的跨度，那么就会出现对各弹性支撑件来说独有的多个共振点(共振频率)。然而在此实施例中，弹性支撑件12，14，16，18，20和22具有相同的截面和相同的跨度，这样就可将主共振点(频率)的总数限制在一点(f0)上。

同时，第一弹性支撑件组48和第二弹性支撑件组50之间的在寻迹方向上的距离在框壳侧和挡块侧是不同的，如图4所示。在此实施例中，框壳侧的第一弹性支撑件组48和第二弹性支撑件组50之间的距离W1大于挡块侧的第一弹性支撑件组48和第二弹性支撑件组50之间的距离W2。另外，第一弹性支撑件组48和第二弹性支撑件组50在框壳侧在寻迹方向上稍稍向外弯曲，如图4可见。通过将第一弹性支撑件组48和第二弹性支撑件组50定位成从聚焦方向上看去并不平行，这样与第一弹性支撑件组48和第二弹性支撑件组50平行定位的情况相比，可以提高弹性支撑件12，14，16，18，20和22抵抗使可动件倾斜的力的刚度。

将两个悬置单元60和62关于第一平面对称地设置，第一平面包括可动件的重心并与寻迹方向正交(即包括了物镜4的光轴的YZ平面)。另外，各悬置单元60和62关于第二平面对称，第二平面包括可动件的重心并与聚焦方向正交。在此示例中，在聚焦方向上等距地设置了奇数个弹性支撑件(三个弹性支撑件)。这样，中间的弹性支撑件14(20)位于第二平面内。也可在聚焦方向上等距地设置偶数个弹性支撑件。在这种情况下，两个中间弹性支撑件间的中线位于第二平面内。

因此，可用二为级数来增加或减少弹性支撑件的总数量，同时保持上述关于第一和第二平面的对称性。

相反，在背景技术中介绍的传统制造方法只允许以四为级数来增加或减少弹性支撑件的总数量。这样，此实施例比传统方法在增加/减少安装在框壳上的电气/电子元件的数量方面更具灵活性。这样就降低了光学传感器安装有多余弹性支撑件的可能性。

用形状如日本片假名字母“コ”的凝胶保持件64和66来分别密封挡块侧的夹持件54和58。凝胶保持件64和66在Y方向上长于夹持件54和58。在由凝胶保持元件64和66的内表面、挡块10在寻迹方向(X方向)上的侧面以及夹持件54和58朝向夹持件52和56的表面所包围的空间中填充了由凝胶材料制成的振动抑制件(未示出)。也就是说，弹性支撑件12，14，16，18，20和22在被夹持件54和58所支撑的部分处被振动抑制件所覆盖。这具有可抑制弹性支撑件12，14，16，18，20和22和可动件的共振的效果。

下面将说明制造具有上述结构的光学传感器2的方法。

图8显示了形成悬置单元的工艺。

在图8A中，制备厚度t的矩形平板68作为用于弹性支撑件的原料。该板68由弹性支撑件12，14，16，18，20和22的上述材料制成。

将板68压制成图8B所示的形状。具体地说，穿过板68而制成了在板68的长度方向上延伸的带状孔，从而形成了带状形式的直线部分，其将被制成弹性支撑件。此时，直线部分在两端处与板68长度上的边缘部分连接在一起。

这里，可以通过蚀刻来代替压力加工而将板68成形为图8B所示的形状。在这种情况下，可以腐蚀板68来制作带状孔，从而得到图8B所示的形状。

带状孔穿过板68而形成多个带状弹性支撑件的这种结构称为悬置片板70，其中弹性支撑件在板68的边缘部分处连接在一起。

接下来，通过夹物模压(此工艺在下文中称为第一模制工艺)来形成夹持件。更具体地说，悬置片板70放置在安装于立式注塑机(未示出)的模具中。在夹紧后，将熔融树脂注入模具型腔中以形成夹持件。在这里，模具是由上下半模组成的所谓的二件式模具。上下半模在与置于模具中的悬置片板70基本上正交的方向上打开/闭合。

图9显示了第一模制工艺。该图是沿一个模具型腔剖开的模具的大致截面图。

上半模72和下半模74在垂直方向上保持打开(图9A)。在这种状态下将悬置片板70装在下半模74上(图9B)。

在夹紧后(图9C)，即在闭合上半模72和下半模74以夹住悬置片板70后，通过设于上半模72中的浇口76将熔融树脂注入模具型腔中(图9D)。经过预定的冷却周期之后，打开上半模72和下半模74，并取出如图8C所示的模制件(图9E)。然后从模制件中切掉(去除)外框，从而完成悬置单元60(62)。

如上所述，通过夹物模压形成夹持件，使得具有多个平行设置的弹性支撑件的悬置片板70作为嵌件而夹在上半模72和下半模74之间。根据这种方法，夹持件的形成与弹性支撑件的数量是二个、三个、四个或更多无关。这使得能更容易地响应对更多弹性支撑件的需求，这是由安装在框壳(可动件)上的电气/电子元件的数量增加而引起的，如第三实施例所述。

图10A是悬置单元60的后视图，而图10B是悬置单元60的顶视图。悬置单元60和62具有相同的结构，只是其中的框壳6和挡块10的方位不同。因此，此处省略了对悬置单元62的说明。

如图10A和10B所示，夹持件52和54具有基本上为平行六面体的相同形状。夹持件52和54在长度方向上分别具有长孔52H和54H。另外，在平行六面体的长度中心处的侧面上，夹持件52和54分别具有一对突出部52A和52B以及一对突出部54A和54B。

此外，悬置单元60形成为关于第二平面对称，第二平面如上所述地与装配好的光学传感器2的聚焦方向正交。

此处，用于上述第一模制工艺中的模具显然具有对应于夹持件52和54的两个模具型腔。另外，模具具有其位置对应于模制件(夹持件52和54)的突出部52A，52B，54A和54B的四个浇口。也就是说，浇口的位置对应于位于第二平面内的六面体(夹持件52和54)的长度方向上的模制件中心，也就是说，对应于模制件在弹性支撑件的设置方向上的对称中心。这样，所注入的树脂相对于这些浇口对称地流动(如图10A中箭头所示)。结果，树脂冷却后残留的内部变形和内部压力对称地分布。这使得在聚焦方向和寻迹方向上都实现了稳定的振动特性。

另外，弹性支撑件12(14，16)的两端在厚度方向上的不同位置处与夹持件52和54相连，如图10B所示。如下文所述，这是因为弹性支撑件12在夹持件52和54之间以曲线形式弯曲的缘故。

下面将介绍形成框壳6和挡块10同时将悬置单元60和62结合于框壳6和挡块10中的工艺。

框壳6和挡块10由注射模制形成。具体地说，框壳6和挡块10通过与作为嵌件的悬置单元60的夹持件52和54以及悬置单元62的夹持单元56和58一起以夹物模压的方法来形成(此工艺在下文中称为第二模制工艺)。

与第一模制工艺相似，此注射模制(第二模制工艺)采用立式注塑机和二件式模具。模具具有与框壳6和挡块10对应的两个模具型腔。

图11显示了模制框壳6和挡块10的工艺。图11A-11D是通过对应于挡块10的模具型腔的模具的大致截面图。

上半模78和下半模80在垂直方向上打开(图11A)。在这种状态下将一对悬置单元60和62装到下半模80上(图11B)。在装入时将悬置单元60和62定位成使其所有的突出部(如52A)在型腔中均朝向内方向。也就是说，悬置单元60和62定位成使得突出部56A和56B朝向突出部52A和52B，而突出部58A和58B朝向突出部54A和54B，如图12A所示(图12A中未示出突出部52A和52B以及突出部54A和54B)。因此，悬置单元60和62彼此相对，弹性支撑件12，14和16的设置方向和弹性支撑件18，20和22的设置方向都与聚焦方向相同。另外，各悬置单元60和62都设置成使夹持件的侧面相互平齐(如图12A中的虚线所示)。换句话说，模具设计成可实现各悬置单元60和62的这种设置。这就得到了一种结构，即从聚焦方向看去时，夹持件52和54之间的弹性支撑件12，14和16并不平行于夹持件56和58之间的弹性支撑件18，20和22。

在夹紧后(图11C)将熔融树脂通过设于上半模78中的浇口82而注入到模具型腔中(图11D)。经过预定的冷却周期后打开上半模78和下半模80，并取出如图12B所示的模制件(图11E)。

在上述注射工艺中，树脂进入各夹持件52，54，56和58的长孔52H，54H，56H和58H中(图12A)，还包围了突出部52A，52B，54A，54B，56A，56B，58A和58B。结果，夹持件52和56与框壳6牢固地相连，而夹持件54和58与挡块10牢固地相连。在这里，已经证明，即使不存在这些长孔，仍然可以实现必要的连接强度。换句话说，通过使夹持件52，54，56和58的与框壳6或挡块10相连的表面适当地粗糙化，可以实现必要的连接强度。为了进一步提高连接强度，可以用锍来适当地粗糙化此表面。

回到图5，一旦以上述方式将悬置单元60和62与框壳6和挡块10相结合，就可在这种结构上安装不同的部件。更详细地说，可通过粘结等方法将物镜4、聚焦线圈24、寻迹线圈26和28、液晶倾斜校正部件46等固定到框壳6上。之后，将聚焦线圈24的导线的一端和串联的寻迹线圈26和28的导线的一端焊接到不同的弹性支撑件12，14，16，18，20和22的框壳端上。另外，通过引线(未示出)将液晶倾斜校正部件46的各端子电连接到不同弹性支撑件12，14，16，18，20和22的框壳端上。

同时，利用粘合剂将凝胶保持件64和66连接到挡块10上。之后，在由凝胶保持件64和66、夹持件54和58以及挡块10所形成的各空间内填充由凝胶制成的振动抑制件。

将永磁体34连接在磁轭30上，在光学基底上固定了其上形成有磁轭30的底座8。在光学基底的预定位置上固定光学部件如全息摄影模块38(图6)、向上镜40，如果需要还应固定偏振分光器(未示出)。

挡块10安装到固定于光学基底上的底座8上。此外还安装了辅助磁轭36，从而完成了光学传感器2。

在上文中已经通过第一实施例介绍了本发明，然而本发明并不限于第一实施例。例如，可以进行以下的修改。

(1)第一实施例介绍了在一次注射模制工艺(第一模制工艺)中形成一个悬置单元的情况(图8)，但是本发明并不限于此。例如，可以在一次注射模制工艺中形成两个悬置单元84和86，如图13所示。用于这种情况的模具具有基本上与用于第一实施例的模具相同的结构，除了模具型腔数目随着待模制的夹持件数量的增加而增加之外。模制工艺基本上与图8和9中所示的工艺相同，因此这里省略了它的说明。

或者，为了进一步提高悬置单元的制造性，可在一次注射模制中形成三个或更多悬置单元。

(2)各悬置单元可以形成为图14B中所示的悬置单元88的形状。在这种悬置单元88中，各弹性支撑件90在两个夹持件89和91之间弯曲，呈现出形成一定角度的形式。

可通过下述方式来得到这种悬置单元88。在通过夹物模压并去除框架后形成如图14A所示的悬置单元88时，在将悬置单元88装到模具中以模制框壳6和挡块10之前，在某个适当点处使各弹性支撑件90弯曲，如图14B所示。可用压力来进行这种弯曲。这里，各弹性支撑件90可弯曲成曲线的形式，而不是形成一定角度的形式。

图15A显示了弯曲成一定角度的形式的一对悬置单元88，图15B显示了将这些悬置单元88作为嵌件而通过夹物模压制成的框壳6和挡块10。

虽然在图15B中未显示，然而凝胶保持件与夹持件91粘合，而且如同第一实施例那样，在由凝胶保持件、夹持件91和挡块10所形成的空间内填充了由凝胶制成的振动抑制件。因此，悬置单元88的弯曲部分被振动抑制件覆盖。这些弯曲部分和周围的振动抑制件一起可实现抑制较高共振的效果。

(3)除了上述(2)之外，弹性支撑件可以弯曲成在从寻迹方向看悬置单元时形成一定的角度的形式。

在图16中显示了一个这样的示例。在图16A中所示的一对悬置单元98中，上方和下方弹性支撑件92和96的挡块端部分地弯曲成朝向中间弹性支撑件94形成一定角度的形式。可以在由板形成悬置单元时进行这种弯曲。更具体地说，制出穿过板的带状孔，使得带状的多个弹性支撑件(三个弹性支撑件)的设置中心(弹性支撑件94)两侧的弹性支撑件(弹性支撑件92和96)朝向设置中心部分地弯曲。在此示例中，设置中心是中间一个弹性支撑件，这是因为弹性支撑件的数目是奇数。另一方面，如果弹性支撑件的数目是偶数，那么设置中心是中间两个弹性支撑件的中线。在这种情况下，所有弹性支撑件均朝向中心线部分地弯曲。

此处，弹性支撑件可弯曲成曲线的形式，而不是形成一定角度的形式。

作为弯曲弹性支撑件的结果，当从寻迹方向看悬置单元以及当从聚焦方向看悬置单元时，弹性支撑件是三维变形的。这些变形部分和周围的振动抑制件一起可呈现出抑制弹性支撑件和可动件的较高共振的显著效果。

图16B显示了将悬置单元98作为嵌件而通过夹物模压制成的框壳6和挡块10。应注意在此图中也省略了凝胶保持件和振动抑制件。(第二实施例)

本发明的第二实施例具有和第一实施例基本相同的结构，只在悬置单元的结构上有所不同。因此，下述介绍集中在悬置单元上，而省略了与第一实施例相同的特征的介绍。

图17A是显示了根据第二实施例的光学传感器102的大致结构的透视图。图17B是从寻迹方向上看去的光学传感器102的侧视图。图17C是从聚焦方向上看去的光学传感器102的顶视图。应注意在这些图中均省略了辅助磁轭、凝胶保持件以及由凝胶制成的振动抑制件。

在此实施例中，一对悬置单元104和106均具有下述结构，如图17所示。在悬置单元104中，与夹持件120和122相连的三个弹性支撑件108，110和112的端部错开，使得中间弹性支撑件110的连接端和上方及下方的弹性支撑件108及112的端部不共线。在悬置单元106中，与夹持件124和126相连的三个弹性支撑件114，116和118的端部错开，使得中间弹性支撑件116的连接端和上方及下方的弹性支撑件114及118的端部不共线。在这里应注意所有弹性支撑件108，110，112，114，116和118都具有相同的跨度L。

悬置单元104关于包括了中间弹性支撑件110的长度中心并与寻迹方向平行的平面(XY平面)对称，如同第一实施例一样。同样，悬置单元106关于包括了中间弹性支撑件116的长度中心并与寻迹方向平行的XY平面对称。

通过在保持上述对称性的同时将弹性支撑件的连接端在与寻迹方向正交的方向(Y方向)上错开，可以抑制可动件的圆形运动，例如纵摇及偏摇。这里纵摇是指可动件绕轴θx的圆形运动，该轴通过两个弹性支撑件组的框壳连接端的附近并平行于寻迹方向。偏摇是指可动件绕轴θz的圆形运动，该轴通过两个弹性支撑件组的框壳连接端之间的中点并平行于聚焦方向。

即使只将弹性支撑件的框壳连接端错开，也可以实现这种效果。然而在本例中出于下述原因，不仅将弹性支撑件的框壳连接端，而且将其挡块连接端部均错开。通过以框壳连接端错开的上述方式将挡块连接端错开，使得所有弹性支撑件均具有相同的跨度，就可以如第一实施例那样将弹性支撑件的主共振点(频率)的总数限制在一点上(f0)。

在各悬置单元104和106中的这种错开结构可以在用于悬置单元的注射模制工艺(第一模制工艺)中实现。用于这种情况的模具具有和第一实施例的模具基本上相同的结构，所以这里省略了它的说明。

在此实施例中，弹性支撑件的连接端以上述方式错开。因此，在第二模制工艺中可以采用下述技术来容易地模制出框壳和挡块，而不需要使用复杂的模具。

夹持件120，122，124和126在从聚焦方向上看去时为钩形(图17C)，以便在图17B和17C中的虚线框内的部分(即与错开的连接端部相关的部分)和框壳128或挡块130之间提供间隙132，134，136和138。

更详细地说，用于第二模制工艺的模具占据了与间隙132，134，136和138相对应的区域，因此在由第二模制工艺模制出框壳128和挡块130时形成了间隙132，134，136和138。这样，注入以模制框壳128的树脂不会从图17B所示的夹持件120(124)的凹陷处(中间弹性支撑件110(116)的框壳连接端周围)泄漏出去。

因此，如第一实施例一样，可以采用简单的二件式模具来进行第二模制工艺。

(第三实施例)

在本发明的第三实施例中，在框壳(可动件)上安装了比第一实施例中更多的电气/电子元件。因此，设置了更多的弹性支撑件以满足对更多导线的需求。

图18是第三实施例的光学传感器302的透视图。图19是光学传感器302的分解透视图。应注意的是，在图18中省略了图19所示的辅助磁轭356R和356L。

这种光学传感器302是所谓光学部件集成式光学传感器。也就是说，光学传感器302具有可动的框壳306和固定的挡块310。框壳306由树脂制成，并携带光学系统的所有光学部件，包括半导体激光器和物镜304(图20)。挡块310同样由树脂制成，并固定在底座308上。框壳306和挡块310通过多个弹性支撑件(在此实施例中为二十个弹性支撑件)相连，这些弹性支撑件也称为悬置线。在下文中光学系统和框壳306统称为可动件，而底座308和挡块310统称为固定件。

根据这种结构，包括光学系统和框壳306的可动件由包括底座308和挡块310的固定件支撑，从而可在寻迹方向和聚焦方向上移动。

在包括了物镜304的光轴并与寻迹方向正交的平面(YZ平面)的两侧设有一对致动器354R和354L，使其关于YZ平面对称。致动器354R和354L分别包括由磁性材料制成的E形磁轭352R和352L。辅助磁轭356R和356L分别连接在这些E形磁轭352R和352L的顶部上。辅助磁轭356R和356L都是磁性板，用于形成有效磁路。虽然这两个致动器354R和354L由字母符号“R”和“L”来区分，但是它们具有相同的结构，并因此用相同的标号来表示其对应的结构件。另外，由于致动器354R和354L具有相同的结构，因此在不需要区分它们时就用相同的标号“354”来简单地表示它们。

各E形磁轭352形成于底座308上。更详细地说，各E形磁轭352具有通过粘结而固定在底座308上的两个外磁轭356和358以及一个中间磁轭360。永磁体362和364连接在外磁轭356及358的相对表面上，相同的磁极(在此实施例中为北极)指向另一磁轭，从而形成了磁路。各E形磁轭352定位成使得外磁轭356、中间磁轭360和外磁轭358设置在Y方向上，从而在Y方向(与寻迹方向正交的方向)上产生了磁通量。另外，E形磁轭352R和352L设置成关于YZ平面对称。

通过线圈安装件366R和366L将管状聚焦线圈368R和368L安装在框壳306上。这些聚焦线圈368R和368L设置成使得E形磁轭352R和352L的中间磁轭360R和360L分别以一定的间隙插入到聚焦线圈368R和368L中。

另外，寻迹线圈370R和370L连接在聚焦线圈368R和368L的侧面上，该侧面和连接在线圈安装元件366R和366L上的侧面相对。寻迹线圈370R和370L当沿聚焦方向看去时具有日本片假名字母“コ”的形状。利用粘合剂将寻迹线圈370R和370L连接到框壳306的框架部分372R和372L上。当从聚焦方向看去时，各聚焦线圈370的两端均位于E形磁轭352的外磁轭356与中间磁轭360之间以及外磁轭358和中间磁轭360之间。

因此，各致动器354包括具有磁体362和364的E形磁轭352、聚焦线圈368，以及寻迹线圈370。通过设置这种致动器354，可以沿聚焦方向和寻迹方向驱动可动件。

更详细地说，具有磁体362和364的E形磁轭352产生从外磁轭356指向中间磁轭360的第一磁通量，以及从外磁轭358指向中间磁轭360的第二磁通量(方向与第一磁通量相反)。聚焦线圈368设置成在中间磁轭360以一定间隙插入到聚焦线圈368中时与第一和第二磁通量链接。因此，当激励聚焦线圈368时，在聚焦线圈368的位于外磁轭356和中间磁轭360之间以及外磁轭358和中间磁轭360之间的部分上流过X方向上的电流。这就在聚焦方向上产生了驱动力。同时，当激励寻迹线圈370时，在形状如日本片假名字母“コ”的寻迹线圈370的两端流过Z方向上的电流。这就在寻迹方向上产生了驱动力。

这里，聚焦线圈368R和368L串联式地电连接，使得在被激励时产生相同方向的驱动力。同样，寻迹线圈370R和370L串联式地电连接，使得在被激励时产生相同方向的驱动力。

图20是显示了安装在框壳306上的光学部件的纵向剖视图。

全息摄影模块378固定在框壳306上。该全息摄影模块378和第一实施例的全息摄影模块类似，其包括其上设有光发射元件和多个光接收元件(未示出)的光发射/接收元件衬底374，以及全息摄影光学部件376。从全息摄影模块378中的光发射元件(半导体激光器)中发出的激光束(由虚线表示)被安装在框壳306上的向上镜380反射。结果，主要光束以与物镜304的光轴基本上一致的方向进入物镜304。然后，穿过物镜304的激光束聚焦在光记录媒体(未示出)的信息记录面上。

激光束被信息记录面反射，所得到的返回光束沿相同光路的反向返回。也就是说，返回光束穿过物镜304并被向上镜380反射，从而进入到全息摄影模块378中。激光束被多个光接收元件接收。结果，可以检测到包括有聚焦误差信号和寻迹误差信号的伺服信号以及信息记录信号，并将其传送到控制电路(未示出)中。

控制电路基于聚焦误差信号和寻迹误差信号来控制提供给聚焦线圈368R和368L以及寻迹线圈370和370L的电流量。

回到图18和19，在包括了物镜304的光轴并基本与寻迹方向基本上正交的平面(YZ平面)的一侧在聚焦方向上平行地设置了十个弹性支撑件312，314，316，318，320，322，324，326，328和330。同样，在YZ平面的另一侧在聚焦方向上平行地设置了十个弹性支撑件332，334，336，338，340，342，344，346，348和350。这两组十个弹性支撑件关于YZ平面对称。这里，如同第一实施例一样，通过只在聚焦方向上设置弹性支撑件，与弹性支撑件还设置在寻迹方向上的情况相比，可以紧凑地制出整个光学传感器(即减小了寻迹方向上的尺寸)。在下文中，包括弹性支撑件312，...，330的悬置单元称为悬置单元311，而包括弹性支撑件332，...，350的悬置单元称为悬置单元331。

如同第一实施例一样，通过压力加工来形成各悬置单元311和331的弹性支撑件。例如，利用典型的精密压力加工技术可以实现以下的尺寸。一个弹性支撑件的宽度(即聚焦方向上的长度)为b＝90(微米)。一个弹性支撑件的厚度(即寻迹方向上的长度)为t＝70(微米)。相邻弹性支撑件之间的间距为s＝250(微米)。一个弹性支撑件组在聚焦方向上的宽度是B＝10×b+(10-1)×s＝3.15(微米)。该宽度B小于可动件在聚焦方向上的高度。因此，弹性支撑件的数量增加不会引起整个光学传感器在聚焦方向上的尺寸增加。在这里应注意，与第一实施例一样，可通过蚀刻代替压力加工来形成弹性支撑件。

弹性支撑件的材料和截面与第一实施例中的相同。

这样，第三实施例中的各悬置单元具有比第一实施例中更多的弹性支撑件。另外，第三实施例中的各悬置单元具有比第一实施例中更多的夹持件。

也就是说，悬置单元311具有夹持件382，384，386和388，而悬置单元331具有夹持件390，392，394和396。这样，第三实施例中的各悬置单元具有四个夹持件，而第一实施例中的各悬置单元具有两个夹持件。即使在以这种方式增加夹持件的数量时，也可以通过与第一实施例相同的夹物模压来形成悬置单元，只要模具型腔的数量随夹持件数量的增加而增加。

在悬置单元311和331中，弹性支撑件的处于夹持件382和384之间的部分以及弹性支撑件的处于夹持件390和392之间的部分用于弹性地支撑可动件。在悬置单元311中，最上方的弹性支撑件312和最下方的弹性支撑件330在夹持件386和388之间被切断。在悬置单元331中，最上方的弹性支撑件332和最下方的弹性支撑件350在夹持件394和396之间被切断。

在通过第一模制工艺中形成了各悬置单元311和331后，各悬置单元311和331中的弹性支撑件组在四个点处弯曲。之后，将悬置单元311和331装入到用于第二模制工艺的模具中，并进行与第一实施例相同的夹物模压(第二模制工艺)，以形成框壳306和挡块310。

一旦得到框壳306和挡块310，就将各部件安装在框壳306上。具体地说，通过粘结等方式将物镜304、向上镜380、聚焦线圈368R和368L、寻迹线圈370R和370L、全息摄影模块378等固定在框壳306上。

之后，进行布线以将这些部件和弹性支撑件相连。

下面将参考图21A和21B来说明部件和弹性支撑件之间的连接关系。

串联的聚焦线圈368R和368L的一端与弹性支撑件330的框壳端相连，而另一端与弹性支撑件332的框壳端相连。

串联的寻迹线圈370R和370L的一端与弹性支撑件312的框壳端相连，而另一端和弹性支撑件350的框壳端相连。

全息摄影模块378中的半导体激光器的正极端子与弹性支撑件336的框壳端相连，而半导体激光器的负极端子与弹性支撑件338的框壳端相连。

用于驱动全息摄影模块378中的光发射/接收元件衬底374上的光接收元件的驱动电压Vcc的输入端子与弹性支撑件316的框壳端相连。光发射/接收元件衬底374上的基准电压Vref的输入端子与弹性支撑件318的框壳端相连。光发射/接收元件衬底374上的接地端子与弹性支撑件314的框壳端相连。

用于输出全息摄影模块378中的光发射/接收元件衬底374上的聚焦误差信号的一对端子中的一个端子与弹性支撑件322的框壳端相连，而另一端子与弹性支撑件342的框壳端相连。

用于输出全息摄影模块378中的光发射/接收元件衬底374上的寻迹误差信号的一对端子中的一个端子与弹性支撑件324的框壳端相连，而另一端子与弹性支撑件344的框壳端相连。

用于输出全息摄影模块378中的光发射/接收元件衬底374上的信息记录信号的一对端子中的一个端子与弹性支撑件326的框壳端相连，而另一端子与弹性支撑件346的框壳端相连。

另一方面，各弹性支撑件的挡块端与包括有光学传感器302的装置主体内的控制电路等的预定端子相连。这里，弹性支撑件320，328，334，340和348的挡块端与控制电路等的接地端子相连。因此，这些弹性支撑件320，328，334，340和348保持在零电位。这样，在此实施例中，包含这五个弹性支撑件和弹性支撑件314的总共六个弹性支撑件处于零电位。

聚焦线圈368R和368L或寻迹线圈370R和370L的两端之间的驱动电压Vact为0.2到0.6伏。半导体激光器的驱动电压Vop约为2.0伏。光发射/接收元件衬底374上的驱动电压Vcc为3.0到5.0伏。基准电压Vref是Vcc的一半(即1.5到2.5伏)。同时，来自光发射/接收元件衬底374的上述所检测到的信号输出(聚焦误差信号、寻迹误差信号和信息记录信号)的信号电压是几十到几百毫伏。因此，在所检测到的信号的电压和驱动电压之间存在显著的差异。这样，如果将弹性支撑件随机地相连，那么检测信号会受到驱动电压的影响，从而导致信噪比下降。

考虑到这一点，这些部件(端子)和弹性支撑件连接成使得零电位的弹性支撑件(320，328，334，340和348)位于用于施加驱动电压(用于施加驱动功率)的弹性支撑件(312，316，318，330，332，336，338和350)和用于抽取检测信号的弹性支撑件(322，324，326，342，344和346)之间。

换句话说，以这种方式来布线(连接)，使得不与框壳306上的任何部件相连但与装置主体内的电路相连从而具有零电位的至少一个弹性支撑件位于用于提供驱动电源(驱动功率)的弹性支撑件和用于抽取所检测的信号的弹性支撑件之间。可将一个电气/电子元件与预定弹性支撑件的框壳端相连。然后将另一电气/电子元件与一个弹性支撑件的框壳端相连，此弹性支撑件通过被至少一个不与框壳306上的任何电气/电子元件连接的弹性支撑件而与预定弹性支撑件分隔开。这就允许将未用作安装在框壳306上的电气/电子元件的布线的弹性支撑件设为零电位。因此，可以降低通过弹性支撑件而发生于不同的电气/电子元件之间的噪音的不利影响。

回到图19，永磁体362R，364R，362L和364L分别与外磁轭356R，358R，356L和358L相连。之后将底座308固定到光学基底上。

之后，将挡块310连接在固定于光学基底上的底座308上。最后安装辅助磁轭356R和356L，完成光学传感器302。

这里，如同第一实施例一样，从聚焦方向上看去时，悬置单元311和331的弹性支撑件组可相互间不平行地定位。同样，如同第一实施例一样，当从寻迹方向看去时，各弹性支撑件组的弹性支撑件可相互间不平行地定位。

已经通过上述实施例介绍了本发明，然而很明显，本发明并不局限于上述实施例。下面给出了一些改进的示例。

(1)上述实施例介绍了MC型，其中聚焦线圈和寻迹线圈设于框壳上，而装有磁体的磁轭(磁路)设于底座上，但是也可以使用MM(移动磁体)型。MM型是一种结构的传感器，其中装有磁体的磁轭设于框壳上，而聚焦线圈和寻迹线圈设于底座上。在MM型的情况下，可以减少布线所需的弹性支撑件的数量。然而需要在框壳上安装附加的电气/电子元件。在这种情况下，需要比MC型更多的弹性支撑件。而且，如果液晶倾斜校正部件的校正区域分成更小的区域，那么需要与这些校正区域相同数目的导线。在这种情况下，需要增加弹性支撑件的数量。

(2)上述实施例介绍了通过将悬置单元作为嵌件的夹物模制(第二模制工艺)而形成框壳和挡块的情况，然而形成框壳和挡块的方法并不限于夹物模压。例如，可以单独地模制框壳和挡块。在这种情况下，利用用于形成框壳的模具来注射模制框壳(框壳模制工艺)，利用形成挡块的模具来注射模制挡块(挡块模制工艺)。

作为替代，可以用一个模具来模制框壳和挡块，以替代独立的模具。这种模具具有用于框壳和挡块的两个模具型腔，从而可以在一次工艺中形成框壳和挡块(框壳和挡块模制工艺)。

然后，利用粘合剂将这样形成的框壳和挡块与悬置单元的夹持件相连。

或者，可以利用超声波焊接将它们相连。

虽然已经参考附图并通过示例完整地介绍了本发明，然而应当注意，对于本领域的技术人员来说显然可进行不同的变化和修改。

因此，除非这些变化和修改脱离了本发明的范围，否则它们均包括在内。

Claims (12)

1.一种用于光学传感器的制造方法，其中带有物镜的可动件由固定件通过一对弹性支撑件组来支撑，使得所述可动件可在聚焦方向和寻迹方向上移动，各所述弹性支撑件组由多个平行设置的弹性支撑件构成，所述方法包括：

悬置单元成形步骤，其中通过夹物模压在所述多个弹性支撑件的长度方向上在各所述弹性支撑件组的不同位置处形成两个夹持件，使得可将所述多个弹性支撑件夹持在一起，从而形成了一对悬置单元，所述夹持件由合成树脂制成；和

连接步骤，其中使所述这对悬置单元彼此相对地设置且所述多个弹性支撑件的设置方向基本上与所述聚焦方向相同，并将各所述悬置单元的一个夹持件连接到所述可动件上，将各所述悬置单元的另一夹持件连接到所述固定件上。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述连接步骤中，通过将所述夹持件作为嵌件的夹物模压来形成所述可动件和固定件，从而将所述夹持件与所述可动件和固定件相连。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述方法还包括：

用于形成所述可动件的可动件成形步骤；和

用于形成所述固定件的固定件成形步骤，

其中在所述连接步骤中将所述夹持件与所述可动件和固定件相连。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述方法还包括：

板处理步骤，其中制作了穿过平板的带状孔，从而形成带状形式的多个弹性支撑件，它们在所述板的边缘部分处连接在一起，

其中，所述悬置单元成形步骤包括：

通过用二件式模具将被处理的板夹在中间、并将合成树脂注射到模具型腔中以形成各所述夹持件的子步骤，其中所述二件式模具可在基本上正交于所述板的方向上打开和闭合。

5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，

在所述悬置单元成形步骤中，从所述模具的与所述多个所述弹性支撑件的设置方向上的夹持件的对称中心相对应的部分处注入合成树脂。

6.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，

在所述连接步骤中将所述这对悬置单元相对地定位，使得从所述聚焦方向上看去时所述这对弹性支撑件组相互间不平行。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，

在所述连接步骤中将所述这对悬置单元相对地定位，使得从所述聚焦方向上看去时所述这对弹性支撑件组在不同的方向上弯曲。

8.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述方法还包括：

弯曲步骤，其中在所述连接步骤前使得所述多个弹性支撑件中的每一个的位于所述夹持件之间的部分弯曲；和

振动抑制材料设置步骤，其中在所述连接步骤后用振动抑制材料覆盖住所述弯曲部分。

9.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，

通过在所述板处理步骤中制出穿过所述板的带状孔来进行所述弯曲步骤，使得所述多个弹性支撑件的设置中心两侧的弹性支撑件均朝向所述设置中心部分地弯曲。

10.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，

在所述悬置单元成形步骤中，使各所述夹持件的与所述可动件或固定件相连的表面粗糙化。

11.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述方法还包括：

弯曲步骤，其中在所述连接步骤前使得所述多个弹性支撑件中的每一个的位于所述夹持件之间的部分弯曲；和

振动抑制材料设置步骤，其中在所述连接步骤后用振动抑制材料覆盖住所述弯曲部分。

12.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，

通过压力加工来进行所述弯曲步骤。

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