CN121008342A - 红外线截止滤波器和使用了红外线截止滤波器的摄像装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种红外线截止滤波器（IRCF）和使用了红外线截止滤波器的摄像装置，所述红外线截止滤波器能以低成本对应超广角摄像机的视场角并能得到高画质。一种红外线截止滤波器，具有反射型滤波器部和吸收型滤波器部，其中，反射型滤波器部具有Ti_xSi_yO多层膜，Ti_xSi_yO多层膜由高折射材料层和低折射材料层交替层叠而形成，高折射材料层与低折射材料层在规定波长处的折射率的差为预先确定的规定值。

Description

红外线截止滤波器和使用了红外线截止滤波器的摄像装置

技术领域

本发明涉及红外线截止滤波器和使用了红外线截止滤波器的摄像装置。

背景技术

进入到本世纪，在摄像装置即摄像机中，使用固体摄像元件（摄像元件）的摄像装置、所谓的数字摄像机已成为主流。此外，个人计算机（PC），平板PC、智能手机等信息通信设备正在普及，在日常生活中得到使用。

这些信息通信设备大多内置小型的摄像机模块，现在也存在摄像元件的像素数超过1000万的高性能设备。信息通信设备，特别是作为便携通信设备的智能手机有较强的变薄变轻的倾向，作为其部件的摄像机模块也需要小型化、省空间化。

此外，对于使用者来说，智能手机是唯一的摄像装置的情况也变多了，因此即使摄像机模块变小，要求更好的画质的要求也很强烈。

作为现有的摄像机结构的摄像机模块，主要从外侧起依次由以下部件构成：由强化玻璃、蓝宝石玻璃作为材质而构成并覆盖摄像机模块的保护玻璃、由作为摄像装置的内部机构的光学透镜组构成的透镜单元、保持透镜单元的透镜载体、为了实现自动对焦功能而使透镜单元沿轴向移动的磁铁支架、对红外线区域的光进行截止的红外线截止滤波器（IRCF）、以及接收经由保护玻璃和透镜单元以及红外线截止滤波器射入的光的摄像元件，所述摄像机模块固定于智能手机外壳等来使用（参照专利文献1）。

如下所述，这样的红外线截止滤波器逐渐成为搭载于智能手机等的紧凑型摄像机模块（CCM）的关键组件之一。

在此，虽然CCM中使用了CCD、CMOS等图像传感器作为摄像元件，但由于不仅在可见光区域，在人眼看不见的近红外区域（＞650nm）也具有灵敏度，因此拍摄到的图像的色调有时与实物不同。

因此，通过在作为摄像元件的图像传感器之前设置红外线截止滤波器来对红外线进行截止，从而接近拍摄者所看到的拍摄对象。

另一方面，随着智能手机的普及，为了增强吸引力，也在发展摄像机透镜的复眼化，特别是，超广角透镜具有能拍摄宽视场角的优点，也有能进行微距（近距离）拍摄的超广角透镜。

在此，扩大视场角对于利用光的干涉效果的光学滤波器来说，技术难度会大大提高。

即，扩大视场角对于利用光的干涉效果的光学滤波器来说，技术难度变高。

即，这是因为干涉型滤波器的光学特性（透射率、反射率）由折射率×膜厚×cosθ决定，当光的入射角θ发生变化时，光学特性会大幅改变。

另一方面，使用材料固有的光吸收带的吸收型的光学滤波器具有几乎不依赖于光的入射角θ的优点，但存在在可见光区域具有高透射率，且没有能对高波长侧也进行截止的吸收材料（颜料）的问题。

因此，现在，在红外线截止滤波器（IRCF）中，使用将反射型（干涉型）滤波器部和吸收型滤波器部组合而成的混合型IRCF逐渐成为主流。

需要说明的是，在一般的电介质IRCF中，如图7所示，存在随着入射角变高，在透射带的中心附近出现大的波纹，并且截止波长向短波长侧偏移的缺点。

图7是表示一般的电介质IRCF的特性的曲线图。

在这样的一般的电介质IRCF中，即使清晰地还原了图像的中心的颜色，随着趋向边缘，也会有红色比实际的颜色变少、或者黄色～绿色变浅的情况。

因此，以往，作为接近本申请发明的现有技术，提出了如以下那样的红外线截止滤波器（IRCF）来弥补上述的缺点（专利文献2～4）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013－153361号公报

专利文献2：日本特开2019－120942号公报

专利文献3：WO2014/104370号公报

专利文献4：日本特开2020－074366号公报

然而，这些现有技术存在如以下说明那样的问题点。

即，作为第一现有技术（专利文献2），为了提供能使用较少层数的光学多层膜来抑制由高入射角的光引起的斜入射波纹的近红外线截止滤波器，提出了一种近红外线截止滤波器，其具备透明基板和设于透明基板的至少一个主面上的第一光学多层膜，第一光学多层膜由波长500nm处的折射率为1.8以上且2.21以下的中折射率膜和波长500nm处的折射率为1.45以上且1.49以下的低折射率膜交替层叠而成，具有5以上且35以下的数量的中折射率膜和低折射率膜的组合单位，就第一光学多层膜而言，以0°入射的光的透射被限制的波长范围的中心波长为890nm以上且1200nm以下，其波长范围的宽度为100nm以上且300nm以下。

然而，在该第一现有技术中，示出了中折射率层/低折射率层处的设计，但在40°以上的入射角的情况下，存在对紫外/近红外的截止效果变差的问题点。

并且，作为第二现有技术（专利文献3），提出了如下近红外线截止滤波器，即为了抑制光向近红外线截止滤波器的入射角大的情况下对摄像图像的影响，该近红外线截止滤波器由以下结构构成：至少透射可视波长域的光的基板；以及在所述基板的至少一方由高折射率膜H和低折射率膜L（由波长500nm处的折射率比高折射率膜H的构成材料小的构成材料构成）构成的反复层叠膜、或由高折射率膜H和中折射率膜M（由波长500nm处的折射率比高折射率膜H的构成材料小的构成材料构成）和低折射率膜L´（由波长500nm处的折射率比中折射率膜M的构成材料小的构成材料构成）构成的反复层叠膜，

该近红外线截止滤波器具有分别用以下算式（1）～（3）计算出R区域、G区域、以及B区域的平均透射率的降低率，其中的最大值与最小值的差为0.05以下的光透射特性，

（T（R0）－T（R40））/T（R0）……（1）

（T（G0）－T（G40））/T（G0）……（2）

（T（B0）－T（B40））/T（B0）……（3）

其中，将600nm～620nm的波长带设为R区域，将500nm～560nm的波长带设为G区域，以及将440nm～480nm的波长带设为B区域，

将垂直入射条件下的R区域、G区域、以及B区域的各平均透射率分别设为T（R0）、T（G0）、以及T（B0），

将40°入射条件下的R区域、G区域、以及B区域的各平均透射率分别定义为T（R40）、T（G40）、以及T（B40）。

然而，在该第二现有技术中，在入射角为45°以上的情况下，存在在紫外区域和620nm以上的区域的截止效果变差的问题点。

特别是，如果是本申请中作为对象的入射角，则无法适用。

并且，作为第三现有技术（专利文献4；本申请的申请人的在先申请），提出了一种混合型IRCF，其在玻璃基板上涂布阻止域宽、透射带的形状接近相对可见度曲线的吸收墨水，形成Ta₂O₅/SiO₂多层膜，由此在入射角度为0°～45°之间，透射带的轮廓不会大幅变化。

然而，在该第三现有技术中，当入射角度为50°以上时，存在出现波纹的问题点。

发明内容

本发明是着眼于所述现有的问题点而完成的，其目的在于，提供一种使用了能以低成本对应超广角摄像机的视场角，并得到高画质的红外线截止滤波器（IRCF）的摄像装置。

为了实现所述目的，本发明的红外线截止滤波器是具有反射型滤波器部和吸收型滤波器部的红外线截止滤波器，其特征在于，所述反射型滤波器部具有Ti_xSi_yO多层膜，所述Ti_xSi_yO多层膜由高折射材料层和低折射材料层交替层叠而形成，所述高折射材料层与所述低折射材料层的折射率的差为预先确定的规定值。

本发明的另一特征是具有透镜单元、红外线截止滤波器以及图像传感器的摄像装置，其中，所述红外线截止滤波器具有反射型滤波器部和吸收型滤波器部，所述反射型滤波器部具有Ti_xSi_yO多层膜，所述Ti_xSi_yO多层膜由高折射材料层和低折射材料层交替层叠而形成，所述高折射材料层与所述低折射材料层的折射率的差为预先确定的规定值。

发明效果

根据本发明，能提供一种使用了红外线截止滤波器（IRCF）的摄像装置，所述红外线截止滤波器能以低成本对应超广角摄像机的视场角并且能得到高画质。

附图说明

图1是使用了本发明的实施方式的红外线截止滤波器7的摄像装置1的构成图，图1的（a）是摄像装置1的俯视图，图1的（b）是沿图1的（a）所示的摄像装置1的I‐I’线的剖视图。

图2是表示使用组成比不同的三种混合材料作为高折射材料的情况下的折射率相对于波长的变化的曲线图。

图3是图1的（b）所示的红外线截止滤波器7的切口剖面构成图。

图4是表示图3所示的吸收墨水层28的特性的曲线图。

图5是表示图3所示的SWPF部21、23、25的滤波器特性的曲线图，图5的（a）是入射角为0°的情况下的特性，图5的（b）是入射角为60°的情况下的特性。

图6是表示图3所示的红外线截止滤波器7的第一SWPF部～第三SWPF部21、23、25中的Ti的混合比的范围的表。

图7是表示一般的电介质IRCF的特性的曲线图。

图8是表示本发明所制作的混合型IRCF的特性的曲线图。

附图标记说明：

1：摄像装置；3：保护玻璃；5：透镜单元；

7：红外线截止滤波器；9：图像传感器；11：透镜载体；

13：磁铁支架；21：第一SWPF部；23：第二SWPF部；25：第三SWPF部；27：玻璃基板；28：吸收墨水层。

具体实施方式

以下，对实施了本发明的红外线截止滤波器和使用了该红外线截止滤波器的摄像装置与附图建立关联地进行说明。

本发明的特征在于，在红外线截止滤波器中，通过研究高折射材料与低折射材料的折射率差来计算出理想的折射率，为了实现该折射率，在吸收墨水层上层叠多个由Ti_xSi_yO多层膜构成的透射带的波长区域不同的短波通滤波器（SWPF），用于红外线截止滤波器。

由此，能实现直到入射角为60°为止不出现波纹的红外线截止滤波器，通过将该入射角的范围宽的红外线截止滤波器应用于摄像装置，能提高超广角摄像机的画质。

图1是使用了本发明的实施方式的红外线截止滤波器7的摄像装置1的构成图，图1的（a）是摄像装置1的俯视图，图1的（b）是沿图1的（a）所示的摄像装置1的I‐I’线的剖视图。

需要说明的是，在图1中，在本实施方式中，记载了具有考虑了个人计算机（PC）、平板PC、智能手机等信息通信设备等中使用的数字摄像机的摄像机结构的摄像装置，但也可以将该红外线截止滤波器用于其他用途的摄像机结构。

如图1的（a）所示，该摄像装置1从上表面观察时为圆形，如图1的（b）的剖视图所示，从上侧起依次具有保护玻璃3、透镜单元5、红外线截止滤波器7以及图像传感器9。

透镜单元5由透镜载体11保持，透镜载体11收纳于为了实现自动对焦功能而使透镜单元5沿轴向移动的磁铁支架13。

接着，对上述红外线截止滤波器7进行说明。

在此，首先，对形成红外线截止滤波器7的短波通滤波器（SWPF）进行说明。

如上所述，该红外线截止滤波器7中的短波通滤波器（SWPF）由将吸收墨水层和Ti_xSi_yO多层膜组合而成的混合型的混合膜构成，首先，对完成该结构的经过进行说明。

即，在红外线截止滤波器中，通过研究高折射材料与低折射材料的折射率差来计算出理想的折射率，为了实现该折射率，将吸收墨水层和Ti_xSi_yO多层膜组合而成的混合膜用于红外线截止滤波器。

首先，以往，作为监控摄像机开始的超广角摄像机虽然搭载于智能手机，但存在图像的中央和角落色调不同的问题。

作为其原因，可以列举如下现象：随着进入红外线截止滤波器（IRCF）的光的入射角变高，透射带出现波纹，截止波长向短波长侧偏移（参照图7）。

本申请人通过使用透射率变低的阻止域的频带宽、透射域的透射率高的墨水，实现了到45°为止光谱形状没有大的变化的红外线截止滤波器（IRCF），但当超过50°时，开始观察到透射带的波纹，在60°时波纹变大到25％左右。

因此，本申请人着眼于当高折射材料与低折射材料的差小时不易出现波纹这一点，进行了还包括折射率色散的设计研究，结果发现，折射率差在透射频带小，在阻止域中大的高折射材料是优选的。

因此，将由TiO₂和SiO₂构成的混合材料设为低折射材料，改变两者的组成比来调查红外线截止滤波器（IRCF）的光谱变化，结果发现，当使用TiO₂（30％）和SiO₂（70％）的混合膜时，即使入射角为60°，波纹也仅为12％左右。

本发明的特征在于，通过研究高折射材料与低折射材料的折射率差来计算出不会出现波纹的理想的折射率的差，为了实现该折射率，使用了如以下的实施方式所示的透射带的波长区域不同的多个短波通滤波器（SWPF）。

需要说明的是，在本实施方式中，如下所述，使用了三个短波通滤波器（SWPF），而在一个短波通滤波器（SWPF）中，波纹依然很强，关键在于使用透射带的波长区域不同的三个短波通滤波器（SWPF）。

如果使用这样的多个短波通滤波器（SWPF）能实现入射角的范围宽的红外线截止滤波器（IRCF），则能划时代地提高超广角摄像机的画质。

在此，对与使用了单一材料的情况相比，在使用了由组成比不同、透射带的波长区域不同的三种混合材料构成的SWPF的情况下，能实现不会出现波纹的理想的折射率进行说明。

图2是表示使用组成比不同的三种混合材料作为高折射材料的情况下的折射率相对于波长的变化的曲线。

在该图2中，作为混合材料，示出了TiO₂、Ti_0.82Si_0.18O₂、Ti_0.72Si_0.28O₂、Ti_0.3Si_0.7O₂的折射率相对于各波长的变化。

如图2所示，当使用混合材料时，与使用了单一材料的情况相比，波长色散（由波长的变化引起的折射率的变化）变得平缓。

需要说明的是，关于为了实现不会出现波纹的理想的折射率，将混合了TiO₂和SiO₂的组成比不同的三种Ti_xSi_yO多层膜用作高折射材料时的组成比（折射率）的调整方法，将在后面进行叙述。

图3是图1的（b）所示的红外线截止滤波器7的切口剖面构成图。

在此，作为Ti_xSi_yO多层膜，作为以TiO₂为82％，SiO₂为18％的比例混合而成的混合膜的一个例子，记载了由如图3所示的三个短波通滤波器（SWPF）构成的结构的红外线截止滤波器7。

如图3所示，红外线截止滤波器7在玻璃基板27上形成有吸收墨水层28，在吸收墨水层28上，作为三个短波通滤波器（SWPF），从下侧起依次形成有作为Ti_xSi_yO多层膜的第一SWPF部21和第二SWPF部23以及第三SWPF部25。

在此，吸收墨水层28具有如图4的曲线所示的特性。即，透射带的光谱形状接近人的视细胞灵敏度曲线，具有能将特性维持到高的入射角度的特性。

即，在图4中，示出了入射角为0°、15°、30°、40°、45°中的任一个都维持了接近人的视细胞灵敏度曲线的特性。

图4是表示图3所示的吸收墨水层28的特性的曲线图。

需要说明的是，在本实施方式中，作为混合型的吸收型滤波器部，使用了具有如图4所示的特性的吸收墨水层28，但不限于此，也可以使用具有同等的特性的蓝色玻璃等。

然后，作为第一多层膜部～第三多层膜部的短波通滤波器（SWPF部）21、23、25具有反射型滤波器部的功能，成为该吸收墨水层28和第一SWPF部～第三SWPF部21、23、25组合而成的混合型IRCF。

第一SWPF部21由1层～37层的多层构成，由作为低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层21a和作为高折射材料的Ti_0.72Si_0.28O_X的层21b交替反复层叠而成。

然后，第二SWPF部23由38层～67层的多层构成，由作为低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层23a和作为高折射材料的Ti_0.82Si_0.18O_X的层23b交替反复层叠而成，第三SWPF部25由68层～93层的多层构成，由作为低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层25a和作为高折射材料的TiO₂的层25b交替反复层叠而成。

这样，红外线截止滤波器7作为多层膜部分具有由第一SWPF部21、第二SWPF部23、第三SWPF部25构成的三种短波通滤波器。

需要说明的是，如上所述，Ti_0.3Si_0.7O_X的层21a和Ti_0.3Si_0.7O_X的层23a以及Ti_0.3Si_0.7O_X的层25a由低折射材料构成，Ti_0.72Si_0.28O_X的层21b和Ti_0.82Si_0.18O_X的层23b和以及TiO₂的层25b由高折射材料构成。

由此，SWPF部21、23、25由透射带的波长区域不同的三个短波通滤波器构成。

因此，在第一SWPF部21中邻接的作为低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层21a与作为高折射材料的Ti_0.72Si_0.28O_X的层21b之间的作为规定波长的波长550nm处的折射率的差为0.66。即，Δn_550nm＝0.66。

本申请人对高折射材料与低折射材料的折射率差进行比较研究，发现了理想的折射率的差为Δn_550nm＝0.66。

因此，将在第一SWPF部21中邻接的作为低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层21a与作为高折射材料的Ti_0.72Si_0.28O_X的层21b之间的规定波长（在该情况下为550nm）处的折射率的差作为预先确定的规定值，设为0.66。

同样，将在第二SWPF部23中邻接的作为低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层23a与作为高折射材料的Ti_0.82Si_0.18O_X的层23b之间的波长550nm处的折射率的差作为预先确定的规定值为0.49，在第三SWPF部25中邻接的作为低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层25a与作为高折射材料的TiO₂的层25b之间的波长550nm处的折射率的差作为预先确定的规定值为0.39。

在这样构成的红外线截止滤波器7中，在入射角为0°～60°时，得到了如图4所示的波长与透射率的关系的特性。

图5是表示图3所示的SWPF部21、23、25的滤波器特性的曲线图，图5的（a）是入射角为0°的情况的特性，图5的（b）是入射角为60°的情况的特性。

需要说明的是，在图5中，也同时记载了后述的Ti混合比为±3％的情况。

即，如图5的（a）所示，可知，在波长为约400nm～750nm处，能得到抑制了约90％～100％的波纹的透射率，并且在入射角为0°～60°的范围内得到将750nm～1100nm的波长截止到0％～5％以下的滤波器特性。

根据如上所述构成的红外线截止滤波器7，在入射角为0°～60°时，在人能感知的约400nm～750nm的波长处能得到稳定的透射率，并且可靠地对除此以外的波长的光进行截止，因此如果将红外线截止滤波器用于摄像机结构，能以低成本对应超广角摄像机的视场角，并得到高画质。

需要说明的是，在本实施方式中，Ti_xSi_yO多层膜中的Ti的混合比如图6的（a）那样，但不限于此，如图6的（b）和图的6（c）所示，只要是在±3％的范围内，则能得到与上述图5所示的特性大致同等的特性。

图6是表示图3所示的红外线截止滤波器7的第一SWPF部～第三SWPF部21、23、25中的Ti的混合比的范围的表。

即，由于第一SWPF部～第三SWPF部21、23、25中的Ti的混合比为±3％的范围为允许范围，因此第一SWPF部21由Ti_0.27～0.33Si_0.73～0.67O_X的层21a和Ti_0.69～0.75Si_0.31～0.25O_X的层21b交替反复层叠而成，第二SWPF部23由Ti_0.27～0.33Si_0.73～0.67O_X的层23a和Ti_{0.79～ 0.85}Si_0.21～0.15O_X的层23b交替反复层叠而成，第三SWPF部25由Ti_0.27～0.33Si_0.73～0.67O_X的层25a和TiO₂的层25b交替反复层叠而成的混合膜为允许范围。

需要说明的是，在本发明中，在形成红外线截止滤波器7时，为了实现不会出现波纹的理想的折射率，对将混合了TiO₂和SiO₂的组成比不同的三种Ti_xSi_yO多层膜用作高折射材料时的组成比（折射率）进行如下调整。

即，首先，在第一SWPF部21中的作为高折射材料的Ti_0.72Si_0.28O_X的层21b中，一边取得透射带的波纹和阻止带（低波长侧）的平衡，一边调整Ti_0.72Si_0.28O_X的层21b的膜厚n。

接着，在第二SWPF部23中的作为高折射材料的Ti_0.82Si_0.18O_X的层23b中，一边观察阻止域（中波长侧）的透射率和波纹，一边调整Ti_0.82Si_0.18O_X的层23b的膜厚n。

最后，在第三SWPF部25中的作为高折射材料的TiO₂的层25b中，一边观察阻止域（高波长侧）的透射率和波纹，一边调整TiO₂的层25b的膜厚n（在此，也考虑吸收墨水层28的墨水特性）。

这样，形成实现了不会出现波纹的理想的折射率的红外线截止滤波器7。

图8是表示本发明所制作的混合型IRCF的特性的曲线。

如图8所示，与图7所示的现有的一般的电介质IRCF不同，随着入射角变高，在透射带的中心附近不会出现大的波纹。此外，截止波长也不会向短波长侧偏移。

需要说明的是，高折射材料的膜厚的调整也可以使用最小二乘拟合法进行。

需要说明的是，上述红外线截止滤波器7的第一SWPF部～第三SWPF部21、23、25例如使用金属模式溅射装置等最少能搭载两种靶的成膜装置，通过同时输出Si和Ti的靶，能容易地以低成本制作。

在该情况下，通过适当地使用如上所述的成膜装置来调整各靶的输出比，能容易地以低成本得到任意的混合比。

以上，虽然记载了本实施方式，但构成该公开的一部分的记载和附图不应理解为是限定的。包括在此未记载的各种实施方式等。

即，在本实施方式中，设置了第一SWPF部～第三SWPF部21、23、25这三种，但不限于此，例如，也可以由四种以上的SWPF部构成。

此外，在本实施方式中，作为混合型的吸收型滤波器部，使用了具有如图3所示的特性的吸收墨水层28，但不限于此，也可以使用具有同等的特性的蓝色玻璃等。

此外，在本实施方式的情况下，如上所述，第一SWPF部21中的Ti_0.3Si_0.7O_X的层21a和Ti_0.72Si_0.28O_X的层21b，第二SWPF部23中的Ti_0.3Si_0.7O_X的层23a和Ti_0.82Si_0.18O_X的层23b，第三SWPF部25中的Ti_0.3Si_0.7O_X的层25a和TiO₂的层25b基本上各自的膜厚不同，但也可以是相同的膜厚。

在此，作为基本设计，由三个SWPF部构成，使用最小二乘拟合法优化各层的膜厚，以使其接近成为目标的光谱。

此外，本实施方式中的第一SWPF部21的Ti_0.3Si_0.7O_X的层21a和Ti_0.72Si_0.28O_X的层21b、第二SWPF部23的Ti_0.3Si_0.7O_X的层23a和Ti_0.82Si_0.18O_X的层23b、以及第三SWPF部25的Ti_0.3Si_0.7O_X的层25a和TiO₂的层25b的折射率是一个例子，只要高折射材料与低折射材料的折射率的差为0.66，则可以是任意值。

Claims (7)

1.一种红外线截止滤波器，具有反射型滤波器部和吸收型滤波器部，其特征在于，

所述反射型滤波器部具有Ti_xSi_yO多层膜，

所述Ti_xSi_yO多层膜由高折射材料层和低折射材料层交替层叠而形成，

所述高折射材料层与所述低折射材料层在规定波长处的折射率的差为预先确定的规定值。

2.根据权利要求1所述的红外线截止滤波器，其特征在于，

作为所述高折射材料层与所述低折射材料层在波长550nm处的折射率的差而预先确定的规定值为0.66。

3.根据权利要求1所述的红外线截止滤波器，其特征在于，

所述吸收型滤波器部由吸收墨水层构成。

4.根据权利要求1所述的红外线截止滤波器，其特征在于，

所述Ti_xSi_yO多层膜由第一SWPF部、第二SWPF部以及第三SWPF部这些透射带的波长区域不同的三个SWPF部构成。

5.根据权利要求4所述的红外线截止滤波器，其特征在于，

所述第一SWPF部由作为所述低折射材料的Ti_0.27～0.33Si_0.73～0.67O_X的层和作为所述高折射材料的Ti_0.69～0.75Si_0.31～0.25O_X的层交替反复层叠而成，所述第二SWPF部由作为所述低折射材料的Ti_0.27～0.33Si_0.73～0.67O_X的层和作为所述高折射材料的Ti_0.79～0.85Si_0.21～0.15O_X的层交替反复层叠而成，所述第三SWPF部由作为所述低折射材料的Ti_0.27～0.33Si_0.73～0.67O_X的层和作为所述高折射材料的TiO₂的层交替反复层叠而成。

6.根据权利要求4所述的红外线截止滤波器，其特征在于，

所述第一SWPF部由作为所述低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层和作为所述高折射材料的Ti_0.72Si_0.28O_X的层交替反复层叠而成，所述第二SWPF部由作为所述低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层和作为所述高折射材料的Ti_0.82Si_0.18O_X的层交替反复层叠而成，所述第三SWPF部由作为所述低折射材料的Ti_0.3Si_0.7O_X的层和作为所述高折射材料的TiO₂的层交替反复层叠而成。

7.一种摄像装置，具有透镜单元、红外线截止滤波器以及图像传感器，其特征在于，

所述红外线截止滤波器具有反射型滤波器部和吸收型滤波器部，

所述反射型滤波器部具有Ti_xSi_yO多层膜，

所述Ti_xSi_yO多层膜由高折射材料层和低折射材料层交替层叠而形成，

所述高折射材料层与所述低折射材料层在规定波长处的折射率的差为预先确定的规定值。