CN120565477B - 一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备，包括可移动的承载件：支撑部，设于所述承载件；相对设置的夹持机构，均可移动的设于所述支撑部，每个所述夹持机构均包括多个夹持组件，所述夹持组件用于夹持晶圆，且多个所述夹持组件沿竖直方向间隔设置；相对设置的所述夹持机构相互靠近，以使每个所述夹持组件夹持对应的所述晶圆；相对设置的所述夹持机构相互远离，以使每个所述夹持组件松开对应的所述晶圆；翻转件，设于所述承载件，与所述支撑部连接，用于带动所述支撑部和所述夹持机构翻转。晶圆翻转设备，包括晶圆翻转装置，所述晶圆翻转装置设有至少两个，相邻的所述晶圆翻转装置的间隔大于所述晶圆的半径。本发明能够提升晶圆翻转效率。

Description

一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备。

背景技术

在半导体制造过程中，基板（如晶圆）通常需要通过多个处理工位进行加工。由于机器人的活动范围有限，往往需要在各个机器人之间配置移动承载件，以实现基板在不同工位之间的传输。当需要对基板的背面进行处理时，通过独立的基板翻转单元实现基板的正反面翻转。

在现有技术中，翻转单元模块和移动承载单元模块分别为单独的模块，各个模块之间需要通过机械手互相传递联动，基板在传递过程中就极大增加了因各个模块联动消耗的时间，同时每次只能对单个晶圆进行翻转，降低了晶圆翻转效率，从而影响整个机台的产能。

因此，有必要提供一种新型的晶圆翻转装置及晶圆翻转设备，以解决现有技术中存在的上述问题。

发明内容

本申请要解决的技术问题是提供一种能够提升晶圆翻转效率的晶圆翻转装置及晶圆翻转设备。

为解决上述技术问题，根据本申请的实施例，提供一种晶圆翻转装置，包括可移动的承载件：

支撑部，设于所述承载件；

相对设置的夹持机构，均可移动的设于所述支撑部，每个所述夹持机构均包括多个夹持组件，所述夹持组件用于夹持晶圆，且多个所述夹持组件沿竖直方向间隔设置；相对设置的所述夹持机构相互靠近，以使每个所述夹持组件夹持对应的所述晶圆；相对设置的所述夹持机构相互远离，以使每个所述夹持组件松开对应的所述晶圆；

所述夹持组件包括第一夹持装置和第二夹持装置，第一夹持装置包括相对设置的第一夹爪；所述第二夹持装置包括相对设置的第二夹爪；所述第一夹爪用于承载所述晶圆，所述第二夹爪用于在所述第一夹爪承载所述晶圆后沿所述晶圆的径向运动以与所述第一夹爪配合夹持所述晶圆；

翻转件，设于所述承载件，与所述支撑部连接，用于带动所述支撑部和所述夹持机构翻转。

一种晶圆翻转设备，包括晶圆翻转装置，所述晶圆翻转装置设有至少两个，相邻的所述晶圆翻转装置的间隔大于所述晶圆的半径。

通过采用上述技术方案，在承载件上设置多个夹持组件，每个夹持组件能够夹持一个晶圆，使夹持机构能够同步夹持多个晶圆；翻转件能够带动夹持机构翻转，因此当夹持机构夹持晶圆后，翻转件启动，能够带动多个晶圆同步翻转。即在晶圆翻转装置中将可移动的承载件和翻转件结合起来，使承载件在运动的过程中能够带动多个晶圆同步进行翻转，提升了晶圆翻转效率，从而提升了整个机台的产能。

根据本申请的实施例，所述第一夹爪的端部设有第一支板，所述第一支板用于与所述晶圆的其中一个端面接触；所述第二夹爪的端部设有第二支板，所述第二支板在所述第一支板承载所述晶圆后沿所述晶圆的径向运动以与所述第一支板配合夹持所述晶圆。

根据本申请的实施例，所述第一支板设于所述第一夹爪的底部、所述第二支板设于所述第二夹爪的顶部，使所述第一支板与对应的所述第二支板之间形成夹持空间，以夹持所述晶圆。

根据本申请的实施例，所述第一支板设于所述第一夹爪的顶部、所述第二支板设于所述第二夹爪的底部，使所述第一支板与对应的所述第二支板之间形成夹持空间，以夹持所述晶圆。

根据本申请的实施例，所述夹持机构还包括：

第一驱动组件，包括第一带动板和第一驱动件；所述第一带动板用于连接多个所述第一夹持装置；所述第一驱动件设于所述支撑部并与所述第一带动板连接，以驱动所述第一带动板和多个所述第一夹持装置靠近或远离所述晶圆；

第二驱动组件，包括第二带动板和第二驱动件；所述第二带动板用于连接多个所述第二夹持装置；所述第二驱动件设于所述支撑部并与所述第二带动板连接，以驱动所述第二带动板和多个所述第二夹持装置靠近或远离所述晶圆。

根据本申请的实施例，还包括多个检测机构；所述检测机构包括第一发射件和第一接收件；多个所述第一发射件间隔设于其中一个所述第二带动板，且每个所述第一发射件与所述第二夹爪位置对应；多个所述第一接收件间隔设于另一个所述第二带动板，且每个所述第一接收件与所述第二夹爪位置对应；所述第一接收件用于接收所述第一发射件发出的信号，以检测对应的所述夹持组件上是否放置所述晶圆。

根据本申请的实施例，还包括第一移动件，所述第一移动件与所述承载件连接，用于带动所述承载件移动。

根据本申请的实施例，还包括多个第二检测组件，多个所述第二检测组件沿竖直方向间隔设置并与多个所述夹持组件对应；每个所述第二检测组件均包括：

第二发射件，设于所述承载件，用于发射第二检测光线；

第二接收件，设于所述承载件，用于接收所述第二检测光线；

其中，所述第二发射件发出的所述第二检测光线平行于所述晶圆的表面，当所述第二接收件能够接收到所述第二检测光线时，所述晶圆水平；当所述第二接收件不能够接收到所述第二检测光线时，所述晶圆倾斜。

根据本申请的实施例，每个所述夹持组件对应两个所述第二检测组件；相邻两个所述第二检测组件的第二检测光线的光路之间具有第三夹角，所述第三夹角大于0°小于180°。

根据本申请的实施例，所述第一夹爪和所述第二夹爪的材质均为导电聚醚醚酮。

附图说明

图1为本发明实施例的一种晶圆翻转装置的主体结构示意图；

图2为本发明实施例的一种晶圆翻转装置的主体俯视图；

图3为图1中A部分的放大图。

附图标记：

100、承载件；200、支撑部；210、底板；220、侧板；300、夹持组件；310、第一夹持装置；311、第一夹爪；312、第一支板；320、第二夹持装置；321、第二夹爪；322、第二支板；330、第一驱动组件；331、第一带动板；332、第一驱动件；340、第二驱动组件；341、第二带动板；342、第二驱动件；400、翻转件；510、第一发射件；520、第一接收件；610、第二发射件；611、第二检测光线；620、第二接收件；700、第一移动件。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

下面结合附图1-3，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

本发明的实施例提供了一种晶圆翻转装置，晶圆翻转装置能够同时将多个晶圆同步翻转，以提升晶圆的翻转效率，其中，晶圆翻转装置包括可移动的承载件100：

支撑部200，设于承载件100；

相对设置的夹持机构，均可移动的设于支撑部200，每个夹持机构均包括多个夹持组件300，夹持组件300用于夹持晶圆，且多个夹持组件300沿竖直方向间隔设置；相对设置的夹持机构相互靠近，以使每个夹持组件300夹持对应的晶圆；相对设置的夹持机构相互远离，以使每个夹持组件300松开对应的晶圆；

夹持组件包括第一夹持装置310和第二夹持装置320，第一夹持装置310包括相对设置的第一夹爪311；第二夹持装置320包括相对设置的第二夹爪321；第一夹爪311用于承载晶圆，第二夹爪321用于在第一夹爪311承载晶圆后沿晶圆的径向运动以与第一夹爪311配合夹持晶圆；

翻转件400，设于承载件100，与支撑部200连接，用于带动支撑部200和夹持机构翻转。

在一些实施例中，晶圆翻转装置设置于晶圆翻转设备上，晶圆翻转设备具有机台，承载件100可移动的设于机台上，同时晶圆放置在承载件100上，承载件100移动能够带动晶圆同步运动，其具体运动方式在后文介绍。承载件100上设有支撑部200，支撑部200设有两个，且两个支撑部200在承载件100上个相对设置。支撑部200上还设有夹持机构，夹持机构可以在支撑部200上运动；由于两个支撑部200相对设置，因此两个夹持机构也相对设置。同时，夹持机构可以在支撑部200上移动；夹持机构用于夹持晶圆，当相对设置的夹持机构相互靠近时，能够将晶圆夹持；当相对设置的夹持机构相互远离时，能够将晶圆松开。在一些具体的实施例中，承载件100具有承载面，承载面用于设置夹持机构和翻转件400。

在一些具体的实施例中，为了能够同时对多个晶圆进行夹持，设置夹持机构包括多个夹持组件300，每个夹持组件300均能够夹持对应的晶圆，同时多个夹持组件300沿竖直方向间隔设置；更具体的，多个夹持组件300沿竖直方向间隔均匀的设置。当夹持机构运动时，多个夹持组件300同步运动，从而夹持或松开晶圆。具体的，相对设置的夹持机构相互靠近时，相对设置的多个夹持组件300相互靠近，每相对设置的两个夹持组件300能够夹持一个晶圆，因此多个夹持组件300能夹持多个晶圆。

在一些具体的实施例中，支撑部200包括侧板220和底板210，夹持机构可移动的设于支撑部200的底板210，以便于相对设置的夹持机构相互靠近或远离。

在一些更具体的实施例中，为了能够带动多个晶圆翻转，在承载件100上还设置翻转件400，其设置方式可以为粘接、卡接或螺栓固定等，在此不做限制，以翻转件400在承载件100上的位置不会发生变化为主。在一些更具体的实施例中，翻转件400为电机，翻转件400的转轴与支撑部200的侧板220通过键连接的方式连接，使翻转件400启动时，能够带动支撑部200翻转，从而带动多个晶圆同步翻转。更具体的，位于竖直方向的最底部的夹持组件300与承载件100之间的间隔大于晶圆的半径，以减小在翻转过程中晶圆与承载件100端面会发生碰撞的可能。

在一些实施例中，为了便于承载件100的移动，在机台上还设置了第一移动件700。具体的，第一移动件700可以为电缸或气缸或电机等，在此不做限制，以第一移动件700能够带动承载件100移动为主；值得注意的是，当第一移动件700为电机时，第一移动件700与承载件100通过带轮传动的方式连接，即第一移动件700设于机台，第一移动件700的转轴上设有主动带轮，机台上还转动设有从动带轮，主动带轮和从动带轮之间通过传动带连接，同时承载件100与传动带连接，使第一移动件700启动时，能够带动传动带运动，从而带动承载件100运动。第一移动件700固定设于机台，其固定方式可以为粘接、卡接或螺栓固定等，在此不做限制，以第一移动件700在机台上的位置不会发生变化为主，同时第一移动件700与承载件100连接，当第一移动件700启动时，第一移动件700的活塞杆推动承载件100运动，从而使第一检测光线能够照射到晶圆表面的不同位置。更具体的，机台上设有轨道，承载件100可移动的设于轨道，并能够在轨道上沿轨道的长度方向移动，轨道对承载件100具有限位作用，从而限制承载件100的运动方向。在一些具体的实施例中，第一移动件700采用气动方式进行控制时，通过进出气量的调节实现运动速度的控制。

第一夹爪311的端部设有第一支板312，第一支板312用于与晶圆的其中一个端面接触；第二夹爪321的端部设有第二支板322，第二支板322在第一支板312承载晶圆后沿晶圆的径向运动以与第一支板312配合夹持晶圆。

在一些实施例中，为了能够夹持晶圆，且在晶圆翻转后，晶圆不会自主从夹持组件300上脱离，因此设置夹持组件300包括第一夹持装置310和第二夹持装置320，其中第一夹持装置310和第二夹持装置320配合，对晶圆的两个端面进行夹持，从而使晶圆在翻转后不会自主脱离；同时依靠相对设置的支撑部200上设置的夹持组件300，可以保证晶圆夹持的稳定性。

在一些具体的实施例中，第一夹持装置310包括相对设置的第一夹爪311，且相对设置的第一夹爪311关于晶圆的径向对称设置。第一夹爪311的端部设有第一支板312，第一支板312用于与晶圆的其中一个端面接触。

在一些具体的实施例中，第二夹持装置320包括相对设置的第二夹爪321，且相对设置的第二夹爪321关于晶圆的径向对称设置。第二夹爪321的端部设有第二支板322，第一支板312用于与晶圆的另一个端面接触。即第一支板312和第二支板322分别与晶圆的两个端面接触，以夹持晶圆。使晶圆反转后不会自主脱离，为了便于理解，在此以晶圆翻转装置在初始状态时，第一支板312与晶圆的底面接触，第二支板322与晶圆的顶面接触为示例；在晶圆放置过程中，首先将晶圆放置在第一支板312上，相对设置的夹持组件300中的四个第一支板312共同对晶圆进行支撑，晶圆放置后，第二夹持装置320靠近晶圆，使第二夹爪321与晶圆的顶面接触，并与第一夹爪311配合，将晶圆夹持。晶圆翻转后，此时第二夹爪321置于晶圆的下方，支撑晶圆，需要取下晶圆时，第一夹持装置310远离晶圆，此时晶圆的上方不受第一夹爪311的限制，机械手可以将晶圆取下。

第一支板312设于第一夹爪311的底部、第二支板322设于第二夹爪321的顶部，使第一支板312与对应的第二支板322之间形成夹持空间，以夹持晶圆。

在一些实施例中，第一支板312设于第一夹爪311底部，其设置方式可以为粘接、卡接或螺栓固定等，在此不做限制，以二者之间不会发生相对移动为主。第二支板322设于第二夹爪321的顶部，其设置方式可以为粘接、卡接或螺栓固定等，在此不做限制，以二者之间不会发生相对移动为主。第一支板312与第二支板322之间具有间隔，使第一支板312与第二支板322之间形成夹持空间，夹持空间用于容纳晶圆，以使晶圆能被第一支板312和第二支板322夹持。在晶圆放置时，第一支板312对晶圆进行支撑，第二支板322与第一支板312配合，将晶圆夹持；当晶圆翻转后，第二支板322对晶圆进行支撑，第一支板312与第二支板322配合，将晶圆夹持。

第一支板312设于第一夹爪311的顶部、第二支板322设于第二夹爪321的底部，使第一支板312与对应的第二支板322之间形成夹持空间，以夹持晶圆。

在一些实施例中，第一支板312设于第一夹爪311的顶部，其设置方式可以为粘接、卡接或螺栓固定等，在此不做限制，以二者之间不会发生相对移动为主。第二支板322设于第二夹爪321的底部，其设置方式可以为粘接、卡接或螺栓固定等，在此不做限制，以二者之间不会发生相对移动为主。第一支板312与第二支板322之间具有间隔，使第一支板312与第二支板322之间形成夹持空间，夹持空间用于容纳晶圆，以使晶圆能被第一支板312和第二支板322夹持。在晶圆放置时，第二支板322对晶圆进行支撑，第一支板312与第二支板322配合，将晶圆夹持；当晶圆翻转后，第一支板312对晶圆进行支撑，第二支板322与第一支板312配合，将晶圆夹持。

夹持机构还包括：

第一驱动组件330，包括第一带动板331和第一驱动件332；第一带动板331用于连接多个第一夹持装置310；第一驱动件332设于支撑部200并与第一带动板331连接，以驱动第一带动板331和多个第一夹持装置310靠近或远离晶圆；

第二驱动组件340，包括第二带动板341和第二驱动件342；第二带动板341用于连接多个第二夹持装置320；第二驱动件342设于支撑部200并与第二带动板341连接，以驱动第二带动板341和多个第二夹持装置320靠近或远离晶圆。

在一些实施例中，每个支撑部200上的多个第一夹持装置310需要同步移动；每个支撑部200上的多个第二夹持装置320需要同步移动；因此，夹持机构还包括第一驱动组件330和第二驱动组件340，其中第一驱动组件330用于带动多个第一夹持装置310同步运动，以便于多个第一夹持装置310同时靠近或远离晶圆；第二驱动组件340用于带动多个第二夹持装置320同步运动，以便于多个第二夹持装置320同时靠近或远离晶圆。

在一些具体的实施例中，第一驱动组件330包括第一带动板331和第一驱动件332；其中多个第一夹持装置310均设于第一带动板331，多个第一夹持装置310在第一带动板331上沿竖直方向间隔均匀的设置，在第一带动板331移动时，带动多个第一夹持装置310同步移动，从而带动对应的第一夹爪311移动。第一驱动件332设于支撑部200的底板210，其设置方式可以为粘接、卡接或螺栓固定等，在此不做限制，以第一驱动件332在支撑部200的底板210上的位置不会发生变化为主。第一驱动件332与第一带动板331连接，使第一驱动件332启动时，能够带动第一带动板331靠近或远离晶圆，以使多个第一夹爪311靠近或远离晶圆，以便于夹持对应的晶圆。

在一些更具体的实施例中，第一驱动件332可以为气缸或电缸，在此不做限制，以第一驱动件332能够带动第一带动板331在支撑部200的底板210上运动为主。

在一些具体的实施例中，第二驱动组件340包括第二带动板341和第二驱动件342；其中多个第二夹持装置320均设于第二带动板341，多个第二夹持装置320在第二带动板341上沿竖直方向间隔均匀的设置，在第二带动板341移动时，带动多个第二夹持装置320同步移动，从而带动对应的第二夹爪321移动。第二驱动件342设于支撑部200的底板210，其设置方式可以为粘接、卡接或螺栓固定等，在此不做限制，以第二驱动件342在支撑部200的底板210上的位置不会发生变化为主。第二驱动件342与第二带动板341连接，使第二驱动件342启动时，能够带动第二带动板341靠近或远离晶圆，以使多个第二夹爪321靠近或远离晶圆，以便于夹持对应的晶圆。

在一些更具体的实施例中，第二驱动件342可以为气缸或电缸，在此不做限制，以第二驱动件342能够带动第一带动板331在支撑部200的底板210上运动为主。

在一些更具体的实施例中，第二带动板341的长度小于第一带动板331的长度，且第二带动板341置于第一带动板331和晶圆之间。为了支撑部200的底板210上的第二驱动件342能够与第二带动板341连接，在第一带动板331上开设有槽，且该槽沿第一带动板331厚度方向将第一带动板331贯穿，以便于第二驱动件342与第二带动板341连接。

晶圆翻转装置还包括多个检测机构；检测机构包括第一发射件510和第一接收件520；多个第一发射件510间隔设于其中一个第二带动板341，且每个第一发射件510与第二夹爪321位置对应；多个第一接收件520间隔设于另一个第二带动板341，且每个第一接收件520与第二夹爪321位置对应；第一接收件520用于接收第一发射件510发出的信号，以检测对应的夹持组件300上是否放置晶圆。

在一些实施例中，晶圆放置后，还需要检测夹持组件300上是否夹持了晶圆。因此晶圆翻转装置还包括多个检测机构，其中检测机构包括第一发射件510和第一接收件520，第一发射件510用于发射信号，第一接收件520用于接收第一发射件510发射的型号。同时第一发射件510和第一接收件520分别置于晶圆的两侧，当第一夹爪311上放置晶圆时，第一发射件510发出的信号会被晶圆阻挡，当第一夹爪311上没有放置晶圆时，第一发射件510发出的信号不会被晶圆阻挡。即当第一接收件520能够接收到第一发射件510发出的信号时，说明此时对应的第一夹爪311上没有放置晶圆；此时将晶圆放置在夹持组件300的第一夹爪311上，晶圆将第一发射件510发出的信号遮挡，第一接收件520无法接收第一发射件510发出的信号，代表此时第一夹爪311上放置有晶圆；此时控制第二夹爪321朝向晶圆运动以将晶圆夹持。除此之外，支撑部200上还设有传感器（图中未示出），传感器用于检测第一夹爪311和第二夹爪321的位置（其为现有技术，在此不做赘述），以判定第一夹爪311和第二夹爪321的夹持是否到位，当其夹持到位时，启动翻转件400以带动多个晶圆翻转。

在一些具体的实施例中，第一发射件510和第一接收件520相对设置，即第一发射件510设于其中一个第二带动板341上，第一接收件520设于另一个第二带动板341上，从而使第一发射件510与第一接收件520相对设置。更具体的，多个第一发射件510在对应的第二带动板341上沿竖直方向间隔设置，且多个第一发射件510与多个夹持组件300一一对应。多个第一接收件520在对应的第二带动板341上沿竖直方向间隔设置，且多个第一接收件520与多个夹持组件300一一对应。以使多个检测机构与多个夹持组件300一一对应，每个检测机构能够检测对应第一夹爪311上是否放置晶圆。

在一些更具体的实施例中，第一发射件510和第一接收件520共同形成对射式传感器，第一发射件510用于发射激光，第一接收件520用于接收第一发射件510发出的激光。

晶圆翻转装置还包括多个第二检测组件，多个第二检测组件沿竖直方向间隔设置并与多个夹持组件300对应；每个第二检测组件均包括：

第二发射件610，设于承载件100，用于发射第二检测光线611；

第二接收件620，设于承载件100，用于接收第二检测光线611；

其中，第二发射件610发出的第二检测光线611平行于晶圆的表面，当第二接收件620能够接收到第二检测光线611时，晶圆水平；当第二接收件620不能够接收到第二检测光线611时，晶圆倾斜。

在一些实施例中，夹持组件300将晶圆夹持后，还需要检测每个夹持组件300上的晶圆是否呈水平设置，因此设置第二检测组件；

在一些具体的实施例中，第二检测组件包括第二发射件610和第二接收件620；其中，第二发射件610用于发射第二检测光线611，第二接收件620用于接收第二发射件610发出的第二检测光线611。更具体的，第二发射件610和第二接收件620均水平设置，使第二检测光线611呈水平状态。同时，第二检测光线611与晶圆表面之间的间隔小于晶圆的半径。为了能够更准确的检测晶圆的状态，设置第二检测光线611尽量贴合晶圆表面。在一些实施例中，第二检测光线611贴合于晶圆表面。

在一些更具体的实施例中，多个第二检测组件的第二检测光线611的光路可以平行，也可以相交。

在一些更具体的实施例中，第二发射件610和第二接收件620共同形成对射式传感器，第二发射件610用于发射激光，第二接收件620用于接收第二发射件610发出的激光。

在一些更具体的实施例中，由于晶圆有多个，因此对于每个位置的晶圆都需要进行检测，因此多个第二检测组件沿竖直方向间隔均匀的分布，且多个第二检测组件与多个夹持组件300一一对应，使每个晶圆都能被对应的第二检测组件检测。

在一些更具体的实施例中，当晶圆水平时，第二检测光线611不会受到晶圆的干涉，此时第二接收件620能够接收到第二发射件610发出的第二检测光线611。当晶圆倾斜时，倾斜的晶圆将第二检测光线611阻挡，此时第二接收件620无法接收到第二发射件610发出的第二检测光线611；因此当第二接收件620无法接收到第二发射件610发出的第二检测光线611时，可以判定晶圆倾斜。

在一些更具体的实施例中，每个晶圆仅靠单一的第二检测组件无法实现精确的检测，因此设置每个夹持组件300对应两个第二检测组件，即每个晶圆对应两个第二夹持组件300。此时两个第二检测组件中的第二检测光线611的光路可以平行也可以相交，当其平行时，当晶圆倾斜角度过大时不会遮挡第二检测光线611；因此设置二者相交，即相邻两个第二检测组件的第二检测光线611的光路之间具有第三夹角，第三夹角大于0°小于180°。即相邻两个第二检测组件的第二检测光线611的光路相交；改善了由于光路平行而导致的当晶圆倾斜角度过大时不会遮挡第二检测光线611的问题。更具体的，本申请中设置两个第二检测组件，第三夹角为90°。使两个第二检测组件的第二检测光线611的光路垂直，此时无论晶圆沿哪个方向倾斜，都可以被第二检测组件检测到，提升了检测的准确性。

第一夹爪311和第二夹爪321的材质均为导电聚醚醚酮。

在一些实施例中，第一夹爪311和第二夹爪321的材质均为导电聚醚醚酮的材质。具体的，导电聚醚醚酮是指在聚醚醚酮基体中加入导电填料，从而赋予其导电性能的复合材料。其为现有技术，在此不做赘述。

本申请实施例还公开了一种晶圆翻转设备，包括上述晶圆翻转装置，所述晶圆翻转装置设有至少两个，相邻的所述晶圆翻转装置的间隔大于所述晶圆的半径。

在一些实施例中，晶圆翻转设备包括机台，晶圆翻转装置设置在机台上，其可以设置两个、三个或更多数量，在此不做限制，在实际使用过程中，根据实际使用的需求确定晶圆翻转装置的数量。

在一些实施例中，多个晶圆翻转装置在机台上沿水平方向间隔均匀的分布。

在一些实施例中，多个晶圆翻转装置在机台上沿竖直方向间隔均匀的分布。

在一些具体的实施例中，相邻的两个晶圆翻转装置之间的间隔大于晶圆的半径，以减小在晶圆翻转过程中，相邻晶圆翻转装置上的晶圆相互碰撞的可能。

本申请实施例一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备的实施原理为，将多个晶圆通过机械手放置在夹持组件300上进行夹持，为了便于理解，此处以第一支板312支撑晶圆为示例，通过机械手将多个晶圆分别放置在对应的第一支板312上，机械手沿垂直于相对设置的连接部的方向进行晶圆放置，使多个晶圆能够同时被放置；晶圆放置完成后，控制第二夹爪321移动，使第二支板322与第一支板312配合，将晶圆夹持。启动翻转件400，使多个晶圆同步翻转，翻转完成后，第二支板322支撑晶圆，第一支板312与第二支板322配合夹持晶圆。需要取下晶圆时，控制第一夹爪311远离晶圆，机械手带动多个晶圆同步离开第二夹爪321。

虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (9)

1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括可移动的承载件(100)：

支撑部(200)，设于所述承载件(100)；

相对设置的夹持机构，均可移动的设于所述支撑部(200)，每个所述夹持机构均包括多个夹持组件(300)，所述夹持组件(300)用于夹持晶圆，且多个所述夹持组件(300)沿竖直方向间隔设置；相对设置的所述夹持机构相互靠近，以使每个所述夹持组件(300)夹持对应的所述晶圆；相对设置的所述夹持机构相互远离，以使每个所述夹持组件(300)松开对应的所述晶圆；

所述夹持组件(300)包括第一夹持装置(310)和第二夹持装置(320)，第一夹持装置(310)包括相对设置的第一夹爪(311)；所述第二夹持装置(320)包括相对设置的第二夹爪(321)；所述第一夹爪(311)用于承载所述晶圆，所述第二夹爪(321)用于在所述第一夹爪(311)承载所述晶圆后沿所述晶圆的径向运动以与所述第一夹爪(311)配合夹持所述晶圆；

翻转件(400)，设于所述承载件(100)，与所述支撑部(200)连接，用于带动所述支撑部(200)和所述夹持机构翻转；

所述第一夹爪(311)的端部设有第一支板(312)，所述第一支板(312)用于与所述晶圆的其中一个端面接触；所述第二夹爪(321)的端部设有第二支板(322)，所述第二支板(322)在所述第一支板(312)承载所述晶圆后沿所述晶圆的径向运动以与所述第一支板(312)配合夹持所述晶圆；

所述夹持机构还包括：

第一驱动组件(330)，包括第一带动板(331)和第一驱动件(332)；所述第一带动板(331)用于连接多个所述第一夹持装置(310)；所述第一驱动件(332)设于所述支撑部(200)并与所述第一带动板(331)连接，以驱动所述第一带动板(331)和多个所述第一夹持装置(310)靠近或远离所述晶圆；

第二驱动组件(340)，包括第二带动板(341)和第二驱动件(342)；所述第二带动板(341)用于连接多个所述第二夹持装置(320)；所述第二驱动件(342)设于所述支撑部(200)并与所述第二带动板(341)连接，以驱动所述第二带动板(341)和多个所述第二夹持装置(320)靠近或远离所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述第一支板(312)设于所述第一夹爪(311)的底部、所述第二支板(322)设于所述第二夹爪(321)的顶部，使所述第一支板(312)与对应的所述第二支板(322)之间形成夹持空间，以夹持所述晶圆。

3.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述第一支板(312)设于所述第一夹爪(311)的顶部、所述第二支板(322)设于所述第二夹爪(321)的底部，使所述第一支板(312)与对应的所述第二支板(322)之间形成夹持空间，以夹持所述晶圆。

4.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，还包括多个检测机构；所述检测机构包括第一发射件(510)和第一接收件(520)；多个所述第一发射件(510)间隔设于其中一个所述第二带动板(341)，且每个所述第一发射件(510)与所述第二夹爪(321)位置对应；多个所述第一接收件(520)间隔设于另一个所述第二带动板(341)，且每个所述第一接收件(520)与所述第二夹爪(321)位置对应；所述第一接收件(520)用于接收所述第一发射件(510)发出的信号，以检测对应的所述夹持组件(300)上是否放置所述晶圆。

5.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，还包括第一移动件(700)，所述第一移动件(700)与所述承载件(100)连接，用于带动所述承载件(100)移动。

6.根据权利要求1-5任一所述的晶圆翻转装置，其特征在于，还包括多个第二检测组件，多个所述第二检测组件沿竖直方向间隔设置并与多个所述夹持组件(300)对应；每个所述第二检测组件均包括：

第二发射件(610)，设于所述承载件(100)，用于发射第二检测光线(611)；

第二接收件(620)，设于所述承载件(100)，用于接收所述第二检测光线(611)；

其中，所述第二发射件(610)发出的所述第二检测光线(611)平行于所述晶圆的表面，当所述第二接收件(620)能够接收到所述第二检测光线(611)时，所述晶圆水平；当所述第二接收件(620)不能够接收到所述第二检测光线(611)时，所述晶圆倾斜。

7.根据权利要求6所述的晶圆翻转装置，其特征在于，每个所述夹持组件(300)对应两个所述第二检测组件；相邻两个所述第二检测组件的第二检测光线(611)的光路之间具有第三夹角，所述第三夹角大于0°小于180°。

8.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述第一夹爪(311)和所述第二夹爪(321)的材质均为导电聚醚醚酮。

9.一种晶圆翻转设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一所述的晶圆翻转装置，所述晶圆翻转装置设有至少两个，相邻的所述晶圆翻转装置的间隔大于所述晶圆的半径。