CN1297373C - 六自由度大行程、高精度柔性并联机器人 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种并联式高精度位置调整机器人——六自由度大行程、高精度柔性并联机器人。它由上平台(1)、六组相同的支链(3)、六组相同的驱动装置(4)和基座(6)组成，支链(3)均匀布置在上平台(1)和基座(6)之间，驱动装置(4)设置在基座(6)上，支链(3)由刚性杆(7)和大行程柔性铰链(5)组成，(3)上端的(5)连接在上平台(1)上，(3)下端的(5)连接在驱动装置(4)上，(5)由铰支杆(5-1)和位于铰支杆(5-1)两端部的紧固件(5-2)组成。本发明在工作时，驱动装置(4)通过在支链(3)的下端驱动支链(3)转动从而完成上平台(1)位置和姿态的调整，运动位移完全由柔性铰链变形得到，工作中由于有预紧力，消除了驱动端的间隙。使得系统可在厘米级的运动范围内得到亚微米级的分辨率和运动精度。
Description
技术领域
本发明涉及一种并联式高精度位置调整机器人。
背景技术
目前，普通的刚性并联式位置调整装置通常采用转动副、移动副等常规运动副机构，不可避免的在驱动、被动关节等处引入间隙、爬行等误差，这是非常难以控制的误差来源。为解决上述问题，现有的设计中通常采用柔性铰链代替各种常规运动副。现通用的柔性球铰链多为采用线切割或其他加工方法加工而成的如图1所示的“小行程”柔性铰链，其特点为线位移常在微米级，角位移在1°以下。因此，虽然精度得到了显著提高，但随之带来的问题是：由于柔性铰链的变形有限，导致调整装置的运动范围极小，通常在立方微米级，不适用于既要求高精度，又要求大运动范围的应用场合。
发明内容
本发明的目的就是提供一种既可达到相对较大(厘米级)的运动范围，又能得到亚微米级运动精度的并联式位置调整机器人。实现本发明目的的技术方案是：一种六自由度大行程、高精度柔性并联机器人，它由上平台1、六组相同的支链3、六组相同的驱动装置4和基座6组成，支链3均匀布置在上平台1和基座6之间，驱动装置4设置在基座6上，支链3由刚性杆7和大行程柔性铰链5组成，支链3上端的大行程柔性铰链5连接在上平台1上，支链3下端的大行程柔性铰链5连接在驱动装置4上，大行程柔性铰链5由铰支杆5-1和位于铰支杆5-1两端部的紧固件5-2组成。驱动装置4由压电马达4-1、导轨4-2、滑台4-3、滑块4-5、滚动体4-6和摩擦带4-4组成，导轨4-2水平方向设置在基座6的上表面上，导轨4-2、滑块4-5和滚动体4-6组成直线移动副，滑台4-3固连在滑块4-5上，滑台4-3与大行程柔性铰链5的下端固连，滑台4-3的侧面上水平方向粘接有摩擦带4-4，压电马达4-1的摩擦指4-1-1压紧在摩擦带4-4的表面上。本发明在工作时，驱动装置4通过在支链3的下端驱动支链3转动从而完成上平台1位置和姿态的调整，采用如图2所示的大行程柔性铰链(直径0.9mm、长度12mm、材料为铍青铜)，通过铰支杆5-1变形，其线位移可达毫米级、角位移可达3°以上，能得到三个线调整位移和三个转角调整位移。当与柔性铰链相连的刚性杆比较长时，刚性杆的末端点线位移更可达到相对较大(厘米级)的运动范围。被动关节采用固定连接方式的大行程柔性铰链，其运动位移完全由柔性铰链变形得到，使被动关节的间隙问题得到解决。驱动端采用压电马达驱动，由于压电马达的工作特性(驱动指靠摩擦原理驱动滑台直线运动)，即工作中由于有预紧力，使得导轨滑块与滚动体、滚动体与导轨之间始终保持紧密接触，这样也从根本上消除了驱动端的间隙。从而使位置调整机构整体系统达到了无间隙。由于系统中配合使用精度及分辨率极高的驱动元件——压电马达和位移检测元件——精密光栅，使得系统可在厘米级的运动范围内得到亚微米级的分辨率和运动精度。
附图说明
图1是已有的“小行程”柔性铰链的结构示意图，图2是本发明中大行程柔性铰链的结构示意图，图3是本发明的立体结构示意图，图4是本发明支链3的结构示意图，图5是实施方式三的立体结构示意图，图6是实施方式三的结构示意图，图7是图6中I处的放大示意图，图8是实施方式五的结构示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：下面结合图3和图4具体说明本实施方式。它由上平台1、六组相同的支链3、六组相同的驱动装置4和基座6组成，支链3均匀布置在上平台1和基座6之间，驱动装置4设置在基座6上，支链3由刚性杆7和大行程柔性铰链5组成，支链3上端的大行程柔性铰链5连接在上平台1上，支链3下端的大行程柔性铰链5连接在驱动装置4上，大行程柔性铰链5由铰支杆5-1和位于铰支杆5-1两端部的紧固件5-2组成。
具体实施方式二：本实施方式与实施方式一的不同点是，铰支杆5-1为铍青铜材质的杆体，其直径为0.8～1.2毫米，长度为10～14毫米。
具体实施方式三：下面结合图3、图5、图6和图7具体说明本实施方式。本实施方式与实施方式一的不同点是：驱动装置4由压电马达4-1、导轨4-2、滑台4-3、滑块4-5、滚动体4-6和摩擦带4-4组成，导轨4-2水平方向设置在基座6的上表面上，导轨4-2、滑块4-5和滚动体4-6组成直线移动副，滑台4-3固连在滑块4-5上，滑台4-3与大行程柔性铰链5的下端固连，滑台4-3的侧面上水平方向粘接有摩擦带4-4，压电马达4-1的摩擦指4-1-1压紧在摩擦带4-4的表面上。驱动装置4采用压电马达驱动，由于压电马达的工作特性(驱动指靠摩擦原理驱动滑台直线运动)，即工作中由于有预紧力，使得导轨滑块与滚动体、滚动体与导轨之间始终保持紧密接触，这样也从根本上消除了驱动端的间隙。由于系统中配合使用精度及分辨率极高的驱动元件——压电马达作为驱动器；并且其中位移检测元件为精密光栅，最终使得系统可在厘米级的运动范围内得到亚微米的分辨率和运动精度。
具体实施方式四：下面结合图6具体说明本实施方式。本实施方式与实施方式三的不同点是：它还包括精密光栅，精密光栅的读数头8-1与滑台4-3固连，精密光栅的刻度尺8-2固接在基座6上。如此设置，能精确地控制位置调整。
具体实施方式五：下面结合图8具体说明本实施方式。本实施方式与实施方式三的不同点是：驱动装置4由电机4-8、联轴器4-9、转动部件4-10、导轨4-11、滑块4-12、滑台4-13和架体4-14组成，架体4-14固连在基座6的上表面上，导轨4-11和电机4-8固连在架体4-14上，转动部件4-10与滑块4-12组成丝杠螺母传动机构，滑台4-13与滑块4-12固连，导轨4-11为滑块4-12提供垂直方向的导向，滑台4-13与大行程柔性铰链5的下端固连，导轨4-11垂直于基座6的上表面。如此设置，驱动装置4完成垂直方向对支链3的驱动。
Claims (3)
1、一种六自由度大行程、高精度柔性并联机器人，它由上平台(1)、六组相同的支链(3)、六组相同的驱动装置(4)和基座(6)组成，支链(3)均匀布置在上平台(1)和基座(6)之间，驱动装置(4)设置在基座(6)上，其特征是支链(3)由刚性杆(7)和大行程柔性铰链(5)组成，支链(3)上端的大行程柔性铰链(5)连接在上平台(1)上，支链(3)下端的大行程柔性铰链(5)连接在驱动装置(4)上，大行程柔性铰链(5)由铰支杆(5-1)和位于铰支杆(5-1)两端部的紧固件(5-2)组成；驱动装置(4)由压电马达(4-1)、导轨(4-2)、滑台(4-3)、滑块(4-5)、滚动体(4-6)和摩擦带(4-4)组成，导轨(4-2)水平方向设置在基座(6)的上表面上，导轨(4-2)、滑块(4-5)和滚动体(4-6)组成直线移动副，滑台(4-3)固连在滑块(4-5)上，滑台(4-3)与大行程柔性铰链(5)的下端固连，滑台(4-3)的侧面上水平方向粘接有摩擦带(4-4)，压电马达(4-1)的摩擦指(4-1-1)压紧在摩擦带(4-4)的表面上。
2、根据权利要求1所述的六自由度大行程、高精度柔性并联机器人，其特征是铰支杆(5-1)为铍青铜材质的杆体，其直径为0.8～1.2毫米，长度为10～14毫米。
3、根据权利要求1所述的六自由度大行程、高精度柔性并联机器人，其特征是它还包括精密光栅，精密光栅的读数头(8-1)与滑台(4-3)固连，精密光栅的刻度尺(8-2)固接在基座(6)上。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100360285C (zh) * | 2006-02-28 | 2008-01-09 | 浙江工业大学 | 一种六自由度钢带并联机器人机构 |
| CN100446939C (zh) * | 2006-10-13 | 2008-12-31 | 北京理工大学 | 一种宏/微结合的12自由度微装配系统 |
| CN103111827B (zh) * | 2013-02-04 | 2016-02-03 | 中联重科股份有限公司 | 核电主泵拆装装置 |
| CN104002299B (zh) * | 2014-05-12 | 2015-09-30 | 西安理工大学 | 六自由度并联微平台 |
| CN104867381B (zh) * | 2014-12-23 | 2018-08-28 | 北京功顺达仿生机械有限公司 | 动态形变几何机构 |
| CN106080834A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-11-09 | 清华大学 | 可姿态调整和操作的移动机器人 |
| CN106313002A (zh) * | 2016-09-13 | 2017-01-11 | 浙江理工大学 | 一种大行程高精度的空间六自由度柔顺并联机构 |
| CN107043932B (zh) * | 2016-11-22 | 2020-02-14 | 浙江工业大学 | 一种双激光强化涂覆装置 |
| CN109502542B (zh) * | 2018-10-23 | 2020-07-10 | 广东工业大学 | 一种基于柔顺并联机构的多自由度纳米定位平台 |
| CN110091314B (zh) * | 2019-04-26 | 2020-11-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 多自由度并联机器人 |
| CN110727077A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-01-24 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种基于柔性铰链的质心驱动调焦机构 |
| CN111421524B (zh) * | 2020-04-10 | 2021-05-18 | 燕山大学 | 五自由度工业机械臂 |
| CN114123851A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-03-01 | 散裂中子源科学中心 | 一种六自由度调姿平台 |
| CN115256342A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-11-01 | 燕山大学 | 一种用于微型机器人的小体积大转角柔性铰链及制备方法 |
| CN118143912B (zh) * | 2024-01-29 | 2024-12-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种大行程纳米级并联调整平台 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2075574U (zh) * | 1990-10-27 | 1991-04-24 | 东北重型机械学院秦皇岛分校 | 一种并联多环结构机器人 |
| CN1410231A (zh) * | 2001-09-29 | 2003-04-16 | 四川大学 | 新型混联微动机器人 |
| JP2003172418A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Koji Kondo | パラレルメカニズムロボットアーム（３） |
| CN2576434Y (zh) * | 2002-11-18 | 2003-10-01 | 哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司 | 六自由度精密并联机器人 |
| CN1472046A (zh) * | 2003-07-16 | 2004-02-04 | 刘辛军 | 并联机器人连接分支结构及六自由度并联机器人机构 |
-
2004
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2075574U (zh) * | 1990-10-27 | 1991-04-24 | 东北重型机械学院秦皇岛分校 | 一种并联多环结构机器人 |
| CN1410231A (zh) * | 2001-09-29 | 2003-04-16 | 四川大学 | 新型混联微动机器人 |
| JP2003172418A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Koji Kondo | パラレルメカニズムロボットアーム（３） |
| CN2576434Y (zh) * | 2002-11-18 | 2003-10-01 | 哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司 | 六自由度精密并联机器人 |
| CN1472046A (zh) * | 2003-07-16 | 2004-02-04 | 刘辛军 | 并联机器人连接分支结构及六自由度并联机器人机构 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100436844C (zh) * | 2007-04-05 | 2008-11-26 | 北京航空航天大学 | 用于柔性弧形滑轨的具有虚拟远程运动中心的柔性铰链 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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