CN113437002A - 装载端口及控制方法 - Google Patents

Abstract

一种装载端口及控制方法，在向容器内供给气体进行净化时，防止气体向容器外泄露，在短时间内进行净化。装载端口具备停靠板、具有基板可出入的开口部的端口板和使上述停靠板在停靠位置和非停靠位置之间移动的移动机构，其中，具备气体供给喷嘴单元和按压组件，该气体供给喷嘴单元设置在上述停靠板上，向上述容器的内部供给气体，该按压组件设置在上述停靠板的上方，将载置在上述停靠板上的上述容器向下方压附，上述按压组件包括抵接部件和驱动机构，该抵接部件与载置在上述停靠板上的上述容器抵接，该驱动机构使上述抵接部件在从上述容器离开间隔的第一位置和与上述容器抵接的第二位置之间移动。

Description

装载端口及控制方法

技术领域

本发明涉及一种装载端口及控制方法。

背景技术

收容半导体晶圆等基板的FOUP等容器已被公知。这样的容器，在配备在基板输送装置上的装载端口中进行开闭，进行内部的基板的出入(专利文献1～3)。在基板的出入时，将氮气等向气体容器内供给对容器内进行净化，这样的技术已被提出(专利文献3)。通过向容器内供给比大气压高的气体使容器内成为正压，例如能抑制颗粒的向容器内的侵入。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2018－6705号公报

【专利文献2】日本专利第6038476号公报

【专利文献3】日本专利第4328123号公报

发明内容

发明所要解决的课题

作为在更短时间内进行容器内的净化的方法，可以考虑使向容器内供给气体时的每单位时间的气体的供给量变多，即，使供给流速变快或者使供给压力变高的方法。如果使气体的供给流速变快，或者使供给压力变高，则容器的净化端口从气体供给喷嘴浮起的紧密接触性下降，存在气体不进入净化端口内而向容器外泄露的危险。因此，使设置在气体供给喷嘴单元上的弹性部件的弹性力增大，使气体供给喷嘴和净化端口的紧密接触性提高来防止气体的泄露是有效的。但是，如果弹性部件的弹性力大，则在将容器载置在停靠板上的情况下，存在容器从停靠板成为漂浮倾向的可能性。在停靠板上，设置了将被载置的容器锁定在停靠板上的锁定机构，但如果在容器漂浮的状态不变地使锁定机构工作，则存在锁定机构的卡合爪不与容器的卡合槽卡合(未到达)而落空(不能锁定)的可能性。

本发明的目的在于提供一种在向容器内供给气体进行净化时可防止气体向容器外泄露，并在短时间内进行净化的装载端口。

为了解决课题的手段

根据本发明，提供一种装载端口，其具备停靠板、端口板和移动机构，

该停靠板载置收容基板的容器，

该端口板具有上述基板可出入的开口部，

该移动机构使上述停靠板在与上述端口板接近的停靠位置和从上述端口板离开间隔的非停靠位置之间移动，

该装载端口的特征在于，

具备气体供给喷嘴单元和按压组件，

该气体供给喷嘴单元设置在上述停靠板上，与载置在上述停靠板上的上述容器的底面抵接，向上述容器的内部供给气体，

该按压组件设置在上述停靠板的上方，将载置在上述停靠板上的上述容器向下方压附，

上述按压组件包括抵接部件和驱动机构，

该抵接部件与载置在上述停靠板上的上述容器抵接，

该驱动机构使上述抵接部件在从上述容器离开间隔的第一位置和与上述容器抵接的第二位置之间移动。

另外，根据本发明，提供一种一种装载端口的控制方法，其特征在于，

上述装载端口具备停靠板、端口板、移动机构、气体供给喷嘴单元和按压组件，

该停靠板载置收容基板的容器，

该端口板具有上述基板可出入的开口部，

该移动机构使上述停靠板在与上述端口板接近的停靠位置和从上述端口板离开间隔的非停靠位置之间移动，

该气体供给喷嘴单元设置在上述停靠板上，与载置在上述停靠板上的上述容器的底面抵接，向上述容器的内部供给气体，

该按压组件设置在上述停靠板的上方，将载置在上述停靠板上的上述容器向下方压附，

上述控制方法具备如下的工序：

使上述按压组件与载置在位于上述非停靠位置的上述停靠板上的上述容器抵接，将上述容器向上述停靠板压附的第一压附工序；

在上述第一压附工序后，由上述停靠板具备的锁定机构将上述容器固定在上述停靠板上的工序；

在上述固定的工序后，使上述按压组件从上述容器离开间隔的工序；

在上述离开间隔的工序后，由上述移动机构使上述停靠板从上述非停靠位置向上述停靠位置移动的工序；

使上述按压组件再次与位于上述停靠位置的上述停靠板上的上述容器抵接，将上述容器向上述停靠板压附的第二压附工序；和

在上述第二压附工序后，从与上述容器的底面抵接的上述气体供给喷嘴单元向上述容器内供给气体，由上述气体对上述容器内进行净化的工序。

发明的效果

根据本发明，在向容器内供给气体进行净化时，能防止气体向容器外泄露，在短时间内进行净化。

附图说明

图1是有本关发明的一实施方式的装载端口的外观图。

图2是表示图1的装载端口的内部机构及使用例的图。

图3(A)至(C)是表示停靠板的位移状态的图。

图4(A)至(C)是喷嘴单元的俯视图、主视图及侧视图。

图5是图4(C)的A－A线剖视图。

图6(A)是按压单元的说明图，(B)是图6(A)的B－B线剖视图。

图7(A)是按压单元的空气压回路图，(B)是表示抵接部件的其它的形状例的剖视图。

图8(A)及(B)是图1的装载端口的动作说明图。

图9(A)至(C)是图1的装载端口的动作说明图。

图10(A)至(C)是图1的装载端口的动作说明图。

图11(A)是按压单元的其它的结构例的说明图，(B)是图11(A)的C－C线剖视图。

图12(A)及(B)是使用了图11(A)的按压单元的装载端口的动作说明图。

图13(A)至(C)是使用了图11(A)的按压单元的装载端口的动作说明图。

图14(A)至(C)是使用了图11(A)的按压单元的装载端口的动作说明图。

具体实施方式

为了实施发明的方式

以下、参照附图，详细地进行说明实施方式。另外，以下的实施方式不是限定于权利要求书的发明，另外在实施方式中说明的特征的组合不全部是对发明所必须的特征。在实施方式中说明的多个特征之中的两个以上的特征也可以任意的组合。另外，对相同或者同样的结构附加相同的参照符号，重复的说明省略。

＜第一实施方式＞

＜装置的概要＞

图1是有关本发明的一实施方式的装载端口1的外观图。图2是将容器载置在装载端口1上时的截面模式图及部分放大图。在各图中，箭头X及Y表示相互地正交的水平方向，箭头Z表示上下方向。另外，X方向之中的PP表示端口板2的一侧。这些箭头的意思在其它的图中也同样。

装载端口1是开闭FOUP等容器5的装置。容器5具有容器主体50、盖(门)51和手柄52，容器主体50在侧部具有使导体晶圆等基板W进行出入的开口部50a，盖(门)51装拆自由地安装在开口部50a，堵塞开口部50a，手柄52是在半导体制造工厂中的天棚输送装置(OHT)把持的部分，此外，图2表示由装载端口1从容器主体50卸下盖51，基板输送机器人6可存取容器5内的基板W的状态(开放状态)。

装载端口1包括端口板2、载置容器5的载置台3、支承载置台3的支承部4、支承在端口板2的上部并设置在支承部4的上部的按压单元9。端口板2是在Z方向延伸的板状的壁体。端口板2包括卸下的盖51可在X方向通过的开口部2a。装载端口1在基板输送装置PA的内部至少安装1台进行基板W的输送的基板输送机器人6。基板输送机器人6相对于载置装载端口1上的容器5进行基板W的搬出及搬入。基板输送机器人6包括保持基板W的端执行器60、至少进退移动自由地保持端执行器60的多关节臂61和进行多关节臂61的进退移动、回转及升降的驱动单元62。在处于上述开放状态时，通过使基板输送机器人6向在基板输送装置PA侧开口的容器主体50的内部进入，进行基板W的搬出及搬入。

载置台3具备载置容器5的停靠板30。在停靠板30上，设置了在对容器5进行定位的同时进行支承的多个定位销(运动销)31、用于检测容器5的在位的在位传感器(未图示)。另外，在停靠板30上，设置了将载置在停靠板30上的容器5锁定在停靠板30上的锁定机构32。锁定机构32具有卡合爪32a和使卡合爪32a转动的驱动机构32b。驱动机构32b固定在停靠板30的下面上，是将马达或电磁螺线管、气缸等作为驱动源的机构。卡合爪32a在通过形成在停靠板30上的狭缝30a出没于停靠板30上的锁定位置和收容在狭缝30a内的退避位置进行转动。在锁定位置，卡合爪32a与形成在容器5的底部的卡合槽50a卡合，将容器5固定在停靠板30上。

在停靠板30上，另外设置了排气喷嘴单元7和气体供给喷嘴单元8。在本实施方式的情况下，分别设置了两个排气喷嘴单元7和气体供给喷嘴单元8。排气喷嘴单元7是用于将氮气等不活性气体相对于容器5排出的单元，气体供给喷嘴单元8是用于将氮气等不活性气体相对于容器5供给的单元。

排气喷嘴单元7是与由喷射管等构成的未图示的排气装置连接而吸引气体的喷嘴单元，与设置在容器5的底面上的排气阀部(未图示)抵接，将容器5内的气体向外部排出。气体供给喷嘴单元8是将正压的气体(不活性气体)由未图示的气体供给装置进行高压(或高速)喷射的喷嘴单元，与设置在容器5的底面上的供气阀部(未图示)抵接，向容器5内供给气体。能由排气喷嘴单元7和气体供给喷嘴单元8对容器5内的环境气体以不活性气体进行净化，抑制基板W的氧化、颗粒的向容器5内的侵入。

在载置台3中，内置了使停靠板30绕Z轴旋转的驱动机构33和与驱动机构33一起使停靠板30在X方向位移的驱动机构34。驱动机构33，例如，具备马达、旋转动作执行器等驱动源、支承停靠板30的支承单元35、由驱动源的驱动力使支承单元35旋转的皮带传动机构和齿轮机构等传递机构。驱动机构34具备气缸、电动缸、马达等驱动源、与驱动机构33一起支承停靠板30的支承单元35和由驱动源的驱动力使支承单元35在X方向进行往复的缸机构、滚珠丝杠机构、凸轮机构、皮带传动机构等传递机构。

支承部4是长方体形状的空心体。支承部4具备使保持盖51的端口门41在盖51将开口部50a堵塞的闭位置、盖51穿越开口部2a后退的后退位置及盖51与开口部2a的下缘相比退避到下方的开位置(图2的开放状态的位置)之间进行移动的机构40。端口门41，例如具备吸附机构，由此，端口门41能吸附保持盖51。另外，在端口门41上设置对盖51具备的锁定机构的开闭进行操作的操作机构(闩锁键)，由此，可进行容器主体50和盖51的卸下、安装。

端口门41被支承于在Z方向延伸的连结部件42上。连结部件42在X方向滑动自由地被支承在台部件43上，由滚珠丝杠、电动缸等动作执行器44在X方向移动。另外，在台部件43上，固定了与在上下方向延伸的滚珠丝杠45卡合的螺母48。通过马达47使滚珠丝杠45旋转，端口门41、连结部件42及台部件43一体地进行升降。

由以上的结构，能使端口门41在X方向和Z方向移动，由此，盖51在闭位置、后退位置及开位置之间移动。此外，使端口门41移动的机构不限于此，可采用各种机构。

按压单元9，设置在停靠板30的上方，是将载置在停靠板30上的容器5向下方压附的机构。

在装载端口1上，设置了控制部1a。控制部1a，例如，包括以CPU为代表的处理部、RAM、ROM等存储部、外部设备和处理部之间的输入输出接口、经通信回线进行与主计算机等计算机、周边装置(基板输送装置PA、基板输送机器人6等)的通信的通信接口。按压单元9、锁定机构32、驱动机构33及34等装载端口1的各机构由控制部1a进行控制。

＜停靠板的位移状态＞

图3(A)～图3(C)是表示由驱动机构33及34进行的停靠板30的位移状态的图，是装载端口2的俯视图。在本实施方式中，停靠板30的绕Z方向的轴的旋转和X方向的移动可由驱动机构33及34进行。

图3(A)表示停靠板30相对于端口板2处于与X方向PP侧最接近的位置(以下也称为停靠位)的状态。容器5的开闭在此停靠位置进行。图3(B)表示停靠板30处于从端口板2离开间隔最远的位置(以下也称为交接位置)的状态。在存储了多个容器5的容器仓库(储料器)和装载端口2之间，在使用未图示的容器输送机器人进行容器5的自动交接的情况下是在此交接位置进行。另外，在作业者由手动作业将容器5载置在停靠板30上的情况下或者在将载置的容器5由手动作业搬出的情况下，也在此交接位置进行。

图3(C)表示使停靠板30旋转的途中的状态。在本实施方式中，停靠板30可在X方向的任意的位置绕Z轴旋转。在此，在交接位置，位于与X方向PP相反的一侧(在图3(B)中为下侧)的容器输送机器人(或者作业者)存在以使盖51朝向容器输送机器人(或者作业者)侧的状态使容器5放在停靠板30上的情况。此时，通过由旋转单元82使停靠板30旋转，能使停靠板30的方向即容器5的方向反转。由此，盖51成为朝向端口板2侧(X方向PP侧)的状态。然后，使停靠板30向图3(A)的停靠位置移动。在以下的说明中，将停靠板30的旋转位置之中的如图2所示盖51朝向了端口板2侧的位置称为工作位置，将相反方向的位置称为准备位置。在工作位置，如图1、图2所示，停靠板30的排气喷嘴单元7位于端口板2的附近。在准备位置，与此相反，气体供给喷嘴单元8位于端口板2的附近。

＜气体供给喷嘴单元＞

关于气体供给喷嘴单元8的构造，参照图4(A)～图4(C)及图5进行说明。图4(A)～图4(C)是气体供给喷嘴单元8的俯视图、主视图及侧视图。图5是图4(C)的A－A线剖视图。此外，虽然不特别地进行说明，但排气喷嘴单元7也具有与气体供给喷嘴单元8同样的构造。

气体供给喷嘴单元8包括喷嘴支承体80、喷嘴81、衬套82、弹性部件83和罩84。喷嘴支承体80是将气体供给喷嘴单元8固定在停靠板30上的部件，而且是将喷嘴81支承成上下运动自由的框体。喷嘴支承体80具有固定在停靠板30上的基板80b、从基板80b直立设置的两根支柱80c和固定在两根支柱80c的上端部的支承板80a。弹性部件83，因为后述的理由，采用了弹性力大的部件。气体供给喷嘴单元8不是支承板80a和基板80b的那样的板状部件，而是做成了由具有强度的两根支柱80c连结了支承板80a和基板80b的构造，以便不因弹性部件83的弹性力产生变形。

在基板80b上，形成了供给压缩气体的配管86通过的开口部80e。此外，在停靠板30上也形成了配管86通过的开口部(未图示)。支柱80c是在Z方向延伸的圆筒体，其下端部由螺钉固定在基板80b上，其上端部由螺钉固定在支承板80a上。支承板80a形成了喷嘴81通过的开口部80d。在开口部80d嵌入了夹设在喷嘴81和支承板80a之间的衬套82。

喷嘴81具有上侧的喷嘴主体810和下侧的通路形成部件822。喷嘴主体810作为整体具有圆筒形状，包括圆筒形状的主体部811c和在主体部811c的上部向径方向突出的法兰部811b。在喷嘴主体810的中央部形成了供气孔810a。向气体供给喷嘴单元8供给的气体从供气孔810a向上方喷射。喷嘴主体81的上面，与设置在容器5的底面上的供气阀部(未图示)抵接，从供气孔810a向容器5内喷射气体。

通路形成部件822是固定在喷嘴主体810的下端部的L字型的部件，形成与供气孔810a连通的气体的通路811a。此通路811a与经连接器85与通路形成部件822连接的配管86连通。在通路形成部件822上，设置了与衬套82的内周壁滑动接触的环形状的滑动接触部件87。喷嘴81未被固定在喷嘴支承体80上，经滑动接触部件87及衬套82支承成可相对于喷嘴支承体80在Z方向移动。

弹性部件83，在本实施方式的情况下，是插入了主体部811c的螺旋弹簧，设置在法兰部811b和支承板80a之间。罩84是包围弹性部件83的周围的圆筒体。弹性部件83通常将喷嘴81向上方向加载。也就是说，由弹性部件83的加载力将喷嘴主体81的上面推压到设置在容器5的底面上的供气阀部(未图示)。通过设置了弹性部件83，能提高喷嘴81的相对于容器5的底面的接触追随性，另外，能防止在气体供给时的气体的泄露。

喷嘴81在Z方向的规定范围内可进行上下运动。图5表示喷嘴81位于上限位置的状态。喷嘴81的下限位置是法兰部811b与罩84抵接的位置。在本实施方式中，作为弹性部件83使用了螺旋弹簧，但也可是橡胶等其它的弹性部件。

＜按压单元＞

关于按压单元9的构造，参照图6(A)及图6(B)进行说明。图6(A)是按压单元9的说明图，相当于俯视图。图6(B)是图6(A)的B－B线剖视图。按压单元9是由将旋转驱动单元93作为驱动源的驱动机构使抵接部件98在从容器5离开间隔的位置和与容器5抵接的位置之间移动的单元。

按压单元9具备在Y方向离开间隔的一对框架91。各框架91在X方向延伸，其周围由罩90包围。另外，一对框架91的X方向PP侧的各端部由在Y方向延伸的连结部件92连结，进而，连结部件92固定在端口板2上。

在一对框架91的与X方向PP相反的一侧(在图6(A)中为下侧)之间，旋转自由地支承着转动轴95。转动轴95是在Y方向延伸的截面圆形的杆部件。在相向的框架91、91的一方的框架91的相向侧的面上，支承着旋转驱动单元93。旋转驱动单元93，在本实施方式的情况下，是空气压式旋转动作执行器，通过进行空气的相对于一对供给排出端口93b的一方的供给，输出轴93a旋转规定的角度，例如90°。

旋转驱动单元93的旋转经传动机构94向转动轴95传递。即，传动机构94是将转动驱动单元93的输出向转动轴95传动的机构，在本实施方式中，是皮带传动机构，但也可以是齿轮机构等其它的传动机构。传动机构94具备安装在输出轴93a上的皮带轮94a；安装在转动轴95的周面上的皮带轮94b；和卷绕在这些皮带轮94a、94b上的正时皮带94c。由传动机构94将输出轴93a的旋转向转动轴95传动，转动轴95进行转动。

在转动轴95上，经一对臂部件96支承着一个或者多个抵接部件98。一对臂部件96，在转动轴95的周面上，在Y方向离开间隔地设置两个。将各臂部件96的基部侧相对于转动轴95固定，将辊轴97固定在各臂部件96的前端侧。在此辊轴97的周面上设置一个或者多个抵接部件98。在本实施方式的情况下，抵接部件98是旋转自由地设置在辊轴97的周面上的辊部件，在Y方向离开间隔地设置了两个。

通过转动轴95的转动，一对臂部件96在从大致水平状态到朝向大致垂直方向下方的状态之间回转90°，由此，辊轴97及抵接部件98进行摆动。抵接部件98在图6(B)中在由实线所示的退避位置(大致水平状态)和由双点划线所示的推压位置(朝向大致垂直方向下方的状态)之间摆动。如图2等所示，在推压位置，抵接部件98与载置在停靠板30上的容器5的上面抵接，将容器5朝向下方推压。在本实施方式的情况下，抵接部件98与容器5的上面的手柄52抵接，但也可与容器主体50的上面的其它的部位、容器5的上面以外的部位例如两侧面抵接。

在本实施方式中，与臂部件96的长度的量相应地，更严密地说是与转动轴95和辊轴97的轴间距离的量相应地，抵接部件98从转动轴95隔开距离地被支承。因此，在使转动轴95转动时，因为抵接部件98从转动轴95仅离开上述的轴间距离的量，所以由抵接部件98产生的力的转矩变大。其结果，即使用比较低的输出的旋转驱动单元93，抵接部件98也能以足够的力按压容器5。

图7(A)是表示驱动旋转驱动单元93的空气压回路的例子的回路图。来自未图示的压缩机的空气经配管14由减压阀13调整压力向电磁阀12供给。电磁阀12是切换空气的供给路径的方向切换阀，其各供给排出端口经速度控制辊11与一对供给排出端口93b连接。速度控制辊11是流量控制阀。

通过由电磁阀12切换一对供给排出端口93b之中的供给空气的端口，变更输出轴93a的旋转方向。电磁阀12的切换控制由控制部1a进行。另外，能由减压阀13调节相对于旋转驱动单元93的空气压来调节其输出扭矩。也就是说，能调节由抵接部件98产生的向容器5的下方的推压力。

此外，抵接部件98，除了截面圆形的辊部件以外，也可以如图7(B)例示的那样为截面半圆形的辊部件，其外周的角度范围也可以是360°(圆形)、180°(半圆形)以外的角度范围。另外，抵接部件98也可以相对于辊轴97固定成不能旋转。进而，抵接部件98，除了辊部件以外，也可以是球体、半球体，与容器5既可以是以点进行接触的方式，也可以是以线进行接触的方式。

＜控制例＞

对由控制部1a进行的装载端口1的控制例参照图8(A)～图10(C)进行说明。图8(A)～图10(C)表示从容器5的搬入到盖51即将开放前的装载端口1的动作例。图8(A)表示容器5的搬入前的准备状态。抵接部件98位于退避位置。停靠板30位于与X方向PP相反的一侧的非停靠位置，在旋转方向位于准备位置。

图8(B)表示将容器5载置在停靠板30上的状态。这是在盖51朝向与X方向PP相反的一侧的状态下载置了容器5的例子。容器5通过卡合载置在定位销31上进行其XYZ方向的定位。另外，此时，气体供给喷嘴单元8及排气喷嘴单元7与容器5的底面的各净化端口抵接。

在此状态下，首先，按压单元9的抵接部件98向推压位置摆动。如图9(A)所示，抵接部件98与容器5的手柄52抵接，将容器5向下方(向停靠板30)压附。接着，如图9(B)所示，通过驱动锁定机构32，卡合爪32a向锁定位置转动。由此，能将容器5固定在停靠板30上。

在此，存在由气体供给喷嘴单元8向容器5内喷射气体进行净化(预净化)的情况。此时，为了抑制来自气体供给喷嘴单元8和容器5之间的气体的泄露，作为将气体供给喷嘴单元8相对于容器5加载的弹性部件83，存在采用弹性力大(将喷嘴81向上方加载的力大)的部件。但是，仅通过使弹性部件83的弹性力简单地变大，在将容器5载置在停靠板30上时，存在容器5成为从定位销31漂浮的倾向的情况。如果此漂浮的状态不变地使锁定机构32工作，则存在卡合爪32a不与卡合槽50a卡合而落空的可能性。在本实施方式中，通过在由按压单元9将容器5向下方压附的状态下使锁定机构32工作，不存在卡合爪32a落空的危险。其结果，能将卡合爪32a可靠地与卡合槽50a卡合，可靠地锁定容器5。

此外，根据预净化中的气体的供给流速或者供给压力不同，即使不进行由按压单元9进行的容器5的按压，仅通过由锁定机构32和弹性部件83使气体供给喷嘴单元8的喷嘴81与容器5的底面的净化端口抵接的作用，就可抑制来自气体供给喷嘴单元8和容器5之间的气体的泄露。在此情况下，在预净化时也可不驱动按压单元9。

进行预净化的时机，也可以将刚锁定了容器5之后作为起点，容器5从非停靠位置向停靠位置移动，在停靠位置，在直到主净化即将开始之前的过程中的任何期间中实施，另外，也可以将刚锁定了容器5之后作为起点，容器5从非停靠位置向停靠位置移动，在停靠位置，在直到主净化即将开始之前的整个期间中实施。通过进行预净化，由于能预先向容器5内供给不活性气体，所以能缩短花费于主净化的时间。

接着，如图9(C)所示，按压单元9的抵接部件98向退避位置摆动，抵接部件98从手柄52离开间隔。由此，暂时解除相对于容器5的向下方的压附。然后，如图10(A)所示，对驱动机构33进行驱动，停靠板30向工作位置旋转。由此，容器5的方向反转，盖51成为朝向端口板2(X方向PP)侧的姿势。接着，对驱动机构34进行驱动，如图10(B)所示，停靠板30向停靠位置移动。

然后，如图10(C)所示，按压单元9的抵接部件98再次向推压位置摆动。抵接部件98再次与容器5的手柄52抵接，将容器5向下方(向停靠板30)压附。此后，盖部51由端口门41开放。然后，通过从气体供给喷嘴单元8向容器5内供给气体，将容器5内的气体从排气喷嘴单元7排出，将容器5内的环境气体净化(主净化)。

在进行此主净化时，为了在更短时间内使净化结束，存在与预净化时相比使每单位时间的气体的供给量变多，即使供给流速变快或者使供给压力变高的情况。此时，仅通过由锁定机构32和弹性部件83使气体供给喷嘴单元8的喷嘴81与容器5的底面的净化端口抵接的作用，存在容器5从气体供给喷嘴单元8浮起得大，不能抑制净化时的气体的泄露的情况。为了防止此容器5的浮起，通过由按压单元9将容器5向下方(向停靠板30)可靠地压附，能消除此浮起，抑制净化时的气体的泄露。

另外，即使在停靠位置未进行主净化的情况下，因为弹性部件83的弹性力大，所以也存在容器5成为从定位销31稍微漂浮的倾向的可能性。如果此稍微的漂浮超过容许范围，则存在不能由基板输送机器人6的端执行器60适当地移载基板W这样的在此后的处理中产生障碍的情况。因此，通过由按压单元9将容器5向下方(向停靠板30)压附，消除容器5的从定位销31的漂浮，能防止上述障碍的发生。

由此，即使在停靠位置，也能通过由按压单元9将容器5向下方(向停靠板30)压附，可靠地防止容器5从气体供给喷嘴单元8浮起，即可靠地防止气体泄露，进而可使容器5内的净化在更短时间内结束。另外，由于由按压单元9将容器5向下方可靠地压附，所以能消除容器5的漂浮，防止不能由基板输送机器人6的端执行器60适当地移载基板W这样的障碍的发生。

此外，对容器5内的环境气体进行净化的时机，不限于盖部51完全地开放之后(图2的开放状态的位置)，也可以是在盖部51将开口部50a堵塞的闭位置，也可以是在盖部51位于闭位置和开放状态的位置之间的时机，即在从盖部51开始开放时到完全地开放为止的过程中的时机。

由于抵接部件98相对于容器5离开接触自由，所以能如控制例的那样在容器5的移动中预先使抵接部件98从容器5离开间隔。由此，能减轻抵接部件98和容器5的接触部的磨损，并且抑制颗粒的发生。另外，由于抵接部件98是旋转自由的辊部件，所以在抵接部件98与容器5的手柄52抵接时，抵接部件98能由更小的力将手柄52向下方向压附。

＜第二实施方式＞

在存储了多个容器5的未图示的容器仓库(储料器)和装载端口2之间，使用容器输送机器人进行容器5的自动交接，在此情况下，存在交接位置不同的情况，由此，存在停靠位置－非停靠位置的移动行程不同的情况。为了使由按压单元9进行的容器5的压附成为更可靠的压附，按压单元9具备在X方向离开间隔的一个或者多个抵接部件98。图11(A)是本实施方式的按压单元9的说明图，相当于俯视图。图11(B)是图11(A)的C－C线剖视图。本实施方式的按压单元9具有两组传动机构94、转动轴95、一对臂部件96、辊轴97及抵接部件98的组。以下，对与第一实施方式的按压单元9不同的结构来说明本实施方式的按压单元9。

按压单元9具备传动机构94A、转动轴95A、一对臂部件96A、辊轴97A及抵接部件98A的组和传动机构94B、转动轴95B、一对臂部件96B、辊轴97B及抵接部件98B的组。转动轴95A和转动轴95B在X方向离开间隔地配置，相互平行地被支承成相对于一对框架91旋转自由。

传动机构94A是将转动驱动单元93的输出向转动轴95A传动的机构，具备安装在输出轴93a上的皮带轮94a、安装在转动轴95A上的皮带轮94b和卷绕在这些皮带轮94a、94b上的正时皮带94c。如果输出轴93a由传动机构94A旋转，则转动轴95绕其轴转动。

传动机构94B是经转动轴95A将转动驱动单元93的输出向转动轴95B传动的机构，具备安装在转动轴95A上的皮带轮94a、安装在转动轴95B上的皮带轮94b和卷绕在这些皮带轮94a、94b上的正时皮带94c。如果输出轴93a由传动机构94B旋转，则转动轴95B绕其轴转动。此外，传动机构94A及94B，在本实施方式中是皮带传动机构，但也可以是齿轮机构等其它的传动机构。

在转动轴95A上，经一对臂部件96A支承一个或者多个抵接部件98A。一对臂部件96A在转动轴95A的周面上在Y方向离开间隔地设置两个。将各臂部件96A的基部侧相对于转动轴95A固定，将辊轴97A固定在各臂部件96A的前端侧。在此辊轴97A的周面上设置一个或者多个抵接部件98A。在本实施方式的情况下，抵接部件98A是旋转自由地设置在辊轴97A的周面上的辊部件，在Y方向离开间隔地设置了两个。通过转动轴95A的转动，一对臂部件96A在从大致水平状态到大致垂直方向向下的状态之间回转90°，由此，辊轴97A及抵接部件98A进行摆动。

在转动轴95B上，经一对臂部件96B支承一个或者多个抵接部件98B。一对臂部件96B在转动轴95B的周面上在Y方向离开间隔地设置两个。将各臂部件96B的基部侧相对于转动轴95B固定，将辊轴97B各固定在臂部件96B的前端侧。在此辊轴97B的周面上设置一个或者多个抵接部件98B。在本实施方式的情况下，抵接部件98B是旋转自由地设置在辊轴97B的周面上的辊部件，在Y方向离开间隔地设置了两个。通过转动轴95B的转动，一对臂部件96B在从大致水平状态到大致垂直方向向下的状态之间回转90°，由此，辊轴97B及抵接部件98B进行摆动。

抵接部件98A和抵接部件98B，相互地在X方向离开间隔。通过转动驱动单元93的驱动，抵接部件98A和抵接部件98B在图11(B)中在由实线所示的退避位置(大致水平状态)和由双点划线所示的推压位置(大致垂直方向向下的状态)之间同步地摆动。如图13等所示，在推压位置，抵接部件98A和抵接部件98B与载置在停靠板30上的容器5的上面抵接，将容器5朝向下方推压。在本实施方式的情况下，抵接部件98A和抵接部件98B与容器5的上面的手柄52抵接，但也可以与容器主体50的上面的其它的部位、容器5的上面以外的部位例如两侧面抵接。

＜控制例＞

对由控制部1a进行的装载端口1的控制例参照图12(A)～图14(C)进行说明。图12(A)～图14(C)，与图8(A)～图10(C)的例同样，表示从容器5的搬入到盖51的即将开放前的本实施方式的装载端口1的动作例。图12(A)表示容器5的搬入前的准备状态。抵接部件98A及98B位于退避位置。停靠板30位于与X方向PP相反的一侧的非停靠位置，在旋转方向位于准备位置。

图12(B)表示将容器5载置在停靠板30上的状态。这是在盖51朝向了与X方向PP相反的一侧的状态下载置了容器5的例子。容器5，通过卡合载置在定位销31上，被进行其XYZ方向的定位。另外，此时，气体供给喷嘴单元8及排气喷嘴单元7与容器5的底面的各净化端口抵接。

在此状态下，首先，按压单元9的抵接部件98A及98B向推压位置摆动。如图13(A)所示，抵接部件98B与容器5的手柄52抵接，将容器5向下方(向停靠板30)压附。此时，由于容器5的由交接位置的不同进行的停靠位置－非停靠位置的移动行程的不同，所以抵接部件98A未与容器5抵接，但由于抵接部件98B与容器5抵接，所以对容器5的向下方的压附是足够的。接着，如图13(B)所示，通过驱动锁定机构32，卡合爪32a向锁定位置转动。由此，能将容器5固定在停靠板30上。

在本实施方式中，在按压单元9上设置了两个抵接部件98A及98B。由此，在存储了多个容器5的容器仓库(储料器)和装载端口2之间，在使用容器输送机器人进行容器5的自动交接时，能与停靠位置－非停靠位置的移动行程无关系地使抵接部件98A及98B的至少一方可靠地与容器5的手柄52抵接。另外，抵接部件98A及/或98B的至少一方，通过在可靠地将容器5向下方压附的状态下使锁定机构32工作，不存在卡合爪32a落空的危险。其结果，能将卡合爪32a可靠地与卡合槽50a卡合，可靠地锁定容器5。

接着，如图13(C)所示，按压单元9的抵接部件98A及98B向退避位置摆动，抵接部件98A从手柄52离开间隔。由此，暂时解除对容器5的向下方的压附。如图14(A)所示，对驱动机构33进行驱动，停靠板30向工作位置旋转。容器5，其方向反转，成为盖51朝向端口板2侧的姿势。接着对驱动机构34进行驱动，如图14(B)所示，停靠板30向停靠位置移动。

然后，如图14(C)所示，按压单元9的抵接部件98A及98B再次向推压位置摆动。抵接部件98A与容器5的手柄52再次抵接，将容器5向下方(向停靠板30)压附。在停靠位置－非停靠位置之间的移动行程大的情况下，不能由抵接部件98B使容器5抵接，但由于抵接部件98A与容器5抵接，所以对容器5的向下方的压附是足够的。此后，由端口门41将盖部51开放。然后，通过从气体供给喷嘴单元8向容器5内供给气体，从排气喷嘴单元7排出容器5内的气体，能净化容器5内的环境气体。

由于按压单元9中的抵接部件98A及/或98B的至少一方将容器5向下方可靠地压附，所以能消除容器5的漂浮，能防止不能由基板输送机器人6的端执行器60适当地移载基板W这样的障碍的发生。

以上，对发明的实施方式进行了说明，但发明不受上述实施方式限制，在发明的要旨的范围内可进行各种变形、变更。

【符号的说明】

1：装载端口 2：端口板 3：载置台8：气体供给喷嘴单元 9：按压单元。

Claims (10)

1.一种装载端口，其具备停靠板、端口板和移动机构，

该停靠板载置收容基板的容器，

该端口板具有上述基板可出入的开口部，

该移动机构使上述停靠板在与上述端口板接近的停靠位置和从上述端口板离开间隔的非停靠位置之间移动，

该装载端口的特征在于，

具备气体供给喷嘴单元和按压组件，

该气体供给喷嘴单元设置在上述停靠板上，与载置在上述停靠板上的上述容器的底面抵接，向上述容器的内部供给气体，

该按压组件设置在上述停靠板的上方，将载置在上述停靠板上的上述容器向下方压附，

上述按压组件包括抵接部件和驱动机构，

该抵接部件与载置在上述停靠板上的上述容器抵接，

该驱动机构使上述抵接部件在从上述容器离开间隔的第一位置和与上述容器抵接的第二位置之间移动。

2.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，

上述驱动机构具备旋转驱动组件和与上述旋转驱动组件连接的转动轴，

上述抵接部件经臂部件支承在上述转动轴上。

3.根据权利要求2所述的装载端口，其特征在于，

上述抵接部件具备相对于被支承在上述臂部件上的辊轴旋转自由地设置的辊部件。

4.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，

上述气体供给喷嘴单元具备喷嘴、弹性部件和喷嘴支承体，

该喷嘴具有供气孔，

该弹性部件将上述喷嘴向上述容器的底面侧加载，

该喷嘴支承体在规定范围内将上述喷嘴支承成上下运动自由。

5.根据权利要求2所述的装载端口，其特征在于，

上述旋转驱动组件是由供给的空气压进行驱动的旋转动作执行器，

上述装载端口还具备变更组件和空气压控制组件，

该变更组件变更上述旋转动作执行器的旋转方向，

该空气压控制组件控制上述空气压，

对向上述旋转动作执行器供给的空气压进行控制，变更由上述按压组件产生的上述容器的压附力。

6.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，

还具备使上述停靠板旋转的旋转单元，

由上述旋转单元使载置在上述停靠板上的上述容器反转。

7.根据权利要求1所述的装载端口，其特征在于，

具有在上述停靠板的移动方向离开间隔的多个上述抵接部件，

即使在上述停靠板位于上述停靠位置及上述非停靠位置的任一位置的情况下，也至少一个上述抵接部件与载置在上述停靠板上的上述容器的上面抵接。

8.一种装载端口的控制方法，其特征在于，

上述装载端口具备停靠板、端口板、移动机构、气体供给喷嘴单元和按压组件，

该停靠板载置收容基板的容器，

该端口板具有上述基板可出入的开口部，

该移动机构使上述停靠板在与上述端口板接近的停靠位置和从上述端口板离开间隔的非停靠位置之间移动，

该气体供给喷嘴单元设置在上述停靠板上，与载置在上述停靠板上的上述容器的底面抵接，向上述容器的内部供给气体，

该按压组件设置在上述停靠板的上方，将载置在上述停靠板上的上述容器向下方压附，

上述控制方法具备如下的工序：

使上述按压组件与载置在位于上述非停靠位置的上述停靠板上的上述容器抵接，将上述容器向上述停靠板压附的第一压附工序；

在上述第一压附工序后，由上述停靠板具备的锁定机构将上述容器固定在上述停靠板上的工序；

在上述固定的工序后，使上述按压组件从上述容器离开间隔的工序；

在上述离开间隔的工序后，由上述移动机构使上述停靠板从上述非停靠位置向上述停靠位置移动的工序；

使上述按压组件再次与位于上述停靠位置的上述停靠板上的上述容器抵接，将上述容器向上述停靠板压附的第二压附工序；和

在上述第二压附工序后，从与上述容器的底面抵接的上述气体供给喷嘴单元向上述容器内供给气体，由上述气体对上述容器内进行净化的工序。

9.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，

在上述固定的工序后，还具备从与上述容器的底面抵接的上述气体供给喷嘴单元向上述容器内供给气体，由上述气体对上述容器内进行预净化的工序。

10.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，

上述装载端口还具备使上述停靠板旋转的旋转单元，

在上述离开间隔的工序后，在上述移动的工序前，上述控制方法还具备由上述旋转单元使上述停靠板旋转，使上述容器的方向反转的工序。

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