CN112956009B - 用于支持剥离的设备以及使用该设备的剥离方法 - Google Patents

Abstract

一种用于支持将载体玻璃片和超薄玻璃片剥离的工艺的设备。吸板包括限定用于吸住坐落于其上的玻璃层板的吸孔的多个吸孔部分，以及限定容纳从所述玻璃层板的超薄玻璃片的一个表面突出的至少一个装置层的至少一个凹陷的至少一个凹陷部分。多个吸杯分别配合至所述多个吸孔部分，使得所述多个吸杯响应于所述超薄玻璃片与所述装置层的接触压力而可弹性压缩。真空泵连接至所述多个吸孔部分以将负压力施加至所述多个吸孔部分。控制器控制所述真空泵以调整施加至所述多个吸孔部分的所述负压力。

Description

用于支持剥离的设备以及使用该设备的剥离方法

本申请根据35 U.S.C. § 119主张2018年10月4日提交的韩国专利申请第10-2018-0118360号的优先权的权益，该申请的内容为本申请的基础且以其全文引用的方式并入本文中。

技术领域

本公开内容涉及一种用于支持剥离的设备以及一种使用该设备的剥离方法。更特别地，用于支持剥离的设备和使用该设备的剥离方法能可靠地支持将超薄玻璃片剥离的工艺，该超薄玻璃片具有从其一个表面突出的装置层和结合至该超薄玻璃片的另一表面的载体玻璃片，并且可共同地用于将超薄玻璃片剥离的工艺中，在所述超薄玻璃片中的每一者上提供具有不同厚度的装置层。

背景技术

一般而言，归因于处置起来困难，超薄玻璃具有低适用性的缺点，这与其可用性无关。具有20 μm至250 μm的厚度的超薄玻璃片可易于受到刮擦，甚至在对其施加不显著冲击的情况中，并且这种刮擦可为超薄玻璃片的损坏或破坏的原因。在此方面，通常，将比超薄玻璃片硬且具有例如0.5 mm或更大的厚度的薄玻璃片用作该超薄玻璃片结合至的背衬，并且将所得结构作为单一单元（薄片）处置。例如，在柔性有机发光二极管（flexible organiclight-emitting diode，OLED）、发光二极管（light-emitting diode，LED）标牌或类似者的制造中，通过沉积在此单元上制造装置层，并且最终执行将该超薄玻璃片从薄玻璃片剥离的剥离工艺。

在柔性OLED的情况中，封装薄膜从超薄玻璃片的表面突出达至少预定厚度。在LED标牌的情况中，当LED芯片安装于超薄玻璃片上时，LED芯片从超薄玻璃片的表面突出达至少预定厚度。

典型地，在于由超薄玻璃片和薄玻璃片组成的单元上制造上述装置层后，诸如吸板和吸杯的真空装置用以使用一定程度的真空力使超薄玻璃片和薄玻璃片剥离。

然而，如上所述，由超薄玻璃片上的装置层提供的突出可比超薄玻璃片与真空装置之间的紧密接触程度低，这是有问题的。例如，相关技术的剥离工艺系通过使超薄玻璃片的一个表面（并且更特别地，超薄玻璃片的具有在其上制造的多个装置层的一个表面）吸住至平吸板的表面并接着将结合至该超薄玻璃片的另一表面的薄玻璃片与该超薄玻璃片分离来进行。

然而，由于多个装置层从在超薄玻璃片的一个表面上的部分突出，因此该多个突出装置层可与吸板紧密接触，但超薄玻璃片的一个表面的在邻近装置层之间的部分和超薄玻璃片的一个表面的周边部分并不与吸板紧密接触。因此，超薄玻璃片与吸板之间的紧密接触的程度总体上降低。在此情形中，当通过将负压力施加至吸板而吸板吸住超薄玻璃片时，超薄玻璃片的不与吸板紧密接触的周边部分可被吸引至吸板，并且因此，可使超薄玻璃片弯曲或翘曲。在此情况中，可能难以执行剥离工艺。此外，当超薄玻璃片的弯曲或翘曲的程度增加时，超薄玻璃片可最终受到损坏，由此对工艺良率造成不利影响。

相关技术文献

专利文献1：韩国专利申请公布第10-2016-0031637号（2016年3月23日）。

发明内容

本公开内容的各种方面提供一种用于支持剥离的设备和一种使用所述设备的剥离方法，所述设备和所述方法能可靠地支持将超薄玻璃片剥离的工艺，所述超薄玻璃片具有从其一个表面突出的装置层和结合至所述超薄玻璃片的另一表面的载体玻璃片，并且可共同地用于将超薄玻璃片剥离的工艺中，在所述超薄玻璃片中的每一者上提供具有不同厚度的装置层。

根据一个方面，提供一种用于支持将结合为单一玻璃层板的载体玻璃片和超薄玻璃片剥离的工艺的设备。所述设备包括：吸板，所述吸板包括限定用于吸住坐落于其上的玻璃层板的吸孔的多个吸孔部分和限定容纳从所述玻璃层板的超薄玻璃片的一个表面突出的至少一个装置层的至少一个凹陷的至少一个凹陷部分；多个吸杯，所述多个吸杯分别配合至所述多个吸孔部分，使得所述多个吸杯响应于所述超薄玻璃片和所述装置层的接触压力可弹性压缩；真空泵，所述真空泵连接至所述多个吸孔部分以将负压力施加至所述多个吸孔部分；和控制器，所述控制器控制所述真空泵以调整施加至所述多个吸孔部分的所述负压力。

所述凹陷部分可比所述装置层的所述厚度深。

所述至少一个凹陷部分可安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的表面上，并且所述吸板可进一步包括周边部分，所述周边部分包围在所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的所述表面上的所述至少一个凹陷部分。

所述至少一个凹陷部分可包括多个凹陷部分，所述多个凹陷部分安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的表面上。所述吸板可进一步包括包围所述多个凹陷部分的周边部分，以及在所述多个凹陷部分间中的相邻的凹陷部分之间安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的所述表面上的肋状物。

所述吸板可包括：第一流动路径，提供于所述多个凹陷部分中的每一凹陷部分中的所述多个吸孔部分中的吸孔部分通过所述第一流动路径连接，所述第一流动路径连接至所述真空泵；第二流动路径，提供于所述周边部分中的所述多个吸孔部分中的吸孔部分通过所述第二流动路径连接，所述第二流动路径连接至所述真空泵；和第三流动路径，提供于所述肋状物中的所述多个吸孔部分中的吸孔部分通过所述第三流动路径连接，所述第三流动路径连接至所述真空泵。

所述吸板可进一步包括分别安置于所述第一流动路径、所述第二流动路径和所述第三流动路径上的控制阀。

所述第一流动路径可包括分别提供于所述多个凹陷部分中的多个第一流动路径，所述多个第一流动路径被单独地控制。

所述多个吸杯中的每一者可包括：固定部分，所述固定部分紧固至所述多个吸孔部分中的对应的吸孔部分的内周表面，其中第一孔部分在所述固定孔部分的纵向方向上延伸；和操作部分，所述操作部分耦接至所述固定部分的顶端以从所述吸板的顶表面突出，其中第二孔部分在所述操作部分的纵向方向上延伸以与所述第一孔部分连通，所述操作部分响应于所述超薄玻璃片或所述装置层的接触压力可弹性压缩。

所述固定部分的外周表面可与所述对应的吸孔部分的所述内周表面螺钉接合。

所述操作部分可为波纹管。

所述玻璃层板可被配置为使得相对比所述超薄玻璃片厚和宽的载体玻璃片结合至所述超薄玻璃片，同时包围所述超薄玻璃片。

所述超薄玻璃片的厚度的范围可为从20 μm至250 μm。

所述设备可进一步包括在所述玻璃层板坐落于所述吸板上后安置于所述玻璃层板的载体玻璃片上的至少一个吸帽。

所述至少一个吸帽可连接至由所述控制器控制的所述真空泵，以使用由所述真空泵施加的负压力吸住所述载体玻璃片。

所述至少一个吸帽可被配置为在顶部-底部方向上可移动，以在所述控制器的控制下提升所述载体玻璃片，由此将所述载体玻璃片与所述超薄玻璃片拆开。

所述至少一个吸帽可包括多个吸帽。所述控制器可控制所述真空泵在剥离传播方向上将负压力依序地施加至所述多个吸帽。

所述吸板可为可在水平方向上移动。

所述吸板在所述玻璃层板坐落于其上后可在所述至少一个吸帽下方移动，并且在完成剥离后返回至初始位置。

所述设备可进一步包括安置于所述吸板周围的第一托盘至第四托盘，其中待剥离的所述玻璃层板置放于所述第一托盘中，所述剥离的超薄玻璃片置放于所述第二托盘中，所述剥离的载体玻璃片置放于所述第三托盘中，并且多个纸片在供应至所述第一托盘至所述第三托盘前被装载于所述第四托盘中。

所述设备可进一步包括台架单元，所述台架单元围绕所述吸板和所述第一托盘至所述第四托盘行进以输送所述玻璃层板、所述剥离的超薄玻璃片、所述剥离的载体玻璃片和所述多个纸片。

还提供一种将结合为单一玻璃层板的载体玻璃片和超薄玻璃片剥离的方法。所述方法可包括：在上述设备的所述吸板的顶表面上的适当位置中定位玻璃层板；将负压力施加至所述吸板以吸住位于所述吸板的所述顶表面上的所述玻璃层板；和将所述玻璃层板的载体玻璃片从所述玻璃层板的超薄玻璃片剥离，同时所述吸板正吸住所述超薄玻璃片。

所述玻璃层板可位于适当位置中，使得所述载体玻璃片不与所述吸板接触。

将所述载体玻璃片从所述超薄玻璃片剥离可包括吸住所述载体玻璃片和依序地将所述载体玻璃片从一侧提升至另一侧。

所述吸住所述载体玻璃片可包括在剥离传播方向上依序地吸住所述载体玻璃片的部分。

根据示例性实施方式，提供具有用于容纳从所述超薄玻璃片的一个表面突出的所述装置层的所述凹陷的所述吸板。因此，可靠地支持将所述超薄玻璃片和结合至所述超薄玻璃片的另一表面的所述载体玻璃片剥离的所述工艺可为可能的。

具体地，根据示例性实施方式，在所述剥离工艺中，可使所述超薄玻璃片的一个表面与所述吸板之间的紧密接触的程度的差最小化。更具体地，可使所述超薄玻璃片的其上提供所述装置层的一个区域与所述吸板的所述紧密接触程度与所述超薄玻璃片的其上未提供装置层的另一区域与所述吸板的所述紧密接触程度的所述差最小化。此可因此减小在使用负压力或真空压力的所述剥离工艺期间可使所述超薄玻璃片弯曲和因此损坏的概率，由此改良工艺良率。

此外，根据示例性实施方式，所述多个吸孔提供于所述吸板的面向所述超薄玻璃片的所述顶表面中的所述凹陷和包围所述凹陷的所述周边部分全部中，使得能可靠地支持所述剥离工艺。

此外，根据示例性实施方式，在所述纵向方向上可弹性压缩的所述吸杯安置于提供于所述吸板的所述凹陷中的所述吸孔中。此配置可共同地用于其他超薄玻璃片的剥离工艺，在所述其他超薄玻璃片中的每一者上，提供具有不同厚度的所述装置层。

此外，根据示例性实施方式，在所述纵向方向上可弹性压缩的所述吸杯安置于不仅在所述凹陷中而且还在所述周边部分和所述肋状物中的所述吸孔中，使得可防止因与从金属形成的所述吸板的接触而对所述超薄玻璃片的损坏。

本公开内容的方法和设备具有将从并入在本文中的随附图式和以下详细描述显而易见或在随附图式中和在详细描述中更详细地阐述的其他特征和优势，随附图式与详细描述一起用以解释本公开内容的某些原理。

附图说明

图1为图示根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备的平面图；

图2为图1的横截面图；

图3为图2中的部分“A”的放大图；

图4为图示由根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备吸住的玻璃层板的示意图；

图5(a)和图5(b)为比较形状的示意图，在所述形状中，其上提供具有不同厚度的装置层的玻璃层板由根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备吸住；

图6为图示在根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备中的吸杯的连接结构的示意图；

图7为吸杯配合至在根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备中的吸孔的示意图；

图8、图9和图10为图示在根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备中的具有不同结构的凹陷的平面图；

图11为图示在根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备中的吸帽的应用的示意图；

图12为使用根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备将玻璃层板剥离的示意图；和

图13为示意性图示根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备的配置图。

实施方式

下文，将参看随附图式描述一种用于支持剥离的设备和一种使用该设备的剥离方法。

在以下描述中，在本公开内容的主题因包括本公开内容中并入的已知功能和部件而致使不清晰的情况中，将省略该功能和部件的详细描述。

如在图1至图4中图示，根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备为用于支持在于超薄玻璃片12的一个表面上制造装置层13后将超薄玻璃片12从载体玻璃片11剥离的工艺的设备，其中超薄玻璃片12结合至载体玻璃片11以提供单一玻璃层板10，以便有助于制造装置层13的工艺，所述装置层将转换成柔性有机发光二极管（OLED）、发光二极管（LED）标牌或类似者。

在此方面，根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备包括吸板110、多个吸杯120、真空泵130和控制器140。

吸板110为被配置为吸住坐落于其上的玻璃层板10的台子。玻璃层板10经制造以支持超薄玻璃片12，这是由于当运输超薄玻璃片12或在超薄玻璃片12上制造装置层13时，其处置可能困难。玻璃层板10系通过将超薄玻璃片12结合至载体玻璃片11来制造。即，玻璃层板10经制造以确保当超薄玻璃片12正由载体玻璃片11支持时可靠地执行制造装置层13的工艺。

玻璃层板10系通过结合具有不同厚度和面积的载体玻璃片11与超薄玻璃片12来制造。单一玻璃层板10系通过结合载体玻璃片11与超薄玻璃片12来提供，使得较宽且较厚的载体玻璃片11包围超薄玻璃片12，即，载体玻璃片11延伸超出超薄玻璃片12的四个侧中的每一者。接着，通过用例如将形成电极层的氧化铟锡（ITO）涂布超薄玻璃片12、图案化ITO薄膜、用绝缘薄膜涂布经图案化的ITO薄膜、将绝缘薄膜图案化至多个绝缘层内、分别在经图案化的绝缘层上沉积有机发光层和用封装薄膜封装所得结构来在玻璃层板10上制造多个装置层13。此处，多个装置层13从超薄玻璃片12的表面突出达至少一预定厚度。

当完成多个装置层13的制造时，其上制造该多个装置层13的超薄玻璃片12必须从载体玻璃片11剥离，以用于后续处理，诸如，面板切割。

根据示例性实施方式，超薄玻璃片12可指具有20 μm至250 μm的厚度的玻璃片。如上所述，作为载体玻璃片11，可使用比超薄玻璃片12宽和厚的玻璃片。

对于剥离工艺，玻璃层板10坐落于吸板110上，并且接着由吸板110吸住。在此方面，吸板110包括限定多个吸孔111a、111b和111c的多个吸孔部分，以当使玻璃层板10与其接触时吸住玻璃层板10。

根据示例性实施方式，吸板110的顶表面由限定凹陷112的凹陷部分和包围限定凹陷112的凹陷部分的周边部分113组成。根据示例性实施方式，将多个吸孔111a提供于凹陷112中的每一者中。此外，多个吸孔111b还提供于周边部分113中。如在图1和图8中图示，提供于凹陷112中的多个吸孔111a的浓度可低于提供于周边部分113中的多个吸孔111b的浓度。这可使由凹陷112产生的吸力低于由周边部分113产生的吸力，由此防止凹陷112中容纳的装置层13变得有缺陷。然而，如在图9和图10中图示，提供于凹陷112中的多个吸孔111a的浓度可与提供于周边部分113中的多个吸孔111b的浓度。

如上所述，提供于凹陷112或周边部分113中的多个吸孔111a或111b的浓度可取决于剥离工艺的条件或环境而变化。因此，根据示例性实施方式，提供于凹陷112或周边部分113中的多个吸孔111a或111b的浓度不受具体限制。

肋状物114可提供于吸板110的顶表面上，在邻近凹陷112之间，以与周边部分113一起限定凹陷112。然而，如在图9中图示，当将单一装置层13提供于超薄玻璃片12的一个表面上时，可省略肋状物114。

此外，如在图1和图2中图示，多个吸孔111c可提供于肋状物114中。然而，如在图10中图示，当提供于超薄玻璃片12的一个表面上的多个装置层13之间的距离小且肋状物114的宽度窄时，可省略吸孔111c。

如上所述，根据示例性实施方式，能可靠地支持剥离工艺，这是由于多个吸孔111a、111b和111c提供于吸板110的全部凹陷112、包围凹陷112的周边部分113和肋状物114中。

在根据示例性实施方式的剥离工艺中，玻璃层板10坐落于超薄玻璃片12的顶表面上，使得超薄玻璃片12的一个表面（装置层13从该表面突出）面向吸板110的顶表面。即，吸板110的多个吸孔111a、111b和111c经由吸入固持超薄玻璃片12的一个表面和装置层13。因此，凹陷112为吸板110的顶表面的容纳装置层13的区域，其中凹陷112的数目与提供于超薄玻璃片12的一个表面上的装置层13的数目相同。

根据示例性实施方式，容纳装置层13的凹陷112经提供为比装置层13的厚度深。当在吸板110的顶表面中提供凹陷112以容纳从超薄玻璃片12的一个表面突出的装置层13时，能可靠地支持将超薄玻璃片12与结合至超薄玻璃片12的另一表面的载体玻璃片11剥离的工艺。

即，在该剥离工艺中，可使该超薄玻璃片12的一个表面与该吸板110的顶表面之间的紧密接触程度的差最小化。更具体地，可使该超薄玻璃片12的其上提供所述装置层13的一个区域与该吸板110的顶表面的紧密接触程度与该超薄玻璃片12的其上未提供装置层的另一区域与该吸板110的顶表面的紧密接触程度的差最小化。此可因此减小在使用负压力或真空压力的该剥离工艺期间可使该超薄玻璃片12弯曲和因此损坏的概率，由此改良工艺良率。

此外，根据示例性实施方式的吸板110可进一步包括第一流动路径115、第二流动路径116和第三流动路径117。

第一流动路径115提供于凹陷112中的多个吸孔111a与真空泵130之间，以连接多个吸孔111a与真空泵130。第一流动路径115可将提供于凹陷112中的多个吸孔111a相互连接。因此，由真空泵130施加的负压力可经由第一流动路径115分布至多个吸孔111a，由此产生吸力。根据示例性实施方式，可将多个第一流动路径115分别提供于多个凹陷112中。在此情况中，可单独地控制提供于多个凹陷112中的多个第一流动路径115中的每一者。

第二流动路径116提供于提供于周边部分113中的多个吸孔115b与真空泵130之间，以连接多个吸孔115b与真空泵130。第二流动路径116可将周边部分113中的多个吸孔111a相互连接。因此，由真空泵130施加的负压力可经由第二流动路径116分布至多个吸孔111b，由此产生吸力。

第三流动路径117提供于提供于肋状物114中的多个吸孔111c与真空泵130之间，以连接多个吸孔111c与真空泵130。第三流动路径117可将提供于肋状物114中的多个吸孔111c相互连接。因此，由真空泵130施加的负压力可经由第三流动路径117分布至多个吸孔111c，由此产生吸力。

根据示例性实施方式，可分别针对第一流动路径115、第二流动路径116和第三流动路径117提供控制阀118。归因于此配置，甚至在负压力由真空泵130施加至第一流动路径115、第二流动路径116和第三流动路径117的情况中，可防止吸力在提供于凹陷112中的多个吸孔111a中、在提供于周边部分113中的多个吸孔111b中或在提供于肋状物114中的多个吸孔111c中产生。根据示例性实施方式，取决于剥离工艺的条件或环境，通过控制分别针对第一流动路径115、第二流动路径116和第三流动路径117提供的控制阀118，可根据吸板110的顶表面的面积调整吸力。

吸杯120分别配合至多个吸孔111a、111b和111c。吸杯120被配置为响应于超薄玻璃片12与装置层13的接触压力在纵向方向上可弹性压缩。具体地，配合至凹陷112中的多个吸孔111a的吸杯120与装置层13接触，并且由装置层13的接触压力弹性压缩。此外，配合至多个吸孔111b和111c的吸杯120与超薄玻璃片12直接接触，并且由超薄玻璃片12的接触压力弹性压缩。

如在图5(a)和图5(b)中图示，当在纵向方向上可弹性压力的吸杯120配合至凹陷112的吸孔111a时，此配置可共同地用于用于其他超薄玻璃片12的剥离工艺，在所述其他超薄玻璃片12中的每一者上，提供具有不同厚度的装置层13。

此外，配合至提供于周边部分113和肋状物114中的多个吸孔111b和111c的吸杯120用以保护超薄玻璃片12，使得超薄玻璃片12的一个表面不因与从金属形成的吸板110的顶表面的直接接触而受到局部损坏。

如在图6和图7中图示，根据示例性实施方式，吸杯120中的每一者可包括固定部分121和操作部分122。

固定部分121紧固至吸孔111a、111b和111c中的对应的吸孔的内周表面。固定部分121的外周表面可与该对应的吸孔111a、111b或111c的该内周表面螺钉接合。固定部分121可具备在其纵向方向上延伸的第一孔（未展示）。根据示例性实施方式，固定部分121可从金属形成。

该操作部分122可提供为波纹管。该操作部分122可配合于固定部分121的顶端周围。归因于此配置，操作部分122可从吸板110的顶表面突出。此外，操作部分122具备在操作部分122的纵向方向上延伸的第二孔（未展示），以与在固定部分121中提供的第一孔（未展示）连通。

根据示例性实施方式，操作部分122可实质上与超薄玻璃片12和装置层13接触或紧密接触。根据示例性实施方式，响应于超薄玻璃片12或装置层13的接触压力，将操作部分122弹性压缩。当如上所述压缩或返回操作部分122时，根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备可共同地用于用于超薄玻璃片12的剥离工艺，在所述超薄玻璃片12中的每一者上提供具有不同厚度的装置层13。

真空泵130经由第一流动路径115、第二流动路径116和第三流动路径117连接至吸板110，并且更特别地，连接至提供于在吸板110的顶表面中限定的凹陷112、周边部分113和肋状物114中的多个吸孔111a、111b和111c，以便将负压力施加至该多个吸孔111a、111b和111c。更具体地，由于吸杯120分别配合至多个吸孔111a、111b和111c，因此真空泵130实质上将负压力施加至配合至多个吸孔111a、111b和111c的吸杯120。

由真空泵130施加的此负压力在对应的区域中的多个吸杯120中产生吸力。因此，保持与多个吸杯120接触以用于剥离工艺的超薄玻璃片12或装置层13由吸杯120吸住。因此，可将坐落于吸板110的顶表面上的玻璃层板10剥离。

控制器140通过控制真空泵130来调整施加至多个吸孔111a、111b和111c的负压力。根据示例性实施方式，控制器140可控制真空泵130以将均匀负压力施加至多个吸孔111a、111b和111c。

根据示例性实施方式，甚至在将均匀负压力施加至提供于凹陷112中的多个吸孔111a和提供于周边部分113中的多个吸孔111b的情况中，可在凹陷112和周边部分113中产生不同等级的吸力，这是由于凹陷112中的多个吸孔111a的浓度可与周边部分113中的多个吸孔111b的浓度不同。具体地，甚至在施加均匀负压力的情况中，仍可在提供装置层13的凹陷112中产生相对低量的吸力，而可在未提供装置层13且与超薄玻璃片12的一个表面接触的周边部分113中产生相对高量的吸力。根据示例性实施方式，吸孔的浓度经设定以根据面积变化，使得根据面积产生不同等级的吸力。然而，此仅为说明性，并且可取决于剥离工艺的条件或环境，将根据面积的吸孔的浓度调整为相同或不同。同样地，可取决于剥离工艺的条件或环境恰当地调整吸孔的大小。

如在图11和图12中图示，根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备可进一步包括至少一个吸帽150。当玻璃层板10坐落于吸板110的顶表面上时，将吸帽150置放于载体玻璃片11上。吸帽150连接至由该控制器140控制的真空泵130，并且使用由真空泵130施加的负压力吸住载体玻璃片11的顶部部分。

根据示例性实施方式，吸帽150被配置为在顶部-底部方向上移动。吸帽150在顶部-底部方向上的移动由控制器140控制。具体地，吸帽150由控制器140控制以当吸住载体玻璃片11时提升载体玻璃片11，由此将载体玻璃片11与由吸板110吸住的超薄玻璃片12完全分离。此处，控制器140可控制真空泵130在剥离传播的方向上依序地将负压力施加至多个吸帽150。

根据示例性实施方式，吸板110可被配置为可在水平方向上移动。因此，当玻璃层板10坐落于吸板110的顶表面上时，在多个吸帽150下方移动吸板110。当完成剥离工艺时，可将吸板110返回至初始位置。

如在图13中图示，根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备可进一步包括安置于吸板110周围的第一托盘161、第二托盘162、第三托盘163和第四托盘164。在剥离工艺前，将待剥离的玻璃层板10置放于第一托盘161中。经剥离的超薄玻璃片12（即，与载体玻璃片11分离的超薄玻璃片12）依序装载于第二托盘162中。经剥离的载体玻璃片11依序装载于第三托盘163中。此外，多个纸片在供应至第一托盘161、第二托盘162和第三托盘163前被装载于第四托盘164中。

如上所述，根据示例性实施方式，将玻璃层板10从第一托盘161移动至第二托盘162，将经剥离的超薄玻璃片12从吸板110移动至第二托盘162，并且将经剥离的载体玻璃片11从吸板110移动至第三托盘163。此外，将纸片从第四托盘164移动至第一托盘161、第二托盘162和第三托盘163。

对于玻璃层板10、经剥离的超薄玻璃片12、经剥离的载体玻璃片11和纸片的上述移动，根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备可进一步包括台架单元170，如在图13中图示。

台架单元170围绕第一托盘161至第四托盘164行进以输送玻璃层板10、经剥离的超薄玻璃片12、经剥离的载体玻璃片11和纸片。稍后将更详细地描述台架单元170的移动的顺序和方法。

下文，将参看图11和图13描述使用根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备将玻璃层板剥离的工艺。在以下描述中，对于在图11至图13中未图标的部件，将参考其余图。

根据示例性实施方式的将玻璃层板剥离的方法包括一定位步骤、压力施加步骤和剥离步骤。

首先，如在图11和图13中图示，在定位步骤中，玻璃层板10位于吸板110的顶表面上的适当位置中。具体地，在定位步骤中，在台架单元170提升置放于第一托盘161中的玻璃层板10后，完成视觉对准，并且接着玻璃层板10位于吸板110的顶表面上的适当位置中。在定位步骤中，玻璃层板10坐落于吸板110的顶表面上，使得超薄玻璃片12面向下（在所述图式中）。此处，玻璃层板10位于适当位置中，使得载体玻璃片11的底表面不触碰吸板110的顶表面。

在将玻璃层板10定位于吸板110的顶表面上的适当位置中的过程中，从超薄玻璃片12的一个表面突出的装置层13容纳于吸板110的凹陷112中。此处，配合至凹陷112中的多个吸孔111a的多个吸杯120与装置层13接触，并且由装置层13的接触压力压缩。因此，超薄玻璃片12可维持其平板形状。超薄玻璃片12的无装置层13的一个表面的其他部分坐落于吸板110的周边部分113和肋状物114上。更具体地，超薄玻璃片12的无装置层13的一个表面的其他部分与配合至周边部分113和肋状物114中的多个吸孔111b和111c的多个吸杯120接触，并且因此，全部吸杯120经压缩。

稍后，在压力施加步骤中，将负压力施加至多个吸杯120以吸住位于吸板110的顶表面上的适当位置中的玻璃层板10。即，通过由控制器140控制真空泵130，压力施加步骤将负压力施加至吸板110的顶表面。因此，玻璃层板10由吸板110吸住，并且支持于吸板110的顶表面上。此处，在根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备中，相对低量的吸力可产生于凹陷112中，并且相对高量的吸力可产生于周边部分113和肋状物114中，而与均匀负压力经施加至各别区域无关，这是由于在凹陷112中的多个吸孔111a的浓度可与在周边部分113和肋状物114中的多个吸孔111b的浓度不同。

如上所述，在压力施加步骤中，玻璃层板10吸住至吸板110，并且接着在多个吸帽150下方移动吸板110。

随着在第一托盘161的顶部位置中的玻璃层板10移动至吸板110用于剥离工艺，夹在装载于第一托盘161中的最上部玻璃层板10之间的纸片在外部暴露。根据示例性实施方式，纸片可移动至第三托盘163，并且装载于第四托盘164中的纸片可移动至第二托盘162。

稍后，如在图12中图示，在剥离步骤中，在位于下方的超薄玻璃片12由吸板110吸住（更特别地，至多个吸杯120）且位于上方的载体玻璃片11由多个吸帽150吸住的位置中，将载体玻璃片11从超薄玻璃片12剥离。

剥离步骤系通过使用吸帽150吸住载体玻璃片11且接着将载体玻璃片11从一侧提升至另一侧来执行。在剥离步骤中，经受剥离的载体玻璃片11的部分可依序地在剥离传播方向上吸住。具体地，剥离工艺可易于通过依序地提升安置于经受剥离的载体玻璃片11的部分上的多个吸帽150中的吸帽150（通过对其施加负压力）来执行。

在此剥离步骤中使载体玻璃片11与超薄玻璃片12完全分离后，可释放施加至多个吸杯120的负压力。以此方式，可完成针对单一玻璃层板10的剥离工艺。

当完成剥离工艺时，超薄玻璃片12可保持由吸板110吸住，同时载体玻璃片11可保持由吸帽150吸住。

在一些实施方式中，为了针对另一玻璃层板10连续地执行剥离工艺，吸住超薄玻璃片12的吸板110返回至初始位置，并且接着释放施加至超薄玻璃片12的负压力。稍后，操作台架单元170以将超薄玻璃片12移动至第二托盘162。

稍后，移除超薄玻璃片12的吸板110在多个吸帽150下方移动，并且接着移除施加至吸帽150的负压力，使得由吸帽150吸住的载体玻璃片11坐落于吸板110上。

随后，吸板110（其中载体玻璃片11坐落于其顶表面上）返回至初始位置。此外，通过操作台架单元170，将载体玻璃片11移动至第三托盘163。

稍后，针对另一玻璃层板10的剥离工艺通过重复上述步骤来执行。

此外，使用根据示例性实施方式的用于支持剥离的设备从载体玻璃片11剥离的超薄玻璃片12在将多个装置层13转换成单独面板的工艺中进行切割。

已经相对于图式而提出本公开内容的具体示例性实施方式的前述描述，并且并不意图为详尽的或将本公开内容限于本文中公开的精确形式，并且根据以上教示，许多修改和变化对本领域普通技术人员将明显是可能的。

因此，本公开内容的范围不意图限于前述实施方式，而是由所附于此的权利要求书及其等效内容定义。

Claims (23)

1.一种用于支持将结合为单一玻璃层板的载体玻璃片和超薄玻璃片剥离的工艺的设备，所述设备包括：

吸板，所述吸板包括限定用于吸住坐落于其上的玻璃层板的吸孔的多个吸孔部分，以及限定容纳从所述玻璃层板的超薄玻璃片的一个表面突出的至少一个装置层的至少一个凹陷的至少一个凹陷部分；

多个吸杯，所述多个吸杯分别配合至所述多个吸孔部分，使得所述多个吸杯响应于所述超薄玻璃片与所述装置层的接触压力而可弹性压缩；

真空泵，所述真空泵连接至所述多个吸孔部分以将负压力施加至所述多个吸孔部分；和

控制器，所述控制器控制所述真空泵以调整施加至所述多个吸孔部分的所述负压力，

其中所述超薄玻璃片的厚度的范围为从20 μm至250 μm。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述凹陷部分比所述装置层的厚度深。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述至少一个凹陷部分安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的表面上，并且

所述吸板进一步包括周边部分，所述周边部分包围在所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的所述表面上的所述至少一个凹陷部分。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述至少一个凹陷部分包括多个凹陷部分，所述多个凹陷部分安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的表面上，并且

所述吸板进一步包括包围所述多个凹陷部分的周边部分，以及在所述多个凹陷部分间中的相邻的凹陷部分之间安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的所述表面上的肋状物。

5.如权利要求4所述的设备，其中所述吸板包括：

第一流动路径，提供于所述多个凹陷部分中的每一凹陷部分中的所述多个吸孔部分中的吸孔部分通过所述第一流动路径连接，所述第一流动路径连接至所述真空泵；

第二流动路径，提供于所述周边部分中的所述多个吸孔部分中的吸孔部分通过所述第二流动路径连接，所述第二流动路径连接至所述真空泵；和

第三流动路径，提供于所述肋状物中的所述多个吸孔部分中的吸孔部分通过所述第三流动路径连接，所述第三流动路径连接至所述真空泵。

6.如权利要求5所述的设备，其中所述吸板进一步包括分别安置于所述第一流动路径、所述第二流动路径和所述第三流动路径上的控制阀。

7.如权利要求6所述的设备，其中所述第一流动路径包括分别提供于所述多个凹陷部分中的多个第一流动路径，所述多个第一流动路径被单独地控制。

8. 如权利要求1所述的设备，其中所述多个吸杯中的每一者包括：

固定部分，所述固定部分紧固至所述多个吸孔部分中的对应的吸孔部分的内周表面，其中第一孔部分在所述固定部分的纵向方向上延伸；和

操作部分，所述操作部分耦接至所述固定部分的顶端以从所述吸板的顶表面突出，其中第二孔部分在所述操作部分的纵向方向上延伸以与所述第一孔部分连通，所述操作部分响应于所述超薄玻璃片或所述装置层的接触压力而可弹性压缩。

9.如权利要求8所述的设备，其中所述固定部分的外周表面与所述对应的吸孔部分的所述内周表面螺钉接合。

10.如权利要求9所述的设备，其中所述操作部分包括波纹管。

11.如权利要求1所述的设备，其中所述玻璃层板被配置为使得相对比所述超薄玻璃片厚和宽的载体玻璃片结合至所述超薄玻璃片，同时包围所述超薄玻璃片。

12.如权利要求1所述的设备，进一步包括在所述玻璃层板坐落于所述吸板上后安置于所述玻璃层板的载体玻璃片上的至少一个吸帽。

13.如权利要求12所述的设备，其中所述至少一个吸帽连接至由所述控制器控制的所述真空泵，以使用由所述真空泵施加的负压力吸住所述载体玻璃片。

14. 如权利要求13所述的设备，其中所述至少一个吸帽被配置为在顶部-底部方向上可移动，以在所述控制器的控制下提升所述载体玻璃片，由此将所述载体玻璃片与所述超薄玻璃片拆开。

15.如权利要求14所述的设备，其中所述至少一个吸帽包括多个吸帽，并且

所述控制器控制所述真空泵在剥离传播方向上将负压力依序地施加至所述多个吸帽。

16.如权利要求12所述的设备，其中所述吸板可在水平方向上移动。

17.如权利要求16所述的设备，其中所述吸板在所述玻璃层板坐落于其上后在所述至少一个吸帽下方移动，并且在完成剥离后返回至初始位置。

18.如权利要求1所述的设备，进一步包括安置于所述吸板周围的第一托盘至第四托盘，其中待剥离的所述玻璃层板置放于所述第一托盘中，所述剥离的超薄玻璃片置放于所述第二托盘中，所述剥离的载体玻璃片置放于所述第三托盘中，并且多个纸片在供应至所述第一托盘至所述第三托盘前被装载于所述第四托盘中。

19.如权利要求18所述的设备，进一步包括台架单元，所述台架单元围绕所述吸板和所述第一托盘至所述第四托盘行进以输送所述玻璃层板、所述剥离的超薄玻璃片、所述剥离的载体玻璃片和所述多个纸片。

20.一种将结合为单一玻璃层板的载体玻璃片和超薄玻璃片剥离的方法，所述方法包括：

使玻璃层板定位于如权利要求1所述的设备的所述吸板的顶表面上的适当位置中；

将负压力施加至所述吸板以吸住位于所述吸板的所述顶表面上的所述玻璃层板；和

将所述玻璃层板的载体玻璃片从所述玻璃层板的超薄玻璃片剥离，同时所述吸板正吸住所述超薄玻璃片。

21.如权利要求20所述的方法，其中所述玻璃层板位于适当位置中，使得所述载体玻璃片不与所述吸板接触。

22.如权利要求20所述的方法，其中将所述载体玻璃片从所述超薄玻璃片剥离的步骤包括：吸住所述载体玻璃片和依序地将所述载体玻璃片从一侧提升至另一侧。

23.如权利要求22所述的方法，其中所述吸住所述载体玻璃片包括：在剥离传播方向上依序地吸住所述载体玻璃片的部分。