CN112238057A - 多工位检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种多工位检测装置，包括检测平台及取料测试机构。检测平台设有导向件。取料测试机构设有至少两个。取料测试机构包括升降组件、平移组件及连接于升降组件及平移组件的取放料组件，取放料组件滑动地连接于导向件，平移组件用于驱动取放料组件沿导向件移动，升降组件用于驱动取放料组件进行升降。取料测试机构设有至少两个，单个取料测试机构的取放料组件由独立的升降组件及平移组件组合驱动。多个取料测试机构的取放料组件在检测平台上共用同一个导向件进行导向，这样能够减少平移组件之间的共同部分，降低组装精度要求，便于组装及维护。

Description

多工位检测装置

技术领域

本发明涉及检测设备技术领域，特别是涉及一种多工位检测装置。

背景技术

随着半导体行业的快速发展，芯片的产量逐渐增加。芯片生产完成后，通常采用检测设备，例如平移式分选机，其可对芯片提供测试所需的压力以及对已完成测试的芯片进行分类。

常见的检测设备设有水平运动结构及垂直运动结构，水平运动结构带动手臂进行水平运动，垂直运动结构带动手臂进行垂直运动，垂直和水平运动结合带动终端取料及测试结构运动，最终完成测试。常见的驱动方式对水平运动结构的组装精度要求相当高，以致组装费时费力且不便于维护。此外，若组装精度较低则影响运行精度，导致整机效率下降。

发明内容

基于此，有必要提供一种多工位检测装置，它能够降低组装精度要求，便于组装及维护。

一种多工位检测装置，所述多工位检测装置包括：

检测平台，设有导向件；及

取料测试机构，设有至少两个，包括升降组件、平移组件及连接于所述升降组件及平移组件的取放料组件，所述取放料组件滑动地连接于所述导向件，所述平移组件用于驱动所述取放料组件沿所述导向件移动，所述升降组件用于驱动所述取放料组件进行升降。

在其中一个实施例中，所述检测平台设有第一导向条孔，所述第一导向条孔沿所述导向件的导向方向设置；所述取放料组件包括取料件及连接所述取料件的压杆，所述压杆活动地设于所述第一导向条孔内。

在其中一个实施例中，所述第一导向条孔设有两个，两个所述第一导向条孔分别位于所述导向件的两侧；

所述压杆纵向设有第二导向条孔，所述导向件穿过所述第二导向条孔，所述第二导向条孔的两侧壁分别活动地设于所述第一导向条孔。

在其中一个实施例中，所述取料测试机构包括连接件及第一滑轨，所述第一滑轨纵向设于所述取放料组件，所述连接件滑动地连接于所述第一滑轨，并连接于所述平移组件。

在其中一个实施例中，所述取料测试机构包括第二滑轨，所述第二滑轨横向设于所述升降组件，所述第二滑轨沿所述导向件的导向方向设置，所述取放料组件滑动连接于所述第二滑轨。

在其中一个实施例中，所述升降组件还包括第一丝杆、第一丝杆螺母、第一驱动电机、第一同步带轮及传动连接所述第一同步带轮的第一同步带；所述第一同步带轮设有两个，其中一个所述第一同步带轮连接于所述第一驱动电机的输出轴，另一个所述第一同步带轮连接于所述第一丝杆，所述第一丝杆螺母螺纹连接于所述第一丝杆，所述第二滑轨设于所述第一丝杆螺母。

在其中一个实施例中，所述升降组件还包括侧板及第三滑轨，所述第三滑轨纵向设于所述侧板，所述第二滑轨横向且滑动地连接于所述第三滑轨。

在其中一个实施例中，所述平移组件包括第二驱动电机、第二丝杆、第二丝杆螺母、第二同步带轮及传动连接所述第二同步带轮的第二同步带；所述第二同步带轮设有两个，其中一个所述第二同步带轮设于所述第二驱动电机的输出轴，另一个所述第二同步带轮设于所述第二丝杆的一端，所述第二丝杆螺母螺纹连接于所述第二丝杆，所述取放料组件连接于所述第二丝杆螺母。

在其中一个实施例中，所述多工位检测装置还包括运料机构，所述运料机构对应所述多工位检测装置设置。

在其中一个实施例中，每个所述运料机构包括输送组件、用于盛放待测元件的入料组件及用于盛放测试后元件的出料组件，所述输送组件用于输送所述入料组件及出料组件。

上述的多工位检测装置，取料测试机构设有至少两个，单个取料测试机构的取放料组件由独立的升降组件及平移组件组合驱动。多个取料测试机构的取放料组件在检测平台上共用同一个导向件进行导向，这样能够减少平移组件之间的共同部分，降低组装精度要求，便于组装及维护。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。

图1为本发明一实施例的多工位检测装置的结构示意图；

图2为图1所示的多工位检测装置的俯视图；

图3为图1所示的多工位检测装置的第一取料测试机构的结构示意图；

图4为图3所示的多工位检测装置的第一取料测试机构的俯视图；

图5为图1所示的多工位检测装置的第二取料测试机构的结构示意图；

图6为图5所示的多工位检测装置的第二取料测试机构的俯视图；

图7为图1所示的多工位检测装置的检测平台及运载机构的结构示意图；

图8为图1所示的多工位检测装置的运载机构的俯视图。

附图标号：

10、检测平台；11、导向件；12、第一导向条孔；20、取料测试机构；21、连接件；22、第一滑轨；23、第二滑轨；24、升降组件；241、侧板；242、第一丝杆；243、第一丝杆螺母；244、第一驱动电机；245、第一同步带轮；246、第一同步带；247、第一支撑块；248、垫块；249、安装板；25、平移组件；251、第二驱动电机；252、第二丝杆；253、第二同步带轮；254、第二支撑块；26、取放料组件；261、压杆；2611、第二导向条孔；262、取料件；27、第三滑轨；28、第一取料测试机构；29、第二取料测试机构；30、运料机构；31、输送组件；32、入料组件；33、出料组件；40、取料位；50、测试位。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

参阅图1和图2，图1示出了本发明一实施例中的多工位检测装置的结构示意图，图2示出了图1所示的多工位检测装置的俯视图。本发明一实施例提供的多工位检测装置，包括检测平台10及取料测试机构20，检测平台10设有导向件11。取料测试机构20设有至少两个；取料测试机构20包括升降组件24、平移组件25及连接于升降组件24及平移组件25的取放料组件26，取放料组件26滑动地连接导向件11，平移组件25用于驱动取放料组件26沿导向件11移动，升降组件24用于驱动取放料组件26升降。

具体地，导向件11为导轨，导轨设于检测平台10的正中心。或者，导向件11为导槽体，导槽体设于检测平台10的正中心；取放料组件26设有导向块，导向块滑动地设于导槽体内。

上述多工位检测装置，取料测试机构20设有至少两个，单个取料测试机构20的取放料组件26由独立的升降组件24及平移组件25组合驱动。多个取料测试机构20的取放料组件26在检测平台10上共用同一个导向件11进行导向，这样能够减少平移组件25之间的共同部分，降低组装精度要求，便于组装及维护。

具体到本实施例中，取料测试机构20设有两个，两个取料测试机构20分别设于导向件11的两侧。其中，两个取料测试机构20的结构相同。当然，升降组件24及平移组件25的结构可以相同，也可以不同，只要能够实现升降及平移运动即可。取料测试机构20的数量及位置可根据实际情况进行灵活设置。

在一个实施例中，参阅图1、图3和图4，图3示出了图1所示的多工位检测装置的第一取料测试机构的结构示意图，图4示出了图3所示的多工位检测装置的第二取料测试机构的俯视图。检测平台10设有第一导向条孔12，第一导向条孔12沿导向件11的导向方向设置。取放料组件26包括取料件262及连接取料件262的压杆261，压杆261活动地设于第一导向条孔12内。由于取放料组件26活动地设于第一导向条孔12内，平移组件25能够驱动取放料组件26在第一导向条孔12内水平移动，升降组件24也能够驱动取放料组件26在第一导向条孔12内升降，从而实现自动取料测试作业。另外，通过设置第一导向条孔12，这样可使取料件262在检测平台10的下方进行取料测试作业，升降组件24及平移组件25设于检测平台10上，从而降低升降组件24及平移组件25安装于检测平台10的高度，提高取料测试的稳定性及可靠性。

可选地，取料件262为吸嘴、机械手或夹爪，用于吸取或抓取元件。其中，若取料件262为吸嘴，吸嘴可以为真空吸嘴，也可以为磁性吸嘴。

进一步地，请参阅图1和图3，第一导向条孔12设有两个，两个第一导向条孔12分别位于导向件11的两侧。压杆261纵向设有第二导向条孔2611，导向件11穿过第二导向条孔2611，第二导向条孔2611的两侧壁分别活动地设于第一导向条孔12。如此，使导向件11穿过压杆261的第二导向条孔2611，这样能够提高取放料组件26运动的稳定性，从而提高取料测试的准确性。

在一个实施例中，参阅图5和图6，图5示出了图1所示的多工位检测装置的第二取料测试机构的结构示意图，图6示出了图5所示的多工位检测装置的第二取料测试机构的俯视图。取料测试机构20包括连接件21及第一滑轨22，第一滑轨22纵向设于取放料组件26，连接件21滑动地连接于第一滑轨22，并连接于平移组件25。具体地，第一滑轨22纵向设于取放料组件26的压杆261；连接件21连接于平移组件25的移动部件，例如连接于平移组件25的第二丝杆螺母。如此设置，一方面，平移组件25能够驱动取放料组件26进行水平移动，升降组件24也能够驱动取放料组件26进行升降，确保取料测试作业能够顺利完成；另一方面，在升降组件24驱动取放料组件26运动的过程中，第一滑轨22起到导向的作用，从提高取放料组件26运动的稳定性，而提高取料测试的可靠性。

当然，在其它实施例中，取放料组件26设有滑槽，连接件21对应设有与该滑槽适配的滑块，滑块滑动地设于滑槽内；或者，连接件21设有滑槽，取放料组件26对应设有滑块，这都是可行的方案。

进一步地，参阅图1和图5，第一滑轨22设有至少两个，第一滑轨22分别平行地设于取放料组件26。可选地，第一滑轨22平行地设于取放料组件26的压杆261两侧，或者第一滑轨22平行地设于第一导向条孔12所在面的两侧。如此，可进一步提高取放料组件26运动的稳定性。

需要说明的是，第一滑轨22平行地设于取放料组件26可理解为第一滑轨22绝对平行，或者第一滑轨22之间存在偏差，该偏差在一定误差范围内，但不会影响取放料组件26的运动。

具体到本实施例中，第一滑轨22设有两个，两个第一滑轨22平行设置，并且两个第一滑轨22分别位于第二导向条孔2611所在面的两侧。

在一个实施例中，参阅图1和图5，取料测试机构20包括第二滑轨23，第二滑轨23设于升降组件24。第二滑轨23沿导向件11的导向方向设置，取放料组件26滑动连接于第二滑轨23。可以理解的是，第二滑轨23连接于升降组件24的移动部件，例如连接于升降组件24的第一丝杆螺母243。一方面，平移组件25能够驱动取放料组件26水平移动，升降组件24也能够驱动取放料组件26升降，确保该多工位检测装置能够顺利完成取料测试作业；另一方面，在平移组件25驱动取放料组件26水平移动的过程中，第二滑轨23起到导向的作用，提高取放料组件26水平移动的稳定性，从而提高取料测试的可靠性。

需要说明的是，第二滑轨23沿导向件11的导向方向设置是指第二滑轨23与导向件11平行设置，可理解为第二滑轨23与导向件11绝对平行，也可是第二滑轨23与导向件11之间具有一定的偏差，该偏差在一定误差范围内，并不会影响取放料组件26的运动。

当然，在其它实施例中，取料测试机构20还包括滑块及导槽体，导槽体与导向件11的导向方向相同。导槽体设于升降组件24，滑块设于取放料组件26，并且滑块滑动地设于导槽体内。如此，平移组件25也能够驱动取放料组件26水平移动，同时导槽体对取放料组件26的运动起到导向作用，提高取放料组件26水平移动的稳定性。

在一个实施例中，参阅图1和图5，升降组件24还包括第一丝杆242、第一丝杆螺母243、第一驱动电机244、第一同步带轮245及传动连接第一同步带轮245的第一同步带246。第一同步带轮245设有两个，其中一个第一同步带轮245连接于第一驱动电机244的输出轴，另一个第一同步带轮245连接于第一丝杆242，第一丝杆螺母243螺纹连接于第一丝杆242，第二滑轨23设于第一丝杆螺母243。启动第一驱动电机244，通过第一同步带轮245及第一同步带246传递动能，带动第一丝杆242转动，进而带动第一丝杆螺母243移动，从而带动取放料组件26进行升降。当然，在其它实施例中，升降组件24也可以为气缸、液压杆、链条传动组件等。

进一步地，参阅图1和图5，升降组件24还包括设于检测平台10的侧板241，第一驱动电机244及第一丝杆242竖向安装于侧板241。具体地，第一驱动电机244安装于侧板241背离导向件11的一侧，第一丝杆242安装于侧板241朝向导向件11的一侧。通过设置侧板241，便于第一驱动电机244及第一丝杆242的固定安装。

具体地，参阅图1和图5，升降组件24还包括第一支撑块247，第一支撑块247设于侧板241。第一支撑块247设有安装孔，第一丝杆242穿过第一支撑块247的安装孔。可选地，第一支撑块247设有两个，两个第一支撑块247间隔地设于侧板241，用于支撑第一丝杆242的两端。通过第一支撑块247支撑第一丝杆242，使第一丝杆242与侧板241之间形成有供第一丝杆螺母243移动的空间，避免第一丝杆螺母243与侧板241之间产生摩擦，确保升降组件24能够驱动取放料组件26进行升降。

在一个实施例中，参阅图1和图5，取料测试机构20还包括第三滑轨27，第三滑轨27纵向设于侧板241，第二滑轨23滑动地连接于第三滑轨27。可以理解的是，第三滑轨27的设置方向与升降组件24的升降方向相同。通过设置第三滑轨27，并将第二滑轨23横向且滑动地连接于第三滑轨27，第三滑轨27对第二滑轨23的运动起到导向作用，提高第二滑轨23运动的稳定性，便于取放料组件26稳定地取放料。

具体到本实施例中，参阅图1和图5，第三滑轨27设有两个，两个第三滑轨27对称地设于第一丝杆242的两侧。升降组件24还包括安装板249，安装板249设于第一丝杆螺母243，并与第三滑轨27滑动连接，第二滑轨23设于安装板249。如此，可进一步提高第二滑轨23运动的稳定性。当然，在其它实施例中，第三滑轨27也可设置三个以上，第三滑轨27的数量不以此为限。

进一步地，参阅图1和图5，取料测试机构20还包括垫块248，垫块248设于侧板241，第三滑轨27对应设于垫块248的表面。通过设置垫块248，垫块248能够垫高第三滑轨27，使第二滑轨23能够滑动连接于第三滑轨27。当然，增加第三滑轨27的高度，这也是可行的方案。

在一个实施例中，参阅图1和图5，平移组件25包括第二驱动电机251、第二丝杆252、第二丝杆螺母、第二同步带轮253及传动连接第二同步带轮253的第二同步带。第二同步带轮253设有两个，其中一个第二同步带轮253设于第二驱动电机251的输出轴，另一个第二同步带轮253设于第二丝杆252的一端，第二丝杆螺母螺纹连接于第二丝杆252，取放料组件26连接于第二丝杆螺母。具体地，取放料组件26通过连接件21连接于第二丝杆螺母。启动第二驱动电机251，通过第二同步带轮253及第二同步带传递动能，带动第二丝杆252转动，进而带动第二丝杆螺母移动，从而带动取放料组件26沿导向件11水平移动。当然，在其它实施例中，平移组件25也可以为气缸、液压杆、链条传动组件等。

在一个实施例中，参阅图1和图5，平移组件25还包括第二支撑块254，第二支撑块254设于检测平台10。第二支撑块254设有安装孔，第二丝杆252穿过第二支撑块254的安装孔。通过设置第二支撑块254，第二支撑块254支撑第二丝杆252，使第二丝杆252与检测平台10之间形成有供第二丝杆螺母移动的空间，避免第二丝杆螺母与检测平台10之间产生摩擦，确保平移组件25能够驱动取放料组件26进行水平移动。

具体到本实施例中，第二支撑块254设有两个，两个第二支撑块254间隔设置，用于支撑第二丝杆252的两端。当然，在其它实施例中，第二支撑块254的数量及位置可根据实际需求进行设置，不以此为限。

在一个实施例中，参阅图1、图7和图8，多工位检测装置还包括运料机构30，运料机构30对应多工位检测装置设置。具体地，每个取料测试机构20的下方均对应设有一个运料机构30。需要说明的是，取料测试机构20的下方设有取料位40及测试位50，运料机构30将元件运送到取料位40，升降组件24及平移组件25驱动取放料组件26运动至取料位40进行取料，之后取放料组件26运动至测试位50，在测试位50对元件进行测试。测试完成后，升降组件24及平移组件25驱动取放料组件26运动至取料位40，将测试后的元件放置在运料机构30，运料机构30向前输送元件，这样便实现自动取料测试作业。

在一个实施例中，参阅图1、图7和图8，每个运料机构30包括输送组件31、用于盛放待测试元件的入料组件32及用于盛放测试后元件的出料组件33，输送组件31用于输送入料组件32及出料组件33。可选地，输送组件31为滑轨、传送带等。测试时，输送组件31输送入料组件32至取料位40，取放料组件26从入料组件32获取元件进行测试；之后，输送组件31输送出料组件33至取料位40，取放料组件26将测试后的元件放置在取放料组件，避免元件混淆。

参阅图1，在本实施例中，多工位检测装置设有两个取料测试机构20，分别为第一取料测试机构28及第二取料测试机构29，第一取料测试机构28及第二取料测试机构29分别设于导轨的两侧。该多工位检测装置的取料测试过程具体如下：

第一取料测试机构28和第二取料测试机构29上抬运动至竖直初始化位置，之后水平运动至各自取料位40初始化位置，接着垂直运动下降至入料组件32的表面，通过取料件262完成各自取料。随后，第一取料测试机构28的压杆261上抬并水平运动至测试位50上方，之后下压运动至测试位50完成测试，在该过程中第二取料测试机构29的压杆261携带元件垂直上抬后等待。当第一取料测试机构28测试结束后，第一取料测试机构28的压杆261上抬并水平运动至第一取料测试机构28的取料位40并将测试完的元件放置在出料组件33上。

待第一取料测试机构28的入料组件32携带待测试元件到达取料位40时，第一取料测试机构28的取料件262再完成取料动作并等待。同时，第二取料测试机构29的压杆261携带元件水平及垂直运动至测试位50进行测试，待测试完成后，第二取料测试机构29的压杆261上抬并水平运动至第二取料测试机构29的取料位40并将测试完的元件放置在出料组件33上。待第二取料测试机构29的入料组件32携带未测试的元件到达第二取料测试机构29的取料位40时，第二取料测试机构29的取料件262再完成取料并等待，到此一个取料测试循环完成。之后，第一取料测试机构28和第二取料测试机构29依次交替换成取料测试。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种多工位检测装置，其特征在于，所述多工位检测装置包括：

检测平台，设有导向件；及

取料测试机构，设有至少两个，包括升降组件、平移组件及连接于所述升降组件及平移组件的取放料组件，所述取放料组件滑动地连接于所述导向件，所述平移组件用于驱动所述取放料组件沿所述导向件移动，所述升降组件用于驱动所述取放料组件进行升降。

2.根据权利要求1所述的多工位检测装置，其特征在于，所述检测平台设有第一导向条孔，所述第一导向条孔沿所述导向件的导向方向设置；所述取放料组件包括取料件及连接所述取料件的压杆，所述压杆活动地设于所述第一导向条孔内。

3.根据权利要求2所述的多工位检测装置，其特征在于，所述第一导向条孔设有两个，两个所述第一导向条孔分别位于所述导向件的两侧；

所述压杆纵向设有第二导向条孔，所述导向件穿过所述第二导向条孔，所述第二导向条孔的两侧壁分别活动地设于所述第一导向条孔。

4.根据权利要求1所述的多工位检测装置，其特征在于，所述取料测试机构包括连接件及第一滑轨，所述第一滑轨纵向设于所述取放料组件，所述连接件滑动地连接于所述第一滑轨，并连接于所述平移组件。

5.根据权利要求1所述的多工位检测装置，其特征在于，所述取料测试机构包括第二滑轨，所述第二滑轨横向设于所述升降组件，所述第二滑轨沿所述导向件的导向方向设置，所述取放料组件滑动连接于所述第二滑轨。

6.根据权利要求5所述的多工位检测装置，其特征在于，所述升降组件还包括第一丝杆、第一丝杆螺母、第一驱动电机、第一同步带轮及传动连接所述第一同步带轮的第一同步带；所述第一同步带轮设有两个，其中一个所述第一同步带轮连接于所述第一驱动电机的输出轴，另一个所述第一同步带轮连接于所述第一丝杆，所述第一丝杆螺母螺纹连接于所述第一丝杆，所述第二滑轨设于所述第一丝杆螺母。

7.根据权利要求6所述的多工位检测装置，其特征在于，所述升降组件还包括侧板及第三滑轨，所述第三滑轨纵向设于所述侧板，所述第二滑轨横向且滑动地连接于所述第三滑轨。

8.根据权利要求1所述的多工位检测装置，其特征在于，所述平移组件包括第二驱动电机、第二丝杆、第二丝杆螺母、第二同步带轮及传动连接所述第二同步带轮的第二同步带；所述第二同步带轮设有两个，其中一个所述第二同步带轮设于所述第二驱动电机的输出轴，另一个所述第二同步带轮设于所述第二丝杆的一端，所述第二丝杆螺母螺纹连接于所述第二丝杆，所述取放料组件连接于所述第二丝杆螺母。

9.根据权利要求1至8任一项所述的多工位检测装置，其特征在于，所述多工位检测装置还包括运料机构，所述运料机构对应所述多工位检测装置设置。

10.根据权利要求9所述的多工位检测装置，其特征在于，每个所述运料机构包括输送组件、用于盛放待测元件的入料组件及用于盛放测试后元件的出料组件，所述输送组件用于输送所述入料组件及出料组件。

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