CN111971634B

CN111971634B - 双模式自动引导的载运器

Info

Publication number: CN111971634B
Application number: CN201980024871.8A
Authority: CN
Inventors: 克里斯多夫·W·伯克哈特; 查尔斯·迪特莫
Original assignee: Lam Research Corp
Current assignee: Lam Research Corp
Priority date: 2018-04-09
Filing date: 2019-04-09
Publication date: 2024-12-17
Anticipated expiration: 2039-04-09
Also published as: CN111971634A; KR102724769B1; US11989027B2; WO2019199856A1; KR20200130751A; US20210080968A1

Abstract

在一些示例中，提供了一种用于将模块对接在制造室中的双模自动引导载运器(AGV)。示例性的AGV可以包括：用于支撑在所述AGV上的所述模块的底盘；驱动装置，其用于在自动引导下以模块运输模式将所述AGV运输到所述制造室内的指定场地；笛卡尔x‑y移动台，其用于将所述模块在模块对接模式下在自动引导下沿x‑或y‑对接方向移动到特定的对接位置；以及z方向升降机构，其用于在所述模块对接模式期间沿z对接方向移动所述模块。

Description

双模式自动引导的载运器

优先权主张

本申请要求Burkhart等人于2018年4月9日提交的名称为“AUTONOMOUS GUIDEDVEHICLE FOR SEMICONDUCTOR EQUIPMENT TRANSPORTATION AND DOCKING”的美国临时申请No.62/655,026的优先权权益，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本公开总体上涉及双模自动引导载运器(AGV)，并且尤其涉及用于在半导体制造室(bay)中的半导体设施运输和对接的AGV。在一个示例中，提供了一种用于移动和对接设施模块的AGV。

背景技术

常规地，在半导体制造业中，在制造区域(也称为“制造室”)内晶片制造或处理模块的移动是手动完成的。由于这些模块通常需要彼此非常精确地对准，因此手动操作和其精确对准可能非常具有挑战性，特别是在现代制造计划的时间压力下。

例如，在诸如沉积或蚀刻处理工具之类的真空簇工具的情况下，通常在安装处理模块之前将真空晶片传送模块(VTM)放置在适当的位置。当将每个处理模块移入制造室时，通常需要使用x、y和z坐标以及θ(theta)(旋转)分量相对于另一个模块非常仔细且精确地进行定位，以便在处理模块和VTM上的端口精确对齐。通常，一旦端口上的某些对准销和配合孔对准，就可以将处理模块推入至与VTM室完全接触并固定在其上，从而在两个模块之间进行真空密封。尽管可以使用脚轮，气垫，起重机，吊车等来简化此移动和对准工作，但移动和最终对准操作仍会非常重复并且在时间和金钱上代价非常大，尤其是考虑到所要求的对接精度程度。

本发明人试图解决这些缺点。应当注意的是，本节中描述的信息将向本领域技术人员提供以下公开主题的一些背景，并且不应将其视为被认可的现有技术。

发明内容

在一些示例中，提供了一种用于将模块对接在制造室中的双模自动引导载运器(AGV)。示例性的AGV可以包括：用于支撑在所述AGV上的所述模块的底盘；驱动装置，其用于在自动引导下以模块运输模式将所述AGV运输到所述制造室内的指定场地；笛卡尔x-y移动台，其用于将所述模块以模块对接模式在自动引导下沿x-或y-对接方向移动到特定的对接位置；以及z方向升降机构，其用于在所述模块对接模式期间沿z对接方向移动所述模块。

附图说明

一些实施方案通过示例而非限制的方式示于附图的视图中：

图1是根据示例实施方案的半导体设施运输和对接载运器的概念性前视示意图。

图2是示出了根据各种实施方案的机器或用于引导AGV的控制器的示例的框图，或者其上可以实现或控制一种或多种示例性方法的框图。

具体实施方式

随后的描述包括实现本公开的示例性实施方案的系统、方法、技术、指令序列以及计算机器程序产品。在以下的描述中，出于解释的目的，提出许多具体细节，以便提供对示例性实施方案的透彻理解。然而，对于本领域技术人员而言，显而易见的是，可在没有这些具体细节的情况下实践本公开。

如上所述，在半导体制造设施(制造室)中，操作人员通常手动将处理模块和其他晶片加工或检查模块从一个场地手动运输到另一场地(例如，从制造厂的垃圾场转移至指定的设施室)。模块通常是很重的物品。一旦将模块大体上放置在室内，操作员通常将用手将模块操纵到精确指定的位置以进行对接操作。例如，对于将要停靠在传输模块上的处理模块，此精确步骤需要熟练、并且谨慎地处理和调整模块在x、y、z和θ(旋转)方向上的位置。仔细定位的需求可能会带来重大的生产挑战，并将延迟注入生产进度。

在图1中，提供了根据本公开的双模式自动引导载运器100的前视示意图。该载运器也称为自动引导载运器，在本文中将被称为AGV100。

AGV通常被配置为在约束场地工作。紧邻AGV的空间在使用中可能受到很大限制。在一些示例中，AGV相对于其长度而言是窄的，并且被配置为适合于打算在其中使用的制造室的轮廓内。AGV的狭窄配置允许将各种其他处理模块(PM)放置在由AGV 100安装的处理模块的任一侧。此外，出于稳定性或开销空间有限的原因，PM可能需要非常接近安装时的制造厂地板。AGV配置为提供此功能。

在图1所示的示例性AGV 100中，如图1所示，AGV负载(例如，PM 114)被直接支撑在AGV 100上方。在其他示例中，AGV 100可以具有类似于叉车的整体构造，使得负载定位机构不直接放置在AGV负载之下，而是被支撑在AGV的侧面，该AGV由具有被定位在AGV的相对端上的配重(包括例如电池)。所示的AGV 100可以在没有人力或控制的情况下在制造室的地板102上自动移动。AGV 100具有由车轮或履带106支撑并提供动力的底盘104。在这种情况下，车轮106提供推进力并允许在AGV 100的一端或两端转动(即双头转向和/或全轮驱动)。在所示的示例AGV 100中，轴108在两个所示的轮106之间延伸。在轴108的每个端部处提供转向轮106。转向轮106可以由一个或多个电动或液压马达提供动力以提供线性和旋转运动。其他动力和转向装置(例如转向轴)也是可能的。

底盘104包括支撑笛卡尔x-y移动台112的平台110。在一个示例性实施方案中，笛卡尔x-y移动台112具有精细的马达控制，以将精确的运动赋予由平台110支撑的物体。当对接诸如由AGV 100承载的半导体制造模块114之类的半导体模块时，可以采用这样受控的精确的运动。例如，可以通过AGV 100以“模块对接”模式或阶段将半导体制造模块114对接至传送模块。模块对接模式可以包括由笛卡尔x-y移动台112赋予的精细的、精确的运动，并且可以包括在整个模块安装序列中的主动操作，该整个模块安装序列包括例如模块运输和模块对接阶段。在这些阶段中，AGV可以采用相应的模块运输和模块对接模式。

在一些示例中，笛卡尔x-y移动台112可在AGV 100上旋转。移动台112由分度马达(未示出)可控制地旋转，该分度马达能够向台112赋予精细的旋转运动增量。例如，在模块对接或模块运输阶段，可以将沿θ方向的运动(即旋转和反向旋转)赋予笛卡尔表。在其他布置中，可以使用一个或伺服马达。

在一些示例中，通过定位在笛卡尔x-y移动台112和装载床118之间的升降(或倾斜)机构116，可以提供模块对接阶段或模式的z方向分量。其他装置是可行的。装载床118承载半导体制造模块114，并通过模块固定夹或螺栓120将其固定在其上。为方便起见，一些模块固定螺栓可能会穿过装载床118中的孔或通道。模块对接阶段中的有效操作可以通过升降机构116在z方向上施加的非常精细的精确运动来同时或顺序地补充。在下面进一步描述的控制器或机器200的作用下，由刚刚描述的部件赋予的x、y、z和θ运动可以相互独立，同时或顺序地发生。

AGV 100具有两种(或双重)操作模式。在模块运输阶段中的AGV“运输”模式下，例如,可以使用动力轮106和车轴108施加的(相对)粗略的平面运动将半导体制造模块114放入制造室中，并通常位于制造室中的指定场地。一旦被驱动到室中的指定场地，例如邻近VTM室，AGV 100的车轮106就被锁定，并且AGV 100为上述“模块对接”阶段的开始提供了稳定的基础。在“模块对接”模式下，由可旋转的笛卡尔x-y移动台112和升降机构116将x、y、z和θ方向的(相对)精细的运动赋予模块114，以将模块114自动地移动到特定对接位置。在该特定的对接场地，模块114可以牢固地对接至VTM室。如上文所讨论的，自动移动到制造室中的指定场地以及特定的对接场地可以减少如上所讨论的否则会造成人身伤害的重大风险。

在一些示例中，为了引导这样的精细运动，AGV 100上的传感器或摄像头122监视VTM室上的基准或定位特征，并提供观察数据，观察数据由控制器200用来指示台112和升降机构116并将半导体制造模块114引导到所需的精确对接位置。在一示例中，可展开的工具驱动器被装配到AGV100上。一旦对接了半导体制造模块114，则一个或多个工具驱动器进行操作以按照预定的方式将安装螺栓安装和扭转互连，并达到所需的扭矩值。可以使用其他紧固件或夹具。安装螺栓、紧固件或夹具可以手动安装，也可以自动安装。

在一个示例中，通过机器学习从一个场地到另一场地(例如，从垃圾区域到特定室)的路径来教导AGV 100或控制器200。在一些示例中，在半导体制造模块114已经被交付并对接之后，AGV 100通过反向地遵循所学习的路径而自行返回到垃圾区域。

在其他示例中，AGV 100从其初始装载点到半导体工具室(制造室)内部的路径可以由应用于该载运器的线(例如，胶带)、目标或其他基准来定义，地板由一般的搬入和/或安装程序定义，或由工具设施模板定义，这些模板在工具室区域内界定地板切口。在一些示例中，可以使用单独的线、目标或其他基准的集合来导航AGV 100的向前和向后，以使车轮106避开所有地板切口，并且以对接所需的近似的方位呈现货物(例如PM)。

在一些示例中，将AGV 100针对装载在其上的货物(例如PM)的类型和/或单位编号配置。装载的货物的详细信息可以由操作员手动输入到处理器中，也可以使用板载传感器自动确定，以便一旦AGV 100到达半导体工具室的附近，AGV 100就会遵循特定货物的成组的适当的线、目标或其他基准。

在一些示例中，AGV 100配备有摄像头和传感器以提供障碍物和人员回避功能，以及加速度计以帮助优化运输速度和加速度以实现快速但安全的运输。例如，这种优化可以减少倾翻的危险，并在超过地板阈值和接缝时降低潜在的破坏性加速度。例如，一些示例性AGV 100可以感测并避免缺少地板砖、高架的和侧面的障碍物以及制造人员。

在一些示例中，出于运输目的，已卸载的AGV 100可能在长度、宽度和/或高度上崩溃或收缩，或者在某种情况下使得已收缩的AGV 100在狭窄的制造厂走廊中放置的已加载的AGV 100周围移动例如，其中一个以上的AGV 100正在运行。

因此，在一些示例中，提供了一种用于将模块对接在制造室中的双模自动引导载运器(AGV)，该AGV包括：用于支撑在所述AGV上的所述模块的底盘；驱动装置，其用于在自动引导下以模块运输模式将所述AGV运输到所述制造室内的指定场地；笛卡尔x-y移动台，其用于将所述模块在模块对接模式下在自动引导下沿x-或y-对接方向移动到特定的对接位置；以及z方向升降机构，其用于在所述模块对接模式期间沿z对接方向移动所述模块。

在一些示例中，所述笛卡尔x-y移动台能独立于所述驱动装置来操作。

在一些示例中，所述z方向升降机构能够独立于所述驱动装置和所述笛卡尔x-y移动台而操作。

在一些示例中，在所述模块对接模式下，所述笛卡尔x-y移动台限制所述模块向对接区外移动。

在一些示例中，其中所述AGV在所述制造室中的指定场地和所述特定的对接位置均在所述对接区内。

在一些示例中，所述AGV在所述制造室中的所述指定场地在所述对接区域之外，并且其中，所述特定对接位置在所述对接区域内，并且其中，所述笛卡尔x-y移动台被配置为自动地移动所述模块进入所述对接区域并到达所述特定的对接位置。

在一些示例中，所述笛卡尔x-y移动台能在所述AGV上旋转，以在所述模块运输模式和所述模块对接模式下向所述模块施加旋转运动。

在一些示例中，所述AGV还包括分度马达，以使笛卡尔x-y移动台以指定的旋转增量旋转。

在一些示例中，所述AGV还包括倾斜设备，所述倾斜设备用于将所述模块的表面移出最初由所述笛卡尔x-y台限定的x-y平面。

在一些示例中，在所述模块运输模式和模块对接模式下，所述驱动装置、所述笛卡尔x-y移动台、所述分度马达、所述升降机构和所述倾斜设备能同时且彼此独立地操作。

在一些示例中，所述AGV还包括至少一个AGV传感器，以检测所述制造室的外部基准或场地特征或与其通信。在一些示例中，所述至少一个AGV传感器以所述模块运输模式和所述模块对接模式收集观察数据，并将所述观察数据传送至外部控制器。

在一些示例中，所述AGV基于所述观察数据从所述外部控制器接收导航命令，以在所述模块运输模式和所述模块对接模式中自动地引导所述AGV。

在一些示例中，基于所述观察数据对所述外部控制器进行机器训练以构造模块运输和模块对接路径，以将所述模块引导至所述特定对接位置。

在一些示例中，所述AGV还包括工具驱动器工具，以在所述特定对接位置将所述模块与其他设施对接。

图2是示出了控制器或机器200的示例的框图，通过该控制器或机器200，可以控制AGV 100以及本文所述的一种或多种示例方法。在替代性实施方案中，机器200可作为独立设备操作或可连接(例如联网)至其他机器。在联网的部署中，机器200可以在服务器-客户端网络环境中以服务器机器、客户端机器或服务器机器和客户端机器两者的能力操作。在一示例中，机器200可充当点对点(P2P)(或其他分布式)网络环境中的对等机器。另外，虽然仅说明了单一机器200，但术语“机器”也应视为包括任何机器的集合，其个别地或共同地执行一组(或多组)指令以执行本文所讨论的方法中的任一者或多者，诸如经由云计算、软件即服务(SaaS)、或其他计算机集群配置进行。

如本文所述的示例可包括逻辑、多个部件或机构，或可通过逻辑、多个部件或机构操作。电路系统是在有形实体中实施的电路的集合，其包括硬件(例如简单的电路、栅极、逻辑等)。电路系统资格可随时间推移以及潜在的硬件可变性而具有灵活性。电路系统包括可在操作时单独或组合地执行指定操作的构件。在一示例中，电路系统的硬件可不变地设计成执行特定的操作(例如，硬连线)。在一示例中，电路系统的硬件可包括可变地连接的物理部件(例如，执行单元、晶体管、简单电路等)，其包括经物理性(例如，磁性、电性、通过无变化群集粒子的可移动放置等)修改的计算机可读介质，以将特定操作的指令编码。在连接物理部件方面，硬件组件的潜在的电性质被改变(例如，由绝缘体改变成导体、或反之亦然)。指令使嵌入式硬件(例如，执行单元或加载机构)能够经由可变连接来建立硬件中的电路系统的构件，以在操作时执行部分特定操作。因此，当设备正操作时，计算机可读介质通信耦合至电路系统的其他部件。在一示例中，物理部件中的任何部件可用于超过一个电路系统的超过一个的构件中。例如，在操作状态下，执行单元可在一时间点用于第一电路系统的第一电路中，并在不同时间由第一电路系统中的第二电路、或由第二电路系统中的第三电路重复使用。

机器(例如计算机系统)200可包括硬件处理器202(例如中央处理单元(CPU)、硬件处理器芯、或其任何组合)、图形处理单元(GPU)203、主存储器204、及静态存储器206、这些中的一些或全部可经由互连链路(例如总线)208彼此通信。机器200还可包括显示设备210、字母数字输入设备212(例如键盘)、以及用户接口(UI)导航设备214(例如，鼠标)。在一示例中，显示设备210、字母数字输入设备212以及UI导航设备214可为触摸屏显示器。机器200可另外包括大容量储存设备(例如，驱动单元)216、信号产生设备218(例如，扬声器)、网络接口设备220、以及一或多个传感器221(诸如全球定位系统(GPS)传感器、罗盘、加速度计、或另一传感器)。机器200可包括输出控制器228，诸如串联(例如，通用序列总线(USB))、并联、或其他有线或无线(例如，红外线(IR)、近场通讯(NFC)等)连接，以与一或多个外围设备(例如，打印机、卡片阅读机等)通信或控制该一或多个外围设备。

大容量储存设备216可以包括机器可读介质222，其上储存一或多组数据结构或指令224(例如软件)，该数据结构或指令224由本文所述的技术或功能中的任一者或多者体现或利用。指令224在其由机器200执行期间，也可完全或至少部分地常驻在主存储器204内、静态存储器206内、硬件处理器202内、或GPU 203内。在一示例中，硬件处理器202、GPU203、主存储器204、静态存储器206、或大容量储存设备216中的一者或任何组合可构成机器可读介质222。

虽然机器可读介质222被作为单一介质说明，但术语“机器可读介质”可包括被构造成储存一或多个指令224的单一介质或多个介质(例如，集中式或分布式数据库、和/或相关联的高速缓存及服务器)。

术语“机器可读介质”可包括任何介质，其能够储存、编码、或承载供机器200执行的指令224，并造成机器200执行本公开内容的技术的任一者或多者，或其能储存、编码、或承载由此指令224所使用或与此指令224相关联的数据结构。非限制性机器可读介质的示例可包括固态存储器、及光学与磁性介质。在一示例中，群集的机器可读介质包括具有多个颗粒的机器可读介质222，该颗粒具有不变(例如，静止)质量。因此，群集的机器可读介质不是瞬时传播信号。群集的机器可读介质的特定示例可包括非挥发性存储器，诸如半导体存储器设备(例如，电可编程只读存储器(EPROM)、电擦除可编程只读存储器(EEPROM))及闪存设备；磁盘，诸如内部硬盘及可移动磁盘；磁光盘；以及CD-ROM和DVD-ROM盘。指令224还可经由网络接口设备220使用传输介质在通信网络226上传输或接收。。

尽管已参考特定的示例性实施方案描述实施方案，但显而易见，可在不脱离本发明的更宽广的精神及范围的情况下对这些实施方案作出各种修改和变化。因此，说明书和附图应视为说明性而非限制性意义。形成本文的一部分的附图通过说明而非限制的方式示出具体实施方案，在所述具体实施方案中可实施主题。所说明的实施方案被充分详细地描述，以使本领域技术人员能够实践本文所公开的教导。可利用其他实施方案并由其推导，使得可在不脱离本公开内容的范围的情况下作出结构和逻辑替代及改变。因此，该具体实施方式不应视为具有限制意义，且各种实施方案的范围仅由所附权利要求、随同这些权利要求被赋予的等同方案的完整范围所界定。

本发明主题的此类实施方案可仅为了方便而在本文中由术语“发明”单独地和/或共同地指代，且如果事实上公开超过一个发明或发明构思，则不旨在将本申请的范围自发地限制于任何单一发明或发明构思。因此，虽然已在本文说明和描述了特定实施方案，但应理解经计算来达成相同目的的任何配置可替代所示的特定实施方案。本公开内容旨在涵盖各种实施方案的任何和所有改编或变型。在审视以上描述时，上述实施方案与未在本文具体描述的其他实施方案的组合对于本领域技术人员而言将是显而易见的。

Claims

1.一种用于将模块对接在制造室中的双模自动引导载运器(AGV)，该AGV包括：

用于支撑在所述AGV上的所述模块的底盘；

驱动装置，其用于在自动引导下以模块运输模式将所述AGV运输到所述制造室内的指定场地；

笛卡尔x-y移动台，其用于将所述模块以模块对接模式在自动引导下沿x-或y-对接方向移动到特定的对接位置,其中，在所述模块对接模式下，所述笛卡尔x-y移动台限制所述模块向对接区外移动；以及

z方向升降机构，其用于在所述模块对接模式期间沿z对接方向移动所述模块。

2.根据权利要求1所述的AGV，其中，所述笛卡尔x-y移动台能独立于所述驱动装置来操作。

3.根据权利要求1所述的AGV，其中，所述z方向升降机构能够独立于所述驱动装置和所述笛卡尔x-y移动台而操作。

4.根据权利要求1所述的AGV，其中，所述AGV在所述制造室中的所述指定场地和所述特定的对接位置均在所述对接区内。

5.根据权利要求1所述的AGV，其中，所述AGV在所述制造室中的所述指定场地在所述对接区之外，并且其中，所述特定对接位置在所述对接区域内，并且其中，所述笛卡尔x-y移动台被配置为自动地移动所述模块进入所述对接区并到达所述特定的对接位置。

6.根据权利要求1所述的AGV，其中，所述笛卡尔x-y移动台能在所述AGV上旋转，以在所述模块运输模式和所述模块对接模式下向所述模块施加旋转运动。

7.根据权利要求6所述的AGV，其还包括分度马达，以使所述笛卡尔x-y移动台以指定的旋转增量旋转。

8.根据权利要求7所述的AGV，其还包括倾斜设备，所述倾斜设备用于将所述模块的表面移出最初由所述笛卡尔x-y台限定的x-y平面。

9.根据权利要求8所述的AGV，其中，在所述模块运输模式和模块对接模式下，所述驱动装置、所述笛卡尔x-y移动台、所述分度马达、所述升降机构和所述倾斜设备能同时且彼此独立地操作。

10.根据权利要求1所述的AGV，其还包括至少一个AGV传感器，以检测所述制造室的外部基准或场地特征或与其通信。

11.根据权利要求10所述的AGV，其中，所述至少一个AGV传感器以所述模块运输模式和所述模块对接模式收集观察数据，并将所述观察数据传送至外部控制器。

12.根据权利要求11所述的AGV，其中，所述AGV基于所述观察数据从所述外部控制器接收导航命令，以在所述模块运输模式和所述模块对接模式中自动地引导所述AGV。

13.根据权利要求12所述的AGV，其中，基于所述观察数据对所述外部控制器进行机器训练以构造模块运输和模块对接路径，以将所述模块引导至所述特定对接位置。

14.根据权利要求1所述的AGV，其还包括工具驱动器工具，以在所述特定对接位置将所述模块与其他设施对接。

15.一种用于将模块对接在制造室中的双模自动引导载运器(AGV)，该AGV包括：

用于支撑在所述AGV上的所述模块的底盘；

笛卡尔x-y移动台，其用于将所述模块以模块对接模式在自动引导下沿x-或y-对接方向移动到特定的对接位置；

z方向升降机构，其用于在所述模块对接模式期间沿z对接方向移动所述模块；以及

倾斜设备，所述倾斜设备用于将所述模块的表面移出最初由所述笛卡尔x-y台限定的x-y平面。

16.根据权利要求15所述的AGV，其中，所述笛卡尔x-y移动台能独立于所述驱动装置来操作。

17.根据权利要求15所述的AGV，其中，所述z方向升降机构能够独立于所述驱动装置和所述笛卡尔x-y移动台而操作。

18.根据权利要求15所述的AGV，其中，在所述模块对接模式下，所述笛卡尔x-y移动台限制所述模块向对接区外移动。

19.根据权利要求18所述的AGV，其中，所述AGV在所述制造室中的所述指定场地和所述特定的对接位置均在所述对接区内。

20.根据权利要求18所述的AGV，其中，所述AGV在所述制造室中的所述指定场地在所述对接区之外，并且其中，所述特定对接位置在所述对接区域内，并且其中，所述笛卡尔x-y移动台被配置为自动地移动所述模块进入所述对接区并到达所述特定的对接位置。

21.根据权利要求15所述的AGV，其中，所述笛卡尔x-y移动台能在所述AGV上旋转，以在所述模块运输模式和所述模块对接模式下向所述模块施加旋转运动。

22.根据权利要求21所述的AGV，其还包括分度马达，以使所述笛卡尔x-y移动台以指定的旋转增量旋转。

23.根据权利要求22所述的AGV，其中，在所述模块运输模式和模块对接模式下，所述驱动装置、所述笛卡尔x-y移动台、所述分度马达、所述升降机构和所述倾斜设备能同时且彼此独立地操作。

24.根据权利要求15所述的AGV，其还包括至少一个AGV传感器，以检测所述制造室的外部基准或场地特征或与其通信。

25.根据权利要求24所述的AGV，其中，所述至少一个AGV传感器以所述模块运输模式和所述模块对接模式收集观察数据，并将所述观察数据传送至外部控制器。

26.根据权利要求25所述的AGV，其中，所述AGV基于所述观察数据从所述外部控制器接收导航命令，以在所述模块运输模式和所述模块对接模式中自动地引导所述AGV。

27.根据权利要求26所述的AGV，其中，基于所述观察数据对所述外部控制器进行机器训练以构造模块运输和模块对接路径，以将所述模块引导至所述特定对接位置。

28.根据权利要求15所述的AGV，其还包括工具驱动器工具，以在所述特定对接位置将所述模块与其他设施对接。