CN111912367A - 一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装 - Google Patents

Abstract

本发明提供的一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，属于检测设备技术领域，包括：XYZ移动平台，安装在底板上；测试件固定架，连接在XYZ移动平台上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆；测试件，连接在所述连接杆的底端；所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；或者，所述测试件包括:第一测试件和第二测试件，所述第一测试件具有底部平面，所述第二测试件具有侧壁弧形面；本发明的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，结构简单，测量精准，可反复使用，在同一个工装下，只需更换测试件，即可实现不同传感器的测量。

Description

一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装

技术领域

本发明涉及检测设备技术领域，具体涉及一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装。

背景技术

位移传感器是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在测量距离时，直接使用位移传感器实测的输出数据，但是随着使用时间的增长，位移传感器精度下降，造成了位移传感器精度低、重复性差等缺点，通常使用校正装置进行校准。

在测量的过程中，都是针对单探头的测量，通过千分尺与测试件相连，通过对比位移传感器显示的数据和千分尺的数据，实现位移传感器的校准。

在使用过程中，需要将单探头安装到用于固定的安装座上，构成轴向传感器或径向传感器，但是在现有技术中，对于这种轴向传感器和径向传感器需要在不同的工装下分别检测。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的一个检测工装无法对轴向和径向传感器均进行测量的缺陷，从而提供一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装。

本发明提供的一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，包括：

XYZ移动平台，安装在底板上；

测试件固定架，连接在XYZ移动平台上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆；

测试件，连接在所述连接杆的底端；

所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；

或者，所述测试件包括：第一测试件和第二测试件，所述第一测试件具有底部平面，所述第二测试件具有侧壁弧形面。

作为优选方案，所述测试件固定架的伸出端上具有适于竖直插入所述连接杆的穿过孔，所述穿过孔的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板。

作为优选方案，两个所述延伸板的延伸段上分别具有适于穿入同一紧固件的通孔。

作为优选方案，所述第二测试件具有对称设置的两个侧壁弧形面。

作为优选方案，所述第二测试件还具有对称设置的两个侧壁垂直面。

作为优选方案，所述第二测试件的上表面具有螺纹孔；所述连接杆上设置有与所述螺纹孔配合的外螺纹。

作为优选方案，所述测试件固定架包括：

竖板，与XYZ移动平台连接；

横板，垂直于所述竖板设置，朝向所述测试件延伸；

悬臂，一端与横板连接，另一端具有适于竖直插入所述连接杆的穿过孔。

作为优选方案，所述横板上设置与悬臂的延伸方向一致的凹槽，所述悬臂卡接于所述凹槽内。

作为优选方案，所述悬臂的下表面靠近所述横板的一端设置有限位面，所述限位面与所述横板的侧壁抵接。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，包括：XYZ移动平台、测试件固定架和测试件；XYZ移动平台能在X、Y、Z三个方向实现精确移动；所述测试件具有底部平面和弧形侧壁面；底部平面可用于对轴向传感器的测量，通过XYZ移动平台驱动测试件在竖直方向上靠近轴向传感器，记录XYZ移动平台的距离，并与轴向传感器在该检测间距下对应的电参数进行对比，即可实现轴向传感器的检测和校验；

所述弧形侧壁面可用于径向传感器的测量，通过XYZ移动平台驱动测试件在水平方向上靠近或远离径向传感器，记录XYZ移动平台的距离，并与径向传感器在该检测间距下对应的电参数进行对比，即可实现径向传感器的检测和校验；

该检测工装，结构简单，测量精准，可反复使用；

同时该检测件还可以包括具有底部平面的第一测试件和具有侧壁弧形面的第二测试件，在同一个工装下，只需更换测试件，即可实现不同传感器的测量。

2.本发明提供的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，所述测试件固定架的伸出端上设置有穿过孔，所述穿过孔的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板，所述延伸板上设置有通孔；将连接杆竖直插入到穿过孔内，通过紧固件穿到通孔内，调整紧固件，使得两块延伸板相互靠近，使得穿过孔的内壁贴紧连接杆，实现连接杆和测试件固定架的固定。

3.本发明提供的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，所述第二测试件具有对称设置两个侧壁弧形面和两个侧壁垂直面；安装座内对称设置有多个传感器探头，第二测试件可以对他们同时进行测量。

4.本发明提供的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，所述横板上设置有凹槽，所述悬臂卡接于所述凹槽内，实现对悬臂的限位，防止悬臂和测试件固定架发生相对的移动，影响检测精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的轴向传感器的检测工装的立体结构示意图。

图2为本发明的径向传感器的检测工装的立体结构示意图。

图3为图1所示测试件固定架的立体结构示意图。

图4为图1所示的悬臂的立体结构示意图。

图5为图1所示的悬臂的俯视结构示意图。

图6为图2所示的第二测试件的立体结构示意图。

图7为本发明的第一安装座的立体结构示意图。

图8为本发明的第二安装座的立体结构示意图。

图9为本发明的第三安装座的立体结构示意图。

附图标记说明：

1、XYZ移动平台；2、支撑架；3、第一测试件；4、第二测试件；5、底板；6、竖板；7、横板；8、悬臂；9、凹槽；10、限位面；11、穿过孔；12、延伸板；13、通孔；14、侧壁弧形面；15、侧壁垂直面；16、第一安装座；17、第一安装孔；18、第一固定孔；19、第二安装座；20、第一容纳腔；21、第二安装孔；22、第二固定孔；23、第三安装座；24、第二容纳腔；25、第三安装孔；26、传感器单探头；27、径向传感器；28、轴向传感器；29、连接杆；30、螺纹孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供的一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，如图1、2所示，包括：XYZ移动平台、测试件固定架和测试件；所述测试件具有:底部平面和弧形侧壁面，所述底部平面和弧形侧壁面可设置在一个测试件上，也可分别设置在两个测试件上，本实施例的底部平面和弧形侧壁面分别设置在两个测试件上，包括：具有底部平面的第一测试件3和具有弧形侧壁面的第二测试件4；XYZ移动平台1能在X、Y、Z三个方向实现精确移动，在测试件固定架上安装上第一测试件3，XYZ移动平台1带动第一测试件3上下移动，改变第一测试件3与轴向传感器28之间的距离，并读取轴向传感器28在该检测间距下对应的电参数，即可实现轴向传感器28的检测和校验；

在测试件固定架上安装第二测试件4，XYZ移动平台1带动第一测试件3进行前后、左右移动，改变第一测试件3与径向传感器27之间的距离，并读取径向传感器27在该检测间距下对应的电参数，即可实现径向传感器27的检测和校验；

该检测工装，结构简单，测量精准，可反复使用，在同一个工装下，只需更换测试件，即可实现不同传感器的测量。

如图1、2所示，底部设置有底板5，用于支撑，底板5的上端固定安装有XYZ移动平台1，XYZ移动平台1包括X轴移动部分，Y轴移动部分，Z轴移动部分，能带动设备在X、Y、Z三个方向实现精确移动；具体的以悬臂的延伸方向为X方向，以在同一水平面上垂直于悬臂的方向为Y方向，垂直于X、Y的方向为Z方向；XYZ移动平台1的前端设置有竖板6，垂直于竖板6设置有横板7，横板7平行于水平面，且朝向所述测试件的方向延伸，所述横板7上固定设置有悬臂8，所述悬臂8的另一端通过连接杆29与测试件连接。

如图3、4所示，所述横板7上设置有与悬臂8的延伸方向设置的凹槽9，悬臂8卡接在凹槽9内，实现对悬臂8的左右方向的限位；所述悬臂8靠近横板7的一端设置有限位面10，所述限位面10与所述横板7的侧壁抵接，对悬臂8进行限位，防止悬臂8朝向竖板6的方向移动；实现悬臂8和XYZ移动平台1的位置的相对固定，保证检测的准确性。

如图5所示，悬臂8的前端设置穿过孔11，所述穿过孔11的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板12，所述延伸板12的延伸段上具有通孔13；连接杆29插入到穿过孔11内，通过紧固件穿入到通孔13内，

悬臂8的一端通过连接杆29连接有测试件；所述测试件包括：第一测试件3和第二测试件4；

如图6所示，第一测试件3的上表面具有螺纹孔30，所述螺纹孔30与连接杆29的外表面的外螺纹配合实现第一测试件3和连接杆29的连接；所述第二测试件4具有对称设置的两个侧壁弧形面14和对称设置的两个侧壁垂直面15；

如图1所示，第二测试件4具有底部平面。

在底板5上固定有支撑架2，所述支撑架2设置在测试件的下方。

如图7所示，为传感器的第一安装座16，在安装座的中心位置设置有第一安装孔17，侧壁上设置有第一固定孔18，通过固定件穿过第一固定孔18；将传感器单探头26竖直放置在第一安装座16的第一安装孔17内，通过固定件穿过第一固定孔18，实现对传感器单探头26的固定，形成轴向传感器28，能够测量轴向方向上与测试件之间位置的改变；

如图8所示，为传感器的第二安装座19，在第二安装座19的中间设置有第一容纳腔20，所述第一容纳腔20内适于放置第二测试件4，贯穿所述第二安装座19的侧壁设置有第二安装孔21，与第二安装孔21的位置对应，在第二安装座19的上表面设置有第二固定孔22；将传感器单探头26水平放置在第二安装座19的第二安装孔21内，通过固定件穿过第二固定孔22，实现对传感器单探头26的固定，形成径向传感器27，能够测量径向方向上与测试件之间位置的改变；

如图9所示，为传感器的第三安装座23，在第三安装座23的中间设置有第二容纳腔24，所述第二容纳腔24内适于放置第二测试件4，所述第一容纳腔20的内侧壁上设置有第二安装孔21，所述第三安装孔25内具有内螺纹，传感器单探头26通过外螺纹旋拧到第三安装孔25上，实现与第三安装座23的固定，形成径向传感器27，能够测量径向方向上与测试件之间位置的改变。

使用方法及原理

在测量轴向传感器28的时候，将轴向传感器28安装到支撑架2上，将第一测试件3安装到连接杆29上，XYZ移动平台1驱动第一测试件3在Z方向上向轴向传感器28靠近，读取轴向传感器28对应的电参数，与XYZ平台的已知数据进行对比，对轴向传感器28进行检测和校准；

在测量径向传感器27的时候，将径向传感器27安装到支撑架2上，将第二测试件4安装到连接杆29上，XYZ移动平台1驱动第二测试件4在径向传感器27的容纳腔内的X、Y方向进行移动，读取径向传感器27对应的电参数，与XYZ平台的已知数据进行对比，对径向传感器27进行检测和校准；

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，包括：

XYZ移动平台(1)，安装在底板(5)上；

测试件固定架，连接在XYZ移动平台(1)上，具有用于连接测试件的伸出端和可拆卸地竖直连接在所述伸出端上的连接杆(29)；

测试件，连接在所述连接杆(29)的底端；

所述测试件具有：底部平面和弧形侧壁面；

或者，所述测试件包括：第一测试件(3)和第二测试件(4)，所述第一测试件(3)具有底部平面，所述第二测试件(4)具有侧壁弧形面(14)。

2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述测试件固定架的伸出端上具有适于竖直插入所述连接杆(29)的穿过孔(11)，所述穿过孔(11)的侧壁上具有开口，所述开口的两侧分别具有朝向径向方向延伸的延伸板(12)。

3.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，两个所述延伸板(12)的延伸段上分别具有适于穿入同一紧固件的通孔(13)。

4.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述第二测试件(4)具有对称设置的两个侧壁弧形面(14)。

5.根据权利要求4所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述第二测试件(4)还具有对称设置的两个侧壁垂直面(15)。

6.根据权利要求5所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述第二测试件(4)的上表面具有螺纹孔(30)；所述连接杆(29)上设置有与所述螺纹孔(30)配合的外螺纹。

7.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述测试件固定架包括：

竖板(6)，与XYZ移动平台(1)连接；

横板(7)，垂直于所述竖板(6)设置，朝向所述测试件延伸；

悬臂(8)，一端与横板(7)连接，另一端具有适于竖直插入所述连接杆(29)的穿过孔(11)。

8.根据权利要求7所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述横板(7)上设置与悬臂(8)的延伸方向一致的凹槽(9)，所述悬臂(8)卡接于所述凹槽(9)内。

9.根据权利要求8所述的磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装，其特征在于，所述悬臂(8)的下表面靠近所述横板(7)的一端设置有限位面(10)，所述限位面(10)与所述横板(7)的侧壁抵接。

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