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CN111501002B - 一种便携式变温样品台装置 - Google Patents

一种便携式变温样品台装置 Download PDF

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CN111501002B CN202010556472.0A CN202010556472A CN111501002B CN 111501002 B CN111501002 B CN 111501002B CN 202010556472 A CN202010556472 A CN 202010556472A CN 111501002 B CN111501002 B CN 111501002B
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吴伊帆
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黄先伟
俞越翎
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Abstract

本发明公开了一种便携式变温样品台装置，包括样品台腔体、设置在样品台腔体顶部样品台上底面及设置在样品台腔体底部的样品台下底面，所述样品台腔体内部在位于样品台下底面内侧贴合设置温度调节装置，所述样品台腔体内部在位于温度调节装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围。

Description

一种便携式变温样品台装置
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种便携式变温样品台装置。
背景技术
真空镀膜技术（vacuum deposition）是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。真空镀膜相对于湿式镀膜方法而言，提高了薄膜的结合能力，能更好地控制好薄膜的均匀程度和薄膜的厚度，并且减少了对环境的污染，随着真空镀膜技术的不断发展，不同材料对镀膜加工时候的温度需求也在不断变化，但是目前一直没有一种便携式低温或者升温样品台来解决该类问题，为此该发明提供了一种解决方案思路，基于半导体制冷的便携式样品台。
发明内容
为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供了结构设计合理的一种便携式变温样品台装置。
本发明的技术方案如下：
一种便携式变温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体、设置在样品台腔体顶部样品台上底面及设置在样品台腔体底部的样品台下底面，所述样品台腔体内部在位于样品台下底面内侧贴合设置温度调节装置，所述样品台腔体内部在位于温度调节装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。
所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述温度调节装置采用加热装置，所述加热装置包括硅胶电热片及导热硅胶，所述硅胶电热片通过导热硅胶与样品台下底面固定。
所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述温度调节装置采用降温装置，所述降温装置包括导体制冷片及导热硅胶，所述半导体制冷片的冷面通过导热硅胶和样品台下底面相固定。
所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品紧固装置包括螺杆、限位板及螺母，所述螺杆胶合设置在样品台下底面上，所述限位板套设在螺杆上，所述螺母配合设置在螺杆上，且通过螺母能够对限位板与样品台下底面之间进行调节。
所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台固定装置包括固定圆盘，所述固定圆盘胶合设置在样品台上底面，通过固定圆盘使得该样品台与真空镀膜机相固定。
所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述冷却装置包括水冷管及水冷管固定支架，所述水冷管通过水冷管固定支架固定设置在样品台腔体内。
所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台腔体外壁上开设有导线导管孔，所述温度调节装置通过导线导管孔与外界电源相连，所述水冷管的管口通过导线导管孔与真空镀膜机的水冷机相连。
所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台下底面顶部固定设置温度传感器。
本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。
附图说明
图1为本发明的整体结构正面结构示意图；
图2为本发明的整体结构侧面结构示意图；
图3为本发明的整体结构三维结构示意图；
图4为本发明的实施例1结构示意图；
图5为本发明的实施例2结构示意图；
图6为本发明的水冷管结构示意图；
图中：1-螺杆，2-限位板，3-螺母，4-样品台腔体，5-导线导管孔，6-固定圆盘，7-温度传感器，8-样品台下底面，9-导热硅胶，10-硅胶电热片，11-半导体制冷片，12-水冷管，13-样品台上底面，14-水冷管固定支架。
具体实施方式
以下结合说明书附图，对本发明作进一步描述。
实施例1:
如图1、2、3、4、6所示，一种便携式变温样品台装置，包括样品台腔体4、样品台上底面13、样品台下底面8、加热装置、样品台固定装置、样品紧固装置；其中样品台上底面13、样品台下底面8分别通过胶水固定在粘合在样品台腔体4上部及下部相应位置。
加热装置包括紧贴于样品台下底面8腔体内部的硅胶电热片10，硅胶电热片10通过导热硅胶9和样品台下底面8内腔相固定，导线11通过导线导管孔5与外界电源相连。
冷却装置包括设置在硅胶电热片10上方的水冷管12，水冷管12通过水冷管固定支架14固定于样品台腔体4内部；水冷管12的管口通过导线导管孔5与真空镀膜机的水冷机相连，用于真空镀膜工作结束后对样品台进行冷却。
样品紧固装置包括置于螺母1上的限位板2和旋紧用的螺栓3，样品基材通过限位板2与样品台下底面8利用配合在螺栓3上的螺母1来夹紧固定，螺栓3通过防水耐高温耐低温胶水与样品台下底面8相胶合。
样品台固定装置即固定于样品台上底面13的固定圆盘6，通过固定圆盘6使得该样品台与真空镀膜机相固定；固定圆盘6通过耐高温耐低温胶水与样品台上底面13相胶合，与真空镀膜机通过夹子相固定。
样品台下底面8顶部固定设置温度传感器7，实时监测在进行镀膜工作的样品基材的温度。
工作过程：
首先，根据镀膜的条件要求，将所要进行镀膜工作的样品置于样品台底部，通过底部的一对限位板利用螺母螺栓结构进行紧固，将硅胶电热片连上电源，将水冷管接入真空镀膜机原有的水冷机上并且关闭，水冷管与导线通过导线导管孔与外界相连，然后将样品台通过顶部的固定圆台与镀膜机相固定。开始工作时，通过底部的温度传感器实时监测在进行镀膜工作的样品基材的温度，继而调节硅胶电热片温度来适应基材的镀膜需求，工作结束后，为了保护样品台，因此打开水冷机，从而使得样品台快速冷却降温。
实施例2：
如图1、2、3、5、6所示，一种便携式变温样品台装置，包括样品台腔体4、样品台上底面13、样品台下底面8、降温装置、样品台固定装置、样品紧固装置；其中样品台上底面13、样品台下底面8分别通过胶水固定在粘合在样品台腔体4上部及下部相应位置。
降温装置包括紧贴于样品台下底面8腔体内部的半导体制冷片10及置于半导体制冷片10上方的水冷管12；本实施例中半导体制冷片10的冷面在腔内通过导热硅胶9和样品台下底面8相固定，导线通过导线导管孔5与外界直流电源相连，水冷管12通过水冷管固定支架14固定在样品台腔体4内部且水冷管12置于半导体制冷片10热面的上方，水冷管12的管口通过导线导管孔5与真空镀膜机的水冷机相连。
样品紧固装置包括置于螺杆1上的限位板2和旋紧用的螺母3，样品基材通过限位板2与样品台下底面8利用配合在螺栓1上的螺母2来夹紧固定；其中螺杆1通过防水耐高温耐低温胶水与样品台下底面8相胶合，所述的样品台固定装置即固定于样品台上底面12的固定圆盘6。通过固定圆盘6使得该样品台与真空镀膜机相固定，其中圆盘6通过耐高温耐低温胶水与样品台上底面12相胶合，与真空镀膜机通过夹子相固定。
样品台下底面8顶部固定设置温度传感器7，实时监测在进行镀膜工作的样品基材的温度。
工作过程：
首先，根据镀膜的条件要求，将所要进行镀膜工作的样品置于样品台底部，通过底部的一对限位板利用螺母螺栓结构进行紧固，将半导体制冷片连上直流电源，将水冷管接入真空镀膜机原有的水冷机上并且打开，水冷管与电线通过导线导管孔与外界相连，然后将样品台通过顶部的固定圆台与镀膜机相固定。开始工作时，通过底部的温度传感器实时监测在进行镀膜工作的基材的温度，继而调节半导体制冷片的冷面温度来适应基材的镀膜需求。

Claims (5)

1.一种便携式变温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体（4）、设置在样品台腔体（4）顶部样品台上底面（13）及设置在样品台腔体（4）底部的样品台下底面（8），所述样品台腔体（4）内部在位于样品台下底面（8）内侧贴合设置温度调节装置，所述样品台腔体（4）内部在位于温度调节装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面（13）顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面（8）底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定；
所述样品台下底面（8）顶部固定设置温度传感器（7）；
所述温度调节装置采用加热装置，所述加热装置包括硅胶电热片（10）及导热硅胶（9），所述硅胶电热片（10）通过导热硅胶（9）与样品台下底面（8）固定；开始工作时，通过底部的温度传感器实时监测在进行镀膜工作的样品基材的温度，继而调节硅胶电热片温度来适应基材的镀膜需求，工作结束后，为了保护样品台，因此打开水冷机，从而使得样品台快速冷却降温；
或所述温度调节装置采用降温装置，所述降温装置包括半导体制冷片（11）及导热硅胶（9），所述半导体制冷片（11）的冷面通过导热硅胶（9）和样品台下底面（8）相固定；开始工作时，通过底部的温度传感器实时监测在进行镀膜工作的基材的温度，继而调节半导体制冷片的冷面温度来适应基材的镀膜需求。
2.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品紧固装置包括螺杆（1）、限位板（2）及螺母（3），所述螺杆（1）胶合设置在样品台下底面（8）上，所述限位板（2）套设在螺杆（1）上，所述螺母（3）配合设置在螺杆（1）上，且通过螺母（3）能够对限位板（2）与样品台下底面（8）之间进行调节。
3.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台固定装置包括固定圆盘（6），所述固定圆盘（6）胶合设置在样品台上底面（13），通过固定圆盘（6）使得该样品台与真空镀膜机相固定。
4.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述冷却装置包括水冷管（12）及水冷管固定支架（14），所述水冷管（12）通过水冷管固定支架（14）固定设置在样品台腔体（4）内。
5.根据权利要求4所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台腔体（4）外壁上开设有导线导管孔（5），所述温度调节装置通过导线导管孔（5）与外界电源相连，所述水冷管（12）的管口通过导线导管孔（5）与真空镀膜机的水冷机相连。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114134478A (zh) * 2021-11-26 2022-03-04 上海大学 一种快速冷却的镀膜样品台装置及其应用

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102534511A (zh) * 2012-02-28 2012-07-04 东北大学 一种气相沉积薄膜的装置及其使用方法
CN212357379U (zh) * 2020-01-16 2021-01-15 浙江工业大学 一种便携式变温样品台装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0165898B1 (ko) * 1990-07-02 1999-02-01 미다 가쓰시게 진공처리방법 및 장치
DE4425874A1 (de) * 1994-07-09 1996-01-11 Ges Zur Foerderung Angewandter Optik Optoelektronik Quantenelektronik & Spektroskopie Ev Substratträger
DE102006038925A1 (de) * 2006-08-18 2008-02-21 Forschungszentrum Jülich GmbH Vorrichtung zum Heizen einer Probe
CN103344565A (zh) * 2013-04-10 2013-10-09 温州大学 一种可控温磁镊装置
WO2017111374A1 (ko) * 2015-12-24 2017-06-29 (주) 에스엔텍 풋 프린트를 줄일 수 있는 인터백 타입의 증착 시스템
CN208121184U (zh) * 2018-02-08 2018-11-20 嘉兴晶控电子有限公司 一种银铝合金晶振片镀膜装置
CN110616410B (zh) * 2018-06-20 2024-02-27 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 一种掠角沉积设备及其样品台
CN208685051U (zh) * 2018-09-05 2019-04-02 北京丹鹏表面技术研究中心 一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置
CN110082372A (zh) * 2019-05-24 2019-08-02 郑州轻工业学院 一种便携式同步辐射状态原位成像实验凝固装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102534511A (zh) * 2012-02-28 2012-07-04 东北大学 一种气相沉积薄膜的装置及其使用方法
CN212357379U (zh) * 2020-01-16 2021-01-15 浙江工业大学 一种便携式变温样品台装置

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